JP2016039043A - 荷電粒子装置および試料ホルダ - Google Patents
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Abstract
Description
(装置構成)
図11は、本実施の形態に係る荷電粒子線装置の一例であるTEMの基本構成を示す図である。
11・・・試料台
12・・・グリップ
13・・・Oリング
2・・・ステージ
21・・・ホルダ導入口
22・・・ステージ蓋
23・・・真空排気管
24・・・真空ポンプ
25・・・ステージ移動装置
26・・・内壁
2A・・・部分排気空間
3・・・鏡体
31・・・荷電粒子ビーム
3A・・・鏡体内空間
3B・・・鏡体外空間
4・・・ホルダ支持機構
5・・・引出力発生機構
50・・・ホルダ受け
501・・・ホルダ支持部
502・・・ストッパー内側
503・・・ストッパー外側
51・・・弾性体
6・・・ホルダ受け拘束機構
61・・・拘束ピン
7・・・ホルダ受け駆動装置
71・・・加力棒
8・・・引出力発生装置
80・・・ステージ受け
801・・・ステージ支持部
802・・・ストッパー内側
803・・・ストッパー外側
81・・・弾性体
82・・・ホルダ連結部
83・・・ステージ受け支持部
84・・・内壁
9・・・試料
100・・・TEM本体
101・・・電子銃
102・・・電子線
103・・・照射レンズ
104・・・試料ステージ
104a・・・ステージ内壁
105・・・試料ホルダ
105a・・・ホルダ先端部
106・・・試料
107・・・対物レンズ
108・・・投射レンズ
109・・・検出器
110・・・制御部
Claims (10)
- 試料を保持する試料ホルダと、
真空の試料室と、
前記試料ホルダを前記試料室へ導入する試料ステージと、を備えた荷電粒子線装置であって、
前記試料ステージに接続され、前記試料ホルダの導入口を有する試料ホルダ受けを備え、
前記試料ホルダ受けは、前記試料ステージに対して所定の範囲内で移動可能であり、
当該接続された試料ステージおよび試料ホルダ受けにより形成される空間であって、前記試料ホルダの出し入れ領域に、弾性体を配設し、
前記試料ホルダを前記試料室から出し入れするときに、前記弾性体の反力を発生させることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1に記載された荷電粒子線装置であって、
当該発生される反力は、前記試料ホルダが前記試料室内に引き込まれる力に対して反対方向に作用することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項2に記載された荷電粒子線装置であって、
当該発生される反力は、前記試料ホルダが前記試料室内に引き込まれる力よりも小さいことを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1に記載された荷電粒子線装置であって、
前記試料ステージは、前記試料ホルダ受けの移動を制限する拘束部材をさらに備えることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 試料を保持する試料ホルダと、
真空の試料室と、
前記試料ホルダを前記真空試料室へ導入する試料ステージと、を備えた荷電粒子線装置であって、
前記試料ステージに接続され、前記試料ホルダの導入口を有する試料ホルダ受けを備え、
前記試料ホルダ受けは、前記試料ステージに対して所定の距離を移動可能であり、
当該接続された試料ステージおよび試料ホルダ受けにより形成される領域に、前記試料ホルダが前記試料室内へ引き込まれる力に対して反対方向に作用する引き出し力を発生し、前記試料ホルダ受けを駆動する試料ホルダ受け駆動機構を備え、
前記試料ホルダを前記試料室から出し入れするときに、前記試料ホルダ受け駆動機構の引き出し力を発生させることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項5に記載された荷電粒子線装置であって、
当該発生される引き出し力は、前記試料ホルダが前記試料室内に引き込まれる力よりも小さいことを特徴とする荷電粒子線装置。 - 真空の試料室と、
試料を前記試料室へ導入する試料ステージと、を備えた荷電粒子線装置用の試料ホルダであって、
一端部に試料を保持する試料台を、他端部にグリップ部をそれぞれ備えた軸状の本体部と、
前記本体部が前記試料ステージに導入されるときに前記試料ステージと接触する試料ステージ受けと、前記試料ステージ受けと前記グリップ部との間に設けられた試料ステージ受け支持部と、を備え、
前記試料ステージ受けは、前記試料ステージ受け支持部に対して所定の範囲内で移動可能であり、
前記試料ステージ受け、前記試料ステージ受け支持部により形成される空間であって、前記本体部の出し入れ領域に、弾性体を配設し、
前記本体部を前記試料室から出し入れするときに、前記弾性体の反力を発生させることを特徴とする試料ホルダ。 - 請求項7に記載された荷電粒子線装置であって、
当該発生される反力は、前記試料ホルダが前記試料室内に引き込まれる力に対して反対方向に作用することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項8に記載された荷電粒子線装置であって、
当該発生される反力は、前記試料ホルダが前記試料室内に引き込まれる力よりも小さいことを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項7に記載された荷電粒子線装置であって、
前記試料ステージは、前記試料ホルダ受けの移動を制限する拘束部材をさらに備えることを特徴とする荷電粒子線装置。
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CN111684564B (zh) * | 2018-01-05 | 2023-09-15 | 亨尼茨公司 | 真空转移组件 |
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