JP2008147013A - 走査電子顕微鏡 - Google Patents
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Abstract
対物レンズの間隙からの漏洩磁場が試料から発生した電子に影響が出ないようにして、検出器で検出される電子の検出効率を低下させないようにする。
【解決手段】
電子源で発生した一次電子を加速させる磁極兼電極と、該磁極兼電極を含み磁極兼電極と他の磁極との間が電気的および磁気的に絶縁された間隙とを有し、該間隙と、電子の検出器の検出面との中間位置に、対物レンズと同心となる補助コイルを配置し、補助コイルに対物レンズコイルに流れる電流とは逆向きの電流を流す構成とした。
【選択図】図1
Description
11と第二集束レンズ7との間であって間隙11aに隣接して、補助コイル10が配置されている。補助コイル10に流れる電流は、補助コイル制御電源35により制御される。
14の検出効率の低下を防止することができる。
12と補助コイル10とを、対物レンズ制御電源36のみで制御することが可能となり、補助コイル制御電源35は不要となる。
9 検出器
10 補助コイル
11 対物レンズ
11a 間隙
11b 磁極兼電極
12 対物レンズコイル
13 試料
14 二次電子
15 反射電子
16 反射板
20 漏洩磁場
21 磁場
35 補助コイル制御電源
36 対物レンズ制御電源
50 マイクロプロセッサ
Claims (6)
- 電子源で発生した一次電子を加速させる磁極兼電極と、該磁極兼電極を含み該磁極兼電極と他の磁極との間が電気的および磁気的に絶縁された間隙とを有し、前記一次電子を試料上へ細く絞る対物レンズと、
前記一次電子が前記試料へ照射されて該試料から発生する電子を検出する検出器と、該検出器の検出面と前記間隙との中間位置に設けられ、前記対物レンズのコイルと同心である補助コイルと
を備えたことを特徴とする走査電子顕微鏡。 - 請求項1の記載において、前記対物レンズのコイルに流す電流の向きと前記補助コイルに流す電流の向きが反対であることを特徴とする走査電子顕微鏡。
- 請求項1の記載において、前記補助コイルは前記対物レンズの間隙で発生する漏洩磁場を打ち消す作用を有することを特徴とする走査電子顕微鏡。
- 請求項1の記載において、前記補助コイルに流れる電流は、前記対物レンズのコイルに流れる電流に比例するように制御することを特徴とする走査電子顕微鏡。
- 請求項1の記載において、前記補助コイルと前記対物レンズコイルは同一の電源から電流が供給されることを特徴とする走査電子顕微鏡。
- 請求項1の記載において、前記補助コイルと前記対物レンズコイルは電気的に直列に接続され、電流が互いに逆向きに流れるように構成したことを特徴とする走査電子顕微鏡。
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