JPS6298545A - 透過形電子顕微鏡の試料微動装置 - Google Patents

透過形電子顕微鏡の試料微動装置

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Publication number
JPS6298545A
JPS6298545A JP23730285A JP23730285A JPS6298545A JP S6298545 A JPS6298545 A JP S6298545A JP 23730285 A JP23730285 A JP 23730285A JP 23730285 A JP23730285 A JP 23730285A JP S6298545 A JPS6298545 A JP S6298545A
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JP
Japan
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sample holder
sample
valve
vacuum
ring
Prior art date
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Pending
Application number
JP23730285A
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English (en)
Inventor
Hisashi Sato
恒 佐藤
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Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
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Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は、電子顕微鐘の試料微動装置に係シ、特に、透
過形電子顕微鏡に好適な試料微動装置に関する。
〔発明の背景〕
従来の装置は実用新案公報、昭５７−４４５９９号に記
載のように試料の挿脱に関するものである。
本発明の如く真空シールとして使用するＯ　ＩＪングの
弾性変形等の影響を全く受けないような配慮はされてい
なかった。
〔発明の目的〕
本発明の目的は、試料ホルダーを機械的に安定すること
のできる透過形電子頒微鏝の試料微動装置を提供するこ
とにある。
〔発明の概要〕
本発明は高性能のサイドエントリー形試料微動装置を実
用化する際に障害となる試料の振動が試料ホルダー全体
の機械的不安定性によることを種種の実験により確認し
、この機械的不安定を解消する手段として試料ホルダー
のＯリングと試料微動装置が機械的に接触しないように
してＯリングの弾性変形の影響を受けないようにしたも
のである。
〔発明の実施例〕
以下、本発明の実施例について説明する。
第１図には、本発明の一実施例が示されている。
図において、１は透過形電子顕微鏡の鏡体である。この
鏡体１には試料微動装置２が取付けられている。試料ホ
ルダー３は大気中から試料微動装置２を貫通して鏡体１
の検鏡位置まで試料４を挿入した状態を示している。
試料ホルダー３を鏡体１の中に挿入する前には弁５が図
示に対して９０’　反時計方向に回転しＯリング６と接
し鏝体１と大気とを真空遮断している。試料ホルダー３
を挿入する手順としてまず最初に試料ホルダー３を真空
予備排気可能な位置に襄着する。すなわち試料ホルダー
３は図示に対し＋′ｌ て１８０°上の方向に反転し、弁５、開閉用ビン′７が
試料微動装置２のミゾ８に係合した位置である。この位
置で排気穴９，９′から排気管１０゜１０’と真空弁１
１全通して超高真空装置１２により真空予備排気する排
気後試料ホルダー３のつまみ１３を持って１８０°回転
し、弁５を図の如く開き試料ホルダー３を検覆位置まで
挿入する。
この試料ホルダー３の挿脱に伴なう弁５の開閉機構は公
知であシ詳細な説明は省略する。
図においてＯリング１４，１５，１６，１７゜１８は億
体１と大気とのＸ全遮断する働きをしている。
以上の試料微動装置において試料ホルダー３の０リング
１６は尚１９の空間２０の所にあるため真空シールとし
ての働きをしていない。しかし、試料ホルダー３のつま
み１３の一部をなすピストン２１と試料微動装置２の一
部をなす外筒２２により真空シールされているため、０
リング１６が箇１９に接しなくても真空は保たれる。
ピストン２１は試料ホルダー３を真空予備排気する時点
で外商２２に嵌合され試料ホルダー３の挿脱にともない
同方向に移動する。つまみ１３の回転はガイドビン２３
によって試料ホルダー３に伝えられる。試料の移動は微
動棒２４の軸方向移動により、試料ホルダー３を微動す
ることによシ行なう。試料ホルダ−３全体は真空中に置
かれているため、大気圧等の復元力は期待できない。微
動棒２４を反対に移動した場合は、試料ホルダー３の追
従はばね２５によってなされる。試料交換のため試料ホ
ルダー３を試料Ｖ動装置２から抜き取る際には試料ホル
ダー３を図示の右側方向に弁５開閉用ピン７が当たるま
で引出し、その位置で１８０°回転し弁５を閉じる。そ
の後真空弁１１を閉じて不活囲ガス導入弁２６を開き試
料微動装置２を大気圧の状態にする。
以上の操作により試料ホルダー３を取外すことかでさる
。
〔発明の効果〕
以上説明したように、本発明によれば試料ホルダーと試
料微動装置の間にＯＩＪングが一切介在しないため試料
ホルダー全体を機械的に強固に支持することが可能にな
り外部の糸切の影１・を受けづらくすることが可能にな
る。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の一実施例を示す試料微動装置の縦断面
図である。 １・・・鏡体、２・・・試料微動装置、３・・・試料ホ
ルダー、４・・・試料、５・・・弁、６，１４，１５，
１６，１７゜１８・・・０リング、７・・・開閉用ビン
、８・・・ミゾ、９゜９′・・・排気穴、１０．１０’
・・・排気管、１１・・・真空弁、１２・・・超高真空
装置、１３・・・つ捷み、１９・・・笥、２０・・・空
間、２１・・・ピストン、２２・・・外商、２３・・・
カイトビン、２４・・・微動棒、２５・・・ばね、二′
）） ２６・・・不活性ガス導入弁。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. １、鏡体と大気との間に弁を設け試料ホルダーを所定の
    位置に装着することにより前記弁との間に試料予備排気
    室を形成するように該試料ホルダーにＯリングを取付け
    たものにおいて、上記試料ホルダーを検鏡位置まで挿入
    した場合は上記Ｏリングが真空シールの機能を果さない
    ようにしたことを特徴とする透過形電子顕微鏡の試料微
    動装置。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2014030425A1 (ja) * 2012-08-20 2014-02-27 株式会社 日立ハイテクノロジーズ 電子顕微鏡及び試料移動装置
JP2014192109A (ja) * 2013-03-28 2014-10-06 Jeol Ltd 試料導入装置および荷電粒子線装置

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2014030425A1 (ja) * 2012-08-20 2014-02-27 株式会社 日立ハイテクノロジーズ 電子顕微鏡及び試料移動装置
JP2014038786A (ja) * 2012-08-20 2014-02-27 Hitachi High-Technologies Corp 荷電粒子線装置及び試料移動装置
CN104520964A (zh) * 2012-08-20 2015-04-15 株式会社日立高新技术 电子显微镜以及试样移动装置
JP2014192109A (ja) * 2013-03-28 2014-10-06 Jeol Ltd 試料導入装置および荷電粒子線装置

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