JPH0725667Y2 - 試料破断面分析用試料出入装置 - Google Patents
試料破断面分析用試料出入装置Info
- Publication number
- JPH0725667Y2 JPH0725667Y2 JP1988153638U JP15363888U JPH0725667Y2 JP H0725667 Y2 JPH0725667 Y2 JP H0725667Y2 JP 1988153638 U JP1988153638 U JP 1988153638U JP 15363888 U JP15363888 U JP 15363888U JP H0725667 Y2 JPH0725667 Y2 JP H0725667Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- holding rod
- outlet
- analyzer
- rod
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本考案は真空中で試料の表面分析を行う装置で試料の破
断面の分析を行う場合における試料破断装置に関する。
断面の分析を行う場合における試料破断装置に関する。
（従来の技術） Ｘ線光電子分光分析法等の真空内で行われる表面分析法
によって試料の破断面の分析を行う場合、試料破断面の
きわめて薄い表面の分析ができる利点がある反面、この
利点を充分に活用するためには破断面の汚染，変質を注
意深く防止する必要がある。試料破断面は破断された直
後は新鮮な表面を露わしているが、時が経つと次第に表
面に汚染物質が付着し、或は酸化膜等が形成されて来
る。この変化は大気中においては急速に起り、真空中で
あっても、残留ガスとかポンプから遡行して来る油等に
より表面の変質は進行して行く。
によって試料の破断面の分析を行う場合、試料破断面の
きわめて薄い表面の分析ができる利点がある反面、この
利点を充分に活用するためには破断面の汚染，変質を注
意深く防止する必要がある。試料破断面は破断された直
後は新鮮な表面を露わしているが、時が経つと次第に表
面に汚染物質が付着し、或は酸化膜等が形成されて来
る。この変化は大気中においては急速に起り、真空中で
あっても、残留ガスとかポンプから遡行して来る油等に
より表面の変質は進行して行く。
従来Ｘ線光電子分析装置等の真空を用いる分析装置によ
って試料破断面の分析を行う場合試料を大気中で破断し
て分析装置内に装入していたから、操作を如何に手速く
行っても、表面の変質を避けることはできなかった。ま
た真空中で試料を破断しても、分析装置に試料を移す
際、大気中を経由するのでは却って手数がかゝるだけで
あり、大気中を経由しないで簡単に分析装置内に破断試
料を搬入する手段はなかった。
って試料破断面の分析を行う場合試料を大気中で破断し
て分析装置内に装入していたから、操作を如何に手速く
行っても、表面の変質を避けることはできなかった。ま
た真空中で試料を破断しても、分析装置に試料を移す
際、大気中を経由するのでは却って手数がかゝるだけで
あり、大気中を経由しないで簡単に分析装置内に破断試
料を搬入する手段はなかった。
（考案が解決しようとする課題） 本考案は試料を真空中で破断し、そのまゝ直接分析装置
本体内の真空中に進入せしめ得る装置を提供しようとす
るものである。
本体内の真空中に進入せしめ得る装置を提供しようとす
るものである。
（課題を解決するための手段） 分析装置本体のゲートバルブを有する試料出入口の外側
に取付けられ、排気系に接続された気密箱体内に、試料
分析位置と上記試料出入口とを結ぶ線に沿って進退する
試料保持棒と、同試料保持棒の軸線と交わる軸線を有
し、その軸線に沿って進退せしめられる試料破断用部材
を設けた。そして試料保持棒の外径を分析装置本体の試
料出入口に適合する外径として、試料保持棒を試料出入
口に挿入したとき、試料保持棒によって試料出入口が気
密に閉じられるようにすると共に、試料保持棒を試料を
折る位置にしたとき、同保持棒の先端部付近が同保持棒
のガイドによって保持されていて試料を折るための外力
に対抗できるようにした。
に取付けられ、排気系に接続された気密箱体内に、試料
分析位置と上記試料出入口とを結ぶ線に沿って進退する
試料保持棒と、同試料保持棒の軸線と交わる軸線を有
し、その軸線に沿って進退せしめられる試料破断用部材
を設けた。そして試料保持棒の外径を分析装置本体の試
料出入口に適合する外径として、試料保持棒を試料出入
口に挿入したとき、試料保持棒によって試料出入口が気
密に閉じられるようにすると共に、試料保持棒を試料を
折る位置にしたとき、同保持棒の先端部付近が同保持棒
のガイドによって保持されていて試料を折るための外力
に対抗できるようにした。
（作用） 分析装置本体の試料出入口の外側に排気系に接続された
箱体を接続するので、箱体は分析装置への試料出入の際
の予備排気室になる。この箱体内に試料保持棒を設けて
試料を箱体側から分析装置本体内の試料分析位置に送る
ことができる。この試料保持棒の中心線と交わる中心線
を持つ試料破断用部材を設けてあるので、試料保持棒の
先端に保持された試料に向って上記試料破断用部材を突
進させることにより試料を折断することができ、この操
作が真空中で行われ、そのまゝ分析装置本体内に試料を
移動させることができる。
箱体を接続するので、箱体は分析装置への試料出入の際
の予備排気室になる。この箱体内に試料保持棒を設けて
試料を箱体側から分析装置本体内の試料分析位置に送る
ことができる。この試料保持棒の中心線と交わる中心線
を持つ試料破断用部材を設けてあるので、試料保持棒の
先端に保持された試料に向って上記試料破断用部材を突
進させることにより試料を折断することができ、この操
作が真空中で行われ、そのまゝ分析装置本体内に試料を
移動させることができる。
（実施例） 図面は本考案の一実施例を示す。Ａは分析装置の本体部
で、内部は排気系に接続さて高真空に保たれている。Ｂ
が本考案に係る真空試料破断装置である。分析装置本体
Ａで１は試料出入口でゲートバルブ２が設けられてい
る。３はゲートバルブ駆動モータである。真空試料破断
装置Ｂは試料出入口１の外側で分析装置本体に取付けら
れ、ゲートバルブ２は分析装置本体内と真空試料破断装
置内の両空間の間の仕切板となっている。真空試料破断
装置Ｂも排気系に接続されている。
で、内部は排気系に接続さて高真空に保たれている。Ｂ
が本考案に係る真空試料破断装置である。分析装置本体
Ａで１は試料出入口でゲートバルブ２が設けられてい
る。３はゲートバルブ駆動モータである。真空試料破断
装置Ｂは試料出入口１の外側で分析装置本体に取付けら
れ、ゲートバルブ２は分析装置本体内と真空試料破断装
置内の両空間の間の仕切板となっている。真空試料破断
装置Ｂも排気系に接続されている。
真空試料破断装置Ｂは一つの箱であって、試料進退機構
Ｌと試料固定機構Ｃと試料破断機構Ｄとを備えている。
試料進退機構Ｌは側面にラック41を切った試料保持棒４
とそのガイド５と上記ラックに噛合うピニオン６と同ピ
ニオンを駆動するモータ７とで構成されている。試料保
持棒４は分析装置本体の試料出入口１の中心線と同軸で
中心線の方向に進退できるようになっており、その先端
は最下位置から分析装置本体内の試料分析位置までの間
を移動できる。試料固定機構Ｃは試料保持棒４の先端に
保持された試料を折るときの外力に対して試料を固定す
るための機構で、試料保持棒４と同心的に配置されたチ
ャックの爪８とその保持手段９とよりなっている。試料
破断機構Ｄは軸線が試料保持棒４と直交するように設け
られた撞木10と、これを試料保持棒４先端の試料に向っ
て進出させるねじ11とよりなっている。ねじれを回わす
と撞木棒先端が試料に衝突してこれを折断する。
Ｌと試料固定機構Ｃと試料破断機構Ｄとを備えている。
試料進退機構Ｌは側面にラック41を切った試料保持棒４
とそのガイド５と上記ラックに噛合うピニオン６と同ピ
ニオンを駆動するモータ７とで構成されている。試料保
持棒４は分析装置本体の試料出入口１の中心線と同軸で
中心線の方向に進退できるようになっており、その先端
は最下位置から分析装置本体内の試料分析位置までの間
を移動できる。試料固定機構Ｃは試料保持棒４の先端に
保持された試料を折るときの外力に対して試料を固定す
るための機構で、試料保持棒４と同心的に配置されたチ
ャックの爪８とその保持手段９とよりなっている。試料
破断機構Ｄは軸線が試料保持棒４と直交するように設け
られた撞木10と、これを試料保持棒４先端の試料に向っ
て進出させるねじ11とよりなっている。ねじれを回わす
と撞木棒先端が試料に衝突してこれを折断する。
以上の装置の用法について説明すると共に装置の細部の
補足説明をする。試料保持棒４を後退ストロークの端
（図で下端位置）より少し手前で、試料保持棒先端がチ
ャック８より出ている位置まで後退させ、ゲートバルブ
２を閉じ、真空試料破断装置Ｂ内に外気を導入し、試料
進退機構Ｌおよび試料固定機構Ｃが取付けられている蓋
12を外す。試料保持棒４の先端には先に分析した試料が
保持されているのでこれを取出す。試料Ｓは所定の直径
に切削された丸棒で真中辺に折れ易くするため周溝ｇが
切ってある。試料Ｓを試料ホルダ13に保持させ試料保持
棒４の先端に取付ける。試料ホルダ13は中心孔ｈが設け
てあり、この中心孔を試料ホルダ４の先端の突起部ｐに
嵌合させることによりホルダ13を試料保持棒４に保持さ
せる。次に試料保持棒を後退ストロークの端（図で最下
位置）まで下げる。この位置でチャック８を閉じるとチ
ャック８は試料をその周溝ｇの直ぐ下の所で把持するよ
うになっている。チャック８は一つの環を円周方向に三
つ割にしたもので、相互間にばねが介在してあり、保持
手段９（蓋12に固定され、試料保持棒４のガイドを兼ね
たブロック）の上面の凹段にばねに抗して３個の爪を合
せて嵌め込むことにより試料を把持するようになってい
る。こゝまでの操作がすむとの蓋12を閉じ、真空試料破
断装置内Ｂ内を排気し、所定真空度に到達したら、ねじ
11回わして撞木10を前進させる。そうすると撞木棒10が
進出して試料Ｓを周溝ｇの所で折断する。このとき試料
保持棒４の先端部付近は爪８を介してガイドの上部によ
って保持されているので、試料を折るための横からの外
力に対抗でき、別途試料保持棒を横方向の力に対して支
える機構を要しない。撞木棒10をもとの位置に戻してか
ら、試料保持棒４を前進（上昇）させるとチャック８を
が押上げられて保持体９上面の凹段から外ればねの作用
で把持が緩解し、更に試料保持棒４を前進（図では上
行）させると共にゲートバルブ２を開く。試料保持棒４
は前進を続けて分析装置本体Ａの試料出入口１を通過し
試料Ｓの破断面が分析位置ａに来た所で停止する。試料
出入口１の内面にはＯリング14が取付けてあり、試料保
持棒４の外周との間の気密を保つ。これは分析装置本体
内は真空試料破断装置内よりも高真空に保持しておくた
めである。試料Ｓが分析位置に停止した後、分析装置本
体内が所要の高真空に回復した所で分析を開始する。
補足説明をする。試料保持棒４を後退ストロークの端
（図で下端位置）より少し手前で、試料保持棒先端がチ
ャック８より出ている位置まで後退させ、ゲートバルブ
２を閉じ、真空試料破断装置Ｂ内に外気を導入し、試料
進退機構Ｌおよび試料固定機構Ｃが取付けられている蓋
12を外す。試料保持棒４の先端には先に分析した試料が
保持されているのでこれを取出す。試料Ｓは所定の直径
に切削された丸棒で真中辺に折れ易くするため周溝ｇが
切ってある。試料Ｓを試料ホルダ13に保持させ試料保持
棒４の先端に取付ける。試料ホルダ13は中心孔ｈが設け
てあり、この中心孔を試料ホルダ４の先端の突起部ｐに
嵌合させることによりホルダ13を試料保持棒４に保持さ
せる。次に試料保持棒を後退ストロークの端（図で最下
位置）まで下げる。この位置でチャック８を閉じるとチ
ャック８は試料をその周溝ｇの直ぐ下の所で把持するよ
うになっている。チャック８は一つの環を円周方向に三
つ割にしたもので、相互間にばねが介在してあり、保持
手段９（蓋12に固定され、試料保持棒４のガイドを兼ね
たブロック）の上面の凹段にばねに抗して３個の爪を合
せて嵌め込むことにより試料を把持するようになってい
る。こゝまでの操作がすむとの蓋12を閉じ、真空試料破
断装置内Ｂ内を排気し、所定真空度に到達したら、ねじ
11回わして撞木10を前進させる。そうすると撞木棒10が
進出して試料Ｓを周溝ｇの所で折断する。このとき試料
保持棒４の先端部付近は爪８を介してガイドの上部によ
って保持されているので、試料を折るための横からの外
力に対抗でき、別途試料保持棒を横方向の力に対して支
える機構を要しない。撞木棒10をもとの位置に戻してか
ら、試料保持棒４を前進（上昇）させるとチャック８を
が押上げられて保持体９上面の凹段から外ればねの作用
で把持が緩解し、更に試料保持棒４を前進（図では上
行）させると共にゲートバルブ２を開く。試料保持棒４
は前進を続けて分析装置本体Ａの試料出入口１を通過し
試料Ｓの破断面が分析位置ａに来た所で停止する。試料
出入口１の内面にはＯリング14が取付けてあり、試料保
持棒４の外周との間の気密を保つ。これは分析装置本体
内は真空試料破断装置内よりも高真空に保持しておくた
めである。試料Ｓが分析位置に停止した後、分析装置本
体内が所要の高真空に回復した所で分析を開始する。
以上の操作は全部手動的に行ってもよいが、底蓋12を開
く前のゲートバルブの開閉，試料棒の後退、真空試料破
断装置への外気の導入までの動作および、底蓋12を閉じ
た後の動作を自動化することは容易である。手動操作の
場合、試料保持棒４の位置は直接には見えないが、試料
保持棒を駆動するパルスモータの回転量を試料保持棒４
の位置の情報に変換して表示するようにしておくことで
試料保持棒の操作ができる。
く前のゲートバルブの開閉，試料棒の後退、真空試料破
断装置への外気の導入までの動作および、底蓋12を閉じ
た後の動作を自動化することは容易である。手動操作の
場合、試料保持棒４の位置は直接には見えないが、試料
保持棒を駆動するパルスモータの回転量を試料保持棒４
の位置の情報に変換して表示するようにしておくことで
試料保持棒の操作ができる。
第２図は本考案の他の実施例を示す。この実施例は前実
施例における試料固定機構が異る。この実施例では試料
固定機構は別設せず、試料ホルダ13は外周がテーパにな
っており、試料保持棒４の先端にはこのテーパに適合す
るテーパ穴Htが穿ってあって試料ホルダ13はこのテーパ
穴に嵌入固定される。試料ホルダをテーパ穴から抜くに
は試料保持棒４の側面にこのテーパ穴に通じるように穿
った長孔にくさびを押込む。試料ホルダは上端が三つ割
してあり、試料を把持する。この構造によるときは、試
料は試料ホルダーがコレットチャックとなって試料を把
持するので、折断のための外力に抗することができる。
施例における試料固定機構が異る。この実施例では試料
固定機構は別設せず、試料ホルダ13は外周がテーパにな
っており、試料保持棒４の先端にはこのテーパに適合す
るテーパ穴Htが穿ってあって試料ホルダ13はこのテーパ
穴に嵌入固定される。試料ホルダをテーパ穴から抜くに
は試料保持棒４の側面にこのテーパ穴に通じるように穿
った長孔にくさびを押込む。試料ホルダは上端が三つ割
してあり、試料を把持する。この構造によるときは、試
料は試料ホルダーがコレットチャックとなって試料を把
持するので、折断のための外力に抗することができる。
（考案の効果） 本考案によれば試料を真空中で破断してそのまゝ分析装
置内に移送できるので、破断面を外気に曝露することな
く分析することが可能となり、かつ分析操作そのもの
も、別の所で破断した試料を分析装置に入れるより能率
的になる。また通常この種の装置は試料保持棒は試料を
分析装置本体に送込んだ後、試料をそこに残して引戻す
ようになっているが、本考案では試料保持棒が分析装置
本体の試料出入口に挿入された状態で分析装置本体を気
密に閉じる栓となるので、試料を試料保持棒から外して
分析装置内にセットする機構が不要であり、更に試料保
持棒が試料を折る位置にあるとき、試料保持棒の先端付
近が同棒のガイドに保持されているので、試料を折るた
めの横方向からの力に対抗して試料を固定する機構を別
途設ける必要がなく、これらのことによって試料破断面
分析用試料出入装置の構造が簡単となる。
置内に移送できるので、破断面を外気に曝露することな
く分析することが可能となり、かつ分析操作そのもの
も、別の所で破断した試料を分析装置に入れるより能率
的になる。また通常この種の装置は試料保持棒は試料を
分析装置本体に送込んだ後、試料をそこに残して引戻す
ようになっているが、本考案では試料保持棒が分析装置
本体の試料出入口に挿入された状態で分析装置本体を気
密に閉じる栓となるので、試料を試料保持棒から外して
分析装置内にセットする機構が不要であり、更に試料保
持棒が試料を折る位置にあるとき、試料保持棒の先端付
近が同棒のガイドに保持されているので、試料を折るた
めの横方向からの力に対抗して試料を固定する機構を別
途設ける必要がなく、これらのことによって試料破断面
分析用試料出入装置の構造が簡単となる。
第１図は本考案装置の縦断側面図、第２図は別実施例の
要部縦断側面図である。 Ａ……分析装置本体、Ｂ……真空試料破断装置、１……
試料出入口、２……ゲートバルブ、４……試料保持棒、
７……試料保持棒を駆動するモータ、８……チャック、
９……チャック開閉機構、10……撞木棒、11……電磁石
装置、13……試料ホルダ。
要部縦断側面図である。 Ａ……分析装置本体、Ｂ……真空試料破断装置、１……
試料出入口、２……ゲートバルブ、４……試料保持棒、
７……試料保持棒を駆動するモータ、８……チャック、
９……チャック開閉機構、10……撞木棒、11……電磁石
装置、13……試料ホルダ。
Claims (1)
- 【請求項１】分析装置本体のゲートバルブを有する試料
出入口の外側に取付けられ排気系に接続された気密箱内
に、上記試料出入口に適合する外径を有し、試料出入口
に挿入されたとき同口を気密に閉塞する試料保持棒と、
同試料保持棒を上記分析装置本体内の試料分析位置と上
記試料出入口とを結ぶ線に沿って進退摺動可能に保持す
るガイドと、上記試料保持棒を後退させた位置で同棒先
端に保持させた試料と衝突する位置で試料保持棒の軸線
と交わる軸線を有し、その軸線に沿って進退せしめられ
る試料破断用部材とを設け、かつ試料保持棒を後退させ
た位置において同棒の先端部付近が上記ガイドに嵌合保
持されているようにした試料破断面分析用試料出入装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988153638U JPH0725667Y2 (ja) | 1988-11-26 | 1988-11-26 | 試料破断面分析用試料出入装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1988153638U JPH0725667Y2 (ja) | 1988-11-26 | 1988-11-26 | 試料破断面分析用試料出入装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0275548U JPH0275548U (ja) | 1990-06-08 |
| JPH0725667Y2 true JPH0725667Y2 (ja) | 1995-06-07 |
Family
ID=31429662
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1988153638U Expired - Lifetime JPH0725667Y2 (ja) | 1988-11-26 | 1988-11-26 | 試料破断面分析用試料出入装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0725667Y2 (ja) |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6017845A (ja) * | 1983-07-11 | 1985-01-29 | Hitachi Ltd | イオンマイクロアナライザ |
| JPH0323652Y2 (ja) * | 1986-07-25 | 1991-05-23 |
-
1988
- 1988-11-26 JP JP1988153638U patent/JPH0725667Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0275548U (ja) | 1990-06-08 |
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