JP4686385B2 - 走査電子顕微鏡 - Google Patents
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Description
B(z)を強く、かつその分布z幅が狭くできるため、従来にない低収差対物レンズが実現できる。これにより高分解能のSEM観察が可能になる。
D,zL)=(45,2,0)および(Dout,dout) =(20,60)である。試料は内側磁極13aの台面をz原点とし、その電子銃側手前0.5mm(つまり、z=−0.5)位置に置く。d=5,6,8,12はd/D=2.5,3,4,6 に対応する。Dout およびdout はDおよびdに比べては数倍以上大きく、図6や図7の特性カーブには余り影響を与えない。そこで、Cs,Cc,dおよびD間にはスケーリング則が成立し、そこでは、例えばd/Dをある特定値に固定してDを2倍に大きくすれば、Cs,Ccも2倍に増大することになる。図6において重要なポイントは、z=−2mm位置において、つまり円錐台磁極の台面から台径D離れた点Pを支点としてB(z)分布カーブはd/Dの増減
(2.5 ⇔6)に対しシーソの様に変化する。d/Dが小さくなるほど、B(z)分布は急峻になって分布幅が狭くなり、図7に示すように収差係数CsおよびCcも小さくなる。実配置の観点からは、外側磁極13bのその磁極断面を内側磁極側で薄くなるテーパ形状にして内側円錐台磁極の台を目指して最近接させるにはd/Dが4以下であることが必要であり、かつ、円錐台磁極の持つ低収差特徴を活かすにはDは6mm以下であることが必要である。領域D>6mmでは、条件d/D=2.5下でも(Cs,Cc)は(1.1,2.0)と大きくなり、従来対物レンズと同等になってくるからである。
13a1とその基部13a3とを内側磁極電気的絶縁部13a2を介して分離する。同様に外側磁極13bを試料側テーパ磁極13b1とその基部13b3とを外側磁極電気的絶縁部13b2を介して直流電位的に分離する。ただし、円錐端側部13a1とテーパ磁極13b1は、それぞれの基部とは磁気的には強く結合させてある。両基部を接地電位とし、一方、円錐端側部13a1とテーパ磁極13b1には電位Vdecel を印加する。また、試料12にも試料ホルダー(図示せず)を介して電位Vdecel を印加し、試料12の電子ビーム入射側近傍に入射電子ビーム用の穴を開けたメッシュ状あるいは板状の電位シールド板17を置き、通常、接地電位にする。この電位配置により、電子加速電位をVacc とすると、電子ビームは電位シールド板17と試料12間で減速され、試料12へは入射電圧はVacc−Vdecelになる。この減速電位でもレンズ作用が働き、収差係数Csおよび
Ccは小さくできる特長がある。例えば、zL が0の対物レンズにおいて錐電極台面から5mm離して電位シールド板17を、また試料12は0.5mm離して置いた場合、収差係数CsおよびCcはVdecel/Vaccに対し、図11のように振舞う。例えば、試料12への電子ビームの入射エネルギーを200eVにする場合において、電位シールド板17を働かさない場合、つまり(Vdecel,Vacc)=(0,−200)[単位:V]の時の(Cs,Cc)=(0.54,1.1)[単位:mm]であるが、電位シールド板17を働かして
(Vdecel ,Vacc )を(−1000,−800)とすると(Cs,Cc)は(0.30,0.39 )とそれぞれ(56,35)%に低減できる。このような低加速SEM観察においては、この減速モード動作がビーム性能を劣化させないので高分解能観察が可能になる。
Claims (6)
- 電子銃と、
当該電子銃から放出される電子線を加速する加速電極と、
加速された前記電子線を集束する第一の集束レンズと、
前記電子線のビームの不要な部分を除く対物レンズ絞りと、
前記対物レンズ絞りを通過した電子線を試料上に絞る第二の集束レンズと対物レンズと、
前記試料上に絞られた前記電子線を前記試料上で二次元的に走査する偏向コイルと、
前記試料から放出された二次電子または反射電子を検出する検出器と、
前記検出器で検出された検出信号が増幅されSEM画像として形成される像表示装置とを備えた走査電子顕微鏡において、
前記対物レンズは第一の対物レンズまたは第二の対物レンズであり、
前記第二の集束レンズと前記第一の対物レンズによる第一の組合せが用いられる前記加速電極に印加される加速電圧が0.5〜30kVの通常の観察モードと、前記第二の集束レンズと前記第二の対物レンズによる第二の組合せが用いられる前記加速電極に印加される加速電圧が0.5〜5kVの低加速時における高分解能観察モードとを切り替えるモード切り替え手段を備え、
前記第二の対物レンズは、前記電子線の理想光軸に沿って且つ前記電子銃に向かって磁極端面が形成される内側磁極と、当該内側磁極との間で前記電子線を集束する磁場を形成する外側磁極を有し、前記第一の組合せのときに前記試料を通過する高加速電圧の透過電子が通過する孔を有すると共に、当該内側磁極の前記電子銃側磁極端の前記理想光軸と垂直な方向の径Dが6mm以下であって、且つ前記外側磁極の前記電子線通過開口径dと前記径Dとの関係が、d/D≦4となるように構成され、
前記電子銃と前記内側磁極との間に試料を配置したことを特徴とする走査電子顕微鏡。 - 請求項1の記載において、
上記第二の対物レンズを構成する上記内側磁極と上記外側磁極の両磁極は、上記試料に対し上記電子銃側と反対側にあって、
上記内側磁極はその試料側端が円錐台形状であり、
一方、上記外側磁極においては、該レンズ軸を含むその磁極断面が上記内側円錐台磁極に向かうテーパ形状で、その円錐台磁極の円錐側面に最近接することを特徴とした走査電子顕微鏡。 - 上記内側磁極と外側磁極の両端面間の光軸上距離が上記内側磁極の端面外径D以下であることを特徴とする請求項2に記載の走査電子顕微鏡。
- 上記試料から発生する二次電子信号の検出器が上記第一の対物レンズの外側磁極に対し電子銃側に設置されていることを特徴とする請求項2に記載の走査電子顕微鏡。
- 上記第二の対物レンズの内側磁極と外側磁極のそれぞれの上記試料側部がそれらの基部とは直流電位的に分離された構造であることを特徴とする請求項2に記載の走査電子顕微鏡。
- 上記電子銃が電界放出形であることを特徴とする請求項2に記載の走査電子顕微鏡。
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