JP2015203648A - 蛍光x線分析装置 - Google Patents
蛍光x線分析装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2015203648A JP2015203648A JP2014083913A JP2014083913A JP2015203648A JP 2015203648 A JP2015203648 A JP 2015203648A JP 2014083913 A JP2014083913 A JP 2014083913A JP 2014083913 A JP2014083913 A JP 2014083913A JP 2015203648 A JP2015203648 A JP 2015203648A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ray
- chamber
- sample
- rays
- analyzer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
【課題】真空ポンプにより排気されるチャンバー内で、試料に1次X線を照射して発生する2次X線を検出する蛍光X線分析装置において、チャンバーに設けられた開口から装置外部へのX線の漏洩を簡単な構成で確実に防止できる蛍光X線分析装置を提供する。【解決手段】真空ポンプ2により排気されるチャンバー1内で、試料3にX線管4から1次X線5を照射して発生する2次X線6を検出手段7で検出する蛍光X線分析装置であって、チャンバー1内の圧力が所定の基準値を超えている場合にX線管4への高圧電源8からの給電を遮断する安全機構9を備える。【選択図】図1
Description
本発明は、真空ポンプにより排気されるチャンバー内で、試料に1次X線を照射して発生する2次X線を検出する蛍光X線分析装置に関する。
従来、真空ポンプにより排気されるチャンバー内で、試料にX線管から1次X線を照射して発生する蛍光X線等の2次X線をX線検出器等の検出手段で検出する蛍光X線分析装置において、試料の搬出入やチャンバー内のメンテナンスのために、チャンバーに複数の開口が設けられており、これらの開口から装置外部へのX線の漏洩が問題となる。
これに関連して、検出器保護のために、チャンバー内の真空度が所定値以下の場合に、X線管と試料の間および試料と検出器の間にあるシャッターを開かないようにすることにより、検出器に蛍光X線を入射させない第1の従来技術がある(特許文献1参照)。
また、各開口がゲートバルブまたは蓋で閉じられていることを確認するためのスイッチを個別に設け、すべての開口が閉じられている場合にのみ、X線管からの1次X線照射が可能となる第2の従来技術もある。
しかし、第1の従来技術では、いずれかの開口が閉じられていないためにチャンバー内の真空度が所定値以下の場合であっても、X線管からのX線の発生が止むことはないので、シャッターが動作不良の際に、閉じられていない開口から装置外部へX線が漏洩するおそれがある。一方、第2の従来の技術では、複数のスイッチを使用することにより配線、構造が複雑化し、また、ゲートバルブまたは蓋での開閉等によりいずれか1つのスイッチが故障するだけで正しく動作しないおそれもある。
そこで、本発明は、真空ポンプにより排気されるチャンバー内で、試料に1次X線を照射して発生する2次X線を検出する蛍光X線分析装置において、チャンバーに設けられた開口から装置外部へのX線の漏洩を簡単な構成で確実に防止できる蛍光X線分析装置を提供することを目的とする。
前記目的を達成するために、本発明は、真空ポンプにより排気されるチャンバー内で、試料にX線管から1次X線を照射して発生する2次X線を検出手段で検出する蛍光X線分析装置であって、前記チャンバー内の圧力が所定の基準値を超えている場合に前記X線管への高圧電源からの給電を遮断する安全機構を備えている。
本発明によれば、チャンバーに設けられた開口が1つでも閉じられずに大気に開放されていると、そのことを、単一の安全機構が、チャンバー内の圧力が所定の基準値を超えていることに基づいて検知して、X線管への高圧電源からの給電を遮断するので、チャンバーに設けられた開口から装置外部へのX線の漏洩を簡単な構成で確実に防止できる。
本発明においては、前記安全機構として、ダイアフラムまたはピストンの動作により接点を開閉する真空スイッチを用いることが好ましい。このような機械式の安全機構によれば、電源なしで常時機能するので、開口から装置外部へのX線の漏洩をより簡単な構成でより確実に防止できる。
以下、本発明の一実施形態の蛍光X線分析装置について、図にしたがって説明する。概略断面図である図1に示すように、本実施形態の装置は、真空ポンプ2により配管を介して開口1aから排気されるチャンバー1内で、試料台10に載置された試料3に、高圧電源8から給電されるX線管4から1次X線5を照射して、発生する蛍光X線等の2次X線6を検出手段9で検出する蛍光X線分析装置である。本実施形態の装置では、X線管4から発生するX線をそのまま1次X線5としているが、X線管4から発生するX線を分光素子により単色化して1次X線5としてもよい。また、エネルギー分解能の高い検出器を検出手段7としているが、試料3から発生する2次X線6を分光する分光素子と、分光された2次X線ごとにその強度を測定する検出器とを組み合わせて検出手段7としてもよい。
チャンバー1には、試料3の搬出入のために開口1bが設けられ、チャンバー1内のメンテナンスのために開口1cが設けられている。開口1bは、例えば駆動源をもつゲートバルブ11におけるゲート11aの上下動により開閉自在であり、開口1cは、例えば蓋12の手動着脱により開閉自在である。必要に応じて、さらに開口およびその開閉機構を設けてもよい。このような構成では、試料3の搬出入のたびに、チャンバー1内の雰囲気が、真空雰囲気から大気圧雰囲気に切り替えられる。
これに対して、例えば、試料3の搬出入のための開口1bを介して分析用のチャンバー1と連通するように、分析前および/または分析後の複数の試料3が載置可能な試料交換用のチャンバーを設けるとともに、その試料交換用のチャンバーにも、真空排気用の開口および真空ポンプへの配管、試料3の搬出入のための開口およびその開閉機構であるゲートバルブ、ならびにメンテナンスのための開口およびその開閉機構である蓋を設け、分析用のチャンバー1内に単一の試料3を試料交換用のチャンバーとの間で搬出入するためのロボットハンドを設けてもよい。このような構成では、試料交換用のチャンバー内の雰囲気が、複数の試料3を一括して装置外部との間で搬出入する際に、真空雰囲気から大気圧雰囲気に切り替えられ、分析用のチャンバー1においては、メンテナンスのために開口1cの蓋12が外される場合を除いて真空雰囲気が維持され、ロボットハンドによる試料3の搬出入のたびに、チャンバー1内の雰囲気を真空雰囲気から大気圧雰囲気に切り替える必要がない。
そして、本実施形態の装置は、チャンバー1内の圧力が所定の基準値、例えば30000Paを超えている場合にX線管4への高圧電源8からの給電を遮断する安全機構9として、ダイアフラムまたはピストンの動作により接点を開閉する真空スイッチを備えている。つまり、真空スイッチ9の接点が高圧電源8の回路に接続されており、接点が開いていると高電圧が生成されず、したがってX線管4への給電が遮断される。
以上のように、本実施形態の装置によれば、真空ポンプ2への配管の不具合、試料3の搬出入のためのゲートバルブ11の動作不良、メンテナンス後の蓋12の取付け不良などに起因して、チャンバー1に設けられた開口1a、1b、1cが1つでも閉じられずに大気に開放されていると、そのことを、単一の安全機構9が、チャンバー1内の圧力が所定の基準値を超えていることに基づいて検知して、X線管4への高圧電源8からの給電を遮断するので、チャンバー1に設けられた開口1a、1b、1cから装置外部へのX線の漏洩を簡単な構成で確実に防止できる。ただし、安全性をいっそう向上させるために、複数の安全機構9を備えてもよい。
なお、前述したような、試料3の搬出入のための開口1bを介して分析用のチャンバー1と連通する試料交換用のチャンバーを設けた構成では、開口1bが閉じられずに試料交換用のチャンバーを介して大気に開放されている場合にも、つまり開口1bが試料交換用のチャンバーに設けられた開口を介して大気に開放されている場合にも、安全機構9が、チャンバー1内の圧力が所定の基準値を超えていることに基づいて検知して、X線管4への高圧電源8からの給電を遮断する。
さらに、本実施形態の装置においては、安全機構9として、電源なしで常時機能する機械式の真空スイッチを用いるので、開口1a、1b、1cから装置外部へのX線の漏洩をより簡単な構成でより確実に防止できる。ただし、本発明においては、安全機構は真空スイッチに限られず、例えば圧力センサーとリレーを組み合わせて用いてもよい。
1 チャンバー
2 真空ポンプ
3 試料
4 X線管
5 1次X線
6 2次X線
7 検出手段
8 高圧電源
9 安全機構(真空スイッチ)
2 真空ポンプ
3 試料
4 X線管
5 1次X線
6 2次X線
7 検出手段
8 高圧電源
9 安全機構(真空スイッチ)
Claims (2)
- 真空ポンプにより排気されるチャンバー内で、試料にX線管から1次X線を照射して発生する2次X線を検出手段で検出する蛍光X線分析装置であって、
前記チャンバー内の圧力が所定の基準値を超えている場合に前記X線管への高圧電源からの給電を遮断する安全機構を備えた蛍光X線分析装置。 - 請求項1に記載の蛍光X線分析装置において、
前記安全機構として、ダイアフラムまたはピストンの動作により接点を開閉する真空スイッチを用いた蛍光X線分析装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014083913A JP2015203648A (ja) | 2014-04-15 | 2014-04-15 | 蛍光x線分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014083913A JP2015203648A (ja) | 2014-04-15 | 2014-04-15 | 蛍光x線分析装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015203648A true JP2015203648A (ja) | 2015-11-16 |
Family
ID=54597162
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014083913A Pending JP2015203648A (ja) | 2014-04-15 | 2014-04-15 | 蛍光x線分析装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2015203648A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019075325A (ja) * | 2017-10-18 | 2019-05-16 | 浜松ホトニクス株式会社 | X線発生装置 |
CN112505013A (zh) * | 2020-12-25 | 2021-03-16 | 核工业北京化工冶金研究院 | 一种基于荧光法的水中铀在线分析仪 |
WO2021256041A1 (ja) * | 2020-06-15 | 2021-12-23 | 株式会社リガク | 蛍光x線分析装置、及び、蛍光x線分析装置の制御方法 |
WO2022250038A1 (ja) * | 2021-05-24 | 2022-12-01 | 株式会社トプコン | 非破壊検査装置及び非破壊検査システム |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60146675A (ja) * | 1984-01-05 | 1985-08-02 | Canon Inc | チヤツク |
JPH06123716A (ja) * | 1992-10-11 | 1994-05-06 | Horiba Ltd | 螢光x線分析装置のx線発生制御機構 |
JPH06123715A (ja) * | 1992-10-11 | 1994-05-06 | Horiba Ltd | 螢光x線分析装置のシャッター開閉制御機構 |
JP2002098658A (ja) * | 2000-09-26 | 2002-04-05 | Rigaku Industrial Co | 蛍光x線分析装置 |
US20080152079A1 (en) * | 2006-12-20 | 2008-06-26 | Bridget Tannian | Hand-held XRF analyzer |
JP2010217020A (ja) * | 2009-03-17 | 2010-09-30 | Shimadzu Corp | X線照射装置及びその安全機構 |
-
2014
- 2014-04-15 JP JP2014083913A patent/JP2015203648A/ja active Pending
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60146675A (ja) * | 1984-01-05 | 1985-08-02 | Canon Inc | チヤツク |
JPH06123716A (ja) * | 1992-10-11 | 1994-05-06 | Horiba Ltd | 螢光x線分析装置のx線発生制御機構 |
JPH06123715A (ja) * | 1992-10-11 | 1994-05-06 | Horiba Ltd | 螢光x線分析装置のシャッター開閉制御機構 |
JP2002098658A (ja) * | 2000-09-26 | 2002-04-05 | Rigaku Industrial Co | 蛍光x線分析装置 |
US20080152079A1 (en) * | 2006-12-20 | 2008-06-26 | Bridget Tannian | Hand-held XRF analyzer |
JP2010217020A (ja) * | 2009-03-17 | 2010-09-30 | Shimadzu Corp | X線照射装置及びその安全機構 |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019075325A (ja) * | 2017-10-18 | 2019-05-16 | 浜松ホトニクス株式会社 | X線発生装置 |
WO2021256041A1 (ja) * | 2020-06-15 | 2021-12-23 | 株式会社リガク | 蛍光x線分析装置、及び、蛍光x線分析装置の制御方法 |
JP2021196280A (ja) * | 2020-06-15 | 2021-12-27 | 株式会社リガク | 蛍光x線分析装置、及び、蛍光x線分析装置の制御方法 |
US11698352B2 (en) | 2020-06-15 | 2023-07-11 | Rigaku Corporation | X-ray fluorescence spectrometer and control method for x-ray fluorescence spectrometer |
CN112505013A (zh) * | 2020-12-25 | 2021-03-16 | 核工业北京化工冶金研究院 | 一种基于荧光法的水中铀在线分析仪 |
WO2022250038A1 (ja) * | 2021-05-24 | 2022-12-01 | 株式会社トプコン | 非破壊検査装置及び非破壊検査システム |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2015203648A (ja) | 蛍光x線分析装置 | |
US6233307B1 (en) | Compact X-ray spectrometer | |
US20150071818A1 (en) | Apparatus and method for sterilizing containers | |
KR101542022B1 (ko) | 하전 입자선 장치, 하전 입자선 장치의 조정 방법, 및 시료의 관찰 방법 | |
US5832054A (en) | Fluorescent x-ray analyzer with quickly evacuable cover cases | |
CN1965228B (zh) | 荧光x射线分析方法及装置 | |
JP2013069443A5 (ja) | ||
JP2006115798A5 (ja) | ||
JP2014038787A5 (ja) | ||
RU2017113000A (ru) | Пленочная камера с измерительным объемом для обнаружения большой течи | |
BR112014028317A2 (pt) | dispositivo de separação de oxigênio; separador de oxigênio; e método de separação de oxigênio de um gás | |
CN104837509A (zh) | 利用x光射束监控为容器消毒的装置和方法 | |
US20160116424A1 (en) | X-ray fluorescence spectrometer | |
US20100301207A1 (en) | Mass Spectrometer | |
ITMI20120978A1 (it) | Sterilizzatrice | |
CL2021000546A1 (es) | Sistema de alivio de presión y un contenedor, edificio, recinto o cubículo que incluye un sistema de alivio de presión | |
JP6094786B2 (ja) | フィラメント交換器及びフィラメント交換構造 | |
US8604445B2 (en) | Method of evacuating sample holder, pumping system, and electron microscope | |
WO2010136825A1 (en) | Detachable and replaceable ion source for a mass spectrometer | |
JP2005222817A (ja) | X線顕微鏡の機能を備えた走査電子顕微鏡 | |
JP6201499B2 (ja) | 分析装置 | |
JP4613020B2 (ja) | 試料洗浄装置および試料洗浄方法 | |
JP4539311B2 (ja) | レーザアブレーション装置、レーザアブレーション試料分析システム及び試料導入方法 | |
IES86438B2 (en) | A cushioning device inspection system, a sampling device for inspection of a cushioning device and a cushioning device inspection method | |
RU2611576C1 (ru) | Способ установки оборудования в перчаточный бокс, загрязненный токсичными веществами |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20170220 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20171130 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20171205 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20180605 |