JPH08124508A - 電子顕微鏡用試料保持装置 - Google Patents
電子顕微鏡用試料保持装置Info
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- JPH08124508A JPH08124508A JP6255233A JP25523394A JPH08124508A JP H08124508 A JPH08124508 A JP H08124508A JP 6255233 A JP6255233 A JP 6255233A JP 25523394 A JP25523394 A JP 25523394A JP H08124508 A JPH08124508 A JP H08124508A
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- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
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- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/20—Positioning, supporting, modifying or maintaining the physical state of objects being observed or treated
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- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
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- Analytical Chemistry (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】Ｘ軸方向の移動機構を試料保持装置内部に組み
込むことにより、構造を簡単化し取付スペースの問題を
改善するとともに、Ｘ軸方向の移動を短時間で滑らかに
行う。 【構成】試料室壁１を貫通して装着され、円筒状の支持
部材３の内面に形成された球面軸受５と、少なくともＹ
軸駆動手段３１およびＺ軸駆動手段３２により前記球面
軸受を中心にして揺動する第１のパイプ７と、該第１の
パイプ内に回動可能に装着された第２のパイプ１５と、
該第２のパイプ内に装着され、Ｘ軸駆動手段３０により
摺動可能にされた第３のパイプ１７と、該第３のパイプ
内にＯリング２１を介して摺動可能に装着された試料保
持用ロッド２２と、前記第２のパイプ１５と第３のパイ
プ１７間に配設されたベローズ１９とを備えた構成。
込むことにより、構造を簡単化し取付スペースの問題を
改善するとともに、Ｘ軸方向の移動を短時間で滑らかに
行う。 【構成】試料室壁１を貫通して装着され、円筒状の支持
部材３の内面に形成された球面軸受５と、少なくともＹ
軸駆動手段３１およびＺ軸駆動手段３２により前記球面
軸受を中心にして揺動する第１のパイプ７と、該第１の
パイプ内に回動可能に装着された第２のパイプ１５と、
該第２のパイプ内に装着され、Ｘ軸駆動手段３０により
摺動可能にされた第３のパイプ１７と、該第３のパイプ
内にＯリング２１を介して摺動可能に装着された試料保
持用ロッド２２と、前記第２のパイプ１５と第３のパイ
プ１７間に配設されたベローズ１９とを備えた構成。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、電子顕微鏡用試料保持
装置に関する。
装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】図５および図６は、超高分解能透過型電
子顕微鏡（ＴＥＭ）における従来の試料保持装置を示
し、図５は電子線光軸と垂直な断面を示す図、図６は電
子線光軸に平行な断面を示す図である。なお、電子線光
軸の方向をＺ軸、電子線光軸に垂直な平面で試料保持装
置の軸方向をＸ軸、Ｘ軸に直角な方向をＹ軸とする。
子顕微鏡（ＴＥＭ）における従来の試料保持装置を示
し、図５は電子線光軸と垂直な断面を示す図、図６は電
子線光軸に平行な断面を示す図である。なお、電子線光
軸の方向をＺ軸、電子線光軸に垂直な平面で試料保持装
置の軸方向をＸ軸、Ｘ軸に直角な方向をＹ軸とする。
【０００３】試料保持装置１００の試料保持用ロッド１
０１が挿入されたパイプ１１３の外周部には、Ｙ軸およ
びＺ軸駆動ユニットが設けられ、パイプ１１３全体は、
球面軸受１０２によって試料室壁１０３に支持されてい
る。Ｙ軸駆動ユニットは、図示しない駆動モータによっ
て、図５に示すＹ軸駆動用テコ１０４をＹ軸方向に移動
させて、パイプ１１３をスプリング１０５に抗してＹ軸
方向に移動させ、試料保持用ロッド１０１およびその先
端部に連結された試料室１０６内の試料ホルダー１０７
を変位させる。Ｚ軸駆動ユニットは、図６に示すよう
に、Ｚ軸駆動用モータ１０８により支点１０９を中心に
してＺ軸駆動用テコ１１０を回転させ、パイプ１１３を
スプリング１１１に抗してＺ軸方向に移動させる。この
Ｙ軸方向およびＺ軸方向の移動は、球面軸受１０２を介
して行われる。
０１が挿入されたパイプ１１３の外周部には、Ｙ軸およ
びＺ軸駆動ユニットが設けられ、パイプ１１３全体は、
球面軸受１０２によって試料室壁１０３に支持されてい
る。Ｙ軸駆動ユニットは、図示しない駆動モータによっ
て、図５に示すＹ軸駆動用テコ１０４をＹ軸方向に移動
させて、パイプ１１３をスプリング１０５に抗してＹ軸
方向に移動させ、試料保持用ロッド１０１およびその先
端部に連結された試料室１０６内の試料ホルダー１０７
を変位させる。Ｚ軸駆動ユニットは、図６に示すよう
に、Ｚ軸駆動用モータ１０８により支点１０９を中心に
してＺ軸駆動用テコ１１０を回転させ、パイプ１１３を
スプリング１１１に抗してＺ軸方向に移動させる。この
Ｙ軸方向およびＺ軸方向の移動は、球面軸受１０２を介
して行われる。
【０００４】Ｘ軸回りの傾斜はＸ軸傾斜ユニットにより
行われ、図６に示すように、図示しないＸ軸傾斜用モー
タによりウォームギヤ１１４およびこれに噛合された従
動ギヤ１１５が回動され、パイプ１１３を回転させ試料
保持用ロッド１０１および試料ホルダー１０７をＸ軸の
回りに傾斜可能にしている。Ｘ軸方向の移動は、図示し
ない駆動モータによって、支点を中心に回転するＸ軸駆
動用テコ１１６（図５）により行われ、この場合、試料
室１０６内の真空と外部大気圧との圧力差によって試料
保持用ロッド１０１が随時Ｘ軸駆動用テコ１１６に押し
付けられた状態でＸ軸駆動用テコ１１６をＸ軸方向に移
動させて、試料保持用ロッド１０１および試料ホルダー
１０７を変位させる。試料室１０６内の真空側と外部大
気圧側とは、Ｏリング１１８、１１９、１２０によって
真空シールされている。また、球面軸受１０２と試料保
持用ロッド１０１の間もＯリング１２１によって真空シ
ールされている。
行われ、図６に示すように、図示しないＸ軸傾斜用モー
タによりウォームギヤ１１４およびこれに噛合された従
動ギヤ１１５が回動され、パイプ１１３を回転させ試料
保持用ロッド１０１および試料ホルダー１０７をＸ軸の
回りに傾斜可能にしている。Ｘ軸方向の移動は、図示し
ない駆動モータによって、支点を中心に回転するＸ軸駆
動用テコ１１６（図５）により行われ、この場合、試料
室１０６内の真空と外部大気圧との圧力差によって試料
保持用ロッド１０１が随時Ｘ軸駆動用テコ１１６に押し
付けられた状態でＸ軸駆動用テコ１１６をＸ軸方向に移
動させて、試料保持用ロッド１０１および試料ホルダー
１０７を変位させる。試料室１０６内の真空側と外部大
気圧側とは、Ｏリング１１８、１１９、１２０によって
真空シールされている。また、球面軸受１０２と試料保
持用ロッド１０１の間もＯリング１２１によって真空シ
ールされている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところで、電子顕微鏡
においては、Ｘ軸、Ｙ軸方向については±１ｍｍ程度、
Ｚ軸方向については０．５ｍｍ程度の移動範囲で試料を
所望の位置に短時間にセットすることが求めらる。しか
しながら、上記従来の試料保持装置においては、Ｘ軸方
向の移動は、Ｘ軸駆動用テコ１１６により行われ、この
場合、球面軸受１０２と試料保持用ロッド１０１の間を
Ｏリング１２１によって真空シールし、試料保持用ロッ
ド１０１はＯリング１２１に対してすべるように移動す
るため、Ｏリング１２１のすべり摩擦が問題となり、Ｘ
軸方向の動きが滑らかに行われず、とくに、動き出した
ときのスピード変化が大きく、また、動きを止めたとき
も直ちに完全に停止しないため、試料を所望の位置に保
持するまでに時間を要するという問題を有している。
においては、Ｘ軸、Ｙ軸方向については±１ｍｍ程度、
Ｚ軸方向については０．５ｍｍ程度の移動範囲で試料を
所望の位置に短時間にセットすることが求めらる。しか
しながら、上記従来の試料保持装置においては、Ｘ軸方
向の移動は、Ｘ軸駆動用テコ１１６により行われ、この
場合、球面軸受１０２と試料保持用ロッド１０１の間を
Ｏリング１２１によって真空シールし、試料保持用ロッ
ド１０１はＯリング１２１に対してすべるように移動す
るため、Ｏリング１２１のすべり摩擦が問題となり、Ｘ
軸方向の動きが滑らかに行われず、とくに、動き出した
ときのスピード変化が大きく、また、動きを止めたとき
も直ちに完全に停止しないため、試料を所望の位置に保
持するまでに時間を要するという問題を有している。
【０００６】また、試料移動機構として、球面軸受１０
２を介したＹ軸方向、Ｚ軸方向、Ｘ軸傾斜の移動を行う
機構と、Ｘ軸駆動用テコ１１６によるＸ軸方向の移動を
行う機構という２つの駆動機構を設けているため、構造
が複雑になるとともに駆動機構の取付スペースがかなり
の部分を占めてしまい、他の構成部品である観察装置、
分析装置等の取付位置が限定されてしまうという問題を
有している。
２を介したＹ軸方向、Ｚ軸方向、Ｘ軸傾斜の移動を行う
機構と、Ｘ軸駆動用テコ１１６によるＸ軸方向の移動を
行う機構という２つの駆動機構を設けているため、構造
が複雑になるとともに駆動機構の取付スペースがかなり
の部分を占めてしまい、他の構成部品である観察装置、
分析装置等の取付位置が限定されてしまうという問題を
有している。
【０００７】本発明は、上記従来の問題を解決するもの
であって、Ｘ軸方向の移動機構を試料保持装置内部に組
み込むことにより、構造を簡単化し取付スペースの問題
を改善するとともに、Ｘ軸方向の移動を短時間で滑らか
に行うことができる電子顕微鏡用試料保持装置を提供す
ることを目的とする。
であって、Ｘ軸方向の移動機構を試料保持装置内部に組
み込むことにより、構造を簡単化し取付スペースの問題
を改善するとともに、Ｘ軸方向の移動を短時間で滑らか
に行うことができる電子顕微鏡用試料保持装置を提供す
ることを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の電子顕微鏡用試料保持装置は、試料室壁を
貫通して装着され、円筒状の支持部材の内面に形成され
た球面軸受と、少なくともＹ軸駆動手段およびＺ軸駆動
手段により前記球面軸受を中心にして揺動する第１のパ
イプと、該第１のパイプ内に回動可能に装着された第２
のパイプと、該第２のパイプ内に装着され、Ｘ軸駆動手
段により摺動可能にされた第３のパイプと、該第３のパ
イプ内にＯリングを介して摺動可能に装着された試料保
持用ロッドと、前記第２のパイプと第３のパイプ間に配
設されたベローズとを備えたことを特徴とするものであ
る。
に、本発明の電子顕微鏡用試料保持装置は、試料室壁を
貫通して装着され、円筒状の支持部材の内面に形成され
た球面軸受と、少なくともＹ軸駆動手段およびＺ軸駆動
手段により前記球面軸受を中心にして揺動する第１のパ
イプと、該第１のパイプ内に回動可能に装着された第２
のパイプと、該第２のパイプ内に装着され、Ｘ軸駆動手
段により摺動可能にされた第３のパイプと、該第３のパ
イプ内にＯリングを介して摺動可能に装着された試料保
持用ロッドと、前記第２のパイプと第３のパイプ間に配
設されたベローズとを備えたことを特徴とするものであ
る。
【０００９】
【作用及び発明の効果】本発明においては、試料保持用
ロッドがＸ軸方向に移動するとき、第３のパイプと試料
保持用ロッドとの間のＯリングは固定状態で、第３のパ
イプがベローズの伸縮により真空シールを維持しながら
移動するため、Ｘ軸方向の移動を短時間で滑らかに行う
ことができる。また、Ｘ軸方向の移動機構を試料保持装
置内部に組み込むことにより、構造を簡単化し取付スペ
ースの問題を改善することができる。
ロッドがＸ軸方向に移動するとき、第３のパイプと試料
保持用ロッドとの間のＯリングは固定状態で、第３のパ
イプがベローズの伸縮により真空シールを維持しながら
移動するため、Ｘ軸方向の移動を短時間で滑らかに行う
ことができる。また、Ｘ軸方向の移動機構を試料保持装
置内部に組み込むことにより、構造を簡単化し取付スペ
ースの問題を改善することができる。
【００１０】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照しつつ説
明する。図１〜図４は、本発明の電子顕微鏡用試料保持
装置の１実施例である超高分解能透過型電子顕微鏡（Ｔ
ＥＭ）を示し、図１は電子線光軸と垂直な断面を示す
図、図２は電子線光軸に平行な断面を示す図、図３は図
２のＡ−Ａ線に沿って矢印方向に見た断面図、図４は図
２のＢ−Ｂ線に沿って矢印方向に見た断面図である。な
お、電子線光軸の方向をＺ軸、電子線光軸に垂直な平面
で試料保持装置の軸方向をＸ軸、Ｘ軸に直角な方向をＹ
軸とする。
明する。図１〜図４は、本発明の電子顕微鏡用試料保持
装置の１実施例である超高分解能透過型電子顕微鏡（Ｔ
ＥＭ）を示し、図１は電子線光軸と垂直な断面を示す
図、図２は電子線光軸に平行な断面を示す図、図３は図
２のＡ−Ａ線に沿って矢印方向に見た断面図、図４は図
２のＢ−Ｂ線に沿って矢印方向に見た断面図である。な
お、電子線光軸の方向をＺ軸、電子線光軸に垂直な平面
で試料保持装置の軸方向をＸ軸、Ｘ軸に直角な方向をＹ
軸とする。
【００１１】図１および図２において、電子顕微鏡の試
料室壁１には、円筒状の支持部材２、３が装着され、試
料室壁１を貫通して装着された支持部材３の先端内面に
は球面軸受５が形成されている。支持部材３の内周側に
は、先端に球面状膨出部６を有する第１のパイプ７が挿
入され、第１のパイプ７の球面状膨出部６が球面軸受５
揺動可能に支持され、Ｏリング８ａ、８ｂにより真空シ
ールされている。
料室壁１には、円筒状の支持部材２、３が装着され、試
料室壁１を貫通して装着された支持部材３の先端内面に
は球面軸受５が形成されている。支持部材３の内周側に
は、先端に球面状膨出部６を有する第１のパイプ７が挿
入され、第１のパイプ７の球面状膨出部６が球面軸受５
揺動可能に支持され、Ｏリング８ａ、８ｂにより真空シ
ールされている。
【００１２】第１のパイプ７内には、球面状膨出部６の
開口部にＯリング９を介して仕切弁１０が装着されてい
る。この仕切弁１０の一端は、第１のパイプ７に固定し
たピン１１に回動自在に支持され、仕切弁１０の他端
は、第１のパイプ７に固定したピン１２に回動自在に支
持された傘歯車１３に固定されている。
開口部にＯリング９を介して仕切弁１０が装着されてい
る。この仕切弁１０の一端は、第１のパイプ７に固定し
たピン１１に回動自在に支持され、仕切弁１０の他端
は、第１のパイプ７に固定したピン１２に回動自在に支
持された傘歯車１３に固定されている。
【００１３】また、第１のパイプ７内には第２のパイプ
１５が回動可能に装着され、Ｏリング８ｃにより真空シ
ールされている。第２のパイプ１５の先端には、前記傘
歯車１３に噛み合うギヤ１６が形成されている。第２の
パイプ１５内には第３のパイプ１７が摺動可能に装着さ
れている。第２および第３のパイプ１５、１７の先端間
には、ベローズ１９が取り付けられている。また、第２
および第３のパイプ１５、１７の後部側には、それぞれ
スリット２０が形成されている。
１５が回動可能に装着され、Ｏリング８ｃにより真空シ
ールされている。第２のパイプ１５の先端には、前記傘
歯車１３に噛み合うギヤ１６が形成されている。第２の
パイプ１５内には第３のパイプ１７が摺動可能に装着さ
れている。第２および第３のパイプ１５、１７の先端間
には、ベローズ１９が取り付けられている。また、第２
および第３のパイプ１５、１７の後部側には、それぞれ
スリット２０が形成されている。
【００１４】第３のパイプ１７内には、Ｏリング２１を
介して試料保持用ロッド２２が摺動可能に装着されてい
る。試料保持用ロッド２２の先端には、試料室２３内に
臨む試料ホルダー２５が連結され、また、後端には操作
部２６が連結されている。試料保持用ロッド２２の中間
部にはピン２７が設けられ、ピン２７はスリット２０内
に係合可能にされている。
介して試料保持用ロッド２２が摺動可能に装着されてい
る。試料保持用ロッド２２の先端には、試料室２３内に
臨む試料ホルダー２５が連結され、また、後端には操作
部２６が連結されている。試料保持用ロッド２２の中間
部にはピン２７が設けられ、ピン２７はスリット２０内
に係合可能にされている。
【００１５】試料ホルダー２５の試料室２３内への挿入
は次のようにして行われる。当初、試料保持用ロッド２
２のピン２７は図１に示す位置にあり、試料ホルダー２
５は試料交換室６０内にあり、このとき仕切弁１０は閉
じられており、試料交換室６０は、Ｏリング８ｃ、２
１、ベローズ１９により大気側に対して真空シールされ
ている。この状態で排気孔６１から試料交換室６０内の
真空引きを行う。
は次のようにして行われる。当初、試料保持用ロッド２
２のピン２７は図１に示す位置にあり、試料ホルダー２
５は試料交換室６０内にあり、このとき仕切弁１０は閉
じられており、試料交換室６０は、Ｏリング８ｃ、２
１、ベローズ１９により大気側に対して真空シールされ
ている。この状態で排気孔６１から試料交換室６０内の
真空引きを行う。
【００１６】試料交換室６０内の真空引きが終了し操作
部２６を回動すると、試料保持用ロッド２２のピン２７
がスリット２０内に係合されているため、第２のパイプ
１５および第３のパイプ１７が一緒に回転し、第２のパ
イプ１５の先端に形成されたギヤ１６に噛み合う傘歯車
１３が回動し、仕切弁１０が図２に示すように開く。こ
の状態で試料保持用ロッド２２を第３のパイプ内に挿入
してゆき（ピン２７はスリット２０に沿って移動す
る）、試料ホルダー２５を試料室２３内に移動させる。
この状態では、試料室２３は、ベローズ１９およびＯリ
ング８ａ、８ｂ、８ｃ、２１によって大気側に対して真
空シールされている。
部２６を回動すると、試料保持用ロッド２２のピン２７
がスリット２０内に係合されているため、第２のパイプ
１５および第３のパイプ１７が一緒に回転し、第２のパ
イプ１５の先端に形成されたギヤ１６に噛み合う傘歯車
１３が回動し、仕切弁１０が図２に示すように開く。こ
の状態で試料保持用ロッド２２を第３のパイプ内に挿入
してゆき（ピン２７はスリット２０に沿って移動す
る）、試料ホルダー２５を試料室２３内に移動させる。
この状態では、試料室２３は、ベローズ１９およびＯリ
ング８ａ、８ｂ、８ｃ、２１によって大気側に対して真
空シールされている。
【００１７】第１のパイプ７の周囲には、Ｘ軸駆動手段
３０、Ｙ軸駆動手段３１、Ｚ軸駆動手段３２、Ｘ軸傾斜
駆動手段３３が装着されている。Ｘ軸傾斜駆動手段３３
は支持部材２上に配設され、Ｙ軸駆動手段３１およびＺ
軸駆動手段３２は、支持部材２の内周側にベアリング３
４を介して回転自在に支持された支持部材３５上に配設
されている。Ｘ軸駆動手段３０は図２に示すように、第
１のパイプ７上に配設されている。
３０、Ｙ軸駆動手段３１、Ｚ軸駆動手段３２、Ｘ軸傾斜
駆動手段３３が装着されている。Ｘ軸傾斜駆動手段３３
は支持部材２上に配設され、Ｙ軸駆動手段３１およびＺ
軸駆動手段３２は、支持部材２の内周側にベアリング３
４を介して回転自在に支持された支持部材３５上に配設
されている。Ｘ軸駆動手段３０は図２に示すように、第
１のパイプ７上に配設されている。
【００１８】Ｙ軸駆動手段３１は、図１に示すように、
Ｙ軸駆動用モータ３６によりギヤ３７、３８を回転さ
せ、その結果、スライダー３９をＹ軸方向に移動させ、
第１のパイプ７をスプリング４０に抗してＹ軸方向に移
動させる機構である。
Ｙ軸駆動用モータ３６によりギヤ３７、３８を回転さ
せ、その結果、スライダー３９をＹ軸方向に移動させ、
第１のパイプ７をスプリング４０に抗してＹ軸方向に移
動させる機構である。
【００１９】Ｚ軸駆動手段３２は、図２および図３に示
すように、Ｚ軸駆動用モータ４１によりギヤ４２、４３
を回転させ、その結果、スライダー４４をＸ軸方向に移
動させ、駆動用テコ４５を支点４６を中心に回転させ
て、第１のパイプ７の両側に形成されたフランジ７ａを
スプリング４７に抗してＺ軸方向に移動させる機構であ
る。なお、４８はローラである。
すように、Ｚ軸駆動用モータ４１によりギヤ４２、４３
を回転させ、その結果、スライダー４４をＸ軸方向に移
動させ、駆動用テコ４５を支点４６を中心に回転させ
て、第１のパイプ７の両側に形成されたフランジ７ａを
スプリング４７に抗してＺ軸方向に移動させる機構であ
る。なお、４８はローラである。
【００２０】Ｘ軸傾斜駆動手段３３は、図２および図４
に示すように、Ｘ軸傾斜駆動用モータ４９によりウオー
ムギヤ５０を回転させ、その結果、支持部材３５の外周
に形成した傾斜用ギヤ５１を回転させ、支持部材３５お
よび第１のパイプ７をＸ軸の回りに傾斜させる機構であ
る。
に示すように、Ｘ軸傾斜駆動用モータ４９によりウオー
ムギヤ５０を回転させ、その結果、支持部材３５の外周
に形成した傾斜用ギヤ５１を回転させ、支持部材３５お
よび第１のパイプ７をＸ軸の回りに傾斜させる機構であ
る。
【００２１】次に、試料保持用ロッド２２のＸ軸方向の
移動について説明する。図２に示すように、Ｘ軸駆動手
段３０は、Ｘ軸駆動用モータ５２によりギヤ５３、５４
を回転させ、スライダー５５を図２で左方向に移動させ
ると、第３のパイプ１７に固定されたシャフト５６が図
で左方向に移動し、第３のパイプ１７および試料保持用
ロッド２２もＸ軸左方向に移動する。逆に、Ｘ軸駆動用
モータ５２を逆回転させると、試料室２３内の真空側と
外部大気圧との圧力差により、第３のパイプ１７および
試料保持用ロッド２２が試料室２３側に移動する。
移動について説明する。図２に示すように、Ｘ軸駆動手
段３０は、Ｘ軸駆動用モータ５２によりギヤ５３、５４
を回転させ、スライダー５５を図２で左方向に移動させ
ると、第３のパイプ１７に固定されたシャフト５６が図
で左方向に移動し、第３のパイプ１７および試料保持用
ロッド２２もＸ軸左方向に移動する。逆に、Ｘ軸駆動用
モータ５２を逆回転させると、試料室２３内の真空側と
外部大気圧との圧力差により、第３のパイプ１７および
試料保持用ロッド２２が試料室２３側に移動する。
【００２２】従って、試料保持用ロッド２２がＸ軸方向
に移動するとき、第３のパイプ１７と試料保持用ロッド
２２との間のＯリング２１は固定状態で、第３のパイプ
１７がベローズの伸縮により真空シールを維持しながら
移動するため、試料保持用ロッド２２のＸ軸方向の移動
を短時間で滑らかに行うことができる。
に移動するとき、第３のパイプ１７と試料保持用ロッド
２２との間のＯリング２１は固定状態で、第３のパイプ
１７がベローズの伸縮により真空シールを維持しながら
移動するため、試料保持用ロッド２２のＸ軸方向の移動
を短時間で滑らかに行うことができる。
【図１】本発明の電子顕微鏡用試料保持装置の１実施例
を示し、電子線光軸と垂直な断面を示す図である。
を示し、電子線光軸と垂直な断面を示す図である。
【図２】図１の電子線光軸に平行な断面を示す図であ
る。
る。
【図３】図２のＡ−Ａ線に沿って矢印方向に見た断面図
である。
である。
【図４】図２のＢ−Ｂ線に沿って矢印方向に見た断面図
である。
である。
【図５】従来の試料保持装置を示し電子線光軸と垂直な
断面を示す図である。
断面を示す図である。
【図６】図５の電子線光軸に平行な断面を示す図であ
る。
る。
１…試料室壁、２、３…支持部材、５…球面軸受、６…
球面状膨出部 ７…第１のパイプ、８ａ、８ｂ、８ｃ、９…Ｏリング、
１０…仕切弁 １１、１２…ピン、１３…傘歯車、１５…第２のパイ
プ、１６…ギヤ １７…第３のパイプ、１９…ベローズ、２０…スリッ
ト、２１…Ｏリング ２２…試料保持用ロッド、２３…試料室、２５…試料ホ
ルダー、２６…操作部 ２７…ピン、３０…Ｘ軸駆動手段、３１…Ｙ軸駆動手
段、３２…Ｚ軸駆動手段 ３３…Ｘ軸傾斜駆動手段、３５…支持部材
球面状膨出部 ７…第１のパイプ、８ａ、８ｂ、８ｃ、９…Ｏリング、
１０…仕切弁 １１、１２…ピン、１３…傘歯車、１５…第２のパイ
プ、１６…ギヤ １７…第３のパイプ、１９…ベローズ、２０…スリッ
ト、２１…Ｏリング ２２…試料保持用ロッド、２３…試料室、２５…試料ホ
ルダー、２６…操作部 ２７…ピン、３０…Ｘ軸駆動手段、３１…Ｙ軸駆動手
段、３２…Ｚ軸駆動手段 ３３…Ｘ軸傾斜駆動手段、３５…支持部材
Claims (1)
- 【請求項１】試料室壁を貫通して装着され、円筒状の支
持部材の内面に形成された球面軸受と、少なくともＹ軸
駆動手段およびＺ軸駆動手段により前記球面軸受を中心
にして揺動する第１のパイプと、該第１のパイプ内に回
動可能に装着された第２のパイプと、該第２のパイプ内
に装着され、Ｘ軸駆動手段により摺動可能にされた第３
のパイプと、該第３のパイプ内にＯリングを介して摺動
可能に装着された試料保持用ロッドと、前記第２のパイ
プと第３のパイプ間に配設されたベローズとを備えたこ
とを特徴とする電子顕微鏡用試料保持装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25523394A JP3736772B2 (ja) | 1994-10-20 | 1994-10-20 | 電子顕微鏡用試料保持装置 |
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Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25523394A JP3736772B2 (ja) | 1994-10-20 | 1994-10-20 | 電子顕微鏡用試料保持装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
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| JP3736772B2 JP3736772B2 (ja) | 2006-01-18 |
Family
ID=17275886
Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP25523394A Expired - Fee Related JP3736772B2 (ja) | 1994-10-20 | 1994-10-20 | 電子顕微鏡用試料保持装置 |
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| Country | Link |
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| JP (1) | JP3736772B2 (ja) |
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|---|---|---|---|---|
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1994
- 1994-10-20 JP JP25523394A patent/JP3736772B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1995
- 1995-10-19 US US08/545,150 patent/US5581088A/en not_active Expired - Lifetime
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| JP2014038786A (ja) * | 2012-08-20 | 2014-02-27 | Hitachi High-Technologies Corp | 荷電粒子線装置及び試料移動装置 |
| JP2014192109A (ja) * | 2013-03-28 | 2014-10-06 | Jeol Ltd | 試料導入装置および荷電粒子線装置 |
| WO2015011967A1 (ja) * | 2013-07-24 | 2015-01-29 | 株式会社 日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置 |
| JP2015023011A (ja) * | 2013-07-24 | 2015-02-02 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置 |
| WO2015060049A1 (ja) * | 2013-10-23 | 2015-04-30 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 電子顕微鏡 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3736772B2 (ja) | 2006-01-18 |
| US5581088A (en) | 1996-12-03 |
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