JP3886777B2 - 電子線照射装置および方法 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、回転台に着脱自在に固定されたＣＤ（コンパクトディスク）の原盤やＤＶＤ（デジタルビデオディスクまたはデジタルバーサタイルディスク）の原盤などの被照射体に、電子線を照射する電子露光装置などの電子線照射装置および方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、前記種類の電子線照射装置では、被照射体を気密の真空試料室に配置して、前記被照射体に電子線を照射している。このように、真空試料室に被照射体を配置する方法では、真空試料室内の被照射体を交換する装置の構成が複雑になり、交換作業も面倒であった。
前記被照射体の交換を容易に行うことができる電子線照射装置として、次の（Ｊ01）の技術が従来公知である。
（Ｊ01）特開昭６０−８９９２２号公報記載の技術
この公報には、電子光学鏡筒からの電子線が、大気に妨げられずに被照射体に照射されるように、電子光学鏡筒内部の空気を排気するとともに、電子光学鏡筒の下端部に排気ブロックを設け、この排気ブロックにより電子光学鏡筒と被照射体との隙間の空気を排気している。この公報の図３に記載された装置では、前記隙間の空気を吸引することにより被照射体の電子線照射部分を１０のマイナス６乗torr程度の高真空にすることができる。また、この公報の図７に記載された装置では、前記隙間の外周部から吹き出す空気により生じるベルヌーイの負圧を利用して、前記隙間を１０のマイナス２乗torr程度の真空にすることができる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
前述の（Ｊ01）の電子線照射装置は、被照射体がＸＹステージに着脱自在に固定され、このＸＹステージを縦横に駆動して被照射体の位置を調整している。そして、被照射体をＸＹステージに取り付けたり、また、外したりする際には、ＸＹステージを駆動して、被照射体を電子光学鏡筒の排気ブロックから外れた位置に移動させているが、その際に、ＸＹステージの端部が排気ブロックの下方に位置し、真空度の低下すなわち真空劣化を防止している。このＸＹステージにおける被照射体の外側にはみ出している端部が小さすぎると、被照射体の着脱時に真空劣化が発生する。そして、真空劣化が発生すると、再び電子光学鏡筒の内部を排気するのに時間を有する。
【０００４】
ところで、略円形の記憶媒体であるＣＤやＤＶＤなどの原盤の被照射体は、前述のＸＹステージではなく回転台に取り付けられる。この様な回転台を備えた電子線照射装置では、従来、前述の電子光学鏡筒の端部に排気ブロックが配置されている形式ではなく、被照射体や回転台などが真空になった気密室に配置されている気密室形式が採用されている。そして、回転台を備えた電子線照射装置において、前述の電子光学鏡筒の端部に排気ブロックが配置されている形式を採用した場合を以下に検討する。前述の真空劣化を防止するための被照射体の外側にはみ出している端部は、ＸＹステージの場合にはＸＹステージの一端部に設ければよいが、回転台の場合には、回転台の全周縁部に設ける必要があり、非常に大きくなる。また、真空劣化を防止すべく、被照射体の外側にはみ出している端部を大きく確保すると、回転台が大きくなり、回転させるのに要する駆動力が大きくなるとともに、回転制御が不安定となることがある。
【０００５】
本発明は、前記問題点に鑑み、回転台を備えた電子線照射装置において、電子光学鏡筒の端部に排気ブロックを配置するとともに、回転台を大きくすることなく、被照射体の着脱作業時の真空劣化を防止することができる電子線照射装置を提供することを技術的課題とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明の電子線照射装置は、被照射体（３６）を着脱可能に固定する回転台（３１）と、この回転台（３１）に固定された前記被照射体（３６）に電子線を照射する電子光学鏡筒（１）と、前記電子光学鏡筒（１）と前記被照射体（３６）との隙間の空気を排気すべく電子光学鏡筒（１）の端部に配置される排気ブロック（１１）と、前記電子光学鏡筒（１）に対して前記回転台（３１）を回転台（３１）の径方向に相対的にスライドさせて、回転台（３１）に固定されている被照射体（３６）が電子光学鏡筒（１）に対向する作業位置と、回転台（３１）に固定されている被照射体（３６）が電子光学鏡筒（１）から離れる着脱位置との間を移動させる移動機構（３８，３９）と、前記回転台（３１）が前記作業位置から前記着脱位置に移動する際に真空劣化の発生を防止すべく前記回転台（３１）の側面または前記回転台（３１）の被照射体（３６）の側面に近接または密着するとともに、回転台（３１）が着脱位置にある際に前記電子光学鏡筒（１）に対向するカバー部材（５１，６１）とを備えている。
【０００７】
前記回転台（３１）が回転する際には前記回転台（３１）の側面または前記回転台（３１）の被照射体（３６）の側面と前記カバー部材（５１，６１）との間に隙間を設け、かつ、前記回転台（３１）の作業位置から着脱位置への移動の際には前記隙間を無くすべく、前記カバー部材（５１，６１）が前記回転台（３１）または回転台（３１）の被照射体（３６）に対して移動可能である。
【０００８】
電子光学鏡筒（１）から回転台（３１）に固定されている被照射体（３６）に電子線を照射する際には、排気ブロック（１１）で電子光学鏡筒（１）と被照射体（３６）との隙間の空気を排気するとともに、電子光学鏡筒（１）が被照射体（３６）に対向している状態で、回転台（３１）を回転させながら、移動機構（３８，３９）により回転台（３１）を径方向に移動させる。そして、照射終了後、被照射体（３６）を交換するが、その交換の際には、排気ブロック（１１）による排気を継続しながら、移動機構（３８，３９）により回転台（３１）を作業位置から着脱位置に移動させる。この着脱位置で被照射体（３６）を交換し、移動機構（３８，３９）により回転台（３１）を着脱位置から作業位置に移動させる。この回転台（３１）の作業位置と着脱位置との移動の際に、電子光学鏡筒（１）は被照射体（３６）、回転台（３１）またはカバー部材（５１，６１）に対向しており、大気中に露出することなく、真空劣化を防止することができる。
【０００９】
そして、回転台（３１）の回転の際には、カバー部材（５１，６１）を回転台（３１）または被照射体（３６）から離れる方向に移動させて、回転台（３１）の側面または被照射体（３６）の側面とカバー部材（５１，６１）との間に隙間を設ける。また、回転台（３１）が作業位置と着脱位置との間を移動する際には、カバー部材（５１，６１）を回転台（３１）または被照射体（３６）に近接する方向に移動させて、カバー部材（５１，６１）を回転台（３１）の側面または被照射体（３６）の側面に密着させる。
【００１０】
【発明の実施の形態】
（実施例）
次に、図面により本発明の実施の形態の具体例（実施例）を説明する。
（実施例１）
図１は本発明の電子線照射装置の実施例１の一部切欠正面図である。
図２は図１のII−II断面図である。
図３は被照射体、回転台、支持台および補助台の平面図で、図３Ａは補助台が回転台と間隔を有している場合の図、図３Ｂは図２のIIIＢ−IIIＢ線断面図で補助台が回転台に密着している場合の図である。
【００１１】
ＴＦＥ（サーマルフィールドエミッション）電子光学鏡筒１が架台２の上部にビス３で固定されている。この電子光学鏡筒１はその内部に電子銃（図示しない）を具備するとともに、内部空間はスパッタイオンポンプ６，７により排気される。電子銃からの電子線は電子光学鏡筒１の電子線通路８を通って電子光学鏡筒１の下端から下方に照射される。この電子線通路８にはターボモリキュラポンプ９が接続され、このターボモリキュラポンプ９および前述のポンプ６，７が電子線通路８の空気を排気している。そして、電子線通路８の下端には絞り８ａが設けられており、この絞り８ａにより排気コンダクタンスを小さくしている。
【００１２】
また、電子光学鏡筒１の下端部には、差動排気ブロック１１が架台２にビス１２で取り付けられて配置されている。この差動排気ブロック１１には、電子光学鏡筒１の下端部の周囲に本引き室１６、第２粗引き室１７および第１粗引き室１８が設けられており、本引き室１６の端部開口、第２粗引き室１７の端部開口および第１粗引き室１８の端部開口は、略リング状をしているとともに、電子線通路８の端部開口を中心として順次外側に配置されている。そして、これら本引き室１６、第２粗引き室１７および第１粗引き室１８には、ターボモリキュラポンプ２１、ドライポンプ２２およびドライポンプ２３がそれぞれ接続されており、第１粗引き室１８、第２粗引き室１７、本引き室１６および電子線通路８の順で気圧が低く（すなわち、真空度が高く）なっている。
【００１３】
電子光学鏡筒１および差動排気ブロック１１の下方には、試料ステージＳが、近接（たとえば隙間約１０μｍ）して設けられている。この試料ステージＳは、回転台３１、この回転台３１を回転可能に支持する支持台３２、この支持台３２をスライド可能にガイドするガイド体３３などを具備している。回転台３１は平面図視で略円形をし、図示しないモータにより回転駆動されるとともに、その上面には略円形の凹部が形成されている。この回転台３１の凹部に被照射体３６が静電吸着や真空吸着などにより着脱自在に且つ外周が前記凹部内周に密着するように固定されており、回転台３１の凹部に固定された被照射体３６の上面は回転台３１の上面と略面一となる。そして、支持台３２は、支持台３２を貫通する一対のガイド棒３８および前記ガイド体３３により回転台３１の径方向に摺動可能にガイドされる。また、駆動ネジ３９が支持台３２を螺合した状態で貫通しており、駆動ネジ３９が図示しないモータで回転されると、支持台３２が移動する。
【００１４】
また、補助取付台４６が、前記一対のガイド棒３８およびガイド体３３にスライド可能に案内されている。なお、補助取付台４６は、駆動ネジ３９に対して遊嵌しており、駆動ネジ３９に妨げられずにスライド可能である。この補助取付台４６は支持台３２に位置調整ネジ棒４７で位置調整可能に取り付けられている。そのため、駆動ネジ３９が回転して、支持台３２がスライドすると、補助取付台４６は支持台３２と一体となってスライドする。そして、補助取付台４６の上側には、圧電素子４８を介してカバー部材としての補助台５１が取り付けられている。この圧電素子４８は高さ調整機構であり、圧電素子４８に電圧を加えることにより補助台５１の上面の高さ位置を調整することができる。補助台５１は、その一端面が平面図視で前記回転台３１に嵌合する円弧状（図３参照）をしており、位置調整ネジ棒４７を回転させて補助取付台４６を移動させることにより、図３Ａに図示する回転台３１の側面から離れた位置と、図３Ｂに図示する補助台５１の端面が回転台３１の側面に密着した位置との間を移動することができる。
【００１５】
そして、ポンプ６，７，９，２１，２２，２３は、その各接続用配管の太さ、ポンプの排気スピードおよびポンプ間のコンダクタンスが下記条件を満たすように設定されている。
条件：回転台３１上の被照射体３６と差動排気ブロック１１との隙間が略１０μｍの時に、ポンプ６，７，９，２１，２２，２３が駆動すると、電子光学鏡筒１内は略５×１０− 4Ｐａ（Ｐａはパスカル）になること。
【００１６】
この様に構成されている電子線照射装置で、略円形のＣＤの原盤やＤＶＤの原盤などの試料（すなわち被照射体３６）を露光する方法を以下に説明する。
まず始めに、図１および図２に図示するように、回転台３１上の被照射体３６の中心が電子光学鏡筒１の端部に対向している状態にあるとする。そして、位置調整ネジ棒４７を駆動して補助取付台４６を移動させ、補助台５１を回転台３１から離す。この状態で、ポンプ６，７，９，２１，２２，２３を駆動して、回転台３１上の被照射体３６と電子光学鏡筒１との間の気圧を低下させる。ついで、電子光学鏡筒１の電子銃から電子線を適宜照射するとともに、回転台３１を回転させながら、駆動ネジ３９を回転させて支持台３２を一定速度で移動させる。すると、被照射体３６の面上に渦巻き状に露光する。
【００１７】
露光が完了すると、被照射体３６を交換するが、その交換の際には、ポンプ６，７，９，２１，２２，２３の稼働を維持しながら、駆動ネジ３９を駆動して支持台３２を移動させて、被照射体３６を差動排気ブロック１１の外径の外側に位置させる。そして、被照射体３６が差動排気ブロック１１の外側へ移動する時に、電子光学鏡筒１内部に真空劣化が発生しないように、被照射体３６が差動排気ブロック１１の外側へ移動する前に、位置調整ネジ棒４７を駆動して、補助取付台４６を支持台３２に近づけて、図３Ａに図示する状態の補助台５１を、図３Ｂに図示する様に回転台３１の側面に密着させるとともに、圧電素子４８を駆動させて補助台５１の上面の高さを調整し、補助台５１の上面を被照射体３６の上面に対して略面一とする。したがって、被照射体３６が電子光学鏡筒１に対向している作動位置から、差動排気ブロック１１の外径の外側すなわち電子光学鏡筒１から離れた着脱位置に（図２において左側へ）移動した場合に、電子光学鏡筒１および差動排気ブロック１１の下方には、被照射体３６、回転台３１または補助台５１の何れかが常時位置しており、電子光学鏡筒１内部に真空劣化が発生することを極力防止することができる。そして、低加速高分解能であるＴＦＥエミッタの電流安定度は電子光学鏡筒１内部の真空度に依存しているため、電子光学鏡筒１内部の真空劣化の発生を阻止することにより、電子光学鏡筒１の電子線の電流安定度を維持することができる。
【００１８】
被照射体３６が着脱位置になると、新しい被照射体３６に交換する。この交換後、駆動ネジ３９を駆動して、被照射体３６、回転台３１および支持台３２を着脱位置から作業位置に移動させる。ついで、補助台５１が回転台３１の回転の妨げにならないように、位置調整ネジ棒４７を回転して、補助台５１を図３Ｂに図示する回転台３１に密着した状態から、図３Ａに図示する回転台３１から離れた状態とする。その後、新しく装着された被照射体３６を露光する。
【００１９】
前述の実施例１では、圧電素子４８で補助台５１の上面の高さ位置を微調整することができるので、補助台５１の上面を被照射体３６の上面や回転台３１の上面と略面一にして、真空劣化をより効率よく防止することができる。
【００２０】
（実施例２）
図４は本発明の電子線照射装置の実施例２の一部切欠正面図で、前記実施例１の図１に相当する図である。
図５は前記図４のＶ−Ｖ線断面図で、位置調整ネジ棒４７を締め付けた状態を示す図である。
図６は前記図５の位置調整ネジ棒４７を緩めた状態を示す図である。
なお、この実施例２の説明において、前記実施例１の構成要素に対応する構成要素には同一符号を付して、その詳細な説明は省略する。
図４〜図６において、支持台３２の軸３２ａを支持する一対の軸支持部３２ｂ，３２ｂが設けられている。この実施例２の補助取付台４６は、位置調整ネジ棒４７および一対のガイド棒３８が遊びを持って貫通している。そして、前記軸３２ａには補助取付台４６が小さな角度範囲で回転可能に支持されている。なお、前記回転軸３２ａは、図５、図６において前記回転台３１と補助台５１との対向部分の下方に配置されている。この場合、補助取付台４６および補助台５１が図５の状態から回転軸３２ａ回りに時計方向に回転したとき、補助台５１の図５で左端上端部は下方に移動する。
【００２１】
したがって、前記位置調整ネジ棒４７を締め付けた状態では、補助取付台４６は図５に示すように、水平位置に保持され、補助台５１の左端と回転台３１の右端とは接近した状態に保持されている。しかし、前記位置調整ネジ棒４７を緩めた状態では、補助取付台４６は図６に示すように、右端側が傾斜し、補助台５１の左端と回転台３１の右端とは離れて、回転台３１が自由に回転可能な状態に保持される。
このように、補助台５１ａ傾斜させることにより、前記実施例１と同様に、補助台５１の上面を被照射体３６の上面や回転台３１の上面と略面一にして、真空劣化をより効率よく防止することができる。
【００２２】
（実施例３）
図７は実施例３の電子線照射装置の一部切欠正面図である。
図８は図７のＶIII−ＶIII線断面図である。
図９は被照射体、回転台、支持台および補助板の平面図で、図９Ａは図８のIＶＡ−IＶＡ線断面図で補助板が被照射体と間隔を有している場合の図、図９Ｂは補助板が被照射体に密着している場合の図である。
なお、この実施例３の説明において、前記実施例１の構成要素に対応する構成要素には同一符号を付して、その詳細な説明は省略する。
【００２３】
実施例３の電子線照射装置では、実施例１の電子線照射装置の補助取付台４６、圧電素子４８および補助台５１は設けられていない。また、実施例３の電子線照射装置の回転台３１には、実施例１における回転台３１の凹部は設けられておらず、上面は平坦となっている。さらに、実施例３の電子線照射装置の支持台３２の上部には、上面が回転台３１の上面と略面一の張出部３２ｃが張り出している。この張出部３２ｃには、一対の細長いスライド孔３２ｄが形成されている。また、張出部３２ｃの上面には、カバー部材としての補助板６１が摺動可能に載置されている。この補助板６１は厚みが被照射体３６の厚みと略同じであり、補助板６１の上面は被照射体３６の上面と略面一となる。また、補助板６１の一端面は回転台３１上の被照射体３６の周面に密着できるように略円弧状（図９参照）をしている。さらに、補助板６１には２個のスライドピン６２が下方に突出しており、このスライドピン６２が支持台３２のスライド孔３２ｄにスライド可能に嵌まっている。そして、一個のスライドピン６２にはナット６３が螺合しており、ナット６３を締めることにより補助板６１の位置を固定することができる。また、このナット６３を緩めると、補助板６１は回転台３１の径方向にスライド可能となり、補助板６１は図９Ａに図示する被照射体３６の側面から離れた位置と、図９Ｂに図示する被照射体３６の側面に密着した位置との間を移動可能となる。
【００２４】
この様に構成されている実施例３の電子線照射装置で、略円形のＣＤの原盤やＤＶＤの原盤などの試料（すなわち被照射体３６）を露光する方法を以下に説明する。
まず始めに、図７および図８に図示するように、回転台３１上の被照射体３６の中心が電子光学鏡筒１の端部に対向している状態にあるとする。この状態で、実施例１と同様に、ポンプ６，７，９，２１，２２，２３を駆動して、回転台３１上の被照射体３６と電子光学鏡筒１との間の気圧を低下させる。ついで、電子光学鏡筒１の電子銃から電子線を適宜照射するとともに、回転台３１を回転させながら、駆動ネジ３９を回転させて支持台３２を一定速度で移動させる。すると、被照射体３６の面上に渦巻き状に露光する。
【００２５】
露光完了後における被照射体３６の交換の際には、ポンプ６，７，９，２１，２２，２３の稼働を維持しながら、駆動ネジ３９を駆動して支持台３２を移動させて、被照射体３６を差動排気ブロック１１の外径の外側に位置させる。この被照射体３６の移動時に、電子光学鏡筒１内部に真空劣化が発生しないように、被照射体３６の移動の前に、ナット６３を緩めて補助板６１を図９Ａに図示する位置から被照射体３６側に移動させ、図９Ｂに図示する被照射体３６の側面に密着した位置にする。そして、補助板６１の端面が被照射体３６の側面に密着すると、ナット６３を締めて補助板６１の位置を固定する。したがって、被照射体３６が電子光学鏡筒１に対向している作動位置から、差動排気ブロック１１の外径の外側すなわち電子光学鏡筒１から離れた着脱位置に移動した場合に、電子光学鏡筒１および差動排気ブロック１１の下方には、被照射体３６または補助板６１の何れかが常時位置しており、電子光学鏡筒１内部に真空劣化が発生することを極力防止することができる。
【００２６】
被照射体３６が着脱位置になると、新しい被照射体３６に交換する。この交換後、駆動ネジ３９を駆動して、被照射体３６、回転台３１および支持台３２を着脱位置から作業位置に移動させる。ついで、補助板６１が被照射体３６の回転の妨げにならないように、補助板６１を図９Ｂに図示する被照射体３６に密着した状態から、図９Ａに図示する被照射体３６から離れた状態とする。その後、新しく装着された被照射体３６を露光する。
【００２７】
前述の実施例３では、補助板６１は被照射体３６の側面に密着することができるので、被照射体３６の上面と回転台３１の上面とに段差がある場合にも、真空劣化を効率よく防止することができる。
【００２８】
以上、本発明の実施の形態を詳述したが、本発明は、前記実施の形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内で、種々の変更を行うことが可能である。本発明の変更例を下記に例示する。
（１）実施例１および実施例３の電子線照射装置は露光装置であるが、露光以外の他の用途に使用することも可能である。
（２）前記各実施例では、回転台を移動させる移動機構が駆動ネジ３９やガイド棒３８で構成されているが、他の構造でも可能である。また、回転台の位置を固定し、電子光学鏡筒および排気ブロックを移動させることにより、回転台を電子光学鏡筒に対して相対移動させることも可能である。
（３）実施例１では、被照射体３６の直径より回転台３１上面の直径が大きい場合について説明したが、回転台３１の上面の直径を被照射体３６の直径と等しくするか、小さくして、被照射体３６の側面にカバー部材５１を密着させるように構成することが可能である。
【００２９】
（４）補助台５１や補助板６１などのカバー部材は、その端面が回転台の側面や被照射体の側面に密着可能であることが好ましいが、必ずしも完全に密着する必要はなく、近接した状態であることも可能である。
（５）補助台５１や補助板６１などのカバー部材の移動構造は、前記各実施例の構造には限定されず、適宜変更可能である。
（６）カバー部材である補助台５１の高さ調整機構は、圧電素子４８以外のもので構成することも可能である。
（７）特許願２００１−０５４７４１号公報で報告されているようにカバー部材の上で予めフォーカス合わせを行うことも可能である。
【００３０】
【発明の効果】
本発明によれば、回転台の作業位置と着脱位置との移動の際に、電子光学鏡筒は被照射体、回転台またはカバー部材に対向しており、大気中に露出することなく、真空劣化を防止することができる。しかも、カバー部材が設けられているので、回転台の径を小さくすることができる。したがって、回転台を回転させるのに要する駆動力を小さくすることができるとともに、回転台の回転制御が不安定となることを防止することができる。
カバー部材が回転台または回転台の被照射体に対して移動可能であるので、回転台が回転する際には、回転台の側面または被照射体の側面とカバー部材との間に隙間を設け、回転台や被照射体の回転をカバー部材が妨げることを防止することができる。かつ、回転台が作業位置と着脱位置との間を移動する際には、カバー部材を回転台の側面または被照射体の側面に密着させて、カバー部材と回転台または被照射体との隙間をなくし、真空劣化を効率よく防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 図１は本発明の電子線照射装置の実施例１の一部切欠正面図である。
【図２】 図２は図１のII−II断面図である。
【図３】 図３は被照射体、回転台、支持台および補助台の平面図で、図３Ａは補助台が回転台と間隔を有している場合の図、図３Ｂは図２のIIIＢ−IIIＢ断面図で補助台が回転台に密着している場合の図である。
【図４】 図４は本発明の電子線照射装置の実施例２の一部切欠正面図で、前記実施例１の図１に相当する図である。
【図５】 図５は前記図４のＶ−Ｖ線断面図で、位置調整ネジ棒４７を締め付けた状態を示す図である。
【図６】 図６は前記図５の位置調整ネジ棒４７を緩めた状態を示す図である。
【図７】 図７は本発明の実施例３の電子線照射装置の一部切欠正面図である。
【図８】 図８は図７のＶIII−ＶIII線断面図である。
【図９】 図９は被照射体、回転台、支持台および補助板の平面図で、図９Ａは図８のIＶＡ−IＶＡ線断面図で補助板が被照射体と間隔を有している場合の図、図９Ｂは補助板が被照射体に密着している場合の図である。
【符号の説明】
１…電子光学鏡筒、１１…差動排気ブロック、３１…回転台、３６…被照射体、３８…ガイド棒（移動機構）、３９…駆動ネジ（移動機構）、５１…補助台（カバー部材）、６１…補助板（カバー部材）
【発明の属する技術分野】
本発明は、回転台に着脱自在に固定されたＣＤ（コンパクトディスク）の原盤やＤＶＤ（デジタルビデオディスクまたはデジタルバーサタイルディスク）の原盤などの被照射体に、電子線を照射する電子露光装置などの電子線照射装置および方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、前記種類の電子線照射装置では、被照射体を気密の真空試料室に配置して、前記被照射体に電子線を照射している。このように、真空試料室に被照射体を配置する方法では、真空試料室内の被照射体を交換する装置の構成が複雑になり、交換作業も面倒であった。
前記被照射体の交換を容易に行うことができる電子線照射装置として、次の（Ｊ01）の技術が従来公知である。
（Ｊ01）特開昭６０−８９９２２号公報記載の技術
この公報には、電子光学鏡筒からの電子線が、大気に妨げられずに被照射体に照射されるように、電子光学鏡筒内部の空気を排気するとともに、電子光学鏡筒の下端部に排気ブロックを設け、この排気ブロックにより電子光学鏡筒と被照射体との隙間の空気を排気している。この公報の図３に記載された装置では、前記隙間の空気を吸引することにより被照射体の電子線照射部分を１０のマイナス６乗torr程度の高真空にすることができる。また、この公報の図７に記載された装置では、前記隙間の外周部から吹き出す空気により生じるベルヌーイの負圧を利用して、前記隙間を１０のマイナス２乗torr程度の真空にすることができる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
前述の（Ｊ01）の電子線照射装置は、被照射体がＸＹステージに着脱自在に固定され、このＸＹステージを縦横に駆動して被照射体の位置を調整している。そして、被照射体をＸＹステージに取り付けたり、また、外したりする際には、ＸＹステージを駆動して、被照射体を電子光学鏡筒の排気ブロックから外れた位置に移動させているが、その際に、ＸＹステージの端部が排気ブロックの下方に位置し、真空度の低下すなわち真空劣化を防止している。このＸＹステージにおける被照射体の外側にはみ出している端部が小さすぎると、被照射体の着脱時に真空劣化が発生する。そして、真空劣化が発生すると、再び電子光学鏡筒の内部を排気するのに時間を有する。
【０００４】
ところで、略円形の記憶媒体であるＣＤやＤＶＤなどの原盤の被照射体は、前述のＸＹステージではなく回転台に取り付けられる。この様な回転台を備えた電子線照射装置では、従来、前述の電子光学鏡筒の端部に排気ブロックが配置されている形式ではなく、被照射体や回転台などが真空になった気密室に配置されている気密室形式が採用されている。そして、回転台を備えた電子線照射装置において、前述の電子光学鏡筒の端部に排気ブロックが配置されている形式を採用した場合を以下に検討する。前述の真空劣化を防止するための被照射体の外側にはみ出している端部は、ＸＹステージの場合にはＸＹステージの一端部に設ければよいが、回転台の場合には、回転台の全周縁部に設ける必要があり、非常に大きくなる。また、真空劣化を防止すべく、被照射体の外側にはみ出している端部を大きく確保すると、回転台が大きくなり、回転させるのに要する駆動力が大きくなるとともに、回転制御が不安定となることがある。
【０００５】
本発明は、前記問題点に鑑み、回転台を備えた電子線照射装置において、電子光学鏡筒の端部に排気ブロックを配置するとともに、回転台を大きくすることなく、被照射体の着脱作業時の真空劣化を防止することができる電子線照射装置を提供することを技術的課題とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明の電子線照射装置は、被照射体（３６）を着脱可能に固定する回転台（３１）と、この回転台（３１）に固定された前記被照射体（３６）に電子線を照射する電子光学鏡筒（１）と、前記電子光学鏡筒（１）と前記被照射体（３６）との隙間の空気を排気すべく電子光学鏡筒（１）の端部に配置される排気ブロック（１１）と、前記電子光学鏡筒（１）に対して前記回転台（３１）を回転台（３１）の径方向に相対的にスライドさせて、回転台（３１）に固定されている被照射体（３６）が電子光学鏡筒（１）に対向する作業位置と、回転台（３１）に固定されている被照射体（３６）が電子光学鏡筒（１）から離れる着脱位置との間を移動させる移動機構（３８，３９）と、前記回転台（３１）が前記作業位置から前記着脱位置に移動する際に真空劣化の発生を防止すべく前記回転台（３１）の側面または前記回転台（３１）の被照射体（３６）の側面に近接または密着するとともに、回転台（３１）が着脱位置にある際に前記電子光学鏡筒（１）に対向するカバー部材（５１，６１）とを備えている。
【０００７】
前記回転台（３１）が回転する際には前記回転台（３１）の側面または前記回転台（３１）の被照射体（３６）の側面と前記カバー部材（５１，６１）との間に隙間を設け、かつ、前記回転台（３１）の作業位置から着脱位置への移動の際には前記隙間を無くすべく、前記カバー部材（５１，６１）が前記回転台（３１）または回転台（３１）の被照射体（３６）に対して移動可能である。
【０００８】
電子光学鏡筒（１）から回転台（３１）に固定されている被照射体（３６）に電子線を照射する際には、排気ブロック（１１）で電子光学鏡筒（１）と被照射体（３６）との隙間の空気を排気するとともに、電子光学鏡筒（１）が被照射体（３６）に対向している状態で、回転台（３１）を回転させながら、移動機構（３８，３９）により回転台（３１）を径方向に移動させる。そして、照射終了後、被照射体（３６）を交換するが、その交換の際には、排気ブロック（１１）による排気を継続しながら、移動機構（３８，３９）により回転台（３１）を作業位置から着脱位置に移動させる。この着脱位置で被照射体（３６）を交換し、移動機構（３８，３９）により回転台（３１）を着脱位置から作業位置に移動させる。この回転台（３１）の作業位置と着脱位置との移動の際に、電子光学鏡筒（１）は被照射体（３６）、回転台（３１）またはカバー部材（５１，６１）に対向しており、大気中に露出することなく、真空劣化を防止することができる。
【０００９】
そして、回転台（３１）の回転の際には、カバー部材（５１，６１）を回転台（３１）または被照射体（３６）から離れる方向に移動させて、回転台（３１）の側面または被照射体（３６）の側面とカバー部材（５１，６１）との間に隙間を設ける。また、回転台（３１）が作業位置と着脱位置との間を移動する際には、カバー部材（５１，６１）を回転台（３１）または被照射体（３６）に近接する方向に移動させて、カバー部材（５１，６１）を回転台（３１）の側面または被照射体（３６）の側面に密着させる。
【００１０】
【発明の実施の形態】
（実施例）
次に、図面により本発明の実施の形態の具体例（実施例）を説明する。
（実施例１）
図１は本発明の電子線照射装置の実施例１の一部切欠正面図である。
図２は図１のII−II断面図である。
図３は被照射体、回転台、支持台および補助台の平面図で、図３Ａは補助台が回転台と間隔を有している場合の図、図３Ｂは図２のIIIＢ−IIIＢ線断面図で補助台が回転台に密着している場合の図である。
【００１１】
ＴＦＥ（サーマルフィールドエミッション）電子光学鏡筒１が架台２の上部にビス３で固定されている。この電子光学鏡筒１はその内部に電子銃（図示しない）を具備するとともに、内部空間はスパッタイオンポンプ６，７により排気される。電子銃からの電子線は電子光学鏡筒１の電子線通路８を通って電子光学鏡筒１の下端から下方に照射される。この電子線通路８にはターボモリキュラポンプ９が接続され、このターボモリキュラポンプ９および前述のポンプ６，７が電子線通路８の空気を排気している。そして、電子線通路８の下端には絞り８ａが設けられており、この絞り８ａにより排気コンダクタンスを小さくしている。
【００１２】
また、電子光学鏡筒１の下端部には、差動排気ブロック１１が架台２にビス１２で取り付けられて配置されている。この差動排気ブロック１１には、電子光学鏡筒１の下端部の周囲に本引き室１６、第２粗引き室１７および第１粗引き室１８が設けられており、本引き室１６の端部開口、第２粗引き室１７の端部開口および第１粗引き室１８の端部開口は、略リング状をしているとともに、電子線通路８の端部開口を中心として順次外側に配置されている。そして、これら本引き室１６、第２粗引き室１７および第１粗引き室１８には、ターボモリキュラポンプ２１、ドライポンプ２２およびドライポンプ２３がそれぞれ接続されており、第１粗引き室１８、第２粗引き室１７、本引き室１６および電子線通路８の順で気圧が低く（すなわち、真空度が高く）なっている。
【００１３】
電子光学鏡筒１および差動排気ブロック１１の下方には、試料ステージＳが、近接（たとえば隙間約１０μｍ）して設けられている。この試料ステージＳは、回転台３１、この回転台３１を回転可能に支持する支持台３２、この支持台３２をスライド可能にガイドするガイド体３３などを具備している。回転台３１は平面図視で略円形をし、図示しないモータにより回転駆動されるとともに、その上面には略円形の凹部が形成されている。この回転台３１の凹部に被照射体３６が静電吸着や真空吸着などにより着脱自在に且つ外周が前記凹部内周に密着するように固定されており、回転台３１の凹部に固定された被照射体３６の上面は回転台３１の上面と略面一となる。そして、支持台３２は、支持台３２を貫通する一対のガイド棒３８および前記ガイド体３３により回転台３１の径方向に摺動可能にガイドされる。また、駆動ネジ３９が支持台３２を螺合した状態で貫通しており、駆動ネジ３９が図示しないモータで回転されると、支持台３２が移動する。
【００１４】
また、補助取付台４６が、前記一対のガイド棒３８およびガイド体３３にスライド可能に案内されている。なお、補助取付台４６は、駆動ネジ３９に対して遊嵌しており、駆動ネジ３９に妨げられずにスライド可能である。この補助取付台４６は支持台３２に位置調整ネジ棒４７で位置調整可能に取り付けられている。そのため、駆動ネジ３９が回転して、支持台３２がスライドすると、補助取付台４６は支持台３２と一体となってスライドする。そして、補助取付台４６の上側には、圧電素子４８を介してカバー部材としての補助台５１が取り付けられている。この圧電素子４８は高さ調整機構であり、圧電素子４８に電圧を加えることにより補助台５１の上面の高さ位置を調整することができる。補助台５１は、その一端面が平面図視で前記回転台３１に嵌合する円弧状（図３参照）をしており、位置調整ネジ棒４７を回転させて補助取付台４６を移動させることにより、図３Ａに図示する回転台３１の側面から離れた位置と、図３Ｂに図示する補助台５１の端面が回転台３１の側面に密着した位置との間を移動することができる。
【００１５】
そして、ポンプ６，７，９，２１，２２，２３は、その各接続用配管の太さ、ポンプの排気スピードおよびポンプ間のコンダクタンスが下記条件を満たすように設定されている。
条件：回転台３１上の被照射体３６と差動排気ブロック１１との隙間が略１０μｍの時に、ポンプ６，７，９，２１，２２，２３が駆動すると、電子光学鏡筒１内は略５×１０− 4Ｐａ（Ｐａはパスカル）になること。
【００１６】
この様に構成されている電子線照射装置で、略円形のＣＤの原盤やＤＶＤの原盤などの試料（すなわち被照射体３６）を露光する方法を以下に説明する。
まず始めに、図１および図２に図示するように、回転台３１上の被照射体３６の中心が電子光学鏡筒１の端部に対向している状態にあるとする。そして、位置調整ネジ棒４７を駆動して補助取付台４６を移動させ、補助台５１を回転台３１から離す。この状態で、ポンプ６，７，９，２１，２２，２３を駆動して、回転台３１上の被照射体３６と電子光学鏡筒１との間の気圧を低下させる。ついで、電子光学鏡筒１の電子銃から電子線を適宜照射するとともに、回転台３１を回転させながら、駆動ネジ３９を回転させて支持台３２を一定速度で移動させる。すると、被照射体３６の面上に渦巻き状に露光する。
【００１７】
露光が完了すると、被照射体３６を交換するが、その交換の際には、ポンプ６，７，９，２１，２２，２３の稼働を維持しながら、駆動ネジ３９を駆動して支持台３２を移動させて、被照射体３６を差動排気ブロック１１の外径の外側に位置させる。そして、被照射体３６が差動排気ブロック１１の外側へ移動する時に、電子光学鏡筒１内部に真空劣化が発生しないように、被照射体３６が差動排気ブロック１１の外側へ移動する前に、位置調整ネジ棒４７を駆動して、補助取付台４６を支持台３２に近づけて、図３Ａに図示する状態の補助台５１を、図３Ｂに図示する様に回転台３１の側面に密着させるとともに、圧電素子４８を駆動させて補助台５１の上面の高さを調整し、補助台５１の上面を被照射体３６の上面に対して略面一とする。したがって、被照射体３６が電子光学鏡筒１に対向している作動位置から、差動排気ブロック１１の外径の外側すなわち電子光学鏡筒１から離れた着脱位置に（図２において左側へ）移動した場合に、電子光学鏡筒１および差動排気ブロック１１の下方には、被照射体３６、回転台３１または補助台５１の何れかが常時位置しており、電子光学鏡筒１内部に真空劣化が発生することを極力防止することができる。そして、低加速高分解能であるＴＦＥエミッタの電流安定度は電子光学鏡筒１内部の真空度に依存しているため、電子光学鏡筒１内部の真空劣化の発生を阻止することにより、電子光学鏡筒１の電子線の電流安定度を維持することができる。
【００１８】
被照射体３６が着脱位置になると、新しい被照射体３６に交換する。この交換後、駆動ネジ３９を駆動して、被照射体３６、回転台３１および支持台３２を着脱位置から作業位置に移動させる。ついで、補助台５１が回転台３１の回転の妨げにならないように、位置調整ネジ棒４７を回転して、補助台５１を図３Ｂに図示する回転台３１に密着した状態から、図３Ａに図示する回転台３１から離れた状態とする。その後、新しく装着された被照射体３６を露光する。
【００１９】
前述の実施例１では、圧電素子４８で補助台５１の上面の高さ位置を微調整することができるので、補助台５１の上面を被照射体３６の上面や回転台３１の上面と略面一にして、真空劣化をより効率よく防止することができる。
【００２０】
（実施例２）
図４は本発明の電子線照射装置の実施例２の一部切欠正面図で、前記実施例１の図１に相当する図である。
図５は前記図４のＶ−Ｖ線断面図で、位置調整ネジ棒４７を締め付けた状態を示す図である。
図６は前記図５の位置調整ネジ棒４７を緩めた状態を示す図である。
なお、この実施例２の説明において、前記実施例１の構成要素に対応する構成要素には同一符号を付して、その詳細な説明は省略する。
図４〜図６において、支持台３２の軸３２ａを支持する一対の軸支持部３２ｂ，３２ｂが設けられている。この実施例２の補助取付台４６は、位置調整ネジ棒４７および一対のガイド棒３８が遊びを持って貫通している。そして、前記軸３２ａには補助取付台４６が小さな角度範囲で回転可能に支持されている。なお、前記回転軸３２ａは、図５、図６において前記回転台３１と補助台５１との対向部分の下方に配置されている。この場合、補助取付台４６および補助台５１が図５の状態から回転軸３２ａ回りに時計方向に回転したとき、補助台５１の図５で左端上端部は下方に移動する。
【００２１】
したがって、前記位置調整ネジ棒４７を締め付けた状態では、補助取付台４６は図５に示すように、水平位置に保持され、補助台５１の左端と回転台３１の右端とは接近した状態に保持されている。しかし、前記位置調整ネジ棒４７を緩めた状態では、補助取付台４６は図６に示すように、右端側が傾斜し、補助台５１の左端と回転台３１の右端とは離れて、回転台３１が自由に回転可能な状態に保持される。
このように、補助台５１ａ傾斜させることにより、前記実施例１と同様に、補助台５１の上面を被照射体３６の上面や回転台３１の上面と略面一にして、真空劣化をより効率よく防止することができる。
【００２２】
（実施例３）
図７は実施例３の電子線照射装置の一部切欠正面図である。
図８は図７のＶIII−ＶIII線断面図である。
図９は被照射体、回転台、支持台および補助板の平面図で、図９Ａは図８のIＶＡ−IＶＡ線断面図で補助板が被照射体と間隔を有している場合の図、図９Ｂは補助板が被照射体に密着している場合の図である。
なお、この実施例３の説明において、前記実施例１の構成要素に対応する構成要素には同一符号を付して、その詳細な説明は省略する。
【００２３】
実施例３の電子線照射装置では、実施例１の電子線照射装置の補助取付台４６、圧電素子４８および補助台５１は設けられていない。また、実施例３の電子線照射装置の回転台３１には、実施例１における回転台３１の凹部は設けられておらず、上面は平坦となっている。さらに、実施例３の電子線照射装置の支持台３２の上部には、上面が回転台３１の上面と略面一の張出部３２ｃが張り出している。この張出部３２ｃには、一対の細長いスライド孔３２ｄが形成されている。また、張出部３２ｃの上面には、カバー部材としての補助板６１が摺動可能に載置されている。この補助板６１は厚みが被照射体３６の厚みと略同じであり、補助板６１の上面は被照射体３６の上面と略面一となる。また、補助板６１の一端面は回転台３１上の被照射体３６の周面に密着できるように略円弧状（図９参照）をしている。さらに、補助板６１には２個のスライドピン６２が下方に突出しており、このスライドピン６２が支持台３２のスライド孔３２ｄにスライド可能に嵌まっている。そして、一個のスライドピン６２にはナット６３が螺合しており、ナット６３を締めることにより補助板６１の位置を固定することができる。また、このナット６３を緩めると、補助板６１は回転台３１の径方向にスライド可能となり、補助板６１は図９Ａに図示する被照射体３６の側面から離れた位置と、図９Ｂに図示する被照射体３６の側面に密着した位置との間を移動可能となる。
【００２４】
この様に構成されている実施例３の電子線照射装置で、略円形のＣＤの原盤やＤＶＤの原盤などの試料（すなわち被照射体３６）を露光する方法を以下に説明する。
まず始めに、図７および図８に図示するように、回転台３１上の被照射体３６の中心が電子光学鏡筒１の端部に対向している状態にあるとする。この状態で、実施例１と同様に、ポンプ６，７，９，２１，２２，２３を駆動して、回転台３１上の被照射体３６と電子光学鏡筒１との間の気圧を低下させる。ついで、電子光学鏡筒１の電子銃から電子線を適宜照射するとともに、回転台３１を回転させながら、駆動ネジ３９を回転させて支持台３２を一定速度で移動させる。すると、被照射体３６の面上に渦巻き状に露光する。
【００２５】
露光完了後における被照射体３６の交換の際には、ポンプ６，７，９，２１，２２，２３の稼働を維持しながら、駆動ネジ３９を駆動して支持台３２を移動させて、被照射体３６を差動排気ブロック１１の外径の外側に位置させる。この被照射体３６の移動時に、電子光学鏡筒１内部に真空劣化が発生しないように、被照射体３６の移動の前に、ナット６３を緩めて補助板６１を図９Ａに図示する位置から被照射体３６側に移動させ、図９Ｂに図示する被照射体３６の側面に密着した位置にする。そして、補助板６１の端面が被照射体３６の側面に密着すると、ナット６３を締めて補助板６１の位置を固定する。したがって、被照射体３６が電子光学鏡筒１に対向している作動位置から、差動排気ブロック１１の外径の外側すなわち電子光学鏡筒１から離れた着脱位置に移動した場合に、電子光学鏡筒１および差動排気ブロック１１の下方には、被照射体３６または補助板６１の何れかが常時位置しており、電子光学鏡筒１内部に真空劣化が発生することを極力防止することができる。
【００２６】
被照射体３６が着脱位置になると、新しい被照射体３６に交換する。この交換後、駆動ネジ３９を駆動して、被照射体３６、回転台３１および支持台３２を着脱位置から作業位置に移動させる。ついで、補助板６１が被照射体３６の回転の妨げにならないように、補助板６１を図９Ｂに図示する被照射体３６に密着した状態から、図９Ａに図示する被照射体３６から離れた状態とする。その後、新しく装着された被照射体３６を露光する。
【００２７】
前述の実施例３では、補助板６１は被照射体３６の側面に密着することができるので、被照射体３６の上面と回転台３１の上面とに段差がある場合にも、真空劣化を効率よく防止することができる。
【００２８】
以上、本発明の実施の形態を詳述したが、本発明は、前記実施の形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内で、種々の変更を行うことが可能である。本発明の変更例を下記に例示する。
（１）実施例１および実施例３の電子線照射装置は露光装置であるが、露光以外の他の用途に使用することも可能である。
（２）前記各実施例では、回転台を移動させる移動機構が駆動ネジ３９やガイド棒３８で構成されているが、他の構造でも可能である。また、回転台の位置を固定し、電子光学鏡筒および排気ブロックを移動させることにより、回転台を電子光学鏡筒に対して相対移動させることも可能である。
（３）実施例１では、被照射体３６の直径より回転台３１上面の直径が大きい場合について説明したが、回転台３１の上面の直径を被照射体３６の直径と等しくするか、小さくして、被照射体３６の側面にカバー部材５１を密着させるように構成することが可能である。
【００２９】
（４）補助台５１や補助板６１などのカバー部材は、その端面が回転台の側面や被照射体の側面に密着可能であることが好ましいが、必ずしも完全に密着する必要はなく、近接した状態であることも可能である。
（５）補助台５１や補助板６１などのカバー部材の移動構造は、前記各実施例の構造には限定されず、適宜変更可能である。
（６）カバー部材である補助台５１の高さ調整機構は、圧電素子４８以外のもので構成することも可能である。
（７）特許願２００１−０５４７４１号公報で報告されているようにカバー部材の上で予めフォーカス合わせを行うことも可能である。
【００３０】
【発明の効果】
本発明によれば、回転台の作業位置と着脱位置との移動の際に、電子光学鏡筒は被照射体、回転台またはカバー部材に対向しており、大気中に露出することなく、真空劣化を防止することができる。しかも、カバー部材が設けられているので、回転台の径を小さくすることができる。したがって、回転台を回転させるのに要する駆動力を小さくすることができるとともに、回転台の回転制御が不安定となることを防止することができる。
カバー部材が回転台または回転台の被照射体に対して移動可能であるので、回転台が回転する際には、回転台の側面または被照射体の側面とカバー部材との間に隙間を設け、回転台や被照射体の回転をカバー部材が妨げることを防止することができる。かつ、回転台が作業位置と着脱位置との間を移動する際には、カバー部材を回転台の側面または被照射体の側面に密着させて、カバー部材と回転台または被照射体との隙間をなくし、真空劣化を効率よく防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 図１は本発明の電子線照射装置の実施例１の一部切欠正面図である。
【図２】 図２は図１のII−II断面図である。
【図３】 図３は被照射体、回転台、支持台および補助台の平面図で、図３Ａは補助台が回転台と間隔を有している場合の図、図３Ｂは図２のIIIＢ−IIIＢ断面図で補助台が回転台に密着している場合の図である。
【図４】 図４は本発明の電子線照射装置の実施例２の一部切欠正面図で、前記実施例１の図１に相当する図である。
【図５】 図５は前記図４のＶ−Ｖ線断面図で、位置調整ネジ棒４７を締め付けた状態を示す図である。
【図６】 図６は前記図５の位置調整ネジ棒４７を緩めた状態を示す図である。
【図７】 図７は本発明の実施例３の電子線照射装置の一部切欠正面図である。
【図８】 図８は図７のＶIII−ＶIII線断面図である。
【図９】 図９は被照射体、回転台、支持台および補助板の平面図で、図９Ａは図８のIＶＡ−IＶＡ線断面図で補助板が被照射体と間隔を有している場合の図、図９Ｂは補助板が被照射体に密着している場合の図である。
【符号の説明】
１…電子光学鏡筒、１１…差動排気ブロック、３１…回転台、３６…被照射体、３８…ガイド棒（移動機構）、３９…駆動ネジ（移動機構）、５１…補助台（カバー部材）、６１…補助板（カバー部材）
Claims (4)
- 被照射体を着脱可能に固定する回転台と、
この回転台に固定された前記被照射体に電子線を照射する電子光学鏡筒と、
前記電子光学鏡筒と前記被照射体との隙間の空気を排気すべく電子光学鏡筒の端部に配置される排気ブロックと、
前記電子光学鏡筒に対して前記回転台を回転台の径方向に相対的にスライドさせて、回転台に固定されている被照射体が電子光学鏡筒に対向する作業位置と、回転台に固定されている被照射体が電子光学鏡筒から離れる着脱位置との間を移動させる移動機構と、
前記回転台が前記作業位置から前記着脱位置に移動する際に真空劣化の発生を防止すべく前記回転台の側面または前記回転台の被照射体の側面に近接または密着するとともに、回転台が着脱位置にある際に前記電子光学鏡筒に対向するカバー部材とを備えていることを特徴とする電子線照射装置。 - 前記回転台が回転する際には前記回転台の側面または前記回転台の被照射体の側面と前記カバー部材との間に隙間を設け、かつ、前記回転台の作業位置から着脱位置への移動の際には前記隙間を無くすべく、前記カバー部材が前記回転台または回転台の被照射体に対して移動可能であることを特徴とする請求項１記載の電子線照射装置。
- 被照射体を着脱可能に固定する回転台と、
この回転台に固定された前記被照射体に電子線を照射する電子光学鏡筒と、
前記電子光学鏡筒と前記被照射体との隙間の空気を排気すべく電子光学鏡筒の端部に配置される排気ブロックと、
前記電子光学鏡筒に対して前記回転台を回転台の径方向に相対的にスライドさせて、回転台に固定されている被照射体が電子光学鏡筒に対向する作業位置と、回転台に固定されている被照射体が電子光学鏡筒から離れる着脱位置との間を移動させる移動機構とを具備する電子線照射装置を用いて前記被照射体に電子線を照射する電子線照射方法において、
前記回転台が前記着脱位置にある際に前記電子光学鏡筒の側面に対向するカバー部材を設け、
前記回転台が前記作業位置から前記着脱位置に移動する際に真空劣化の発生を防止するため、前記カバー部材を前記回転台の側面または前記回転台の被照射体の側面に近接または密着させることを特徴とする電子線照射方法。 - 前記回転台が回転する際に前記回転台の側面または前記回転台の被照射体の側面と前記カバー部材との間に隙間を設け、かつ、前記回転台の作業位置から前記着脱位置へ移動する際には前記隙間を無くすべく、前記カバー部材が前記回転台または回転台の被照射体に対して近接または密着させることを特徴とする請求項３に記載の電子線照射方法。
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