JP5161537B2 - 断面試料作製装置 - Google Patents
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Description
次に、イオン研磨部30の構成は以下のとおりである。イオン研磨部30は、前記微小焦点X線発生装置10の上に乗るような形で一体化して形成されている。前記X線管球11に一体化されて形成されている壁部材31により囲まれた試料加工室32は、真空排気装置26により微小焦点X線発生装置10側とは独立に真空排気されており、その上部には、イオンビーム発生装置33を有している。イオンビーム発生装置33は、放電ガス(例えば、Arガス)導入部34および高圧が印加される放電電極33a等を有しており、放電によりArガスをイオン化してArイオンを発生させる機能を有している。なお、イオンビーム発生装置で使用する放電ガスとしてはネオン、窒素等を採用することが可能である。
Claims (4)
- 試料を保持する試料保持部と、
前記試料を削るために試料面上に照射されるイオンビームを発生するイオン源と、
前記試料上に配置される遮蔽板であって端縁部を有し、その端縁部が前記イオン源により発生され試料面上に照射されるイオンビームの照射領域内に配置され、その結果、当該端縁部を境界として試料上にイオンビーム照射領域と非照射領域を画定するための遮蔽板と、
前記試料に対し前記イオンビームと異なる方向から照射される観察用X線を発生するX線発生部と、
前記試料及び当該試料上に配置される遮蔽板に前記観察用X線が照射されその結果当該試料を透過したX線を検出することにより試料及び遮蔽板のX線画像を撮像する撮像素子と、
前記撮像素子によって撮像されたX線画像を表示する表示部とを備え、
前記試料のX線画像に基づき前記試料と前記遮蔽板との相対的位置合わせを行い得るように構成した断面試料作製装置であって、
前記試料保持部にはイオンビーム光軸の周囲を開口とするようにX線通過孔が形成され、当該X線通過孔を塞ぐように試料が保持されると共に、当該X線通過孔を介して前記イオンビームと反対方向から試料にX線が照射されることを特徴とする断面試料作製装置。 - 前記X線発生部は、電子線が集束されて照射されたターゲットからX線を発生することを特徴とする請求項1記載の断面試料作製装置。
- 前記撮像素子は、前記イオン源と前記試料保持部との間に配置され、前記イオンビーム通路から退避可能に設けられていることを特徴とする請求項1又は2記載の断面試料作製装置。
- 前記試料保持部と前記X線発生部との間に、前記イオンビームの前記X線発生部への進入を防ぐ開閉自在のシャッタ機構が配置されることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の断面試料作製装置。
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