JP2007335125A - 電子線装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】電子銃により発生させた一次電子ビームを試料に照射し、試料から放出される二次電子を写像投影光学系により検出器に結像させる電子線装置。電子銃61は、カソード1及び引出電極3を有し、カソードの電子放出面1aは、凹面である。引出電極3は、カソードの電子放出面1aに向かい合う第2の球の部分外面からなる凸面3a及び電子を通すための凸面を貫通する穴73を有する。引出電極3と試料の間に多極子の非点発生レンズ44を備える。
【選択図】図2
Description
(Rc−Ra)<L<Rc (1)
を満たす様にした。
2Rc<L+Ra (2)
を満たすようにした。
2Ra<Rc−L (3)
を満たすようにした。
Claims (8)
- 電子銃により発生させた一次電子ビームを試料に照射し、試料から放出される二次電子を写像投影光学系により検出器に結像させる電子線装置において、前記電子銃は、カソード及び引出電極を有し、該カソードの電子放出面は、凹面であることを特徴とする電子線装置。
- 請求項1に記載の電子線装置において、前記カソードの電子放出面は、第1の球の部分内面からなり、前記引出電極は、カソードの電子放出面に向かい合う第2の球の部分外面からなる凸面及び電子を通すための凸面を貫通する穴を有し、カソードの電子放出面と引出電極の凸面との間の軸線方向の距離L、第1の球の曲率半径Rc、及び第2の球の曲率半径Raの関係が、
(Rc−Ra)<Lであることを特徴とする電子線装置。 - 請求項1に記載の電子線装置において、前記カソードの電子放出面は、第1の球の部分内面からなり、前記引出電極は、カソードの電子放出面に向かい合う第2の球の部分外面からなる凸面及び電子を通すための凸面を貫通する穴を有し、カソードの電子放出面と引出電極の凸面との間の軸線方向の距離L、第1の球の曲率半径Rc、及び第2の球の曲率半径Raの関係が、
(Rc−Ra)<L<Rc
であることを特徴とする電子線装置。 - 請求項1乃至3のいずれか1項に記載の電子線装置において、前記一次電子ビームは、ビーム偏向器を介して試料に照射され、前記写像投影光学系は、対物レンズ、NA開口、ビーム偏向器の磁界が二次電子へ作用するのを防止するためのシールド筒、拡大レンズ、及び軸合わせ偏向器を含み、前記検出器は、EBCCD検出器又はEBTDI検出器であることを特徴とする電子線装置。
- 電子銃により発生させた一次電子ビームを試料に照射する電子線装置において、前記電子銃は、カソード及び引出電極を有し、前記カソードは、第1の球の部分内面からなる電子放出面を有し、前記引出電極は、カソードの電子放出面に向かい合う第2の球の部分外面からなる凸面及び電子を通すための凸面を貫通する穴を有し、前記引出電極と試料の間に多極子の非点発生レンズを含むことを特徴とする電子線装置。
- 請求項5に記載の電子線装置において、カソードの電子放出面と引出電極の凸面との間の軸線方向の距離L、第1の球の曲率半径Rc、及び第2の球の曲率半径Raの関係が、
2Rc<L+Raであることを特徴とする電子線装置。 - 請求項5に記載の電子線装置において、カソードの電子放出面と引出電極の凸面との間の軸線方向の距離L、第1の球の曲率半径Rc、及び第2の球の曲率半径Raの関係が、
2Ra<Rc−Lであることを特徴とする電子線装置。 - 請求項5乃至7のいずれか1項に記載の電子線装置において、前記一次電子ビームは、コンデンサレンズ、FA開口、投影レンズ、軸合わせ偏向器、ビーム偏向器、及び対物レンズを介して試料に照射され、試料から放出される二次電子が写像投影光学系により検出器に結像され、該写像投影光学系は、対物レンズ、NA開口、ビーム偏向器の磁界が二次電子へ作用するのを防止するためのシールド筒、拡大レンズ、及び軸合わせ偏向器を含み、前記検出器は、EBCCD検出器又はEBTDI検出器であることを特徴とする電子線装置。
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