JPH0374036A - 電子顕微鏡における試料交換装置 - Google Patents
電子顕微鏡における試料交換装置Info
- Publication number
- JPH0374036A JPH0374036A JP1208187A JP20818789A JPH0374036A JP H0374036 A JPH0374036 A JP H0374036A JP 1208187 A JP1208187 A JP 1208187A JP 20818789 A JP20818789 A JP 20818789A JP H0374036 A JPH0374036 A JP H0374036A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- chamber
- vacuum seal
- insertion rod
- vacuum
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims abstract description 11
- 238000003780 insertion Methods 0.000 claims description 42
- 230000037431 insertion Effects 0.000 claims description 42
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 3
- 230000008569 process Effects 0.000 abstract description 3
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 10
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 239000003507 refrigerant Substances 0.000 description 3
- 208000010392 Bone Fractures Diseases 0.000 description 2
- 206010017076 Fracture Diseases 0.000 description 2
- 239000002826 coolant Substances 0.000 description 2
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 238000011282 treatment Methods 0.000 description 2
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 238000001000 micrograph Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000001073 sample cooling Methods 0.000 description 1
- 239000002470 thermal conductor Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
- B01L1/00—Enclosures; Chambers
- B01L1/02—Air-pressure chambers; Air-locks therefor
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/20—Means for supporting or positioning the objects or the material; Means for adjusting diaphragms or lenses associated with the support
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Clinical Laboratory Science (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
〔産業上の利用分野〕
本発明は、電子顕微鏡における試料交換装置の改良に関
する。 ［従来の技術］ 透過電子顕微鏡による試料観察においては、試料を高真
空中で作成または処理することによって清浄な表面を観
察することが要求されることがある。この様な要求を満
たすための装置として実開昭５９−６２６６２号公報に
記載される装置を従来例として挙げることができる。こ
の装置は、第５図に示すように電子顕微鏡の試料室側壁
１に仕切りバルブ２を挟んで取り付けられた予備排気室
３を備え、試料ステージを兼ねた試料挿入棒４の先端に
試料ホルダー５を着脱可能に保持した状態で予備排気室
を介して試料室内と大気側との間で試料ホルダー５を交
換できるように構成している。 予備排気室３は、排気管６を介して排気され、試料挿入
棒４の側面に刻設された環状溝に設けられたＯリング７
と予備排気室３の試料挿入口８の内壁面とで気密が保た
れる。 この様な装置を用いて試料を観察するには、先ず大気中
で準備された試料用ホルダー５を試料挿入棒４の先端に
取り付けた状態で、その先端部を予備排気室３の試料挿
入口８より挿入する。次に、排気管６を介して真空ポン
プにより予備排気室内を真空に排気する。予備排気室３
の側壁には、アタッチメンドロ９が設けられており、そ
の蓋１０の代わりに種々の試料処理装置を組み込むこと
により、真空状態のままで試料に対する種々の処理を行
うことができる。次に、バルブ２を開いて試料挿入棒４
の先端部を試料室内の破線で示す所定に位置１１に挿入
し、電子線を照射して電子顕微鏡像の観察が行われる。 観察像の視野移動は、試料挿入棒５の大気側に設けられ
た移動機構１２を操作することによって行われる。この
とき、試料を冷却した状態で観察するためには、試料挿
入棒４の内部に冷媒を循環させるバイブ（図示せず）を
設け、冷媒によって試料ホルダーを冷却する事が必要と
なる。しかし、試料ホルダーを支持する試料挿入棒４の
内部にその様な冷媒用のパイプを設けることは、パイプ
内を循環する冷媒の沸騰等による振動を無視することが
できず、電子顕微鏡像の観察に悪影響を及ぼしていた。 また他の従来装置においては、試料室内部に固定した試
料ステージを設け、試料挿入棒４の先端に着脱可能に保
持した試料ホルダー５を試料ステージに載置し、試料の
観察中は試料挿入棒４を試料室外に移動させ、試料ステ
ージを介して試料ホルダー５を冷却している。この様な
装置によれば、試料ステージに大きな振動を伝えないよ
うに試料ホルダーを冷却することは比較的容易となるが
、低温状態の試料を真空内で処理した後に、予備排気室
から試料ステージへの移動を行う際に、試料ホルダーの
温度を監視して一定に保ことかできず、試料ホルダーの
温度を一定に保ち難いという欠点があった。 ［発明が解決しようとする課題］ 本発明は、この様な問題を解決するため、大気中におい
て可撓性の冷却部材を試料ホルダーにしっかりと接触さ
せた後、低温状態の試料を真空内で処理し、その低温状
態を一定に保ちつつ試料室内に試料を移動させ、且つ試
料像観察中における試料への振動の影響を最小限に抑え
る事を主な目的とするものである。 ［課題を解決するための手段］ 本発明は、試料処理室または予備排気室を介して大気側
から試料室内に設けられた試料ステージに載置される試
料ホルダーを交換する装置において、試料処理室または
試料予備排気室と試料室とを仕切る仕切弁機構と、筒状
の挿入ロッドの真空側端部を塞ぐように形成した蓋体と
、蓋体の環状周辺に設けられた真空シール部と、真空シ
ール部の内側に設けられた試料挿入棒と、真空シール部
の内側の蓋体を貫通する端子と、端子と試料挿入棒に保
持される試料ホルダーを結ぶ可撓性部材を設け、前記仕
切弁機構の近傍に設けた環状の真空シール部と前記蓋体
の真空シール部の当接によって試料室の機密を保つよう
に構成したことを特徴とする。
する。 ［従来の技術］ 透過電子顕微鏡による試料観察においては、試料を高真
空中で作成または処理することによって清浄な表面を観
察することが要求されることがある。この様な要求を満
たすための装置として実開昭５９−６２６６２号公報に
記載される装置を従来例として挙げることができる。こ
の装置は、第５図に示すように電子顕微鏡の試料室側壁
１に仕切りバルブ２を挟んで取り付けられた予備排気室
３を備え、試料ステージを兼ねた試料挿入棒４の先端に
試料ホルダー５を着脱可能に保持した状態で予備排気室
を介して試料室内と大気側との間で試料ホルダー５を交
換できるように構成している。 予備排気室３は、排気管６を介して排気され、試料挿入
棒４の側面に刻設された環状溝に設けられたＯリング７
と予備排気室３の試料挿入口８の内壁面とで気密が保た
れる。 この様な装置を用いて試料を観察するには、先ず大気中
で準備された試料用ホルダー５を試料挿入棒４の先端に
取り付けた状態で、その先端部を予備排気室３の試料挿
入口８より挿入する。次に、排気管６を介して真空ポン
プにより予備排気室内を真空に排気する。予備排気室３
の側壁には、アタッチメンドロ９が設けられており、そ
の蓋１０の代わりに種々の試料処理装置を組み込むこと
により、真空状態のままで試料に対する種々の処理を行
うことができる。次に、バルブ２を開いて試料挿入棒４
の先端部を試料室内の破線で示す所定に位置１１に挿入
し、電子線を照射して電子顕微鏡像の観察が行われる。 観察像の視野移動は、試料挿入棒５の大気側に設けられ
た移動機構１２を操作することによって行われる。この
とき、試料を冷却した状態で観察するためには、試料挿
入棒４の内部に冷媒を循環させるバイブ（図示せず）を
設け、冷媒によって試料ホルダーを冷却する事が必要と
なる。しかし、試料ホルダーを支持する試料挿入棒４の
内部にその様な冷媒用のパイプを設けることは、パイプ
内を循環する冷媒の沸騰等による振動を無視することが
できず、電子顕微鏡像の観察に悪影響を及ぼしていた。 また他の従来装置においては、試料室内部に固定した試
料ステージを設け、試料挿入棒４の先端に着脱可能に保
持した試料ホルダー５を試料ステージに載置し、試料の
観察中は試料挿入棒４を試料室外に移動させ、試料ステ
ージを介して試料ホルダー５を冷却している。この様な
装置によれば、試料ステージに大きな振動を伝えないよ
うに試料ホルダーを冷却することは比較的容易となるが
、低温状態の試料を真空内で処理した後に、予備排気室
から試料ステージへの移動を行う際に、試料ホルダーの
温度を監視して一定に保ことかできず、試料ホルダーの
温度を一定に保ち難いという欠点があった。 ［発明が解決しようとする課題］ 本発明は、この様な問題を解決するため、大気中におい
て可撓性の冷却部材を試料ホルダーにしっかりと接触さ
せた後、低温状態の試料を真空内で処理し、その低温状
態を一定に保ちつつ試料室内に試料を移動させ、且つ試
料像観察中における試料への振動の影響を最小限に抑え
る事を主な目的とするものである。 ［課題を解決するための手段］ 本発明は、試料処理室または予備排気室を介して大気側
から試料室内に設けられた試料ステージに載置される試
料ホルダーを交換する装置において、試料処理室または
試料予備排気室と試料室とを仕切る仕切弁機構と、筒状
の挿入ロッドの真空側端部を塞ぐように形成した蓋体と
、蓋体の環状周辺に設けられた真空シール部と、真空シ
ール部の内側に設けられた試料挿入棒と、真空シール部
の内側の蓋体を貫通する端子と、端子と試料挿入棒に保
持される試料ホルダーを結ぶ可撓性部材を設け、前記仕
切弁機構の近傍に設けた環状の真空シール部と前記蓋体
の真空シール部の当接によって試料室の機密を保つよう
に構成したことを特徴とする。
第１図は、本発明の一実施例装置の要部断面を示す略図
であり、電子顕微鏡の試料ステージを収納する試料室の
璧に取り付けられた第１仕切バルブ１４を介して試料処
理室１５が、更に試料処理室の他端に取り付けられた第
２仕切りバルブ１６を介して予備排気室１７が設けられ
ている。これら筒状部材を用いて形成される試料処理室
１５と予備排気室１７は、夫々排気管１８と１９に接続
された排気ポンプによって排気される。試料処理室１５
には、アタッチメンドロ２０が設けられており、目的に
より種々の試料処理装置（図示せず）が組み込まれる。 予備排気室１７は、第２仕切りバルブ１６に蝶番（図示
せず）で取り付けられており、その内部を大気に晒すこ
とができる。また予備排気室１７には、その筒状端部に
回転可能に第２駆動リング２１が取り付けられており、
その内側の側面に刻まれたネジ溝と第２挿入ロツド２２
の端部に形成された鍔部外周に刻まれたネジ部とが螺合
する。第２挿入ロツド２２の鍔部と予備排気室１７とは
、ベローズ２３によって接続されているため、第２挿入
ロツド２２は、その軸心の回りの回転が阻止され、軸心
方向にのみ移動可能となる。 第２挿入ロツド２２には、その筒の内側に回転可能に第
１駆動リング２４が取り付けられており、その内側の側
面に刻まれたネジ溝と第１挿入ロツド２５の筒状端部に
形成された鍔部外周に刻まれたネジ部とが螺合する。第
１挿入ロツド２５の鍔部側面と第２挿入ロツド２２の端
部との間は、ベローズ２６によって接続されているため
、第１挿入ロツド２５は、その軸心の回りの回転が阻止
され、細心方向にのみ移動可能となる。 第１挿入ロツド２５の真空側端部には、筒状体の端部を
塞ぐように蓋体２７が取り付けられており、蓋体２７の
中央凹部２８には、試料挿入棒２９が挿入されている。 試料挿入棒２９の一端には、試料ホルダー３０が、他端
には磁石３１が取り付けられている。蓋体２７の中央凹
部２８の大気側外周には、その先端に磁石３２を取り付
けた筒状体を備えた操作棒３３が摺動可能に取り付けら
れている。蓋体２７の周辺に刻設された環状の溝にはＯ
リング３４が設けられており、０リング３４と凹部との
間には蓋体２３を貫通する端子３５が設けられており、
その真空側は、可撓性部材３６を介して試料ホルダー３
０に接続されている。端子３５の大気側は、試料観察目
的に応じて、冷却装置を構成する冷媒槽（図示せず）や
試料加熱装置を構成する加熱電源に接続される。 大気側に準備した試料を観察するには、まず予備排気室
１４内を開けて大気に晒し、試料ホルダー３０に試料（
図示せず）を把持（充填）する。 次に、この試料ホルダー３０を試料挿入棒２９の先端に
固定し、予備排気室１７内を気密にして真空に排気する
。このとき、第１および第２仕切り弁１４，１６は閉じ
ており、試料処理室１５内は排気管１８により予備排気
室１７とは別個の真空排気系により高真空に排気されて
いる。 次に、第２図に示すように、第２仕切弁１６を開いて、
第２駆動リング２１を回転させ第２挿入ロツド２２の先
端に設けられた０リング３７を試料処理室１５の鍔部に
形成された環状の真空シール部に当接させる。この操作
により、試料ホルダー３０は試料処理室内に移動するの
で、操作棒３３を操作してアタッチメンドロ２０取り付
けられた処理装置による処理が行われるような位置まで
移動させ、例えば試料破断装置による試料処理を行う。 このとき、大気側に設けられた試料冷却装置と接続され
た端子３５と可撓性部材３６を介して試料ホルダー３０
は低温に保たれ、常に一定の低温状態のまま試料破断処
理が行われる。 試料の破断処理を行った後は、ｊＩ！３図に示すごとく
、第１仕切りバルブ１４を開き、第１駆動リング２４を
回転させて、第１挿入ロツド２５の蓋２７に保持された
０リング３４を第１仕切りバルブ１４の近傍に形成され
た真空シール部３８に当接させる。この操作により、試
料ホルダー３０は電子顕微鏡の試料室内に移動するので
、操作棒３３を操作して試料挿入棒２９を試料ステージ
方向に移動させ、−試料ホルダー３０を試料ステージの
ホルダー載置箇所に置く。第４図はこの状態を示すもの
であり、試料ホルダー３０は試料ステージ３９に保持さ
れ、試料挿入棒２９とは切り離されるが、可撓性部材３
６を介して大気側の冷却装置に接続されているので、試
料処理後の試料の温度を常に一定に保つことが容易とな
る。更に、試料像の観察状態においても、従来装置のよ
うに試料冷却装置からの振動も伝わらないので、室温に
おける試料観察と同じ条件で試料像を観察することがで
きる。 なお、本発明は、上記の実施例に限定されるものではな
く、種々の変形が可能である。例えば、上記の実施例で
は、試料を冷却する場合を述べたが、試料ホルダーに加
熱ヒーターを組み込んで試料を加熱する場合には、可撓
性部材３６を熱伝導体から電気導体に代えればよい。ま
た、予備排気室と試料処理室を兼ねた試料交換装置にも
本発明を適用することは容易である。 ［発明の効果］ 以上の説明から明らかなように、本発明によれば、試料
処理室または予備排気室を介して大気側から試料室内に
設けられた試料ステージに載置される試料ホルダーを交
換する装置において、試料処理室または試料予備排気室
と試料室とを仕切る仕切弁機構と、筒状の挿入ロッドの
真空側端部を塞ぐように形成した蓋体と、蓋体の環状周
辺に設けられた真空シール部と、真空シール部の内側に
設けられた試料挿入棒と、真空シール部の内側の蓋体を
貫通する端子と、端子と試料挿入棒に保持される試料ホ
ルダーを結ぶ可撓性部材を設け、前記仕切弁機構の近傍
に設けた環状の真空シール部と前記蓋体の真空シール部
の当接によって試料室の機密を保つように構成している
ので、低温状態の試料を真空内で処理した後、その低温
状態を一定に保ちつつ試料室内に試料を移動させ、且つ
試料像観察中における試料への振動の影響を最小限に抑
える事が可能となった。また、書体に設ける真空シール
部に耐熱性の高い部材を用いることにより、試料ホルダ
ー周辺部の焼出し処理を可能として、装置全体を高真空
に保つことが可能となる。
であり、電子顕微鏡の試料ステージを収納する試料室の
璧に取り付けられた第１仕切バルブ１４を介して試料処
理室１５が、更に試料処理室の他端に取り付けられた第
２仕切りバルブ１６を介して予備排気室１７が設けられ
ている。これら筒状部材を用いて形成される試料処理室
１５と予備排気室１７は、夫々排気管１８と１９に接続
された排気ポンプによって排気される。試料処理室１５
には、アタッチメンドロ２０が設けられており、目的に
より種々の試料処理装置（図示せず）が組み込まれる。 予備排気室１７は、第２仕切りバルブ１６に蝶番（図示
せず）で取り付けられており、その内部を大気に晒すこ
とができる。また予備排気室１７には、その筒状端部に
回転可能に第２駆動リング２１が取り付けられており、
その内側の側面に刻まれたネジ溝と第２挿入ロツド２２
の端部に形成された鍔部外周に刻まれたネジ部とが螺合
する。第２挿入ロツド２２の鍔部と予備排気室１７とは
、ベローズ２３によって接続されているため、第２挿入
ロツド２２は、その軸心の回りの回転が阻止され、軸心
方向にのみ移動可能となる。 第２挿入ロツド２２には、その筒の内側に回転可能に第
１駆動リング２４が取り付けられており、その内側の側
面に刻まれたネジ溝と第１挿入ロツド２５の筒状端部に
形成された鍔部外周に刻まれたネジ部とが螺合する。第
１挿入ロツド２５の鍔部側面と第２挿入ロツド２２の端
部との間は、ベローズ２６によって接続されているため
、第１挿入ロツド２５は、その軸心の回りの回転が阻止
され、細心方向にのみ移動可能となる。 第１挿入ロツド２５の真空側端部には、筒状体の端部を
塞ぐように蓋体２７が取り付けられており、蓋体２７の
中央凹部２８には、試料挿入棒２９が挿入されている。 試料挿入棒２９の一端には、試料ホルダー３０が、他端
には磁石３１が取り付けられている。蓋体２７の中央凹
部２８の大気側外周には、その先端に磁石３２を取り付
けた筒状体を備えた操作棒３３が摺動可能に取り付けら
れている。蓋体２７の周辺に刻設された環状の溝にはＯ
リング３４が設けられており、０リング３４と凹部との
間には蓋体２３を貫通する端子３５が設けられており、
その真空側は、可撓性部材３６を介して試料ホルダー３
０に接続されている。端子３５の大気側は、試料観察目
的に応じて、冷却装置を構成する冷媒槽（図示せず）や
試料加熱装置を構成する加熱電源に接続される。 大気側に準備した試料を観察するには、まず予備排気室
１４内を開けて大気に晒し、試料ホルダー３０に試料（
図示せず）を把持（充填）する。 次に、この試料ホルダー３０を試料挿入棒２９の先端に
固定し、予備排気室１７内を気密にして真空に排気する
。このとき、第１および第２仕切り弁１４，１６は閉じ
ており、試料処理室１５内は排気管１８により予備排気
室１７とは別個の真空排気系により高真空に排気されて
いる。 次に、第２図に示すように、第２仕切弁１６を開いて、
第２駆動リング２１を回転させ第２挿入ロツド２２の先
端に設けられた０リング３７を試料処理室１５の鍔部に
形成された環状の真空シール部に当接させる。この操作
により、試料ホルダー３０は試料処理室内に移動するの
で、操作棒３３を操作してアタッチメンドロ２０取り付
けられた処理装置による処理が行われるような位置まで
移動させ、例えば試料破断装置による試料処理を行う。 このとき、大気側に設けられた試料冷却装置と接続され
た端子３５と可撓性部材３６を介して試料ホルダー３０
は低温に保たれ、常に一定の低温状態のまま試料破断処
理が行われる。 試料の破断処理を行った後は、ｊＩ！３図に示すごとく
、第１仕切りバルブ１４を開き、第１駆動リング２４を
回転させて、第１挿入ロツド２５の蓋２７に保持された
０リング３４を第１仕切りバルブ１４の近傍に形成され
た真空シール部３８に当接させる。この操作により、試
料ホルダー３０は電子顕微鏡の試料室内に移動するので
、操作棒３３を操作して試料挿入棒２９を試料ステージ
方向に移動させ、−試料ホルダー３０を試料ステージの
ホルダー載置箇所に置く。第４図はこの状態を示すもの
であり、試料ホルダー３０は試料ステージ３９に保持さ
れ、試料挿入棒２９とは切り離されるが、可撓性部材３
６を介して大気側の冷却装置に接続されているので、試
料処理後の試料の温度を常に一定に保つことが容易とな
る。更に、試料像の観察状態においても、従来装置のよ
うに試料冷却装置からの振動も伝わらないので、室温に
おける試料観察と同じ条件で試料像を観察することがで
きる。 なお、本発明は、上記の実施例に限定されるものではな
く、種々の変形が可能である。例えば、上記の実施例で
は、試料を冷却する場合を述べたが、試料ホルダーに加
熱ヒーターを組み込んで試料を加熱する場合には、可撓
性部材３６を熱伝導体から電気導体に代えればよい。ま
た、予備排気室と試料処理室を兼ねた試料交換装置にも
本発明を適用することは容易である。 ［発明の効果］ 以上の説明から明らかなように、本発明によれば、試料
処理室または予備排気室を介して大気側から試料室内に
設けられた試料ステージに載置される試料ホルダーを交
換する装置において、試料処理室または試料予備排気室
と試料室とを仕切る仕切弁機構と、筒状の挿入ロッドの
真空側端部を塞ぐように形成した蓋体と、蓋体の環状周
辺に設けられた真空シール部と、真空シール部の内側に
設けられた試料挿入棒と、真空シール部の内側の蓋体を
貫通する端子と、端子と試料挿入棒に保持される試料ホ
ルダーを結ぶ可撓性部材を設け、前記仕切弁機構の近傍
に設けた環状の真空シール部と前記蓋体の真空シール部
の当接によって試料室の機密を保つように構成している
ので、低温状態の試料を真空内で処理した後、その低温
状態を一定に保ちつつ試料室内に試料を移動させ、且つ
試料像観察中における試料への振動の影響を最小限に抑
える事が可能となった。また、書体に設ける真空シール
部に耐熱性の高い部材を用いることにより、試料ホルダ
ー周辺部の焼出し処理を可能として、装置全体を高真空
に保つことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の位置実施例装置を示す略図、第２図お
よび第３図は第１図の装置の動作を説明するための略図
、第４図は第１図の装置の一部要部を説明するための略
図、第５図は従来の試料交換装置を示す略図である。 １ ・・・試料室側壁 ３ ・・・予備排気室 ５ ・・・試料ホルダー ８ ・・・試料挿入口 ９ ・・・アタッチメンドロ １２ ・・・試料移動機構 １４ ・・・第１仕切りバルブ １５ ・・・試料処理室 ２ ・・・仕切りバルブ ４ ・・・試料挿入棒 ６ ・・・排気管 ６ ７ ０ １ ２ ３ ５ ６ ０ ３１゜ ５ ８ ・・・第２仕切りバルブ ・・・予備排気室 ・・・アタッチメンドロ ・・・第２駆動リング ・・・第２挿入ロツド ・・・ベローズ ２４ ・・・第１挿入ロツド ・・・ベローズ ２９ ・・・試料挿入棒・・・試料
ホルダー ３２・・・磁石 ３３ ・・・操作棒・・・端子
３６ ・・・可撓性部材・・・真空シール ３９
・・・試料ステージ・・・第１駆動リング
よび第３図は第１図の装置の動作を説明するための略図
、第４図は第１図の装置の一部要部を説明するための略
図、第５図は従来の試料交換装置を示す略図である。 １ ・・・試料室側壁 ３ ・・・予備排気室 ５ ・・・試料ホルダー ８ ・・・試料挿入口 ９ ・・・アタッチメンドロ １２ ・・・試料移動機構 １４ ・・・第１仕切りバルブ １５ ・・・試料処理室 ２ ・・・仕切りバルブ ４ ・・・試料挿入棒 ６ ・・・排気管 ６ ７ ０ １ ２ ３ ５ ６ ０ ３１゜ ５ ８ ・・・第２仕切りバルブ ・・・予備排気室 ・・・アタッチメンドロ ・・・第２駆動リング ・・・第２挿入ロツド ・・・ベローズ ２４ ・・・第１挿入ロツド ・・・ベローズ ２９ ・・・試料挿入棒・・・試料
ホルダー ３２・・・磁石 ３３ ・・・操作棒・・・端子
３６ ・・・可撓性部材・・・真空シール ３９
・・・試料ステージ・・・第１駆動リング
Claims (1)
- 試料処理室または予備排気室を経て大気側から試料室内
に設けられた試料ステージに載置される試料ホルダーを
交換する装置において、試料処理室または試料予備排気
室と試料室とを仕切る仕切弁機構と、筒状の挿入ロッド
の真空側端部を塞ぐように形成した蓋体と、蓋体の環状
周辺に設けられた真空シール部と、真空シール部の内側
に設けられた試料挿入棒と、真空シール部の内側の蓋体
を貫通する端子と、端子と試料挿入棒に保持される試料
ホルダーを結ぶ可撓性部材を設け、前記仕切弁機構の近
傍に設けた環状の真空シール部と前記蓋体の真空シール
部の当接によって試料室の機密を保つように構成したこ
とを特徴とする電子顕微鏡における試料交換装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1208187A JPH0374036A (ja) | 1989-08-11 | 1989-08-11 | 電子顕微鏡における試料交換装置 |
| US07/561,876 US5039864A (en) | 1989-08-11 | 1990-08-02 | Device for replacing electron microscope specimens |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1208187A JPH0374036A (ja) | 1989-08-11 | 1989-08-11 | 電子顕微鏡における試料交換装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0374036A true JPH0374036A (ja) | 1991-03-28 |
Family
ID=16552105
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1208187A Pending JPH0374036A (ja) | 1989-08-11 | 1989-08-11 | 電子顕微鏡における試料交換装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5039864A (ja) |
| JP (1) | JPH0374036A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0745043U (ja) * | 1991-12-04 | 1995-12-12 | 電子科学株式会社 | 高真空チャンバ用マニュピレータ |
| JP2009033005A (ja) * | 2007-07-30 | 2009-02-12 | Ricoh Co Ltd | シール機構、ステージ装置、及び電子線描画装置 |
Families Citing this family (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH09120789A (ja) * | 1995-10-25 | 1997-05-06 | Jeol Ltd | 試料冷却システム |
| WO1998028776A2 (en) * | 1996-12-23 | 1998-07-02 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Particle-optical apparatus including a low-temperature specimen holder |
| US5753924A (en) * | 1997-03-12 | 1998-05-19 | Gatan, Inc. | Ultra-high tilt specimen cryotransfer holder for electron microscope |
| JP3986778B2 (ja) * | 2001-08-10 | 2007-10-03 | 日本電子株式会社 | ホルダ支持装置 |
| FR2973152B1 (fr) * | 2011-03-23 | 2018-01-26 | Areva Nc | Installation etanche destinee a la manipulation de materiau en poudre |
| US20140082920A1 (en) * | 2012-09-27 | 2014-03-27 | International Business Machines Corporation | High aspect ratio sample holder |
| EP3632560B1 (en) * | 2018-10-05 | 2022-03-02 | kiutra GmbH | System and method for inserting a sample into a chamber |
| EP3699953A1 (en) | 2019-02-21 | 2020-08-26 | FEI Company | Transport apparatus and method for transferring a sample between two devices, and system for sample manipulation |
| CN116798839B (zh) * | 2023-08-25 | 2023-11-07 | 国仪量子(合肥)技术有限公司 | 扫描电镜的送样装置和扫描电镜 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US2220973A (en) * | 1939-03-31 | 1940-11-12 | Rca Corp | Electron microscope |
| US3761709A (en) * | 1971-03-16 | 1973-09-25 | Jeol Ltd | Method and apparatus for observing biological specimens using a scanning electron microscope |
-
1989
- 1989-08-11 JP JP1208187A patent/JPH0374036A/ja active Pending
-
1990
- 1990-08-02 US US07/561,876 patent/US5039864A/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0745043U (ja) * | 1991-12-04 | 1995-12-12 | 電子科学株式会社 | 高真空チャンバ用マニュピレータ |
| JP2009033005A (ja) * | 2007-07-30 | 2009-02-12 | Ricoh Co Ltd | シール機構、ステージ装置、及び電子線描画装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5039864A (en) | 1991-08-13 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH0374036A (ja) | 電子顕微鏡における試料交換装置 | |
| JP2561699B2 (ja) | 電子顕微鏡用試料装置 | |
| JPH04220504A (ja) | 生体試料観察用走査型トンネル顕微鏡 | |
| US3761709A (en) | Method and apparatus for observing biological specimens using a scanning electron microscope | |
| JP2001336881A (ja) | 金属の溶解装置 | |
| JP2006242663A (ja) | エネルギー分散型ｘ線検出器および試料分析装置 | |
| JP6140298B2 (ja) | 試料ホルダ及び真空分析装置 | |
| EP3139397A1 (en) | Transport device, treatment device, vacuum device, and charged particle beam device | |
| US3817084A (en) | Apparatus for inserting and removing specimens from high temperature vacuum furnaces | |
| JP6764902B2 (ja) | 試料ホルダー | |
| US3720829A (en) | Sample fracturing apparatus | |
| JP2017183501A (ja) | 超電導マグネット装置 | |
| JPH02109240A (ja) | イオンビーム装置およびその使用方法 | |
| JP2010050301A (ja) | アニール炉 | |
| JPH05128988A (ja) | 電子線装置 | |
| JPS6086748A (ja) | 電子顕微鏡用雰囲気試料室 | |
| JPH062199Y2 (ja) | 電子顕微鏡の試料ホルダ排気装置 | |
| JPH07147151A (ja) | 電子顕微鏡 | |
| WO1984004203A1 (en) | Sample holder transporting device | |
| JP2022069812A (ja) | 試料ホルダ及びそれを備える荷電粒子線装置 | |
| JPH05180582A (ja) | 炉内モニタ装置 | |
| JPS643171Y2 (ja) | ||
| JPH05258701A (ja) | 電子線装置 | |
| JP3684456B2 (ja) | 直動機構を持つ処理容器を備えた処理装置 | |
| JPH0548357Y2 (ja) |