JP2014192109A - 試料導入装置および荷電粒子線装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 試料導入装置100は、荷電粒子線装置の試料室1に試料Sを導入するための試料導入装置であって、予備排気を行うための予備排気室2と、試料Sを保持可能な試料保持部12を有する試料ホルダー10と、試料ホルダー10を支持するための支持部20と、試料保持部12が予備排気室2から試料室1に移動するように、支持部20を移動させる駆動部30と、を含む。
【選択図】図2
Description
荷電粒子線装置の試料室に試料を導入するための試料導入装置であって、
予備排気を行うための予備排気室と、
前記試料を保持可能な試料保持部を有する試料ホルダーと、
前記試料ホルダーを支持するための支持部と、
前記試料保持部が前記予備排気室から前記試料室に移動するように、前記支持部を移動させる駆動部と、
を含む。
前記駆動部は、前記試料室と外部との圧力差によって前記試料ホルダーに加わる第1の力とは反対方向の力であって、前記第1の力より小さい第2の力を、前記試料ホルダーに作用させてもよい。
前記試料ホルダーを回転させるためのゴニオメーターと、
前記予備排気室と前記試料室とを隔てるための仕切弁と、
前記駆動部および前記ゴニオメーターを制御する制御部と、
を含み、
前記制御部は、
前記ゴニオメーターを制御して、前記ゴニオメーターを回転させて前記仕切弁を開く処理と、
前記駆動部を制御して、前記試料保持部が前記予備排気室から前記試料室に移動するように、前記支持部を移動させる処理と、
前記駆動部を制御して、前記支持部が前記試料ホルダーから離れるように、前記支持部を移動させる処理と、
を行ってもよい。
前記駆動部は、前記試料保持部が前記試料室から前記予備排気室に移動するように、前記支持部を移動させてもよい。
本発明に係る試料導入装置を含む。
まず、本実施形態に係る荷電粒子線装置の構成について、図面を参照しながら説明する。図1は、本実施形態に係る荷電粒子線装置1000の構成を説明するための模式図である。
06は、中間レンズ1005の後段に配置されている。中間レンズ1005および投影レンズ1006は、対物レンズ1004によって結像された像をさらに拡大し、撮像装置1008上に結像させる。
示せず)によって行われる。なお、ゴニオメーター50の回転角度(傾斜角度)の検出は、エンコーダー等の回転を検出可能な検出器で行ってもよい。
次に、本実施形態に係る試料導入装置100の動作について図面を参照しながら説明する。図3〜図7は、試料導入装置100の動作を説明するための模式図である。
まず、試料ホルダー10を試料室1に挿入する際の試料導入装置100の動作について説明する。
次に、試料ホルダー10を試料室1から取り出す際の試料導入装置100の動作について説明する。
Claims (5)
- 荷電粒子線装置の試料室に試料を導入するための試料導入装置であって、
予備排気を行うための予備排気室と、
前記試料を保持可能な試料保持部を有する試料ホルダーと、
前記試料ホルダーを支持するための支持部と、
前記試料保持部が前記予備排気室から前記試料室に移動するように、前記支持部を移動させる駆動部と、
を含む、試料導入装置。 - 請求項1において、
前記駆動部は、前記試料室と外部との圧力差によって前記試料ホルダーに加わる第1の力とは反対方向の力であって、前記第1の力より小さい第2の力を、前記試料ホルダーに作用させる、試料導入装置。 - 請求項1または2において、
前記試料ホルダーを回転させるためのゴニオメーターと、
前記予備排気室と前記試料室とを隔てるための仕切弁と、
前記駆動部および前記ゴニオメーターを制御する制御部と、
を含み、
前記制御部は、
前記ゴニオメーターを制御して、前記ゴニオメーターを回転させて前記仕切弁を開く処理と、
前記駆動部を制御して、前記試料保持部が前記予備排気室から前記試料室に移動するように、前記支持部を移動させる処理と、
前記駆動部を制御して、前記支持部が前記試料ホルダーから離れるように、前記支持部を移動させる処理と、
を行う、試料導入装置。 - 請求項1ないし3のいずれか1項において、
前記駆動部は、前記試料保持部が前記試料室から前記予備排気室に移動するように、前記支持部を移動させる、試料導入装置。 - 請求項1ないし4のいずれか1項に記載の試料導入装置を含む、荷電粒子線装置。
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