JP2011044330A5 - - Google Patents

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上記課題を解決するために成された本発明に係る電子線装置は、
試料が収容される試料室と、前記試料室に収容された試料に照射するための電子線を発生する電子銃を内部に含む電子銃部と、前記電子銃部の内部を排気するための真空排気機構とを備えた電子線装置であって、
前記電子銃部は、筒状の容器本体、該容器本体の上部開口を開閉する蓋部、前記容器本体と前記蓋部との間に設けられた容器シール機構を有し、
前記容器シール機構は、容器本体の軸方向及び軸方向と直交する径方向の少なくとも一方向に離れて設けられた２個のＯリングから成り、
前記容器シール機構の２個のＯリング間の空間を排気する容器シール用真空ポンプを備えることを特徴とする。
なお、容器本体は円筒状に限らないが、本発明では便宜上、軸方向と直交する方向を径方向と称する。
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