JPH0548357Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 イ 産業上の利用分野 本考案は、真空の照射系と試料室との間にゲー
トバルブを設け、試料取扱中ゲートバルブを閉じ
て照射系の真空状態が劣化しないようにした荷電
粒子線照射型分析装置に関する。

ロ 従来の技術 従来荷電粒子線照射型分析装置、例えば走査型
電子顕微鏡で、加熱試料の観察を可能にするた
め、第３図に示すように、電子光学系１の鏡筒５
と試料ステージ７を納めた試料室６間の隔壁８に
ゲートバルブ１０を設け、試料Ａの加熱時或は試
料の交換時、ゲートバルブ１０を閉じて試料室６
内の状態が電子光学系１の高真空に影響を与えな
いようにし、試料室６の真空度が所定の状態に達
したときゲートバルブ１０を開いて試料ステージ
７によつて試料Ａを上昇させて試料を観察してい
た。以上の試料の加熱は温度変化による試料の相
変化等を観察するために行われるが、この加熱に
よつて試料は吸着ガスを放出する。また試料の交
換時は試料室６に外気が侵入する。これらの場
合、試料室６の清浄な高真空が破られるのでゲー
トバルブを操作して電子光学系１の高真空を保護
するのである。ところで、この従来例のように試
料の加熱等から排気に至る試料の調整中、真空の
照射系（電子光学系等）と試料室間のゲートバル
ブを閉じるものにあつては、ゲートバルブの閉鎖
中試料の像観察はできず、したがつて照射系の動
作チエツクを含めて照射系の調節は殆どできず、
この調節は試料室の排気が進んで所定の真空度に
なつてゲートバルブが開かれた後、可能となる。
このように従来例は、ゲートバルブが閉じている
間に照射系の調節等ができず、したがつて作業時
間の短縮ができず、またこの調節等はゲートバル
ブを開いてから行うので照射系と試料室の連通時
間が長くなり照射系の清浄真空を汚す率が多角な
る等の問題点があつた。

ハ 考案が解決しようとする問題点 本考案は、前記従来例の問題点を解決するため
になされたもので、照射系と試料室間のゲートバ
ルブが試料の調整中閉じている状態において試料
に対する照射系の調節等が可能で、そのため作業
時間の短縮ができ、照射系の開時間も短くなり鏡
筒の高真空を維持し易いような荷電粒子線照射型
分析装置を得ることを目的とする。

ニ 問題点解決のための手段 本考案は、第１図に例示するごとく、試料室６
内での試料調整中、照射系（電子光学系１）の高
真空を破らないように、照射系と試料室６間に設
けたゲートバルブ１０の上面に照射系調節用の試
料Ａ１の載置部１１を設け、ゲートバルブ１０の
下方の試料室６内に微動装置１４を有する試料ス
テージ７を設けた荷電粒子線照射型分析装置をも
つて問題点の解決手段とする。

ホ 作用 以下、試料Ａを加熱する場合について作用を説
明する。試料Ａをヒータ１３で加熱する際は予め
ゲートバルブ１０の載置部１１に調整用試料Ａ１
を載せて同バルブ１０を閉じておく。試料Ａは加
熱すると組織内に含有するガスが放出されて試料
室６内の真空は劣化するが、この影響はゲートバ
ルブ１０に遮断されて鏡筒５の電子光学系１に及
ばない。以上試料Ａの加熱が終わると試料室６の
排気を行つて同室内を所定の高真空に戻す。この
間、上部の電子光学系１では調整用試料Ａ１に合
わせて、焦点合わせ、照射面積、走査速度、走査
線数等の調節を行う。この調節が済み、試料室６
の真空が元に戻つているとゲートバルブ１０を開
く。次に試料微動装置１４を走査して調整用試料
Ａ１の元位置へ試料Ａを上昇させ、加熱によつて
生じた試料Ａの相変化を観察する。試料の交換時
も、同様の操作を行う。

ヘ 実施例 本考案の一実施例を第１図、第２図によつて詳
述する。第１図には検出部、信号増幅部、表示部
等を省略した走査型電子顕微鏡の本体部が示され
ている。図中、１は電子銃２、集束レンズ３、対
物レンズ４等からなる電子光学系で、鏡筒５に収
納されている。６は底部に試料ステージ７を有す
る試料室で隔壁８を介して鏡筒下に結合されてい
る。隔壁８は対物レンズ４の中央孔に対応して孔
９が設けられており、この孔９には隔壁８の下面
摺接する状態でゲートバルブ１０が設けられてい
る。ゲートバルブ１０は、第２図に示すように、
中央に凹所からなる調整用試料Ａ１の載置部１１
が設けられており、駆動部１２によつて進退し、
孔９を開閉する。前記試料ステージ７は試料Ａを
加熱するためヒータ１３を有し、また試料を直交
軸ｘ，ｙ，ｚ方向等へ移動させる試料微動装置１
４を有する。試料微動装置１４を操作すれば、ゲ
ートバルブ１０が開いた後、調整用試料Ａ１のあ
つた所へ試料Ａを上昇させることができる。１５
は真空ポンプにより電子光学系１の排気を行う排
気管で、１６は別の補助真空ポンプにより試料室
６の排気を行う排気管である。

以上、走査型電子顕微鏡における実施例を示し
たが、Ｘ線マイクロアナライザー等励起線を用い
るもので、真空の照射系と試料室間にゲートバル
ブを設ける装置は全て本考案を実施し得る。

ト 効果 本考案は以上のごときもので、ゲートバルブの
上面に照射系調節用の試料の載置部を設けたか
ら、試料の調整中乃至は試料交換中、調整用試料
を使つて照射系の調節が可能となつたのであり、
これによつて作業時間が短縮でき、またゲートバ
ルブの開時間も短縮できるので、照射系の高真空
も良好に維持される等の利点を有する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案のの一実施例の要部の正断面
図、第２図はは同上のゲートバルブ部分の一部切
欠斜視図、第３図は従来例の要部の正断面図であ
る。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 試料室内での試料調整中、荷電粒子線光学系の
   高真空を破らないように照射系と試料室間に設け
   られたゲートバルブの上面に、上記光学系調節用
   の試料の載置部を設け、前記ゲートバルブの下方
   の試料室内に試料を上記ゲートバルブの上面を越
   える高さまで上昇させ得るｘ，ｙ，z3軸方向駆動
   可能な試料微動装置を有する試料ステージを位置
   させた荷電粒子線照射型分析装置。