JP2008032445A - 圧電アクチュエータおよびそれを用いた走査型プローブ顕微鏡 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】電圧を印加することで伸縮変位する圧電素子1の一端を土台5に固定し、圧電素子1の変位方向に対して略平行に設けられたケース3を備える。さらに、面方向が圧電素子1の変位方向に対して交差する少なくとも1つの板バネ2を、一端をケース3に、もう一端を圧電素子1の側面に固定する。
【選択図】 図1
Description
ケース3は、圧電素子1の変位方向の側面に対しは平行に隙間を設けて覆うようにして、土台5と接続している。尚、本実施例では、土台とケースを別体として構成しているが、一体で構成してもよい。
2 板バネ(弾性体)
3 土台
4 被駆動体
5 ケース
Claims (7)
- 電圧を印加で変位する圧電素子を用いた圧電アクチュエータにおいて、
圧電アクチュエータの固定端となり且つ前記圧電素子の一端を固定する土台と、
前記圧電素子の変位方向に対して略平行に設けられ且つ前記土台に固定されたケースと、
前記圧電素子の変位方向に対して交差するように、一端を前記圧電素子の側面に、他端を前記ケースに保持される少なくとも1つの弾性体と、からなることを特徴とする圧電アクチュエータ - 請求項1に記載の圧電アクチュエータであって、
前記圧電素子を最大量変位させたときに、前記弾性体がそのバネ定数と変位量に応じて前記圧電素子に加える力のうち、前記圧電素子の変位方向への成分の合計が、前記圧電素子の発生力よりも小さいことを特徴とする圧電アクチュエータ。 - 請求項1または2に記載の圧電アクチュエータであって、
前記弾性体の1次モードの共振周波数が前記圧電素子の伸縮方向の共振周波数よりも高いことを特徴とする圧電アクチュエータ。 - 請求項1から3のいずれかに記載の圧電アクチュエータであって、
複数の同じバネ定数を持つ前記弾性体が、前記圧電素子の変位方向への位置が同じで且つ前記圧電素子を中心として前記圧電素子を対照に挟み込むように取り付けられることにより、それら複数の前記弾性体により前記圧電素子に加えられる力の前記圧電素子の変位方向以外の成分が打ち消しあうことを特徴とする圧電アクチュエータ。 - 請求項1から4のいずれかに記載の圧電アクチュエータであって、
複数の前記弾性体の間隔および前記弾性体と前記圧電素子の端部との間隔がそれぞれ整数倍比にならないように、それぞれ異なった間隔で固定することにより前記圧電素子の共振振動を防止することを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の圧電アクチュエータ。 - 請求項1から5のいずれかに記載の圧電アクチュエータであって、
複数の前記弾性体の間隔および前記弾性体と前記圧電素子の端部との間隔の中で最も長い間隔分の長さの前記圧電素子の1次モードの共振周波数が前記圧電素子の変位方向への共振周波数よりも高くなるような間隔で、複数枚の前記板バネが取り付けられていることを特徴とする圧電アクチュエータ。 - 先端に探針を有しカンチレバーホルダに固定されるカンチレバーと、
前記探針に対向配置された試料を載置するステージと、
前記探針と前記試料とを、試料表面に平行な方向に相対移動させる移動手段と、
前記カンチレバーの振動状態の変位を測定する測定手段とを備えている走査型プローブ顕微鏡において、
前記移動手段に、請求項1から6のいずれかに記載の圧電アクチュエータを用いたことを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。
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JP2006204108A JP2008032445A (ja) | 2006-07-27 | 2006-07-27 | 圧電アクチュエータおよびそれを用いた走査型プローブ顕微鏡 |
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2006
- 2006-07-27 JP JP2006204108A patent/JP2008032445A/ja active Pending
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