JP2829485B2 - リニア型超音波モータ - Google Patents
リニア型超音波モータInfo
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- JP2829485B2 JP2829485B2 JP5341231A JP34123193A JP2829485B2 JP 2829485 B2 JP2829485 B2 JP 2829485B2 JP 5341231 A JP5341231 A JP 5341231A JP 34123193 A JP34123193 A JP 34123193A JP 2829485 B2 JP2829485 B2 JP 2829485B2
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- Japan
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Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、超音波振動子を多重
モード振動させてその外周面の質点に楕円運動を生じさ
せ、この超音波振動子の質点に生ずる楕円運動を可動部
材の直線運動に変換するリニア型超音波モータに関する
ものである。
モード振動させてその外周面の質点に楕円運動を生じさ
せ、この超音波振動子の質点に生ずる楕円運動を可動部
材の直線運動に変換するリニア型超音波モータに関する
ものである。
【０００２】
【従来の技術】従来より、この種のリニア型超音波モー
タにおいては、超音波振動子を多重モード振動させてそ
の外周面の質点に楕円運動を生じさせ、この超音波振動
子の質点に生じる楕円運動を可動部材の直線運動に変換
している。この場合、可動部材は超音波振動子の質点に
摩擦材を介して接し、超音波振動子の質点に生ずる楕円
運動が摩擦駆動によって可動部材の直線運動に変換され
る。このリニア型超音波モータでは、摩擦駆動であるた
めに摩擦損があり、入力量に対する直線移動量が安定せ
ず、一定化しにくという宿命的な問題がある。このた
め、従来においては、スケールやエンコーダを取り付
け、動作中に検出器等でセンシングし、得られる信号を
処理することによって、入力量に応じた位置に可動部材
を停止させるものとしていた。すなわち、フィードバッ
ク制御により、可動部材の高精度な位置決めを行ってい
た。
タにおいては、超音波振動子を多重モード振動させてそ
の外周面の質点に楕円運動を生じさせ、この超音波振動
子の質点に生じる楕円運動を可動部材の直線運動に変換
している。この場合、可動部材は超音波振動子の質点に
摩擦材を介して接し、超音波振動子の質点に生ずる楕円
運動が摩擦駆動によって可動部材の直線運動に変換され
る。このリニア型超音波モータでは、摩擦駆動であるた
めに摩擦損があり、入力量に対する直線移動量が安定せ
ず、一定化しにくという宿命的な問題がある。このた
め、従来においては、スケールやエンコーダを取り付
け、動作中に検出器等でセンシングし、得られる信号を
処理することによって、入力量に応じた位置に可動部材
を停止させるものとしていた。すなわち、フィードバッ
ク制御により、可動部材の高精度な位置決めを行ってい
た。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来のリニア型超音波モータによると、スケールや
エンコーダ、検出器等の取り付け機構や信号処理回路が
複雑であり、装置の小型化やコストダウンを促進するこ
とが困難であるという問題があった。
うな従来のリニア型超音波モータによると、スケールや
エンコーダ、検出器等の取り付け機構や信号処理回路が
複雑であり、装置の小型化やコストダウンを促進するこ
とが困難であるという問題があった。
【０００４】本発明はこのような課題を解決するために
なされたもので、その目的とするところは、フィードバ
ック制御を行うことなく、すなわちオープンループ制御
で、可動部材の高精度な位置決めを可能とするリニア型
超音波モータを提供することにある。
なされたもので、その目的とするところは、フィードバ
ック制御を行うことなく、すなわちオープンループ制御
で、可動部材の高精度な位置決めを可能とするリニア型
超音波モータを提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るために、本発明は、駆動信号の供給を受けて多重モー
ド振動しそのその外周面の質点に楕円運動を生じる超音
波振動子と、この超音波振動子の質点に生じる楕円運動
により摩擦駆動され直線移動する可動部材と、その面部
に山形のテーパ面が所定のピッチで形成され、このテー
パ面の形成された面部を可動部材に対面させて配置され
た固定部材と、この固定部材と可動部材との間にあっ
て、可動部材の直線移動に伴って動き、固定部材の山形
のテーパ面の頂を可動部材側へ押圧付勢力に抗し移動し
て乗り越えるボール部材とを備えたものである。
るために、本発明は、駆動信号の供給を受けて多重モー
ド振動しそのその外周面の質点に楕円運動を生じる超音
波振動子と、この超音波振動子の質点に生じる楕円運動
により摩擦駆動され直線移動する可動部材と、その面部
に山形のテーパ面が所定のピッチで形成され、このテー
パ面の形成された面部を可動部材に対面させて配置され
た固定部材と、この固定部材と可動部材との間にあっ
て、可動部材の直線移動に伴って動き、固定部材の山形
のテーパ面の頂を可動部材側へ押圧付勢力に抗し移動し
て乗り越えるボール部材とを備えたものである。
【０００６】
【作用】したがってこの発明によれば、駆動信号の供給
を受けて超音波振動子が多重モード振動し、その外周面
の質点に楕円運動が生じ、この楕円運動により摩擦駆動
されて可動部材が直線移動する。この可動部材の直線移
動に伴ってボール部材が動き、固定部材の山形のテーパ
面の頂を可動部材側へ押圧付勢力に抗し移動して乗り越
える。山形のテーパ面の頂を乗り越えると、ボール部材
は、その乗り越えた山形のテーパ面の下り方向のテーパ
に沿って、可動部材をその進行方向へ押しやりながら固
定部材側へ出る。
を受けて超音波振動子が多重モード振動し、その外周面
の質点に楕円運動が生じ、この楕円運動により摩擦駆動
されて可動部材が直線移動する。この可動部材の直線移
動に伴ってボール部材が動き、固定部材の山形のテーパ
面の頂を可動部材側へ押圧付勢力に抗し移動して乗り越
える。山形のテーパ面の頂を乗り越えると、ボール部材
は、その乗り越えた山形のテーパ面の下り方向のテーパ
に沿って、可動部材をその進行方向へ押しやりながら固
定部材側へ出る。
【０００７】
【実施例】以下、本発明を実施例に基づき詳細に説明す
る。図２はこの発明の一実施例を示すリニア型超音波モ
ータの要部構成を示す平面図である。同図において、１
はリング状に形成されたセラミックスよりなる超音波振
動子、２は可動レール、３は固定レール，４はボールゲ
ージである。
る。図２はこの発明の一実施例を示すリニア型超音波モ
ータの要部構成を示す平面図である。同図において、１
はリング状に形成されたセラミックスよりなる超音波振
動子、２は可動レール、３は固定レール，４はボールゲ
ージである。
【０００８】超音波振動子１は、図示せぬ保持部材を介
して筐体側に固定されており、その上面に円弧状の電極
１−１，１−２および１−３，１−４が設けられ、その
外周面の両側部に摩擦材５−１，５−２が設けられてい
る。可動レール２は超音波振動子１に摩擦材５−１を介
して接している。固定レール３は、ボールゲージ４を介
して可動レール２に圧接されており、この圧接状態で筐
体側に固定されている。ボールゲージ４は、ゲージ板４
−１と多数のボール４−２とからなり、ゲージ板４−１
は固定レール３側に固定されている。
して筐体側に固定されており、その上面に円弧状の電極
１−１，１−２および１−３，１−４が設けられ、その
外周面の両側部に摩擦材５−１，５−２が設けられてい
る。可動レール２は超音波振動子１に摩擦材５−１を介
して接している。固定レール３は、ボールゲージ４を介
して可動レール２に圧接されており、この圧接状態で筐
体側に固定されている。ボールゲージ４は、ゲージ板４
−１と多数のボール４−２とからなり、ゲージ板４−１
は固定レール３側に固定されている。
【０００９】図１は図２におけるＩ−Ｉ線断面図であ
る。可動レール２には縦孔２−１が形成されており、こ
の縦孔２−１の形成面にその面部６−１を対面させて、
スリット板６が配置されている。可動レール２の縦孔２
−１には圧縮コイルバネ７が挿入配置されており、スリ
ット板６の面部６−１とバネ７との間にはボール８が配
置され、バネ７を弾性変形させた状態としている。な
お、スリット板６は筐体側に固定されており、ボール８
はバネ７とスリット板６の面部６−１との間で自由に回
転し得る。また、本実施例において、縦孔２−１は、す
なわちバネ７とボール８との組み合わせ機構は、可動レ
ール２に１箇所だけ設けられている。
る。可動レール２には縦孔２−１が形成されており、こ
の縦孔２−１の形成面にその面部６−１を対面させて、
スリット板６が配置されている。可動レール２の縦孔２
−１には圧縮コイルバネ７が挿入配置されており、スリ
ット板６の面部６−１とバネ７との間にはボール８が配
置され、バネ７を弾性変形させた状態としている。な
お、スリット板６は筐体側に固定されており、ボール８
はバネ７とスリット板６の面部６−１との間で自由に回
転し得る。また、本実施例において、縦孔２−１は、す
なわちバネ７とボール８との組み合わせ機構は、可動レ
ール２に１箇所だけ設けられている。
【００１０】図３は図１におけるＡ方向から見たスリッ
ト板６の要部断面図である。スリット板６の面部６−１
には、山形のテーパ面６−１１が所定のピッチＰ１で形
成されており、隣接する山形のテーパ面６−１１の間に
はスリット６−１２が形成されている。本実施例におい
て、スリット６−１２は山形のテーパ面６−１１と同一
ピッチＰ１で形成されており、スリット６−１２のスリ
ット幅Ｗはボール８の外径よりも小さくされている。
ト板６の要部断面図である。スリット板６の面部６−１
には、山形のテーパ面６−１１が所定のピッチＰ１で形
成されており、隣接する山形のテーパ面６−１１の間に
はスリット６−１２が形成されている。本実施例におい
て、スリット６−１２は山形のテーパ面６−１１と同一
ピッチＰ１で形成されており、スリット６−１２のスリ
ット幅Ｗはボール８の外径よりも小さくされている。
【００１１】次に、このリニア型超音波モータの動作に
ついて説明する。図４はこのリニア型超音波モータに付
設された駆動制御回路のブロック図である。同図におい
て、１０はＣＰＵ、１１は発振部（周波数制御部）、１
２は位相制御部、１３は電力増幅部、１４は設定部であ
る。この駆動制御回路より出力される駆動信号、すなわ
ち電力増幅部１３より出力される所定周波数（本実施例
では、１１５ｋHz）の高周波電圧ｓｉｎωｔ，ｃｏｓω
ｔが超音波振動子１へ与えられる。
ついて説明する。図４はこのリニア型超音波モータに付
設された駆動制御回路のブロック図である。同図におい
て、１０はＣＰＵ、１１は発振部（周波数制御部）、１
２は位相制御部、１３は電力増幅部、１４は設定部であ
る。この駆動制御回路より出力される駆動信号、すなわ
ち電力増幅部１３より出力される所定周波数（本実施例
では、１１５ｋHz）の高周波電圧ｓｉｎωｔ，ｃｏｓω
ｔが超音波振動子１へ与えられる。
【００１２】超音波振動子１は、その電極１−１，１−
２に高周波電圧ｓｉｎωｔ，ｃｏｓωｔがそれぞれ印加
されると、ラジアル方向の１次振動（Ｒ，１）と、非軸
対称面内振動（（１，１））とを同時に起こし、多重モ
ード振動する。ラジアル方向の１次振動（Ｒ，１）は図
５（ａ）に示す矢印Ｄ１，Ｄ２方向に伸縮する定在波
で、非軸対称面内振動（（１，１））は図５（ｂ）に示
す矢印Ｅ１，Ｅ２方向に伸縮する定在波で、振動方向Ｅ
１がＤ１に、Ｅ２がＤ２に同調している。これらの定在
波が相互に干渉を起こして合成されると、超音波振動子
１の外周面の各点において振幅の異なる多重モード振動
となり、この各点に楕円運動が生じる。
２に高周波電圧ｓｉｎωｔ，ｃｏｓωｔがそれぞれ印加
されると、ラジアル方向の１次振動（Ｒ，１）と、非軸
対称面内振動（（１，１））とを同時に起こし、多重モ
ード振動する。ラジアル方向の１次振動（Ｒ，１）は図
５（ａ）に示す矢印Ｄ１，Ｄ２方向に伸縮する定在波
で、非軸対称面内振動（（１，１））は図５（ｂ）に示
す矢印Ｅ１，Ｅ２方向に伸縮する定在波で、振動方向Ｅ
１がＤ１に、Ｅ２がＤ２に同調している。これらの定在
波が相互に干渉を起こして合成されると、超音波振動子
１の外周面の各点において振幅の異なる多重モード振動
となり、この各点に楕円運動が生じる。
【００１３】すなわち、可動レール２に摩擦材５−１を
介して接する質点Ｐ１に着目すると、この質点Ｐ１は、
超音波振動子１自体の多重モード振動に伴い、質点Ｐ１
の振動方向Ｅ１と同方向に回転する楕円運動Ｆ１を起こ
す。この質点Ｐ１に生じる楕円運動Ｆ１により、可動レ
ール２が摩擦材５−１を介して摩擦駆動され、図２に示
す矢印Ｂ方向へ直線移動する。電極１−１，１−２に印
可する高周波電圧の位相を反転すると、可動レール２は
上述とは逆の方向（図２に示す矢印Ｃ方向）へ直線移動
する。
介して接する質点Ｐ１に着目すると、この質点Ｐ１は、
超音波振動子１自体の多重モード振動に伴い、質点Ｐ１
の振動方向Ｅ１と同方向に回転する楕円運動Ｆ１を起こ
す。この質点Ｐ１に生じる楕円運動Ｆ１により、可動レ
ール２が摩擦材５−１を介して摩擦駆動され、図２に示
す矢印Ｂ方向へ直線移動する。電極１−１，１−２に印
可する高周波電圧の位相を反転すると、可動レール２は
上述とは逆の方向（図２に示す矢印Ｃ方向）へ直線移動
する。
【００１４】可動レール２の直線移動は、ボールゲージ
４のボールころがり摩擦により、摺動抵抗が小として、
滑るようにして行われる。この際、可動レール２とスリ
ット板６との間において、ボール８は、スリット板６の
面部６−１上を転がりながら移動し、ピッチＰ１で上下
動を行う。すなわち、ボール８は、可動レール２の直線
移動に伴って動き、スリット板６の面部６−１に形成さ
れた山形のテーパ面６−１１の頂を可動レール２側へバ
ネ７の押圧付勢力に抗し縦孔２−１内に没して乗り越え
る。山形のテーパ面６−１１の頂を乗り越えると、ボー
ル８は、その乗り越えた山形のテーパ面の下り方向のテ
ーパに沿って、可動レール２をその進行方向へ押しやり
ながらスリット板６側へ出る。そして、スリット６−１
２に納まり、以下同様の動作を繰り返す。
４のボールころがり摩擦により、摺動抵抗が小として、
滑るようにして行われる。この際、可動レール２とスリ
ット板６との間において、ボール８は、スリット板６の
面部６−１上を転がりながら移動し、ピッチＰ１で上下
動を行う。すなわち、ボール８は、可動レール２の直線
移動に伴って動き、スリット板６の面部６−１に形成さ
れた山形のテーパ面６−１１の頂を可動レール２側へバ
ネ７の押圧付勢力に抗し縦孔２−１内に没して乗り越え
る。山形のテーパ面６−１１の頂を乗り越えると、ボー
ル８は、その乗り越えた山形のテーパ面の下り方向のテ
ーパに沿って、可動レール２をその進行方向へ押しやり
ながらスリット板６側へ出る。そして、スリット６−１
２に納まり、以下同様の動作を繰り返す。
【００１５】すなわち、本実施例によれば、ピッチＰ１
に相当する駆動信号のパルス数や印加時間を予め把握し
ておくことによって、ピッチＰ１の整数倍単位の位置制
御が可能となる。ここで、最終的には、ボール８はスリ
ット６−１２に納まった状態で必ず停止する。これによ
り、本実施例によれば、摩擦損等により生じようとする
可動レール２の多少の位置ずれについてはこれを吸収す
ることができ、オープンループ制御で可動レール２の高
精度な位置決めが可能となり、スケールやエンコーダ、
検出器等の取り付け機構や信号処理回路を不要として、
装置の小型化やコストダウンを促進することできるよう
になる。
に相当する駆動信号のパルス数や印加時間を予め把握し
ておくことによって、ピッチＰ１の整数倍単位の位置制
御が可能となる。ここで、最終的には、ボール８はスリ
ット６−１２に納まった状態で必ず停止する。これによ
り、本実施例によれば、摩擦損等により生じようとする
可動レール２の多少の位置ずれについてはこれを吸収す
ることができ、オープンループ制御で可動レール２の高
精度な位置決めが可能となり、スケールやエンコーダ、
検出器等の取り付け機構や信号処理回路を不要として、
装置の小型化やコストダウンを促進することできるよう
になる。
【００１６】なお、本実施例においては、バネ７とボー
ル８との組み合わせ機構を可動レール２に１箇所だけ設
けるものとしたが、複数箇所設けるものとしてもよい。
また、本実施例においては、スリット板６にスリット６
−１２を開設するものとしたが、隣接する山形のテーパ
面６−１１間をつなぐ谷状の窪みなどとしてもよい。
ル８との組み合わせ機構を可動レール２に１箇所だけ設
けるものとしたが、複数箇所設けるものとしてもよい。
また、本実施例においては、スリット板６にスリット６
−１２を開設するものとしたが、隣接する山形のテーパ
面６−１１間をつなぐ谷状の窪みなどとしてもよい。
【００１７】
【発明の効果】以上説明したことから明らかなように本
発明によれば、可動部材の直線方向への移動に伴ってボ
ール部材が動き、固定部材の山形のテーパ面の頂を可動
部材側へ押圧付勢力に抗し移動して乗り越え、山形のテ
ーパ面の頂を乗り越えるとその乗り越えた山形のテーパ
面の下り方向のテーパに沿って可動部材をその進行方向
へ押しやりながら固定部材側へ出るものとなり、最終的
には隣接する山形のテーパ面の間にボール部材を停止さ
せるものとして、摩擦損等により生じようとする可動部
材の多少の位置ずれについてこれを吸収することが可能
となり、オープンループ制御で可動部材の高精度な位置
決めを可能とし、スケールやエンコーダ、検出器等の取
り付け機構や信号処理回路が不要として、装置の小型化
やコストダウンを促進することできるようになる。
発明によれば、可動部材の直線方向への移動に伴ってボ
ール部材が動き、固定部材の山形のテーパ面の頂を可動
部材側へ押圧付勢力に抗し移動して乗り越え、山形のテ
ーパ面の頂を乗り越えるとその乗り越えた山形のテーパ
面の下り方向のテーパに沿って可動部材をその進行方向
へ押しやりながら固定部材側へ出るものとなり、最終的
には隣接する山形のテーパ面の間にボール部材を停止さ
せるものとして、摩擦損等により生じようとする可動部
材の多少の位置ずれについてこれを吸収することが可能
となり、オープンループ制御で可動部材の高精度な位置
決めを可能とし、スケールやエンコーダ、検出器等の取
り付け機構や信号処理回路が不要として、装置の小型化
やコストダウンを促進することできるようになる。
【図１】図２におけるＩ−Ｉ線断面図である。
【図２】本発明の一実施例を示すリニア型超音波モータ
の要部構成を示す平面図である。
の要部構成を示す平面図である。
【図３】図１におけるＡ方向から見たスリット板の要部
断面図である。
断面図である。
【図４】このリニア型超音波モータに付設された駆動制
御回路のブロック図である。
御回路のブロック図である。
【図５】このリニア型超音波モータに用いる超音波振動
子の振動状況を説明するための図である。
子の振動状況を説明するための図である。
１ 超音波振動子 ２ 可動レール ３ 固定レール ４ ボールゲージ ５−１，５−２ 摩擦材 ６ スリット板 ６−１ 面部 ６−１１ 山形のテーパ面 ６−１２ スリット ７ 圧縮コイルバネ ８ ボール
Claims (1)
- 【請求項１】 駆動信号の供給を受けて多重モード振動
しその外周面の質点に楕円運動を生じる超音波振動子
と、 この超音波振動子の質点に生じる楕円運動により摩擦駆
動され直線移動する可動部材と、 その面部に山形のテーパ面が所定のピッチで形成され、
このテーパ面の形成された面部を前記可動部材に対面さ
せて配置された固定部材と、 この固定部材と前記可動部材との間にあって、前記可動
部材の直線移動に伴って動き、前記固定部材の山形のテ
ーパ面の頂を前記可動部材側へ押圧付勢力に抗し移動し
て乗り越えるボール部材とを備えたことを特徴とするリ
ニア型超音波モータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5341231A JP2829485B2 (ja) | 1993-12-13 | 1993-12-13 | リニア型超音波モータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5341231A JP2829485B2 (ja) | 1993-12-13 | 1993-12-13 | リニア型超音波モータ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07170765A JPH07170765A (ja) | 1995-07-04 |
| JP2829485B2 true JP2829485B2 (ja) | 1998-11-25 |
Family
ID=18344401
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5341231A Expired - Fee Related JP2829485B2 (ja) | 1993-12-13 | 1993-12-13 | リニア型超音波モータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2829485B2 (ja) |
-
1993
- 1993-12-13 JP JP5341231A patent/JP2829485B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07170765A (ja) | 1995-07-04 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
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|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
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