JP6975022B2 - 検出装置 - Google Patents

Description

本発明は、検出装置に関する。

近年、電子顕微鏡における像観察手法は、多岐にわたって発展し、様々な電子線検出器が提案されている。電子顕微鏡には、各像観察手法に最適な位置に電子線検出器が取り付けられる。特に、試料を透過した後の電子線を検出するために、像観察室には多種多様な電子線検出器が取り付けられる。
電子線検出器は、多くの場合、信号検出を行うときには電子顕微鏡の光軸近傍に配置され、他の検出器を使って信号検出を行うときには電子線を遮らないように光軸から離れた位置に配置される。そのため、電子線検出器は、モーター駆動や圧縮気体によるエアーシリンダー駆動などで位置が制御される。

例えば、特許文献１には、微分位相コントラスト法により像を得るための分割型検出器と、ＣＣＤ（Charge Coupled Device）カメラと、を備えた電子顕微鏡において、ＣＣＤカメラで像を取得する際に分割型検出器が邪魔にならないように、分割型検出器を光軸から退避させる機構が記載されている。

電子線検出器は、像観察手法に応じて様々な形状や大きさを持つ。像観察手法によっては、複数の電子線検出器を同時に電子顕微鏡の光軸近傍に配置する場合もあるため、これらが接触しないように取付け位置と形状が工夫されている。

特開２０１６−１６２５４２号公報

上述したように、電子顕微鏡における像観察手法は、多岐にわたって発展し、様々な電子線検出器が提案されている。一方、電子顕微鏡には、限られたスペースしかないため、複数の電子線検出器を取り付けた場合、電子線検出器が互いに接触して、故障してしまうおそれがある。

図６は、従来の電子顕微鏡の電子線検出器を説明するための図である。図６では、電子線検出器１００２ａが光軸Ｌ上に位置し、試料Ｓを透過した電子線ＥＢが電子線検出器１００２ａで検出されている状態を図示している。

電子線検出器１００２ａと電子線検出器１００２ｂとが接触することを防ぐために、通常、一方の電子線検出器１００２ａが光軸Ｌ上に導入されるときには、その動作の前に、光軸Ｌ上に位置している他方の電子線検出器１００２ｂを光軸Ｌ上から退避させる。これにより、電子線検出器１００２ａと電子線検出器１００２ｂとが接触することを防ぐことができる。

検出器駆動装置１００４ａは、エアーシリンダー１００６ａを用いて電子線検出器１００２ａを移動させる。検出器駆動装置１００４ｂは、エアーシリンダー１００６ｂを用いて電子線検出器１００２ｂを移動させる。

ここで、エアーシリンダー１００６ａに対する圧縮空気の供給が、停電などにより停止した場合、電子線検出器１００２ａは電子顕微鏡内（真空室）の圧力と大気圧との圧力差により、光軸Ｌ近傍に引き込まれる。同様に、エアーシリンダー１００６ｂに対する圧縮空気の供給が停止した場合、電子線検出器１００２ｂは電子顕微鏡内の圧力と大気圧との圧力差により、光軸Ｌ近傍に引き込まれる。したがって、電子線検出器１００２ａと電子線検出器１００２ｂとが接触してしまう。

上記では、電子顕微鏡の電子線検出器を例に挙げて説明したが、検出器を備えたその他の検出装置にも同様の問題が生じる。

本発明は、以上のような問題点に鑑みてなされたものであり、本発明のいくつかの態様に係る目的の１つは、検出器を支持する支持部材が真空室の圧力と大気圧との差により引き込まれることを防ぐことができる検出装置を提供することにある。

本発明に係る検出装置の一態様は、
真空室に配置される検出器と、
前記検出器を移動させる駆動装置と、
試料に電子線を照射する照射系レンズと、
を含み、
前記駆動装置は、
前記検出器を支持する支持部材と、
圧縮気体を利用して、前記支持部材を介して前記検出器を移動させるエアーシリンダーと、
前記支持部材に、前記真空室の圧力と大気圧との差により生じる力とは反対方向の力であって、前記真空室の圧力と大気圧との差により生じる力よりも大きい力を与える弾性部材と、
を有し、
前記検出器は、前記試料を透過した電子線を検出する。
本発明に係る検出装置の一態様は、
真空室に配置される複数の検出器と、
前記検出器を移動させる複数の駆動装置と、
を含み、
前記駆動装置は、
前記検出器を支持する支持部材と、
圧縮気体を利用して、前記支持部材を介して前記検出器を移動させるエアーシリンダーと、
前記支持部材に、前記真空室の圧力と大気圧との差により生じる力とは反対方向の力であって、前記真空室の圧力と大気圧との差により生じる力よりも大きい力を与える弾性部材と、
を有し、
複数の前記検出器のうちの第１検出器が検出位置と退避位置との間を移動する経路と、複数の前記検出器のうちの第２検出器が検出位置と退避位置との間を移動する経路とは、重なる。

このような検出装置では、弾性部材が支持部材に真空室の圧力と大気圧との差により生じる力とは反対方向の力であって、真空室の圧力と大気圧との差により生じる力よりも大きい力を与えるため、支持部材が引き込まれることを防ぐことができる。

本実施形態に係る電子顕微鏡の構成を示す図。 第１電子線検出器駆動装置および第２電子線検出器駆動装置を説明するための図。 第１電子線検出器駆動装置および第２電子線検出器駆動装置を説明するための図。 エアーシリンダーを説明するための図。 圧縮空気供給ユニットからの圧縮空気の供給が停止した場合の、第１電子線検出器および第２電子線検出器の状態を模式的に示す図。 従来の電子顕微鏡の電子線検出器を説明するための図。

以下、本発明の好適な実施形態について図面を用いて詳細に説明する。なお、以下に説明する実施形態は、特許請求の範囲に記載された本発明の内容を不当に限定するものではない。また、以下で説明される構成の全てが本発明の必須構成要件であるとは限らない。

また、以下では、本発明に係る検出装置として、電子顕微鏡を例に挙げて説明するが、本発明に係る検出装置は、電子顕微鏡に限定されない。

１． 電子顕微鏡
まず、本実施形態に係る電子顕微鏡について図面を参照しながら説明する。図１は、本実施形態に係る電子顕微鏡１００の構成を示す図である。

電子顕微鏡１００は、走査透過電子顕微鏡（scanning transmission electron microscope、ＳＴＥＭ）である。すなわち、電子顕微鏡１００は、電子線で試料Ｓ上を走査し、電子線の照射位置ごとに試料Ｓを透過した電子線の強度情報を取得して走査透過電子顕微鏡像（ＳＴＥＭ像）を生成する装置である。

電子顕微鏡１００は、図１に示すように、電子源１０と、照射系レンズ１２と、走査コイル１４と、対物レンズ１６と、試料ステージ１８と、試料ホルダー１９と、中間レンズ２０と、投影レンズ２２と、第１電子線検出器３０ａと、第２電子線検出器３０ｂと、第１電子線検出器駆動装置３２ａと、第２電子線検出器駆動装置３２ｂと、撮像装置３４と、を含む。

電子源１０は、電子線を放出する。電子源１０は、例えば、陰極から放出された電子を陽極で加速し電子線を放出する電子銃である。

照射系レンズ１２は、電子源１０から放出された電子線を試料Ｓに照射する。照射系レンズ１２は、図示はしないが、複数のコンデンサーレンズで構成されていてもよい。

走査コイル１４は、電子源１０から放出された電子線を二次元的に偏向させる。走査コイル１４は、電子線（電子プローブ）で試料Ｓ上を走査するためのコイルである。

対物レンズ１６は、電子線を試料Ｓ上に収束させて、電子プローブを形成する。また、対物レンズ１６は、試料Ｓを透過した電子線で結像する。

試料ステージ１８は、試料Ｓを保持する。図示の例では、試料ステージ１８は、試料ホルダー１９を介して、試料Ｓを保持している。試料ステージ１８は、試料Ｓを水平方向や鉛直方向に移動させることができる。また、試料ステージ１８は、傾斜機構を有しており、試料Ｓを互いに直交する２つの軸まわりに傾斜（回転）させることができる。

中間レンズ２０および投影レンズ２２は、試料Ｓを透過した電子線を、第１電子線検出器３０ａや、第２電子線検出器３０ｂ、撮像装置３４に導く。

第１電子線検出器３０ａおよび第２電子線検出器３０ｂは、試料Ｓを透過した電子線を検出する。第１電子線検出器３０ａは、例えば、明視野ＳＴＥＭ像を取得するための明視野ＳＴＥＭ検出器である。第２電子線検出器３０ｂは、例えば、暗視野ＳＴＥＭ像を取得するための暗視野ＳＴＥＭ検出器である。第２電子線検出器３０ｂは、第１電子線検出器３０ａとは異なる像観察手法による像を得るための検出器である。

なお、第１電子線検出器３０ａおよび第２電子線検出器３０ｂは、その他の電子線検出器であってもよい。例えば、第１電子線検出器３０ａおよび第２電子線検出器３０ｂは、環状明視野法（annular bright-field scanning transmission electron microscopy、ＡＢＦ−ＳＴＥＭ）による像を得るための検出器であってもよいし、低角度散乱暗射法（low-angle annular dark-field scanning transmission electron microscopy、ＬＡＡＤＦ−ＳＴＥＭ）による像を得るための検出器であってもよいし、高角度散乱暗視野法（high-angle annular dark-field scanning transmission electron microscopy、ＨＡＡＤＦ−ＳＴＥＭ）による像を得るための検出器であってもよい。

電子顕微鏡１００では、第１電子線検出器３０ａおよび第２電子線検出器３０ｂを備えることにより、異なる像観察手法で得られた像を取得することができる。

第１電子線検出器駆動装置３２ａは、第１電子線検出器３０ａを、検出位置と、退避位置と、の間で移動させる。検出位置は、第１電子線検出器３０ａが試料Ｓを透過した電子線を検出する位置であり、電子顕微鏡１００の光軸近傍または光軸上の位置である。退避位置は、第１電子線検出器３０ａが第２電子線検出器３０ｂによる電子線の検出や、撮像装置３４による撮影の邪魔にならない位置である。

第２電子線検出器駆動装置３２ｂは、第２電子線検出器３０ｂを、検出位置と、退避位置と、の間で移動させる。検出位置は、第２電子線検出器３０ｂが試料Ｓを透過した電子線を検出する位置であり、電子顕微鏡１００の光軸近傍または光軸上の位置である。退避位置は、第２電子線検出器３０ｂが第１電子線検出器３０ａによる電子線の検出や、撮像装置３４による撮影の邪魔にならない位置である。

撮像装置３４は、対物レンズ１６、中間レンズ２０、投影レンズ２２を含む結像系で結像された像を撮影する。撮像装置３４は、例えば、ＣＣＤ（Charge Coupled Device）カメラなどのデジタルカメラである。撮像装置３４によって、ＴＥＭ像を取得することができる。

図２および図３は、第１電子線検出器駆動装置３２ａおよび第２電子線検出器駆動装置３２ｂを説明するための図である。図２では、第１電子線検出器３０ａが検出位置に配置され、第２電子線検出器３０ｂが退避位置に配置されている状態を図示している。図３では、第１電子線検出器３０ａが退避位置に配置され、第２電子線検出器３０ｂが検出位置に配置されている状態を図示している。

第１電子線検出器駆動装置３２ａは、支持部材３４ａと、エアーシリンダー３６ａと、バネ３８ａ（弾性部材の一例）と、を含む。

支持部材３４ａは、第１電子線検出器３０ａを支持している。支持部材３４ａは、例えば、棒状の部材である。支持部材３４ａは、一方の端部が第１電子線検出器３０ａに接続され、他方の端部がエアーシリンダー３６ａに接続されている。

支持部材３４ａに支持された第１電子線検出器３０ａは、電子顕微鏡１００の真空室２に配置される。真空室２は、真空排気装置により真空排気されており、真空状態、すなわち、大気圧よりも圧力が低い状態である。

エアーシリンダー３６ａは、圧縮気体（例えば、圧縮空気）を利用して、支持部材３４ａを介して第１電子線検出器３０ａを移動させる。エアーシリンダー３６ａは、真空室２の外に配置されている。

図４は、エアーシリンダー３６ａを説明するための図である。

エアーシリンダー３６ａは、シリンダーチューブ３０２と、ピストン３０３と、第１ポート３０４と、第２ポート３０６と、を含んで構成されている。

エアーシリンダー３６ａでは、支持部材３４ａの端部に接続されたピストン３０３がシリンダーチューブ３０２内を区画することによって、第１圧力室３０８ａおよび第２圧力室３０８ｂが形成されている。第１圧力室３０８ａでは、第１ポート３０４によって圧縮
空気の供給、排気が行われる。第２圧力室３０８ｂでは、第２ポート３０６によって圧縮空気の供給、排気が行われる。

エアーシリンダー３６ａでは、圧縮空気供給ユニット（図示せず）から送り込まれた圧縮空気を第１ポート３０４から第１圧力室３０８ａに供給すると、第１圧力室３０８ａが加圧され、支持部材３４ａが伸びる。この結果、図２に示すように、第１電子線検出器３０ａは、検出位置に配置される。

一方、圧縮空気供給ユニットから送り込まれた圧縮空気を第２ポート３０６から第２圧力室３０８ｂに供給すると、第２圧力室３０８ｂが加圧され、支持部材３４ａが縮退する。この結果、図３に示すように、第１電子線検出器３０ａは、退避位置に配置される。

このようにして支持部材３４ａを介して第１電子線検出器３０ａを検出位置と退避位置との間で移動させることができる。

バネ３８ａは、支持部材３４ａに取り付けられている。バネ３８ａは、第１電子線検出器３０ａが検出位置に位置している場合には伸びて、第１電子線検出器３０ａが退避位置に位置している場合には自由長となる。すなわち、バネ３８ａは、引張りばねである。

バネ３８ａは、支持部材３４ａに真空室２の圧力と大気圧との差により生じる力とは反対方向の力であって、真空室２の圧力と大気圧との差により生じる力よりも大きい力を与える。

第２電子線検出器駆動装置３２ｂは、支持部材３４ｂと、エアーシリンダー３６ｂと、バネ３８ｂと、を含む。支持部材３４ｂ、エアーシリンダー３６ｂ、およびバネ３８ｂの構成は、支持部材３４ａ、エアーシリンダー３６ａ、およびバネ３８ａの構成と同様であり、その説明を省略する。

２． 動作
次に、電子顕微鏡１００の動作について説明する。ここでは、第１電子線検出器駆動装置３２ａおよび第２電子線検出器駆動装置３２ｂの動作について説明する。

電子顕微鏡１００において、第１電子線検出器駆動装置３２ａを動作させることにより、第１電子線検出器３０ａを検出位置に配置したり（図２参照）、退避位置に配置したり（図３参照）することができる。

また、電子顕微鏡１００において、第２電子線検出器駆動装置３２ｂを動作させることにより、第２電子線検出器３０ｂを検出位置に配置したり（図３参照）、退避位置に配置したり（図２参照）することができる。

第１電子線検出器３０ａが検出位置と退避位置との間を移動する経路と、第２電子線検出器３０ｂが検出位置と退避位置との間を移動する経路とは、重なる。図示の例では、第１電子線検出器３０ａの検出位置と第２電子線検出器３０ｂの検出位置とが、同じ位置にある。そのため、電子顕微鏡１００では、第１電子線検出器３０ａが検出位置に位置しているときには、第２電子線検出器３０ｂが退避位置に位置し、第１電子線検出器３０ａが退避位置に位置しているときには、第２電子線検出器３０ｂが検出位置に位置するように動作する。これにより、第１電子線検出器３０ａと第２電子線検出器３０ｂとが接触することを防ぐことができる。

ここで、停電などにより、圧縮空気供給ユニットからの圧縮空気の供給が停止した場合
について説明する。図５は、圧縮空気供給ユニットからの圧縮空気の供給が停止した場合の、第１電子線検出器３０ａおよび第２電子線検出器３０ｂの状態を模式的に示す図である。

圧縮空気供給ユニットからの圧縮空気の供給が停止した場合、第１電子線検出器駆動装置３２ａにおいて、エアーシリンダー３６ａの第１圧力室３０８ａおよび第２圧力室３０８ｂの圧力は大気圧となる。そのため、支持部材３４ａには、真空室２の圧力と大気圧との圧力差により、引き込まれる方向の力が加わる。すなわち、支持部材３４ａには、第１電子線検出器３０ａが検出位置に向かう方向の力が加わる。

しかしながら、電子顕微鏡１００では、バネ３８ａが支持部材３４ａに真空室２の圧力と大気圧との差により生じる力とは反対方向の力であって、真空室２の圧力と大気圧との差により生じる力よりも大きい力を与える。このバネ３８ａの力によって、支持部材３４ａが引き込まれることを防ぐことができ、支持部材３４ａが退避方向に移動する。

したがって、電子顕微鏡１００では、圧縮空気供給ユニットからエアーシリンダー３６ａに対する圧縮空気の供給が停止した場合に、第１電子線検出器３０ａは退避位置に位置することとなる。

第２電子線検出器駆動装置３２ｂについても、第１電子線検出器駆動装置３２ａと同様の動作を行う。そのため、電子顕微鏡１００では、圧縮空気供給ユニットからエアーシリンダー３６ｂに対する圧縮空気の供給が停止した場合に、第２電子線検出器３０ｂは退避位置に位置することとなる。

よって、電子顕微鏡１００では、図５に示すように、圧縮空気供給ユニットからの圧縮空気の供給が停止した場合に、第１電子線検出器３０ａおよび第２電子線検出器３０ｂはともに退避位置に位置することとなる。そのため、第１電子線検出器３０ａと第２電子線検出器３０ｂとが接触することを防ぐことができる。

電子顕微鏡１００は、例えば、以下の特徴を有する。

電子顕微鏡１００は、真空室２に配置される第１電子線検出器３０ａと、第１電子線検出器３０ａを移動させる第１電子線検出器駆動装置３２ａと、を含み、第１電子線検出器駆動装置３２ａは、第１電子線検出器３０ａを支持する支持部材３４ａと、圧縮気体を利用して、支持部材３４ａを介して第１電子線検出器３０ａを移動させるエアーシリンダー３６ａと、支持部材３４ａに真空室２の圧力と大気圧との差により生じる力とは反対方向の力であって、真空室２の圧力と大気圧との差により生じる力よりも大きい力を与えるバネ３８ａと、を有している。そのため、エアーシリンダー３６ａに対する圧縮気体の供給が停止した場合に、支持部材３４ａが引き込まれることを防ぐことができる。したがって、第１電子線検出器３０ａを退避位置に位置させることができる。これにより、圧縮気体の供給が停止した場合に、第１電子線検出器３０ａと第２電子線検出器３０ｂとが接触することを防ぐことができる。また、第１電子線検出器３０ａが撮像装置３４での撮影の邪魔になることを防ぐことができる。

電子顕微鏡１００では、バネ３８ａは、支持部材３４ａに第１電子線検出器３０ａが退避位置に移動する方向の力を与える。そのため、エアーシリンダー３６ａに対する圧縮気体の供給が停止した場合に、第１電子線検出器３０ａを退避位置に位置させることができる。

電子顕微鏡１００では、２つの電子線検出器（第１電子線検出器３０ａおよび第２電子
線検出器３０ｂ）と、２つの電子線検出器駆動装置（第１電子線検出器駆動装置３２ａおよび第２電子線検出器駆動装置３２ｂ）と、を含む。電子顕微鏡１００では、エアーシリンダー３６ａに対する圧縮気体の供給が停止した場合に、２つの電子線検出器が接触することを防ぐことができる。

電子顕微鏡１００では、第１電子線検出器３０ａが検出位置と退避位置との間を移動する経路と、第２電子線検出器３０ｂが検出位置と退避位置との間を移動する経路とは、重なる。そのため、電子顕微鏡１００では、第１電子線検出器３０ａと第２電子線検出器３０ｂを狭いスペースに効率よく搭載することができる。
例えば、第１電子線検出器３０ａが検出位置と退避位置との間を移動する経路と、第２電子線検出器３０ｂが検出位置と退避位置との間を移動する経路とが重ならないように第１電子線検出器３０ａと第２電子線検出器３０ｂを搭載するためには、広いスペースが必要となり、第１電子線検出器３０ａと第２電子線検出器３０ｂとを効率よく搭載することができない。

なお、本発明は上述した実施形態に限定されず、本発明の要旨の範囲内で種々の変形実施が可能である。

上記では、電子顕微鏡１００が、２つの電子線検出器（第１電子線検出器３０ａおよび第２電子線検出器３０ｂ）と、２つの電子線検出器駆動装置（第１電子線検出器駆動装置３２ａおよび第２電子線検出器駆動装置３２ｂ）と、を含む場合について説明したが、電子線検出器および電子線検出器駆動装置の数は特に限定されない。例えば、電子顕微鏡１００が、１つの電子線検出器と１つの電子線検出器駆動装置を含んでいてもよいし、３つ以上の電子線検出器と３つ以上の電子線検出器駆動装置を含んでいてもよい。

また、上記では、バネ３８ａが支持部材３４ａに真空室２の圧力と大気圧との差により生じる力とは反対方向の力であって、真空室２の圧力と大気圧との差により生じる力よりも大きい力を与える場合について説明したが、支持部材３４ａに真空室２の圧力と大気圧との差により生じる力とは反対方向の力であって、真空室２の圧力と大気圧との差により生じる力よりも大きい力を与えることができれば、バネに限定されず、ゴムなどのバネ以外の弾性部材を用いることができる。

また、上記では、本発明の検出装置として、電子顕微鏡を例に挙げて説明したが、本願発明は、その他の検出装置であってもよい。本発明に係る検出装置は、検出器を分析位置と退避位置との間で移動させる駆動装置を備えていればよい。本発明に係る検出装置としては、透過電子顕微鏡（transmission electron microscope、ＴＥＭ）や、走査透過電子顕微鏡、走査電子顕微鏡（scanning electron microscope、ＳＥＭ）などの電子顕微鏡の他に、集束イオンビーム装置（Focused Ion Beam System）、電子プローブマイクロアナライザー（Electron Probe Microanalyzer、ＥＰＭＡ）、オージェマイクロプローブ（Auger Microprobe）、光電子分光装置（Photoelectron Spectrometer）、蛍光Ｘ線分析装置（X-ray Fluorescence Spectrometer、ＸＲＦ）などが挙げられる。すなわち、本発明に係る検出装置は、電子線を検出する検出器ではなく、Ｘ線を検出する検出器を備えていてもよいし、試料から放出される二次電子やオージェ電子などの電子を検出する検出器を備えていてもよい。

なお、上述した実施形態及び変形例は一例であって、これらに限定されるわけではない。例えば各実施形態及び各変形例は、適宜組み合わせることが可能である。

本発明は、実施の形態で説明した構成と実質的に同一の構成（例えば、機能、方法および結果が同一の構成、あるいは目的及び効果が同一の構成）を含む。また、本発明は、実
施の形態で説明した構成の本質的でない部分を置き換えた構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成と同一の作用効果を奏する構成又は同一の目的を達成することができる構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成に公知技術を付加した構成を含む。

２…真空室、１０…電子源、１２…照射系レンズ、１４…走査コイル、１６…対物レンズ、１８…試料ステージ、１９…試料ホルダー、２０…中間レンズ、２２…投影レンズ、３０ａ…第１電子線検出器、３０ｂ…第２電子線検出器、３２ａ…第１電子線検出器駆動装置、３２ｂ…第２電子線検出器駆動装置、３４…撮像装置、３４ａ…支持部材、３４ｂ…支持部材、３６ａ…エアーシリンダー、３６ｂ…エアーシリンダー、３８ａ…バネ、３８ｂ…バネ、１００…電子顕微鏡、３０２…シリンダーチューブ、３０３…ピストン、３０４…第１ポート、３０６…第２ポート、３０８ａ…第１圧力室、３０８ｂ…第２圧力室、１００２ａ…電子線検出器、１００２ｂ…電子線検出器、１００４ａ…検出器駆動装置、１００４ｂ…検出器駆動装置、１００６ａ…エアーシリンダー、１００６ｂ…エアーシリンダー

Claims (6)

1. 真空室に配置される検出器と、
   前記検出器を移動させる駆動装置と、
   試料に電子線を照射する照射系レンズと、
   を含み、
   前記駆動装置は、
   前記検出器を支持する支持部材と、
   圧縮気体を利用して、前記支持部材を介して前記検出器を移動させるエアーシリンダーと、
   前記支持部材に、前記真空室の圧力と大気圧との差により生じる力とは反対方向の力であって、前記真空室の圧力と大気圧との差により生じる力よりも大きい力を与える弾性部材と、
   を有し、
   前記検出器は、前記試料を透過した電子線を検出する、検出装置。
2. 請求項１において、
   前記駆動装置は、前記検出器を検出位置と退避位置との間で移動させ、
   前記弾性部材は、前記支持部材に前記検出器が退避位置に移動する方向の力を与える、検出装置。
3. 請求項１または２において、
   前記エアーシリンダーは、前記真空室の外に配置されている、検出装置。
4. 請求項１ないし３のいずれか１項において、
   複数の前記検出器と、
   複数の前記駆動装置と、
   を含む、検出装置。
5. 請求項４において、
   複数の前記検出器のうちの第１検出器が検出位置と退避位置との間を移動する経路と、複数の前記検出器のうちの第２検出器が検出位置と退避位置との間を移動する経路とは、重なる、検出装置。
6. 真空室に配置される複数の検出器と、
   前記検出器を移動させる複数の駆動装置と、
   を含み、
   前記駆動装置は、
   前記検出器を支持する支持部材と、
   圧縮気体を利用して、前記支持部材を介して前記検出器を移動させるエアーシリンダーと、
   前記支持部材に、前記真空室の圧力と大気圧との差により生じる力とは反対方向の力であって、前記真空室の圧力と大気圧との差により生じる力よりも大きい力を与える弾性部材と、
   を有し、
   複数の前記検出器のうちの第１検出器が検出位置と退避位置との間を移動する経路と、複数の前記検出器のうちの第２検出器が検出位置と退避位置との間を移動する経路とは、重なる、検出装置。

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