JPH11329319A - 電子ビーム装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】走査型電子顕微鏡等のような電子ビーム装置に
関し、装置の簡素化、小型化、低価格化を図る。 【解決手段】超音波モータ３０を使用して電子銃室密閉
機構を構成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、走査型電子顕微鏡
などのような電子ビーム装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、電子ビーム装置では、試料交換
時、電子銃室を構成するハウジングに設けられている電
子ビーム通過孔を、摺動機構を持つバルブで閉塞して電
子銃室を密閉し、電子銃室が大気により汚染されない状
態にした後に、試料室を大気開放して試料交換を行うよ
うにしており、バルブの開閉の駆動力は、ベローズを介
して試料室外から与えていた。電子ビーム絞り孔の変更
も同様な機構において行われていた。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】このような従来の電子
ビーム装置では、バルブの移動範囲量の割にはベローズ
の占める体積が余りに大きくなってしまうと共に、ベロ
ーズの伸縮に要する力を補うために、より大きな駆動装
置が必要となってしまい、装置の簡素化、小型化、低価
格化を図ることができないという問題点があった。

【０００４】本発明は、かかる点に鑑み、装置の簡素
化、小型化、低価格化を図ることができるようにした電
子ビーム装置を提供することを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明中、第１の発明
は、電子銃室密閉機構を備える電子ビーム装置におい
て、電子銃室密閉機構は、駆動部及び被駆動部で電子銃
室を密閉する超音波モータを備えて構成されているとい
うものである。

【０００６】本発明中、第１の発明によれば、電子銃室
密閉機構は、駆動部及び被駆動部で電子銃室を密閉する
超音波モータを備えて構成するとしているので、電子銃
室密閉機構の簡素化、小型化、低価格化を図ることがで
きる。

【０００７】本発明中、第２の発明は、電子ビーム絞り
孔機構を備える電子ビーム装置において、電子ビーム絞
り孔機構は、駆動部又は被駆動部に電子ビーム絞り孔を
有する超音波モータを備えて構成されているというもの
である。

【０００８】本発明中、第２の発明によれば、電子ビー
ム絞り孔機構は、駆動部又は被駆動部に電子ビーム絞り
孔を有する超音波モータを備えて構成するとしているの
で、電子ビーム絞り孔機構の簡素化、小型化、低価格化
を図ることができる。

【０００９】本発明中、第３の発明は、電子銃室粗排気
用バルブ機構を備える電子ビーム装置において、電子銃
室粗排気用バルブ機構は、駆動部及び被駆動部に、連通
させることができる電子銃室粗排気孔を有する超音波モ
ータを備えて構成されているというものである。

【００１０】本発明中、第３の発明によれば、電子銃室
粗排気用バルブ機構は、駆動部及び被駆動部に、連通さ
せることができる電子銃室粗排気孔を有する超音波モー
タを備えているので、電子銃室粗排気用バルブ機構の簡
素化、小型化、低価格化を図ることができる。

【００１１】本発明中、第４の発明は、第３の発明にお
いて、超音波モータの駆動部及び被駆動部は、駆動部と
被駆動部との相対位置を変えることにより、使用する電
子銃室粗排気孔の数を変化させることができるように複
数の電子銃室粗排気孔を有しているというものである。

【００１２】本発明中、第４の発明によれば、第３の発
明と同様の作用を得ることができると共に、駆動部と被
駆動部の相対位置を変化させることにより、使用する電
子銃室粗排気孔の数を変化させることができるので、電
子銃室と試料室との間のコンダクタンスを可変とするこ
とができる。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下、図１〜図２１を参照して、
本発明の第１実施形態〜第３実施形態について、本発明
を走査型電子顕微鏡に適用した場合を例にして説明す
る。

【００１４】第１実施形態・・図１〜図５ 図１は本発明の第１実施形態の概念図である。図１中、
１は装置本体、２は試料室、３は試料を保持するために
試料室２の床に設置された試料ステージ、４は試料ステ
ージ３に保持された試料である。

【００１５】また、５は試料室２の天井側に設置された
水平方向（Ｘ軸方向及びＹ軸方向）に移動可能とされた
ＸＹステージ、６はＸＹステージ５の下側に垂直方向
（Ｚ軸方向）に移動可能とされたＺステージである。

【００１６】また、７はＺステージ６に固定された片持
ち式の電子ビーム照射装置保持部材、８は試料４に電子
ビーム９を照射するために電子ビーム照射装置保持部材
７の保持された電子ビーム照射装置である。

【００１７】図２は電子ビーム照射装置８の構成を示す
概略的断面図である。図２中、１１は電子銃室、１２は
鏡筒部であり、１３は電子銃台座、１４は電子銃台座と
ともに電子銃室１１を構成するハウジング部材、１５は
鏡筒部１２を構成するハウジング部材である。

【００１８】また、１６は電子銃台座１３に取り付けら
れて電子銃室１１内に設置された電子銃であり、１７は
ハウジング兼サプレッサ電極、１８、１９は電子銃１６
の中空部を排気するためにハウジング兼サプレッサ電極
１７に設けられた通気孔である。

【００１９】また、２０は電子ビームを発生させるため
のカソード、２１は電子ビームを加速するためのアノー
ド、２２〜２５は電子銃１６に必要な電圧を導入するた
めの導入端子であり、これら導入端子２２〜２５は、ハ
ーメチックシールで気密封止されている。

【００２０】また、２６は電子銃１６から射出される電
子ビームの軌道を確保するためにハウジング部材１４の
下部の中央に形成された電子ビーム通過孔、２７は電子
銃室１１を排気して超高真空（１×１０^-5Ｐa以下)にす
るためのスパッタイオンポンプである。

【００２１】また、鏡筒部１２において、２８は電子銃
１６から射出されてハウジング部材１４に形成された電
子ビーム通過孔２６及び後述する超音波モータに形成さ
れた電子ビーム通過孔を通過した電子ビームの偏向を行
う偏向器、２９は偏向器２８を通過した電子ビームの絞
り込みを行う対物レンズである。

【００２２】また、３０は試料４の交換時に必要とされ
る電子銃室密閉機構を構成するためにハウジング部材１
４の下部の一部とハウジング部材１５の上部の一部との
間に設置された回転型の超音波モータである。

【００２３】超音波モータ３０において、３１はモータ
構成上の駆動部、３２はモータ構成上の被駆動部である
が、被駆動部３２は、ハウジング部材１４と一体とされ
ており、駆動部３１が回転するようにされている。

【００２４】また、３３は被駆動部３２に取り付けられ
た位置センサであり、駆動部３１の回転位置を駆動部３
１に形成されているスリットを計数することにより検出
するものである。

【００２５】図３は超音波モータ３０の構成を示す概略
的分解斜視図であり、図３中、駆動部３１において、３
５はシャフト挿通孔、３６は電子ビーム通過孔、３７は
Ｏリングである。

【００２６】また、被駆動部３２において、３８はシャ
フト挿通孔、３９は駆動部３１の電子ビーム通過孔３６
と連通させることができるように形成された電子ビーム
通過孔である。

【００２７】また、４０は被駆動部３２のシャフト挿通
孔３８及び駆動部３１のシャフト挿通孔３５に挿通させ
るシャフト、４１はシャフト４０を固定するための止め
輪である。

【００２８】また、図１において、４３は電子ビーム照
射装置８に対して必要な電圧を供給することにより試料
４に対する電子ビーム９の照射を制御する電子ビーム照
射制御部である。

【００２９】また、４４はスパッタイオンポンプ２７に
対して必要な電圧を供給するスパッタイオンポンプ電
源、４５は超音波モータ３０を制御する超音波モータ制
御部である。

【００３０】また、４６は電子ビーム９の照射により試
料４から発生する２次電子を検出する検出器、４７は検
出器４６を制御する検出器制御部である。

【００３１】また、４８は試料室２を排気して高真空
（１×１０^-3Ｐa以下）にするためのターボ分子ポン
プ、４９はターボ分子ポンプ４８の補助ポンプであるロ
ータリーポンプである。

【００３２】このように構成された本発明の第１実施形
態においては、電子銃室１１の粗排気時には、図４に示
すように、電子ビーム通過孔３９、３６が連通する位置
に駆動部３１の回転位置を制御する。このようにする
と、電子ビーム通過孔３９、３６を介して電子銃室１１
の粗排気を行うことができる。

【００３３】また、試料４に対する電子ビーム照射時に
は、同じく図４に示すように、電子ビーム通過孔３９、
３６が連通する位置に駆動部３１の回転位置を制御す
る。このようにすると、電子銃１６から射出された電子
ビーム９を電子ビーム通過孔３９、３６を通過させて試
料４に照射することができる。

【００３４】また、試料４の交換時には、図５に示すよ
うに、電子ビーム通過孔３９がＯリング３７の部分で完
全に閉塞されるように駆動部３１の回転位置を制御す
る。このようにすると、電子銃室１１を密閉することが
でき、試料室２を大気開放しても、電子銃室１１を超高
真空状態に維持し、電子銃室１１が大気により汚染され
ないようにすることができる。

【００３５】このように、本発明の第１実施形態によれ
ば、超音波モータ３０を使用して電子銃室密閉機構を構
成するとしたことにより、試料室２の外部に電子銃室密
閉機構を構成するためのバルブ駆動手段を設ける必要が
なく、試料室２の壁に電子銃室密閉機構を構成するため
のベローズを設置する必要がないので、電子銃室密閉機
構の簡素化、小型化、低価格化を図り、装置の簡素化、
小型化、低価格化を図ることができる。

【００３６】なお、本発明の第１実施形態においては、
電子ビーム絞り孔機構を別個に設ける必要があるが、電
子ビーム絞り孔機構を別個に設けるとしても、電子銃室
密閉機構の簡素化、小型化、低価格化を図ることができ
るので、従来の電子ビーム装置では図ることができない
装置の簡素化、小型化、低価格化を図ることができる。

【００３７】また、本発明の第１実施形態においては、
被駆動部３２が上側、駆動部３１が下側となるように、
超音波モータ３０を電子ビーム照射装置８に設置するよ
うにした場合について説明したが、この代わりに、駆動
部３１が上側、被駆動部３２が下側となるようにし、か
つ、駆動部３１を不動とし、被駆動部３２を回転させる
ように、超音波モータ３０を電子ビーム照射装置８に設
置するようにしても良い。

【００３８】第２実施形態・・図６〜図１５ 図６は本発明の第２実施形態の概念図であり、本発明の
第２実施形態は、図１に示す本発明の第１実施形態が備
える電子ビーム照射装置８と構成の異なる電子ビーム照
射装置５０を備えるようにし、その他については、本発
明の第１実施形態と同様に構成したものである。

【００３９】図７は本発明の第２実施形態が備える電子
ビーム照射装置５０の構成を示す概略的断面図であり、
電子ビーム照射装置５０は、本発明の第１実施形態が備
える電子ビーム照射装置８が備える回転型の超音波モー
タ３０と構成の異なる回転型の超音波モータ５１を備え
るようにし、その他については、電子ビーム照射装置８
と同様に構成したものである。

【００４０】図７中、超音波モータ５１において、５２
は駆動部、５３は被駆動部であり、超音波モータ５０
は、駆動部５２を不動とし、被駆動部５３が回転するよ
うに設置されている。

【００４１】また、５４は被駆動部５３に取り付けられ
た位置センサであり、被駆動部５３の回転位置を駆動部
５２に形成されているスリットを計数することにより検
出するものである。

【００４２】図８は超音波モータ５１の構成を示す概略
的分解斜視図、図９は駆動部５２の概略的平面図、図１
０は被駆動部５３の概略的平面図である。

【００４３】図８及び図９中、駆動部５２において、５
４はシャフト挿通孔、５５は電子銃室粗排気孔としても
使用される電子ビーム通過孔、５６、５７は電子銃室粗
排気孔である。

【００４４】図８及び図１０中、被駆動部５３におい
て、５８はシャフト挿通孔、５９は電子ビーム絞り孔、
６０は径を電子ビーム絞り孔５９よりも大とする電子ビ
ーム絞り孔、６１は電子ビーム通過孔、６２、６３、６
４は電子銃室粗排気孔である。

【００４５】図８中、６５は駆動部５２のシャフト挿通
孔５４及び被駆動部５３のシャフト挿通孔５８に挿通さ
せるシャフト、６６はシャフト６５を固定するための止
め輪である。

【００４６】このように構成された本発明の第２実施形
態においては、電子銃室１１の粗排気時には、図１１に
示すように、電子銃室粗排気孔５６と電子銃室粗排気孔
６２、電子ビーム通過孔５５と電子銃室粗排気孔６３、
電子銃室粗排気孔５７と電子銃室粗排気孔６４とが、そ
れぞれ、連通するように被駆動部５３の回転位置を制御
する。このようにすると、電子銃室１１と試料室２との
間のコンダクタンスを大きくし、電子銃室１１の粗排気
を高速に行うことができる。

【００４７】また、試料４に対する電子ビーム照射時
に、電子ビーム通過孔６１を使用する場合には、図１２
に示すように、電子ビーム通過孔５５と電子ビーム通過
孔６１とが連通するように被駆動部５３の回転位置を制
御する。このようにすると、電子銃１６から射出された
電子ビーム９を電子ビーム通過孔５５、６１を通過させ
て試料４に照射することができる。

【００４８】また、試料４に対する電子ビーム照射時
に、電子ビーム絞り孔５９を使用する場合には、図１３
に示すように、電子ビーム通過孔５５と電子ビーム絞り
孔５９とが連通するように被駆動部５３の回転位置を制
御する。このようにすると、電子銃１６から射出された
電子ビーム９を電子ビーム絞り孔５９で絞り、試料４に
照射することができる。

【００４９】また、試料４に対する電子ビーム照射時
に、電子ビーム絞り孔６０を使用する場合には、図１４
に示すように、電子ビーム通過孔５５と電子ビーム絞り
孔６０とが連通するように被駆動部５３の回転位置を制
御する。このようにすると、電子銃１６から射出された
電子ビーム９を電子ビーム絞り孔６０で絞り、試料４に
照射することができる。

【００５０】また、試料４の交換時には、図１５に示す
ように、電子ビーム通過孔５５及び電子銃室粗排気孔５
６、５７が被駆動部５３により完全に閉塞されるように
被駆動部５３の回転位置を制御する。このようにする
と、電子銃室１１を密閉することができ、試料室２を大
気開放しても、電子銃室１１を超高真空状態に維持する
ことができ、電子銃室１１が大気により汚染されないよ
うにすることができる。

【００５１】このように、本発明の第２実施形態によれ
ば、超音波モータ５１を使用して電子銃室密閉機構を構
成するとしたことにより、試料室２の外部に電子銃室密
閉機構を構成するためのバルブ駆動手段を設ける必要が
なく、試料室２の壁に電子銃室密閉機構を構成するため
のベローズを設置する必要がないので、電子銃室密閉機
構の簡素化、小型化、低価格化を図ることができると共
に、超音波モータ５１の被駆動部５３に径の異なる電子
ビーム絞り孔５９、６０を設け、超音波モータ５１に電
子ビーム絞り孔機構を併せ持たせるようにし、別個に電
子ビーム絞り孔機構を設ける必要がないようにしている
ので、本発明の第１実施形態以上に装置の簡素化、小型
化、低価格化を図ることができる。

【００５２】また、超音波モータ５１の駆動部５２に電
子ビーム通過孔５５及び電子銃室粗排気孔５６、５７を
設け、被駆動部５３に電子ビーム通過孔５５及び電子銃
室粗排気孔５６、５７に連通させることができる電子銃
室粗排気孔６３、６２、６４を設けているので、電子銃
室１１の粗排気時に、電子銃室１１と試料室２との間の
コンダクタンスを大きくし、電子銃室１１の粗排気を高
速に行うことができる。

【００５３】なお、電子銃室１１の粗排気時に、被駆動
部５３の駆動部５２に対する位置の取り方によっては、
電子ビーム通過孔５５及び電子銃室粗排気孔５６、５７
のうち、１個又は２個の孔を使用することができる。即
ち、本発明の第２実施形態においては、電子銃室１１と
試料室２との間のコンダクタンスを可変とすることがで
きるように構成されている。

【００５４】なお、本発明の第２実施形態においては、
駆動部５２が上側、被駆動部５３が下側となるように、
超音波モータ５１を電子ビーム照射装置８に設置するよ
うにした場合について説明したが、この代わりに、被駆
動部５３に電子ビーム通過孔及び電子銃室粗排気孔を形
成すると共に、駆動部５２に電子銃室粗排気孔、電子ビ
ーム絞り孔及び電子ビーム通過孔を形成し、被駆動部５
３が上側、駆動部５２が下側となるように、かつ、駆動
部５２が回転するように超音波モータ５１を電子ビーム
照射装置５０に設置するようにしても良い。

【００５５】第３実施形態・・図１６〜図２１ 本発明の第３実施形態は、図１に示す本発明の第１実施
形態が備える回転型の超音波モータ３０の代わりに、図
１６及び図１７にそれぞれ概略的斜視図及び概略的分解
斜視図を示すような直動型の超音波モータ６７を備える
ようにし、その他については、本発明の第１実施形態と
同様に構成するというものである。

【００５６】図１６又は図１７において、６８はモータ
構成上の駆動部であり、６９は電子ビーム通過孔、７０
は電子ビーム絞り孔、７１は径を電子ビーム絞り孔７０
よりも大とする電子ビーム絞り孔、７２はフラットロー
ラである。

【００５７】また、７３はモータ構成上の被駆動部であ
り、７４は電子ビーム通過孔である。なお、被駆動部７
３は、ハウジング部材１４と一体とされており、駆動部
６８がスライドするように設置される。

【００５８】このような超音波モータ６７を設置した本
発明の第３実施形態においては、電子銃室１１の粗排気
時には、図１８に示すように、電子ビーム通過孔７４、
６９が連通する位置に駆動部６８のスライド位置を制御
する。このようにすると、電子ビーム通過孔７４、６９
を介して電子銃室１１の粗排気を行うことができる。

【００５９】また、試料４に対する電子ビーム照射時
に、電子ビーム通過孔６９を使用する場合には、同じく
図１８に示すように、電子ビーム通過孔７４、６９が連
通する位置に駆動部６８のスライド位置を制御する。こ
のようにすると、電子銃１６から射出された電子ビーム
９を電子ビーム通過孔７４、６９を通過させて試料４に
照射することができる。

【００６０】また、試料４に対する電子ビーム照射時
に、電子ビーム絞り孔７０を使用する場合には、図１９
に示すように、電子ビーム通過孔７４と電子ビーム絞り
孔７０とが連通するように駆動部６８のスライド位置を
制御する。このようにすると、電子銃１６から射出され
た電子ビーム９を電子ビーム絞り孔７０で絞り、試料４
に照射することができる。

【００６１】また、試料４に対する電子ビーム照射時
に、電子ビーム絞り孔７１を使用する場合には、図２０
に示すように、電子ビーム通過孔７４と電子ビーム絞り
孔７１とが連通するように駆動部６８のスライド位置を
制御する。このようにすると、電子銃１６から射出され
た電子ビーム９を電子ビーム絞り孔７１で絞り、試料４
に照射することができる。

【００６２】また、試料４の交換時には、図２１に示す
ように、電子ビーム通過孔７４が駆動部６８により完全
に閉塞されるように駆動部６８のスライド位置を制御す
る。このようにすると、電子銃室１１を密閉することが
でき、試料室２を大気開放しても、電子銃室１１を超高
真空状態に維持し、電子銃室１１が大気により汚染され
ないようにすることができる。

【００６３】このように、本発明の第３実施形態によれ
ば、超音波モータ６７を使用して電子銃室密閉機構を構
成するとしたことにより、試料室２の外部に電子銃室密
閉機構を構成するためのバルブ駆動手段を設ける必要が
なく、試料室２の壁に電子銃室密閉機構を構成するため
のベローズを設置する必要がないので、電子銃室密閉機
構の簡素化、小型化、低価格化を図ることができると共
に、超音波モータ６７の駆動部６８に径の異なる電子ビ
ーム絞り孔７０、７１を形成し、超音波モータ６７に電
子ビーム絞り孔機構を併せ持たせるようにし、別個に電
子ビーム絞り孔機構を設ける必要がないようにしている
ので、本発明の第１実施形態以上に装置の簡素化、小型
化、低価格化を図ることができる。

【００６４】なお、本発明の第３実施形態においては、
被駆動部７３が上側、駆動部６８が下側となるように超
音波モータ６７を電子ビーム照射装置に設置するように
した場合について説明したが、この代わりに、被駆動部
７３に電子ビーム通過孔及び電子ビーム絞り孔を形成す
ると共に、駆動部６８に電子ビーム通過孔を形成し、駆
動部６８が上側、被駆動部７３が下側となるように、か
つ、被駆動部７３がスライドするように超音波モータ６
７を電子ビーム照射装置に設置するようにしても良い。

【００６５】

【発明の効果】本発明中、第１の発明によれば、電子銃
密閉機構は、駆動部及び被駆動部で電子銃室を密閉する
超音波モータを備えて構成するとしたことにより、電子
銃室密閉機構の簡素化、小型化、低価格化を図ることが
できるので、装置の簡素化、小型化、低価格化を図るこ
とができる。

【００６６】本発明中、第２の発明によれば、電子ビー
ム絞り孔機構は、駆動部又は被駆動部に電子ビーム絞り
孔を有する超音波モータを備えて構成するとしたことに
より、電子ビーム絞り孔機構の簡素化、小型化、低価格
化を図ることができるので、装置の簡素化、小型化、低
価格化を図ることができる。

【００６７】本発明中、第３の発明によれば、電子銃室
粗排気用バルブ機構は、駆動部及び被駆動部に、連通さ
せることができる電子銃室粗排気孔を有する超音波モー
タを備えて構成するとしたことにより、電子銃室粗排気
用バルブ機構の簡素化、小型化、低価格化を図ることが
できるので、装置の簡素化、小型化、低価格化を図るこ
とができる。

【００６８】本発明中、第４の発明によれば、第３の発
明と同様の効果を得ることができると共に、電子銃室と
試料室との間のコンダクタンスを可変とすることがで
き、利便性を高めることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施形態の概念図である。

【図２】本発明の第１実施形態が備える電子ビーム照射
装置の構成を示す概略的断面図である。

【図３】本発明の第１実施形態が備える超音波モータの
構成を示す概略的分解斜視図である。

【図４】本発明の第１実施形態が備える超音波モータの
制御例を説明するための概略的断端面図である。

【図５】本発明の第１実施形態が備える超音波モータの
制御例を説明するための概略的断端面図である。

【図６】本発明の第２実施形態の概念図である。

【図７】本発明の第２実施形態が備える電子ビーム照射
装置の構成を示す概略的断面図である。

【図８】本発明の第２実施形態が備える超音波モータの
構成を示す概略的分解斜視図である。

【図９】本発明の第２実施形態が備える超音波モータを
構成する駆動部の概略的平面図である。

【図１０】本発明の第２実施形態が備える超音波モータ
を構成する被駆動部の概略的平面図である。

【図１１】本発明の第２実施形態が備える超音波モータ
の制御例を説明するための概略的断端面図である。

【図１２】本発明の第２実施形態が備える超音波モータ
の制御例を説明するための概略的断端面図である。

【図１３】本発明の第２実施形態が備える超音波モータ
の制御例を説明するための概略的断端面図である。

【図１４】本発明の第２実施形態が備える超音波モータ
の制御例を説明するための概略的断端面図である。

【図１５】本発明の第２実施形態が備える超音波モータ
の制御例を説明するための概略的断端面図である。

【図１６】本発明の第３実施形態が備える超音波モータ
の構成を示す概略的斜視図である。

【図１７】本発明の第３実施形態が備える超音波モータ
の構成を示す概略的分解斜視図である。

【図１８】本発明の第３実施形態が備える超音波モータ
の制御例を説明するための概略的断端面図である。

【図１９】本発明の第３実施形態が備える超音波モータ
の制御例を説明するための概略的断端面図である。

【図２０】本発明の第３実施形態が備える超音波モータ
の制御例を説明するための概略的断端面図である。

【図２１】本発明の第３実施形態が備える超音波モータ
の制御例を説明するための概略的断端面図である。

【符号の説明】

７ 電子ビーム照射装置保持部材

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】電子銃室密閉機構を備える電子ビーム装置
   において、 前記電子銃室密閉機構は、駆動部及び被駆動部で前記電
   子銃室を密閉する超音波モータを備えて構成されている
   ことを特徴とする電子ビーム装置。
2. 【請求項２】電子ビーム絞り孔機構を備える電子ビーム
   装置において、 前記電子ビーム絞り孔機構は、駆動部又は被駆動部に電
   子ビーム絞り孔を有する超音波モータを備えて構成され
   ていることを特徴とする電子ビーム装置。
3. 【請求項３】電子銃室粗排気用バルブ機構を備える電子
   ビーム装置において、 前記電子銃室粗排気用バルブ機構は、駆動部及び被駆動
   部に、連通させることができる電子銃室粗排気孔を有す
   る超音波モータを備えて構成されていることを特徴とす
   る電子ビーム装置。
4. 【請求項４】前記超音波モータの駆動部及び被駆動部
   は、駆動部と被駆動部との相対位置を変えることによ
   り、使用する電子銃室粗排気孔の数を変化させることが
   できるように複数の電子銃室粗排気孔を有していること
   を特徴とする請求項３記載の電子ビーム装置。
5. 【請求項５】前記超音波モータとして、回転型の超音波
   モータを備えていることを特徴とする請求項１、２、３
   又は４記載の電子ビーム装置。
6. 【請求項６】前記超音波モータとして、直動型の超音波
   モータを備えていることを特徴とする請求項１、２、３
   又は４記載の電子ビーム装置。