JPH056885B2 - - Google Patents

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Publication number
JPH056885B2
JPH056885B2 JP25656386A JP25656386A JPH056885B2 JP H056885 B2 JPH056885 B2 JP H056885B2 JP 25656386 A JP25656386 A JP 25656386A JP 25656386 A JP25656386 A JP 25656386A JP H056885 B2 JPH056885 B2 JP H056885B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
guide
friction
movable member
positioning device
present
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP25656386A
Other languages
English (en)
Other versions
JPS63109512A (ja
Inventor
Tomoyoshi Tokunaga
Akira Yasutake
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Yokogawa Electric Corp
Original Assignee
Yokogawa Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Yokogawa Electric Corp filed Critical Yokogawa Electric Corp
Priority to JP25656386A priority Critical patent/JPS63109512A/ja
Publication of JPS63109512A publication Critical patent/JPS63109512A/ja
Publication of JPH056885B2 publication Critical patent/JPH056885B2/ja
Granted legal-status Critical Current

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Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23QDETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q1/00Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
    • B23Q1/25Movable or adjustable work or tool supports
    • B23Q1/26Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、位置決め装置の起動及び動作特性の
改善に関するものである。
〔従来の技術〕
位置決め装置は、例えば可動部材であるテーブ
ル以上に作業対象物を乗せ、テーブルを移動させ
ることでこの対象物を所望の位置へ正確に置くよ
うな装置である。
第4図に従来の位置決め装置の要部を示す。同
図において、1は可動部材であるテーブル、2は
テーブル1を支持するガイドである。このガイド
2は例えば第4図のようにV字形の凹み面を有し
ており、このV字面に沿つて、図の矢印の方向へ
テーブル1が移動できるようになつている。第4
図ではこのテーブルを駆動させる機構部の図示を
省略してある。
第4図のような位置決め装置は、ガイド2の表
面を滑らせてテーブル1を移動させるため、摩擦
の影響を受ける。特に静止摩擦(起動摩擦)が大
きいため、起動時に大きなトルクが必要になる。
潤滑剤を使用して摩擦係数を下げても静止摩擦の
低減を計ることはできない。その理由はガイド2
とテーブル1との接触面は、動摩擦を小さくする
ため仕上げが良いので、静止時に張付き現象が生
じる。従つて、起動時には更に大きなトルクが必
要になる。
また、動作中においては、静止摩擦と動摩擦に
差があるためステイツクスリツプ現象が生じ、滑
かに動作しない問題もある。
〔発明が解決しようとする問題点〕
以上のように従来の位置決め装置は起動時に大
きなトルクを必要とすること、ステイツクスリツ
プ現象が生じ易いこと、の問題がある。
本発明の目的は、静止摩擦を小さくして起動時
のトルクを下げ、スムースに起動し、動作中にお
いてもステイツクスリツプ現象が生じないような
位置決め装置を提供することである。
〔問題点を解決するための手段〕
本発明は、上記問題点を解決するために 可動部材1と、支持部材2と、この支持部材2
の表面を滑らせて可動部材1を移動させる駆動手
段とを有した装置において、 可動部材1と支持部材2の少なくとも一方に超
音波振動子3を設け、可動部材1を移動させる際
に超音波振動子3を励振させるようにしたもので
ある。
〔実施例〕
以下、図面を用いて本発明を詳しく説明する。
第1図は本発明に係る位置決め装置の一実施例
を示した図、第2図と第3図は本発明の要部を表
わした図である。第1図〜第3図において、1は
テーブル(可動部材)であり、2はガイド(支持
部材)である。このガイド2は、例えばV字形の
面を有しており、このV字面上と接触しつつテー
ブル1が移動できるようになつている。もちろん
ガイド2を第1図〜第3図の形状に限定するもの
ではない。3は超音波振動子であり、第2図はこ
の超音波振動子3をガイド2へ取付けた場合を示
し、第3図はテーブル1へ取付けた場合を示して
いる。また、場合によつては超音波振動子をテー
ブル1とガイド2の双方に設けても良い。第2図
と第3図の動作はほぼ同じであるため、ここでは
第2図の構成例を用いたとして第1図に位置決め
装置の全体構成を示している。第1図において、
4はボールネジ、5はサーボモータ、6は軸受で
ある。なお、超音波振動子3を駆動する回路につ
いては公知の回路を用いることができ、回路部分
に本発明の特徴があるわけでないゆえ、第1図〜
第3図では超音波振動子3の駆動回路については
その図示を省略する。
以上に示した本発明に係る位置決め装置が従来
例と異なる点は、超音波振動子3を支持部材2又
は可動部材1又はこの双方へ設けたことである。
以下、第1図装置の動作を説明する。
サーボモータ5を回転させると、これと連動し
てボールネジ4も回転する。そしてボールネジ4
によつてサーボモータ5の回転運動が直線運動に
変換され、テーブル1はガイド2の表面を滑つて
左右に移動する。左右の移動方向については、サ
ーボモータ5の回転方向により定まる。テーブル
1が所望の位置へ来たらサーボモータ5の回転を
止めることで、テーブル1をその位置へ停止させ
る。
次に静止した状態からテーブル1を別の位置へ
移動させるには、超音波振動子3を励振させる。
この超音波振動子3の振動によりガイド2は高い
周波数で振動し、テーブル1はガイド2の上に跳
上げられることになるが、周波数が高いためテー
ブル1はガイド2の上に浮上したように動作す
る。そのためテーブル1とガイド2の間の摩擦は
相対的に減少する。従つて、テーブル1を移動さ
せる時の静止摩擦は小さいものとなる。その結
果、サーボモータ5のトルクは小さくて済み、テ
ーブル1はスムースに動き出す。
なお、テーブル1が移動を開始した後も(移動
中も)、超音波振動子3を振動しておくと、動摩
擦も小さくなり、静止摩擦と動摩擦が共に小さく
なる。その結果、静止摩擦と動摩擦の差も小さく
なりステイツクスリツプが生じることもない。
また、第3図のようにテーブル1に振動子3を
取付けた場合には、テーブル1自体が振動してガ
イド2の上を跳はね、浮上状態となるので、第2
図の構成と同様に摩擦は小さくなる。
〔本発明の効果〕
以上述べたように本発明によれば次の効果が得
られる。
超音波振動で可動部材(テーブル)を支持部
材(ガイド)から浮かせるようにしているので
摩擦を小さくすることができ、小さいトルクで
可動部材を起動できる。
静止摩擦と動摩擦の差を小さくすることがで
きるのでステイツクスリツプ現象をなくすこと
ができる。
起動時のトルクを小さくすることができるけ
ので、サーボモータを小さくすることができ、
位置決め装置の全体構成をコンパクトにするこ
とができる。
摩擦が小さいため、テーブルを高速に移動さ
せることができる。
摩擦が小さいため、位置決めが容易にでき
る。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明に係る位置決め装置の一実施例
を示した図、第2図と第3図は本発明の要部を描
いた図、第4図は従来の位置決め装置の要部を描
いた図である。 1……可動部材(テーブル)、2……支持部材
(ガイド)、3……超音波振動子。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 可動部材1と、支持部材2と、この支持部材
    2の表面を滑らせて可動部材1を移動させる駆動
    手段とを有した装置において、 可動部材1と支持部材2の少なくとも一方に超
    音波振動子3を設け、可動部材1を移動させる際
    に超音波振動子3を励振させるようにしたことを
    特徴とする位置決め装置。
JP25656386A 1986-10-28 1986-10-28 位置決め装置 Granted JPS63109512A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP25656386A JPS63109512A (ja) 1986-10-28 1986-10-28 位置決め装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP25656386A JPS63109512A (ja) 1986-10-28 1986-10-28 位置決め装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS63109512A JPS63109512A (ja) 1988-05-14
JPH056885B2 true JPH056885B2 (ja) 1993-01-27

Family

ID=17294377

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP25656386A Granted JPS63109512A (ja) 1986-10-28 1986-10-28 位置決め装置

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Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1642833A (zh) * 2002-03-11 2005-07-20 株式会社Iai 超声波悬浮装置
KR20050085223A (ko) * 2002-12-26 2005-08-29 가부시기가이샤 아이 에이 아이 구동장치
JP4560626B2 (ja) * 2004-08-20 2010-10-13 国立大学法人静岡大学 超音波ガイドユニット

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JPS63109512A (ja) 1988-05-14

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