JPH0574397A - 電子顕微鏡等の試料微動装置 - Google Patents
電子顕微鏡等の試料微動装置Info
- Publication number
- JPH0574397A JPH0574397A JP23295891A JP23295891A JPH0574397A JP H0574397 A JPH0574397 A JP H0574397A JP 23295891 A JP23295891 A JP 23295891A JP 23295891 A JP23295891 A JP 23295891A JP H0574397 A JPH0574397 A JP H0574397A
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- JP
- Japan
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- sample
- electron beam
- axis adjustment
- electron beams
- Prior art date
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【目的】軸調整時の操作性向上と、軸調整時の電子線の
試料ホールダに照射する事により発生する異常なＸ線の
発生を防ぐことを目的として試料微動装置内に脱着可能
な機能を設け解決する事に有る。 【構成】試料微動装置５内に試料ホールダ１ａを脱着可
能なように、エアーシリンダー１０を設け、軸調整モー
ド発生時に出力される軸調時の信号７に同期しエアーシ
リンダー１０が動作する事により、試料ホールダが、電
子線通路４より引き抜かれる事により、電子線の試料ホ
ールダによるカットを防ぐことが可能となる為、軸調性
や電子線が試料ホールダに照射する事により発生する異
常なＸ線の発生の低減が可能となる。
試料ホールダに照射する事により発生する異常なＸ線の
発生を防ぐことを目的として試料微動装置内に脱着可能
な機能を設け解決する事に有る。 【構成】試料微動装置５内に試料ホールダ１ａを脱着可
能なように、エアーシリンダー１０を設け、軸調整モー
ド発生時に出力される軸調時の信号７に同期しエアーシ
リンダー１０が動作する事により、試料ホールダが、電
子線通路４より引き抜かれる事により、電子線の試料ホ
ールダによるカットを防ぐことが可能となる為、軸調性
や電子線が試料ホールダに照射する事により発生する異
常なＸ線の発生の低減が可能となる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は電子顕微鏡等に用いる、
試料微動装置の機能向上に係り特に試料微動装置を軸調
整機能と同期し、試料ホールダを電子線通路より、引き
抜き可能な機構を設け、軸調整時の操作性向上と、異常
Ｘ線量の発生を低減するものに関する。
試料微動装置の機能向上に係り特に試料微動装置を軸調
整機能と同期し、試料ホールダを電子線通路より、引き
抜き可能な機構を設け、軸調整時の操作性向上と、異常
Ｘ線量の発生を低減するものに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の試料微動装置は実願平1−85057号
のよう、試料ホールダ挿入時に、試料ホールダ先端を保
護機能については考慮されていたが、試料ホールダを電
子線通路に挿入された状態での軸調整やＸ線の発生につ
いての、考慮がなされていない状態にあった。
のよう、試料ホールダ挿入時に、試料ホールダ先端を保
護機能については考慮されていたが、試料ホールダを電
子線通路に挿入された状態での軸調整やＸ線の発生につ
いての、考慮がなされていない状態にあった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術では、試
料ホールダを対物レンズギャップ内に挿入する為の考慮
は、なされていたが挿入後の位置については、軸調整時
の対応も含め、何ら考慮されない状態となっていた。
料ホールダを対物レンズギャップ内に挿入する為の考慮
は、なされていたが挿入後の位置については、軸調整時
の対応も含め、何ら考慮されない状態となっていた。
【０００４】本発明の目的は、電子顕微鏡に用いる試料
微動装置の機能改善に係り、特に電子線通路上に試料ホ
ールダが挿入されていた場合の軸調整に於いて発生す
る、軸調整の頻わしさや、Ｘ線の発生を低減する手段と
して、軸調整に同期し、試料ホールダを電子通路上より
引き出す為の機構を試料微動装置内に設け、解決する事
にある。
微動装置の機能改善に係り、特に電子線通路上に試料ホ
ールダが挿入されていた場合の軸調整に於いて発生す
る、軸調整の頻わしさや、Ｘ線の発生を低減する手段と
して、軸調整に同期し、試料ホールダを電子通路上より
引き出す為の機構を試料微動装置内に設け、解決する事
にある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成する為
に、試料微動装置の内部に、エアーシリンダーを内蔵
し、軸調整時に軸調機能と同期し、エアーシリンダーを
制御する事により、電子線通路より試料ホールダを出し
入れ可能とする事により達成される。
に、試料微動装置の内部に、エアーシリンダーを内蔵
し、軸調整時に軸調機能と同期し、エアーシリンダーを
制御する事により、電子線通路より試料ホールダを出し
入れ可能とする事により達成される。
【０００６】
【作用】電子顕微鏡等に用いる試料微動装置は、通常電
子線通路内に入り像観察されるが、試料支持に用いるグ
リットはカッパーメッシュをグリット状にして有る為、
電子線がグリット上に照射されてしまうと、電子線が透
過せず、電子線の軸ずれ等の確認が必要となる場合が有
る。又軸調整等にも試料ホールダが電子線通路を塞いで
いると軸ずれによるものか判断が難しい場合が有る。従
って通常は軸調整時には必ず、試料ホールダを電子線通
路より引き出すよう取扱説明書等に記載しているが、実
操作では、引き出しを忘れてしまい、軸調整が容易に行
なえないという問題が有った。これ等の問題を解決する
手段として、軸調整機能に同期して、試料ホールダを引
き出し可能な機構を、試料微動装置内に内蔵する事によ
り、軸調整が容易と可能となる他、軸調整時に電子線が
試料ホールダに当る事によって発生する異常なＸ線の発
生を低減する事が可能となる。
子線通路内に入り像観察されるが、試料支持に用いるグ
リットはカッパーメッシュをグリット状にして有る為、
電子線がグリット上に照射されてしまうと、電子線が透
過せず、電子線の軸ずれ等の確認が必要となる場合が有
る。又軸調整等にも試料ホールダが電子線通路を塞いで
いると軸ずれによるものか判断が難しい場合が有る。従
って通常は軸調整時には必ず、試料ホールダを電子線通
路より引き出すよう取扱説明書等に記載しているが、実
操作では、引き出しを忘れてしまい、軸調整が容易に行
なえないという問題が有った。これ等の問題を解決する
手段として、軸調整機能に同期して、試料ホールダを引
き出し可能な機構を、試料微動装置内に内蔵する事によ
り、軸調整が容易と可能となる他、軸調整時に電子線が
試料ホールダに当る事によって発生する異常なＸ線の発
生を低減する事が可能となる。
【０００７】
【実施例】以下本発明の一実施例を図１を用い説明す
る。
る。
【０００８】図１は電子顕微鏡等に用いる試料微動装置
の、軸調整時に試料ホールダの着脱を図る為の構成図で
ある。
の、軸調整時に試料ホールダの着脱を図る為の構成図で
ある。
【０００９】通常像観察前には照射系レンズ１１ａ，１
１ｂの軸調整や偏向コイル１２の電気的なアライメント
を行なっているが、操作中の誤操作や、試料交換時に条
件を変化させてしまうと、電子線通路上４に電子線が無
く像観察出来なくなる場合が有る。試料ホールダ１ａが
電子線通路４上に有り像が得られない場合、照射系レン
ズ１１ａ，１１ｂや偏向コイル１２の軸ずれによるもの
か、電子線通路上に試料１ｃや試料ホールダ１ｂが有る
場合が有り判断に頻わしい操作が必要となる。又電子線
が試料ホールダに照射されていると異常量のＸ線の発生
といった、問題が有る。この問題を解決する手段とし
て、試料微動装置５内にエアーシリンダー１０を組み込
む事により、軸調整時出力される信号７と電磁弁９をコ
ントロールする為のコントローラ８を設け、軸調整時に
はこのエアーシリンダーによって試料ホールダ１ａを押
し出して、試料ホールダ先端部全体を、電子線通路４よ
り引き出す事により、試料ホールダの電子線通路のカッ
トにより起こる軸調整の頻わしさや異常Ｘ線の低減が図
られるといった効果が有る。
１ｂの軸調整や偏向コイル１２の電気的なアライメント
を行なっているが、操作中の誤操作や、試料交換時に条
件を変化させてしまうと、電子線通路上４に電子線が無
く像観察出来なくなる場合が有る。試料ホールダ１ａが
電子線通路４上に有り像が得られない場合、照射系レン
ズ１１ａ，１１ｂや偏向コイル１２の軸ずれによるもの
か、電子線通路上に試料１ｃや試料ホールダ１ｂが有る
場合が有り判断に頻わしい操作が必要となる。又電子線
が試料ホールダに照射されていると異常量のＸ線の発生
といった、問題が有る。この問題を解決する手段とし
て、試料微動装置５内にエアーシリンダー１０を組み込
む事により、軸調整時出力される信号７と電磁弁９をコ
ントロールする為のコントローラ８を設け、軸調整時に
はこのエアーシリンダーによって試料ホールダ１ａを押
し出して、試料ホールダ先端部全体を、電子線通路４よ
り引き出す事により、試料ホールダの電子線通路のカッ
トにより起こる軸調整の頻わしさや異常Ｘ線の低減が図
られるといった効果が有る。
【００１０】
【発明の効果】本発明によれば、電子顕微鏡に用いる試
料微動装置に於いて軸調整時に起こる、試料ホールダの
電子線通路のカットによって発生する軸調整の頻わしさ
やＸ線の発生の低減が図られ、効果は顕著で有る。
料微動装置に於いて軸調整時に起こる、試料ホールダの
電子線通路のカットによって発生する軸調整の頻わしさ
やＸ線の発生の低減が図られ、効果は顕著で有る。
【図１】本発明の一実施例の構成図を示す。
１ａ…試料ホールダ、１ｂ…試料ホールダ軸、１ｃ…試
料、２…微動軸、３ａ…上対物レンズ、３ｂ…下対物レ
ンズ、４…電子線通路、５…試料微動装置、６…鏡体、
７…軸調整時の信号、８…コントローラ、９…電磁弁、
１０…エアーシリンダー、１１…照射系レンズ、１２…
偏向コイル。
料、２…微動軸、３ａ…上対物レンズ、３ｂ…下対物レ
ンズ、４…電子線通路、５…試料微動装置、６…鏡体、
７…軸調整時の信号、８…コントローラ、９…電磁弁、
１０…エアーシリンダー、１１…照射系レンズ、１２…
偏向コイル。
Claims (1)
- 【請求項１】電子顕微鏡等に用いる、試料微動装置の内
部に軸調整機能と同期し、試料ホールダを電子線通路よ
り抜き出し可能な機構を内蔵する事を特徴とする電子顕
微鏡等の試料微動装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23295891A JPH0574397A (ja) | 1991-09-12 | 1991-09-12 | 電子顕微鏡等の試料微動装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23295891A JPH0574397A (ja) | 1991-09-12 | 1991-09-12 | 電子顕微鏡等の試料微動装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0574397A true JPH0574397A (ja) | 1993-03-26 |
Family
ID=16947536
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23295891A Pending JPH0574397A (ja) | 1991-09-12 | 1991-09-12 | 電子顕微鏡等の試料微動装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0574397A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016039043A (ja) * | 2014-08-08 | 2016-03-22 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子装置および試料ホルダ |
| US9950125B2 (en) | 2012-04-06 | 2018-04-24 | Antares Pharma, Inc. | Needle assisted jet injection administration of testosterone compositions |
-
1991
- 1991-09-12 JP JP23295891A patent/JPH0574397A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9950125B2 (en) | 2012-04-06 | 2018-04-24 | Antares Pharma, Inc. | Needle assisted jet injection administration of testosterone compositions |
| JP2016039043A (ja) * | 2014-08-08 | 2016-03-22 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子装置および試料ホルダ |
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