JP2019087338A - 検出装置 - Google Patents
検出装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2019087338A JP2019087338A JP2017212803A JP2017212803A JP2019087338A JP 2019087338 A JP2019087338 A JP 2019087338A JP 2017212803 A JP2017212803 A JP 2017212803A JP 2017212803 A JP2017212803 A JP 2017212803A JP 2019087338 A JP2019087338 A JP 2019087338A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electron beam
- beam detector
- detector
- support member
- electron
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Abstract
Description
電子線検出器は、多くの場合、信号検出を行うときには電子顕微鏡の光軸近傍に配置され、他の検出器を使って信号検出を行うときには電子線を遮らないように光軸から離れた位置に配置される。そのため、電子線検出器は、モーター駆動や圧縮気体によるエアーシリンダー駆動などで位置が制御される。
真空室に配置される検出器と、
前記検出器を移動させる駆動装置と、
を含み、
前記駆動装置は、
前記検出器を支持する支持部材と、
圧縮気体を利用して、前記支持部材を介して前記検出器を移動させるエアーシリンダーと、
前記支持部材に、前記真空室の圧力と大気圧との差により生じる力とは反対方向の力であって、前記真空室の圧力と大気圧との差により生じる力よりも大きい力を与える弾性部材と、
を有している。
まず、本実施形態に係る電子顕微鏡について図面を参照しながら説明する。図1は、本実施形態に係る電子顕微鏡100の構成を示す図である。
空気の供給、排気が行われる。第2圧力室308bでは、第2ポート306によって圧縮空気の供給、排気が行われる。
次に、電子顕微鏡100の動作について説明する。ここでは、第1電子線検出器駆動装置32aおよび第2電子線検出器駆動装置32bの動作について説明する。
について説明する。図5は、圧縮空気供給ユニットからの圧縮空気の供給が停止した場合の、第1電子線検出器30aおよび第2電子線検出器30bの状態を模式的に示す図である。
線検出器30b)と、2つの電子線検出器駆動装置(第1電子線検出器駆動装置32aおよび第2電子線検出器駆動装置32b)と、を含む。電子顕微鏡100では、エアーシリンダー36aに対する圧縮気体の供給が停止した場合に、2つの電子線検出器が接触することを防ぐことができる。
例えば、第1電子線検出器30aが検出位置と退避位置との間を移動する経路と、第2電子線検出器30bが検出位置と退避位置との間を移動する経路とが重ならないように第1電子線検出器30aと第2電子線検出器30bを搭載するためには、広いスペースが必要となり、第1電子線検出器30aと第2電子線検出器30bとを効率よく搭載することができない。
施の形態で説明した構成の本質的でない部分を置き換えた構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成と同一の作用効果を奏する構成又は同一の目的を達成することができる構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成に公知技術を付加した構成を含む。
Claims (6)
- 真空室に配置される検出器と、
前記検出器を移動させる駆動装置と、
を含み、
前記駆動装置は、
前記検出器を支持する支持部材と、
圧縮気体を利用して、前記支持部材を介して前記検出器を移動させるエアーシリンダーと、
前記支持部材に、前記真空室の圧力と大気圧との差により生じる力とは反対方向の力であって、前記真空室の圧力と大気圧との差により生じる力よりも大きい力を与える弾性部材と、
を有している、検出装置。 - 請求項1において、
前記駆動装置は、前記検出器を検出位置と退避位置との間で移動させ、
前記弾性部材は、前記支持部材に前記検出器が退避位置に移動する方向の力を与える、検出装置。 - 請求項1または2において、
試料に電子線を照射する照射系レンズを含み、
前記検出器は、前記試料を透過した電子線を検出する、検出装置。 - 請求項1ないし3のいずれか1項において、
前記エアーシリンダーは、前記真空室の外に配置されている、検出装置。 - 請求項1ないし4のいずれか1項において、
複数の前記検出器と、
複数の前記駆動装置と、
を含む、検出装置。 - 請求項5において、
複数の前記検出器のうちの第1検出器が検出位置と退避位置との間を移動する経路と、複数の前記検出器のうちの第2検出器が検出位置と退避位置との間を移動する経路とは、重なる、検出装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017212803A JP6975022B2 (ja) | 2017-11-02 | 2017-11-02 | 検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017212803A JP6975022B2 (ja) | 2017-11-02 | 2017-11-02 | 検出装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019087338A true JP2019087338A (ja) | 2019-06-06 |
JP6975022B2 JP6975022B2 (ja) | 2021-12-01 |
Family
ID=66763612
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017212803A Active JP6975022B2 (ja) | 2017-11-02 | 2017-11-02 | 検出装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6975022B2 (ja) |
-
2017
- 2017-11-02 JP JP2017212803A patent/JP6975022B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6975022B2 (ja) | 2021-12-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7671333B2 (en) | Apparatus for observing a sample with a particle beam and an optical microscope | |
TWI617805B (zh) | Inspection device | |
US11276547B2 (en) | Charged particle optical apparatus for through-the-lens detection of particles | |
JP2004363085A (ja) | 荷電粒子線による検査装置及びその検査装置を用いたデバイス製造方法 | |
US11004655B2 (en) | Diffraction pattern detection in a transmission charged particle microscope | |
JP6400283B2 (ja) | 設定可能な荷電粒子装置 | |
US8148684B2 (en) | Electron beam apparatus | |
US20210172891A1 (en) | Method and system for inspecting an euv mask | |
US11251014B2 (en) | Sample holder for a charged particle microscope | |
US9741528B2 (en) | Charged particle optical apparatus having a selectively positionable differential pressure module | |
CN108140525B (zh) | 具备电子能量损失谱仪的扫描透射型电子显微镜及其观察方法 | |
JP2021174544A (ja) | データ処理装置によって実施される方法、およびそのような方法で試料を検査するための荷電粒子ビームデバイス | |
JP2007188821A (ja) | ハンディ電子顕微鏡 | |
JP2019087338A (ja) | 検出装置 | |
US9916963B2 (en) | Specimen loading method, specimen stage, and charged particle beam device | |
JP6950088B2 (ja) | 荷電粒子線装置及び荷電粒子線装置の検出器位置調整方法 | |
JP2005032588A (ja) | 電子顕微鏡用磁界型対物レンズ | |
JP2004327121A (ja) | 写像投影方式電子線装置 | |
JP6377920B2 (ja) | 高輝度電子銃、高輝度電子銃を用いるシステム及び高輝度電子銃の動作方法 | |
JP2005222817A (ja) | X線顕微鏡の機能を備えた走査電子顕微鏡 | |
JP4887049B2 (ja) | 荷電粒子線装置の試料台 | |
JP2020202167A (ja) | 光電子顕微鏡(peem)機能を備えた透過電子顕微鏡(tem) | |
JP2021118056A (ja) | 荷電粒子線装置および荷電粒子線装置の調整方法 | |
JP2023008921A (ja) | ビームによる試料損傷を低減した走査型透過荷電粒子顕微鏡を使用して試料を調査する方法およびシステム | |
JP2009205936A (ja) | 走査電子顕微鏡 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20200717 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20210430 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20210608 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210804 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20211026 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20211105 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6975022 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |