JP5439498B2 - 電子顕微鏡 - Google Patents
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Description
、図3(b)に示すような磁性体が試料表面に対して段差を持った形状ならば、等電位線は試料表面とは平行にならず電位勾配が発生してビームドリフト発生の要因となりうる。したがって、磁性体の形状は試料に対向する面が、段差のない、平らな構造であることが望ましい。なお、試料に対向しない面は試料表面の電位分布に影響を与えないので段差や傾斜があっても良い。
Claims (17)
- 電子源と、
前記電子源から放出された電子線を収束する対物レンズと、
前記電子線を試料に照射することによって該試料から発生する二次信号によって像を得る電子顕微鏡において、
前記対物レンズと前記試料との間に、前記対物レンズを構成する上側磁極の内径より大きくかつ連続した内径を有する磁性体を設けたことを特徴とする電子顕微鏡。 - 請求項1に記載の電子顕微鏡において、
前記磁性体は、ほぼ中心に電子線が通過する回転対称な開口部を持つことを特徴とする電子顕微鏡。 - 請求項1に記載の電子顕微鏡において、
前記磁性体は平板であることを特徴とする電子顕微鏡。 - 請求項1に記載の電子顕微鏡において、
前記磁性体の外径は前記対物レンズを構成する下側磁極の内径より大きいことを特徴とする電子顕微鏡。 - 請求項1に記載の電子顕微鏡において、
前記磁性体が純鉄又はパーマロイであることを特徴とする電子顕微鏡。 - 請求項1に記載の電子顕微鏡において、
前記磁性体と前記対物レンズとの中心軸がほぼ一致するように配置することを特徴とする電子顕微鏡。 - 請求項1〜6のいずれかに記載の電子顕微鏡において、
前記対物レンズと前記試料との間に、前記磁性体の他に非磁性体を設置することを特徴とする電子顕微鏡。 - 請求項7に記載の電子顕微鏡において、
前記非磁性体はほぼ中心に電子線が通過する回転対称な開口部を有することを特徴とする電子顕微鏡。 - 請求項7に記載の電子顕微鏡において、
前記非磁性体は平板であることを特徴とする電子顕微鏡。 - 請求項7に記載の電子顕微鏡において、
前記非磁性体の内径は、前記対物レンズを構成する上側磁極の内径より小さいことを特徴とする電子顕微鏡。 - 請求項7に記載の電子顕微鏡において、
前記非磁性体の外径が、前記磁性体の外径より大きいことを特徴とする電子顕微鏡。 - 請求項7に記載の電子顕微鏡において、
前記非磁性体は、前記磁性体より前記試料側に設置されることを特徴とする電子顕微鏡。 - 請求項7に記載の電子顕微鏡において、
前記非磁性体は前記磁性体を収容するためのトレンチを有し、
前記トレンチに前記磁性体が配置されていることを特徴とする電子顕微鏡。 - 請求項7に記載の電子顕微鏡において、
前記対物レンズと前記非磁性体と前記磁性体のそれぞれの中心軸が略一致するように配置されたことを特徴とする電子顕微鏡。 - 請求項7に記載の電子顕微鏡において、
前記電子線は、前記対物レンズと前記磁性体からなる磁界レンズの中心と、前記対物レンズと前記非磁性体からなる静電レンズの中心の間を通ることを特徴とする電子顕微鏡。 - 請求項1〜15のいずれか1項に記載の電子顕微鏡において、
走査型電子顕微鏡であることを特徴とする電子顕微鏡。 - 試料を検査計測するために使用される電子顕微鏡における電子レンズであって、対物レンズと試料の間に、前記対物レンズを構成する上側磁極の内径より大きくかつ連続した内径を有する磁性体が設置されていることを特徴とする電子レンズ。
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