JPH05180582A - 炉内モニタ装置 - Google Patents
炉内モニタ装置Info
- Publication number
- JPH05180582A JPH05180582A JP34616691A JP34616691A JPH05180582A JP H05180582 A JPH05180582 A JP H05180582A JP 34616691 A JP34616691 A JP 34616691A JP 34616691 A JP34616691 A JP 34616691A JP H05180582 A JPH05180582 A JP H05180582A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- furnace
- sample
- ray
- window
- tight box
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Length-Measuring Devices Using Wave Or Particle Radiation (AREA)
- Waste-Gas Treatment And Other Accessory Devices For Furnaces (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】炉内ガスや炉内の赤外発光に影響されずに炉内
試料を適切にモニタできるようにする。 【構成】処理室Ｓを挾んだ炉胴１の対面位置にＸ線透過
性物質からなる一対の透過窓７、８を形成し、透過窓７
の炉外対向位置にＸ線管９を配置し、透過窓８の炉外対
向位置にイメージインテンシファイア１０を配置した。
試料を適切にモニタできるようにする。 【構成】処理室Ｓを挾んだ炉胴１の対面位置にＸ線透過
性物質からなる一対の透過窓７、８を形成し、透過窓７
の炉外対向位置にＸ線管９を配置し、透過窓８の炉外対
向位置にイメージインテンシファイア１０を配置した。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、工業炉一般に適用して
炉内の処理物の状態変化をモニタするために有用となる
炉内モニタ装置に関するものである。
炉内の処理物の状態変化をモニタするために有用となる
炉内モニタ装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】工業炉一般において、処理中の炉内試料
をモニタしたいという強い要望が従来からある。そこで
近時においては、炉内モニタ装置として、炉胴およびタ
イトボックスに開口部を設け、炉胴の開口部にガラス窓
などの透光窓を取着して、その窓を介して炉内を覗き込
めるようにしたものが考えられている。
をモニタしたいという強い要望が従来からある。そこで
近時においては、炉内モニタ装置として、炉胴およびタ
イトボックスに開口部を設け、炉胴の開口部にガラス窓
などの透光窓を取着して、その窓を介して炉内を覗き込
めるようにしたものが考えられている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところが、このような
構成は、ガラス窓の内面をタイトボックス内若しくはそ
れとの連通空間内に気密に封入しておく必要がある。し
かして、単に炉胴とタイトボックスの間を筒体などの連
結部材を用いて機械的に連結した場合には、タイトボッ
クス内に充満するワックス等の炉内ガスがガラス窓の内
面付近に達してガラスを曇らせ、この曇りにより炉内の
試料が見辛くなり、モニタが困難になるという問題を生
じる。また、タイトボックスは常温から千数百度の間で
使用され温度変化に伴って膨脹、収縮するのが通例であ
るが、そのような単純な連結構造がとられると、タイト
ボックスの熱歪により炉胴に対するタイトボックスの相
対変位が生じた場合に、連結部にこじれ力が働いて連結
部材が外れ、ワックス等がタイトボックス外に流出して
炉内汚染を進行させるという深刻な問題に発展する。さ
らに、炉の目的からして炉内は可及的に均等加熱される
ことが望ましいのであるが、逆にこのような均熱化が進
むほど、試料を含めた炉内全体からの赤外領域の発光現
象により試料に陰影（コントラスト）が付きにくくな
り、たとえ曇りのない透光窓から覗き込んでも形状の識
別が困難となるケースを生じ得る。
構成は、ガラス窓の内面をタイトボックス内若しくはそ
れとの連通空間内に気密に封入しておく必要がある。し
かして、単に炉胴とタイトボックスの間を筒体などの連
結部材を用いて機械的に連結した場合には、タイトボッ
クス内に充満するワックス等の炉内ガスがガラス窓の内
面付近に達してガラスを曇らせ、この曇りにより炉内の
試料が見辛くなり、モニタが困難になるという問題を生
じる。また、タイトボックスは常温から千数百度の間で
使用され温度変化に伴って膨脹、収縮するのが通例であ
るが、そのような単純な連結構造がとられると、タイト
ボックスの熱歪により炉胴に対するタイトボックスの相
対変位が生じた場合に、連結部にこじれ力が働いて連結
部材が外れ、ワックス等がタイトボックス外に流出して
炉内汚染を進行させるという深刻な問題に発展する。さ
らに、炉の目的からして炉内は可及的に均等加熱される
ことが望ましいのであるが、逆にこのような均熱化が進
むほど、試料を含めた炉内全体からの赤外領域の発光現
象により試料に陰影（コントラスト）が付きにくくな
り、たとえ曇りのない透光窓から覗き込んでも形状の識
別が困難となるケースを生じ得る。
【０００４】本発明は、これらの不具合を伴うことなく
炉内の試料を適切にモニタできるようにした炉内モニタ
装置を提供することを目的としている。
炉内の試料を適切にモニタできるようにした炉内モニタ
装置を提供することを目的としている。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、かかる目的を
達成するために、次のような構成を採用したものであ
る。
達成するために、次のような構成を採用したものであ
る。
【０００６】すなわち、本発明に係る炉内モニタ装置
は、処理室を挾んだ炉胴の対面位置にＸ線透過性物質か
らなる一対の透過窓を形成し、一方の透過窓の炉外対向
位置にＸ線放射器を配置するとともに他方の透過窓の炉
外対向位置にＸ線受像器を配置して、それらの放射器お
よび受像器により炉内の試料を透過窓を介して撮像する
ことを特徴とする。
は、処理室を挾んだ炉胴の対面位置にＸ線透過性物質か
らなる一対の透過窓を形成し、一方の透過窓の炉外対向
位置にＸ線放射器を配置するとともに他方の透過窓の炉
外対向位置にＸ線受像器を配置して、それらの放射器お
よび受像器により炉内の試料を透過窓を介して撮像する
ことを特徴とする。
【０００７】
【作用】このような構成のものであれば、この種の炉が
炉胴以外の部位をグラファイト等のＸ線透過性物質で作
られていることから、放射器から透過窓を介して入射さ
せたＸ線を試料を透過させた後に透過窓を介して受像器
に受光させることができる。そのため、炉内ガスや赤外
発光の影響を受けずに炉内試料の確実なモニタが可能に
なる。しかも、可視光を用いた従来形モニタ装置のよう
に炉内構成要素であるタイトボックスや断熱材などに透
光用の貫通孔を設けなければならないといった大幅な改
造を伴うことがなく、炉胴に透過窓さえ設ければよいの
で、従来炉に容易に適用でき、タイトボックスの熱歪に
よる不具合も問題とならない。その上、Ｘ線を用いた場
合には、試料の輪郭だけでなく変形やだれ或いは内部の
破壊やひび等も観測できるので、試料に対するモニタ項
目が増え、試料をより多面的に捉えることが可能にな
る。
炉胴以外の部位をグラファイト等のＸ線透過性物質で作
られていることから、放射器から透過窓を介して入射さ
せたＸ線を試料を透過させた後に透過窓を介して受像器
に受光させることができる。そのため、炉内ガスや赤外
発光の影響を受けずに炉内試料の確実なモニタが可能に
なる。しかも、可視光を用いた従来形モニタ装置のよう
に炉内構成要素であるタイトボックスや断熱材などに透
光用の貫通孔を設けなければならないといった大幅な改
造を伴うことがなく、炉胴に透過窓さえ設ければよいの
で、従来炉に容易に適用でき、タイトボックスの熱歪に
よる不具合も問題とならない。その上、Ｘ線を用いた場
合には、試料の輪郭だけでなく変形やだれ或いは内部の
破壊やひび等も観測できるので、試料に対するモニタ項
目が増え、試料をより多面的に捉えることが可能にな
る。
【０００８】
【実施例】以下、本発明の一実施例を、図面を参照して
説明する。
説明する。
【０００９】この炉内モニタ装置が適用される炉は、鉄
製の炉胴１の内部にグラファイト製のタイトボックス２
を配置し、このタイトボックス２の外側にロッドヒータ
３を配設して、タイトボックス２を介して内部の処理室
Ｓを加熱するようにしている。ヒータ３と炉胴１の間に
はヒータ３の熱が炉胴１に伝達されることを防止するグ
ラファイトフェルト成形品たる断熱材４が貼り巡らして
あり、炉胴１を加熱から有効に保護するとともに、処理
室Ｓに対する加熱効率の向上を図っている。なお、この
炉は差圧フロー方式と称されるガス導入方式を採用して
おり、ガス導入系路５から導入したガスをタイトボック
ス２の隙間を介して処理室Ｓ側に流入させ、しかる後、
排気系路６を介し直接炉外に排出することで、処理室Ｓ
で発生するワックス等がタイトボックス２と炉胴１の隙
間に漏洩して炉内を汚染することを防止する。
製の炉胴１の内部にグラファイト製のタイトボックス２
を配置し、このタイトボックス２の外側にロッドヒータ
３を配設して、タイトボックス２を介して内部の処理室
Ｓを加熱するようにしている。ヒータ３と炉胴１の間に
はヒータ３の熱が炉胴１に伝達されることを防止するグ
ラファイトフェルト成形品たる断熱材４が貼り巡らして
あり、炉胴１を加熱から有効に保護するとともに、処理
室Ｓに対する加熱効率の向上を図っている。なお、この
炉は差圧フロー方式と称されるガス導入方式を採用して
おり、ガス導入系路５から導入したガスをタイトボック
ス２の隙間を介して処理室Ｓ側に流入させ、しかる後、
排気系路６を介し直接炉外に排出することで、処理室Ｓ
で発生するワックス等がタイトボックス２と炉胴１の隙
間に漏洩して炉内を汚染することを防止する。
【００１０】このような炉において、本実施例の炉内モ
ニタ装置は、タイトボックス２を挾んだ炉胴１の対向位
置にフランジ７ａ、８ａを形成し、それらのフランジ７
ａ、８ａの開口端７ｂ、８ｂをＸ線透過率の高いベリリ
ウム製の板７ｃ、８ｃで蓋封してＸ線透過窓７、８を形
成している。そして、一方の透過窓７の炉外対向位置に
Ｘ線放射器たるＸ線管９を配置し、他方の透過窓８の炉
外対向位置にＸ線受像器たるイメージインテンシファイ
ア１０を配置している。なお、透過窓７、８の内面にも
断熱材４を配設し、これらの透過窓７、８の外面温度を
常温に近づけて冷却を不要ならしめるようにしている。
ニタ装置は、タイトボックス２を挾んだ炉胴１の対向位
置にフランジ７ａ、８ａを形成し、それらのフランジ７
ａ、８ａの開口端７ｂ、８ｂをＸ線透過率の高いベリリ
ウム製の板７ｃ、８ｃで蓋封してＸ線透過窓７、８を形
成している。そして、一方の透過窓７の炉外対向位置に
Ｘ線放射器たるＸ線管９を配置し、他方の透過窓８の炉
外対向位置にＸ線受像器たるイメージインテンシファイ
ア１０を配置している。なお、透過窓７、８の内面にも
断熱材４を配設し、これらの透過窓７、８の外面温度を
常温に近づけて冷却を不要ならしめるようにしている。
【００１１】このような構成のものであれば、断熱材４
やタイトボックス２はグラファイト製品であってＸ線透
過性があり、ヒータ３等もＸ線透過性があるため、Ｘ線
管９から透過窓７を介して炉内に入射されたＸ線は、処
理室Ｓに配置した試料Ｗに照射された後、それを透過し
て、透過窓８を介してイメージインテンシファイア１０
に受光されることになる。そのため、処理室Ｓにワック
ス等の炉内ガスが充満していたり、タイトボックス２の
内面や処理物Ｗが均等加熱されて同一波長の赤外発光を
起こしていたりしても、それらの影響を受けずに炉内試
料Ｗの撮像を確実に行うことができる。しかも、可視光
を用いた従来形モニタ装置のように炉内構成要素である
タイトボックス２や断熱材４などに透光用の貫通孔を設
けなければならないといった大幅な改造を伴うことがな
く、透光窓７、８さえ設ければよいので、従来炉に容易
に適用でき、タイトボックス２の熱歪による不具合も問
題にならずに済む。その上、Ｘ線を用いた場合には、試
料Ｗの輪郭だけでなく、その変形やだれ或いは内部の破
壊やひび等も観測できるので、試料Ｗに対するモニタ項
目が増え、該試料Ｗを多面的に捉えてより具体的な評価
を下すことが可能になる。その結果、この炉内モニタ装
置は、試料Ｗの内部状態をリアルタイムでかつ具体的に
把握したい要求のある焼結処理などに適用して極めて有
用なものとなる。
やタイトボックス２はグラファイト製品であってＸ線透
過性があり、ヒータ３等もＸ線透過性があるため、Ｘ線
管９から透過窓７を介して炉内に入射されたＸ線は、処
理室Ｓに配置した試料Ｗに照射された後、それを透過し
て、透過窓８を介してイメージインテンシファイア１０
に受光されることになる。そのため、処理室Ｓにワック
ス等の炉内ガスが充満していたり、タイトボックス２の
内面や処理物Ｗが均等加熱されて同一波長の赤外発光を
起こしていたりしても、それらの影響を受けずに炉内試
料Ｗの撮像を確実に行うことができる。しかも、可視光
を用いた従来形モニタ装置のように炉内構成要素である
タイトボックス２や断熱材４などに透光用の貫通孔を設
けなければならないといった大幅な改造を伴うことがな
く、透光窓７、８さえ設ければよいので、従来炉に容易
に適用でき、タイトボックス２の熱歪による不具合も問
題にならずに済む。その上、Ｘ線を用いた場合には、試
料Ｗの輪郭だけでなく、その変形やだれ或いは内部の破
壊やひび等も観測できるので、試料Ｗに対するモニタ項
目が増え、該試料Ｗを多面的に捉えてより具体的な評価
を下すことが可能になる。その結果、この炉内モニタ装
置は、試料Ｗの内部状態をリアルタイムでかつ具体的に
把握したい要求のある焼結処理などに適用して極めて有
用なものとなる。
【００１２】なお、本発明は上述した実施例のみに限定
されるものではない。例えば、前記実施例では透過窓
７、８をベリリウムで構成しているが、アルミニウムや
チタンなど他のＸ線透過性物質で構成してもよいのは勿
論である。また、Ｘ線による被曝を防止するために、Ｘ
線管９の放射窓９ａにコリメータなる絞りをつけて不必
要な場所にＸ線が放射されないようにしたり、透過窓８
側に、イメージインテンシファイア１０に入射する部位
以外のＸ線をカットする遮蔽板を設けること等が有効に
なる。ところで、イメージインテンシファイア１０は電
子の動きを利用して受像するものであるが、炉内にはヒ
ータ３が存在しそれに通電される大電流により炉内若し
くは炉の近傍に磁界が発生していると考えられるので、
その磁界の作用でイメージインテンシファイア１０の電
子の動きに悪影響が及ぶことが予想される。そのような
不具合を解消するためには、イメージインテンシファイ
ア１０の周囲を珪素鋼板やアモルファス等で覆い、磁気
シールドしておくことが有効になる。勿論、受像器がイ
メージインテンシファイアのような電子の動きを利用す
るものでないときは、そのような対応策は不要である。
さらにまた、炉内の試料Ｗをターンテーブル上に載設し
て回転させるようにすれば、全方位形のモニタ装置に簡
単に改造することができる。その他の構成も、本発明の
趣旨を逸脱しない範囲で種々変形が可能である。
されるものではない。例えば、前記実施例では透過窓
７、８をベリリウムで構成しているが、アルミニウムや
チタンなど他のＸ線透過性物質で構成してもよいのは勿
論である。また、Ｘ線による被曝を防止するために、Ｘ
線管９の放射窓９ａにコリメータなる絞りをつけて不必
要な場所にＸ線が放射されないようにしたり、透過窓８
側に、イメージインテンシファイア１０に入射する部位
以外のＸ線をカットする遮蔽板を設けること等が有効に
なる。ところで、イメージインテンシファイア１０は電
子の動きを利用して受像するものであるが、炉内にはヒ
ータ３が存在しそれに通電される大電流により炉内若し
くは炉の近傍に磁界が発生していると考えられるので、
その磁界の作用でイメージインテンシファイア１０の電
子の動きに悪影響が及ぶことが予想される。そのような
不具合を解消するためには、イメージインテンシファイ
ア１０の周囲を珪素鋼板やアモルファス等で覆い、磁気
シールドしておくことが有効になる。勿論、受像器がイ
メージインテンシファイアのような電子の動きを利用す
るものでないときは、そのような対応策は不要である。
さらにまた、炉内の試料Ｗをターンテーブル上に載設し
て回転させるようにすれば、全方位形のモニタ装置に簡
単に改造することができる。その他の構成も、本発明の
趣旨を逸脱しない範囲で種々変形が可能である。
【００１３】
【発明の効果】本発明は、以上説明したごとく、Ｘ線を
用いて炉内の試料を撮像し得るようにしたため、炉内ガ
スや赤外発光などの影響を受けないモニタが可能にな
り、適用に際しても炉に対する改造は透過窓を設けるだ
けでよいため従来形モニタ装置に比べれて格段に適用が
容易になり、さらに、Ｘ線を用いたことで試料の輪郭だ
けでなく変形やだれ或いは内部の破壊やひび等の観測も
可能になり、試料に対するより多方面に亘るデータ収
集、評価が可能になる。
用いて炉内の試料を撮像し得るようにしたため、炉内ガ
スや赤外発光などの影響を受けないモニタが可能にな
り、適用に際しても炉に対する改造は透過窓を設けるだ
けでよいため従来形モニタ装置に比べれて格段に適用が
容易になり、さらに、Ｘ線を用いたことで試料の輪郭だ
けでなく変形やだれ或いは内部の破壊やひび等の観測も
可能になり、試料に対するより多方面に亘るデータ収
集、評価が可能になる。
【図１】本発明の一実施例を示す模式的な構成図。
１…炉胴 ７、８…透過窓 ９…Ｘ線放射器（Ｘ線管） １０…Ｘ線受像器（イメージインテンシファイア） Ｓ…処理室 Ｗ…試料
Claims (1)
- 【請求項１】処理室を挾んだ炉胴の対面位置にＸ線透過
性物質からなる一対の透過窓を形成し、一方の透過窓の
炉外対向位置にＸ線放射器を配置するとともに他方の透
過窓の炉外対向位置にＸ線受像器を配置して、それらの
放射器および受像器により炉内の試料を透過窓を介して
撮像することを特徴とする炉内モニタ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34616691A JPH05180582A (ja) | 1991-12-27 | 1991-12-27 | 炉内モニタ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34616691A JPH05180582A (ja) | 1991-12-27 | 1991-12-27 | 炉内モニタ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05180582A true JPH05180582A (ja) | 1993-07-23 |
Family
ID=18381563
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34616691A Pending JPH05180582A (ja) | 1991-12-27 | 1991-12-27 | 炉内モニタ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05180582A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005353712A (ja) * | 2004-06-09 | 2005-12-22 | Okuhara Electric Inc | Ｘ線透視カメラを含む半田付装置 |
| JP2012163524A (ja) * | 2011-02-09 | 2012-08-30 | Jfe Steel Corp | レンガ厚み測定方法 |
-
1991
- 1991-12-27 JP JP34616691A patent/JPH05180582A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005353712A (ja) * | 2004-06-09 | 2005-12-22 | Okuhara Electric Inc | Ｘ線透視カメラを含む半田付装置 |
| JP2012163524A (ja) * | 2011-02-09 | 2012-08-30 | Jfe Steel Corp | レンガ厚み測定方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4852137A (en) | Imaging of light-opaque specimens by transmission of radiation therethrough | |
| US9753509B2 (en) | Imaging apparatus for thermal analyzer and thermal analyzer including the same | |
| JPS5916254A (ja) | 携帯用ｘ線装置 | |
| GB2208431A (en) | Conditioning x-ray detectors | |
| JPH05180582A (ja) | 炉内モニタ装置 | |
| JPH0374036A (ja) | 電子顕微鏡における試料交換装置 | |
| JP2009236888A (ja) | マイクロ波加熱用温度分布測定装置およびマイクロ波加熱用温度分布測定方法 | |
| US5861625A (en) | Imaging bolometer | |
| EP0595468B1 (en) | Image device | |
| CN211086800U (zh) | 一种红外光学工业内窥镜系统及设备 | |
| JPH0613511Y2 (ja) | エネルギー分散型ｘ線分析用ｘ線検出器 | |
| JPH05128988A (ja) | 電子線装置 | |
| US5089941A (en) | Flux containment device | |
| JP2590101B2 (ja) | 陰極線管の製造方法および装置 | |
| JP2002139461A (ja) | Ｘ線透視検査装置の高温観察炉 | |
| JP2015076303A (ja) | 電子顕微鏡 | |
| US20070009083A1 (en) | System and method of an improved X-ray imaging detector | |
| JPH0729844A (ja) | 半導体基板の赤外線加熱方法及び赤外線加熱装置 | |
| JPH0481643A (ja) | エネルギ分散型ｘ線微量分析装置 | |
| JPH08146197A (ja) | 反射鏡固定方法及び反射鏡ホルダー | |
| GB2270825A (en) | An inspection system | |
| JPH0972669A (ja) | 空冷式超高温観察炉 | |
| JPH05225933A (ja) | ２次元像放射線検出器 | |
| JPH0648315Y2 (ja) | 真空熱処理炉 | |
| CN110749991A (zh) | 一种红外光学工业内窥镜系统及设备 |