JP2002098658A

JP2002098658A - 蛍光ｘ線分析装置

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Publication number: JP2002098658A
Application number: JP2000291676A
Authority: JP
Inventors: Etsuhisa Yamamoto; 悦久山本
Original assignee: Rigaku Industrial Corp
Current assignee: Rigaku Corp
Priority date: 2000-09-26
Filing date: 2000-09-26
Publication date: 2002-04-05
Anticipated expiration: 2020-09-26
Also published as: JP3422980B2

Abstract

(57)【要約】【課題】内部の主室内における真空不良によっても装
置自体が破損することなく、安全かつ確実に分析動作を
停止することが可能な蛍光Ｘ線分析装置を提供する。【解決手段】真空ポンプ３００により所定の真空状態
となった試料室１３内の試料にＸ線を照射し、発生した
蛍光Ｘ線を分光室１６の分光結晶板１７により分光し、
その強度をＸ線検出器により測定して試料を分析する蛍
光Ｘ線分析装置は、分光室１６を含む主室内の真空度を
検出する真空度検出センサ３０１を備え、Ｘ線検出器の
一部には内部にガスやエアを流して使用するガスフロー
型比例係数管（Ｆ−ＰＣ）４００を含んでいる。装置本
体１の制御部１００は、主室内の真空状態の異常をセン
サ３０１で検出した真空度に基づいて検知し、当該異常
を検知した場合には、真空ポンプ３００の動作を停止
し、Ｆ−ＰＣ４００への高電圧印加を停止する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば、試料から
の蛍光Ｘ線を測定して試料を分析する蛍光Ｘ線分析装置
に関し、特に、装置使用の際の真空破壊による悪影響か
ら装置を安全かつ確実に保護するに好適な蛍光Ｘ線分析
装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、真空分析室内に載置した試料にＸ
線を照射することにより試料から発生する蛍光Ｘ線を測
定して試料を分析する蛍光Ｘ線分析装置は、種々の分野
における種々の物質の分析において、既に広く利用され
ている。かかる蛍光Ｘ線分析装置においては、通常、分
析作業時においては、装置内の試料室や分光室内を所定
の真空状態に保つため、真空ポンプ等の真空手段を駆動
しながら装置を運転している。また、かかる蛍光Ｘ線分
析装置では、その計測結果を処理して表示・出力し、あ
るいは、試料の分析手順等を設定するため、いわゆるパ
ーソナルコンピュータ等を利用した周辺装置を備えるも
のが多く知られている。

【０００３】ところで、かかる蛍光Ｘ線分析装置では、
Ｘ線を照射した試料からの蛍光Ｘ線を測定するための検
出器が分光室内に設けられるが、装置の分析能力を向上
するためには、分析する試料からの蛍光Ｘ線を必要に応
じ、幅広い波長範囲（スペクトル）においてＸ線を計数
・検出が可能であることが要求されており、そのために
は、装置内には各種の検出器が複数設けられており、こ
れらが波長により適宜選択されて使用される。なお、こ
れら蛍光Ｘ線の検出器としては、一般的に、例えば、蛍
光体と光電子増倍管とで構成されるシンチレーションカ
ウンター、その内部に検出用ガス（エア等）を封じ込
め、あるいは、流しながら使用する比例係数管等が使用
されている。また、これらの検出器では、一般に、検出
するＸ線をその内部に導入するため、ガラス等の透明部
材からなる窓部が設けられている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】そのため、従来の蛍光
Ｘ線分析装置では、以下のような問題点が指摘されてい
る。すなわち、装置内で上記複数種の検出器を使用する
場合、特に、検出器内に検出用ガスを封じ込め、あるい
は、流しながら使用する比例係数管等を使用する場合に
は、上記した検出器の窓部やガス（エア）供給チューブ
が何らかの原因で破損すると、その内部のガスやエアが
分光室内へ流れ出てしまい、真空ポンプの動作にもかか
わらず、装置が真空不良の状態に陥ってしまう。また、
この状態をそのまま放置して分析動作を継続した場合、
検出器（特に、ガスフロー型比例係数管（Ｆ−ＰＣ））
では、１０００Ｖ程度の高電圧が印加される検出回路の
初段ＦＥＴが破損してしまい、このＦ−ＰＣ自体が黒く
焦げて破損してしまう、他方、真空ポンプ側では、真空
ポンプ自体が発熱して破損することとる。これでは、比
較的高価な蛍光Ｘ線分析装置を、安全かつ確実に保護す
ることが出来ないことともなってしまう。

【０００５】そこで、本発明では、上述した従来技術に
おける問題点、特に、装置内の真空不良によって分析装
置自体が破損することなく、安全かつ確実に装置が分析
動作を停止することが可能な蛍光Ｘ線分析装置を提供す
ることを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明によれば、上記の
目的を達成するため、まず、試料を真空度制御手段によ
って所定の真空度に保たれた試料室内に載置してＸ線管
からのＸ線を照射し、前記試料から発生する蛍光Ｘ線
を、前記真空度制御手段によって所定の真空度に保たれ
た分光室内に設けた分光手段により分光し、当該分光し
た蛍光Ｘ線の強度をＸ線検出器により測定して前記試料
を分析する蛍光Ｘ線分析装置であって、少なくとも前記
分光室を含む主室内の真空度を検出するための手段を備
えているものにおいて：前記Ｘ線検出器は、少なくと
も、その内部にガスを満たすと共に、その一部に蛍光Ｘ
線を内部に導くための窓部を備えた検出器を含んでお
り、かつ、前記主室内における真空度の異常を、前記主
室内に備えた真空度検出手段からの真空度に基づいて検
知し、当該異常を検知した場合には、前記真空度制御手
段の動作を停止すると共に、前記Ｘ線検出器への高電圧
の印加を停止する蛍光Ｘ線分析装置が提供される。

【０００７】また、前記の本発明になる蛍光Ｘ線分析装
置によれば、前記主室内における真空度の異常を、前記
主室内に備えた真空度検出手段からの真空度を所定の値
と比較することにより検知し、あるいは、前記主室内に
備えた真空度検出手段からの真空度に基づいて真空度変
化率を算出し、当該算出した真空度変化率を所定の真空
度変化率と比較することにより検知する。

【０００８】さらに、前記の本発明になる蛍光Ｘ線分析
装置によれば、前記主室内における真空度の異常を検知
した場合に、当該分光室内の真空度の異常を表示し、あ
るいは、前記蛍光Ｘ線分析装置とは別体に構成された周
辺装置の表示手段上に表示することが出来る。

【０００９】そして、前記の本発明になる蛍光Ｘ線分析
装置によれば、前記主室内における真空度の異常を検知
するために比較する所定の値、あるいは、前記主室内に
おける真空度の異常を検知するための所定の真空度変化
率は可変である。

【００１０】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て、添付の図面を参照しながら詳細に説明する。まず、
図２には、本発明の一の実施の形態になる蛍光Ｘ線分析
装置の外観構成が示されている。

【００１１】この図２からも明らかなように、分析装置
の一種である蛍光Ｘ線分析装置は、分析作業を行うため
の装置本体１と、前記装置本体と通信回線を介して接続
された操作装置（周辺装置）としてのパーソナル・コン
ピュータ装置２とから構成されている。なお、装置本体
１は、ここでは図示しないが、その内部の真空室内に
は、計測される試料が載置される試料室、載置された試
料に照射するＸ線を発生するＸ線管、試料から発生する
蛍光Ｘ線を分光する、例えば、分光結晶板からなる分光
手段、この分光手段により分光されたＸ線を検出する、
例えば、シンチレーションカウンタやガスフロー型比例
係数管（Ｆ−ＰＣ）からなる検出部とを備えている。さ
らに、やはりここでは図示しないが、上記装置本体１内
部の真空室内を真空状態に保つための真空ポンプや真空
排気系、さらには、各種のセンサ、バルブ等が設けられ
ていることは言うまでもない。

【００１２】また、上記装置本体１の上部には、装置に
よる分析の自動化を可能にするため試料交換部（機）２
００が設けられている。この試料交換部２００の内部に
は、図示のように、サンプルテーブル２０１と、上記テ
ーブル上に並べられる試料ホルダーを装置の試料室内
に、順次、搬送・排出するためのロボットアーム等の搬
送機構２０２が設けられている。なお、このサンプルテ
ーブル２０１の上面には、金属製の外形略円筒状の試料
ホルダーが、その上端面に分析すべき試料を搭載して、
複数並べて配置される。また、この試料交換部２００の
内部と外部との開口である試料導入部（交換機の前面開
口部）には、例えば透明なガラス板等から構成される、
いわゆる、カバー２０３が開閉可能に取り付けられてい
る。

【００１３】また、装置本体１による分析作業による分
析結果は、上記パーソナル・コンピュータ装置２の本体
２１に転送されて必要に応じて所定の分析演算を行った
後、そのディスプレー装置２２上に表示され、あるい
は、プリンター２３等の出力手段により出力されること
となる。

【００１４】図３には、上記したの実施の形態になる蛍
光Ｘ線分析装置の、特に、装置本体１の内部回路構成が
示されている。すなわち、上記蛍光Ｘ線分析装置の装置
本体１側には、装置内の試料室や分光室を真空状態にす
るための真空ポンプ３００と共に、上記検出部の一部を
構成するガスフロー型比例係数管（Ｆ−ＰＣ）４００が
設けられている。なお、このＦ−ＰＣ４００は、内部に
ガス（エアを含む）を充填し、あるいは、流しながら使
用される。また、装置本体１内には、主室（すなわち、
分光室を含む真空室）の真空状態を検出するための、例
えばピラニゲージから構成される真空度検出センサ３０
１が設けられる。さらには、図示しないが、分析用のＸ
線を発生するＸ線管やその電源等を含むＸ線管部、装置
内の真空を確保するためのバルブ等からなる真空排気
系、装置内での試料の搬送を行う試料搬送機構、試料か
ら発生する蛍光Ｘ線を分光するための分光器、当該分光
器で分光された蛍光Ｘ線の強度を検出するための、上記
とは異なる他のＸ線検出器等が設けられている。そし
て、上記装置本体１内には、その制御信号によって、上
記各種装置を駆動すると共に、上記のセンサー等によっ
て必要な測定動作を行うための、制御用コンピュータか
らなる制御部１００が設けられている。

【００１５】この制御部１００は、所定の制御演算を実
行するＭＰＵ（マイクロ・プロセッシング・ユニット）
や各種のメモリを含んでおり、Ｉ／Ｏ装置（インプット
・アウトプット・ユニット）１０１を介して上記真空ポ
ンプ３００を含む装置本体１の各種装置に駆動・制御信
号を出力し、また、その各種センサーからの検出出力を
入力している。また、この制御部１００は、上記パーソ
ナル・コンピュータ装置２との間で、例えばＬＡＮ（ロ
ーカル・エリア・ネットワーク）等の通信回線３を介し
て接続されており、これにより、相互に、そのデータや
指令を含む情報の通信が可能に構成されている。

【００１６】また、図からも明らかなように、上記パー
ソナル・コンピュータ装置２は、上記したプリンター２
３等に加えて、本体２１、ディスプレー装置２２、さら
には、入力装置であるキーボード２４やマウス２５を備
えている。

【００１７】図４には、上記蛍光Ｘ線分析装置本体１の
内部構成の一部が示されている。図において、試料投入
口の扉１０３は、例えば図の紙面上前後方向に移動可能
であり、図示しない搬送機構により搬送されてきた試料
ホルダーＳＨは、図に実線で示すように、分析装置本体
１の予備排気室１１を通って試料室１３内に投入され
る。その後、装置本体１の内部に設けられた試料ホルダ
ーの移動機構１２により、真空状態の試料室１３の所定
の位置（例えば、管球室１４との境界位置）まで搬送さ
れてその位置で固定される（図中に破線で示す）。かか
る状態で、図示のように、試料ホルダーＳＨの測定面
（下面）には、上記した管球室１４内に配置されたＸ線
管１４１からＸ線が照射される。これにより測定面の試
料から発生する蛍光Ｘ線は、スリット１５を介して、や
はり真空状態に保持された分光室１６内に導かれ、分光
結晶板１７等の分光手段により分光された後、上記した
Ｘ線検出器であるシンチレーションカウンタ１８や比例
係数管であるＦ−ＰＣ４００によってその強度が計測・
検出されることは、従来の蛍光Ｘ線分析装置と同様であ
る。なお、この図において、符号３０１は上記した真空
度検出センサを示しており、これにより、例えば、上記
試料室１３、管球室１４及び分光室１６から構成される
主室内の真空度を検出する。

【００１８】上記のＸ線検出器の一部を構成するガスフ
ロー型比例係数管（Ｆ−ＰＣ）４００の一例を添付の図
５及び図６に示す。図示のように、例えば金属部材から
なる密閉性の高い外形円筒形状の部材（筐体）４１０の
一側面に、例えばスリット状のＸ線入射窓部４２０を設
け、この窓部４２０を覆うようにいわゆる透明な窓部材
４３０が固定されて構成されている。なお、このＸ線検
出器４００の内部には、図６に示すように、Ａｒ、Ｎ
ｅ、空気（エア）等のＸ線検出用のガスＧを封入すると
共に、その一部にガスやエアを検出器内に導くためのガ
ス（エア）供給チューブ４６０、４６０（図５を参照）
が設けられ、さらにその中央部には、例えば、直径５０
μｍ程度のＰｔ線からなる芯線４４０が張られている。

【００１９】また、この図６において、その電極４５０
及び抵抗器Ｒを介して、上記芯線４４０には＋１２００
〜１５００Ｖ程度の高電圧（ＨＶ）が供給され、一方、
上記芯線４４０により検出されたＸ線（蛍光Ｘ線ＫＸ）
は、コンデンサーＣを介して電気信号として取り出さ
れ、さらに、後段の増幅器Ａによりその振幅が増幅さ
れ、パルス波高分析器（ＰＨＡ）によりパルス信号とし
てその強度が計測され、必要に応じて装置の他の部分に
転送されることとなる。なお、この増幅器Ａの初段に
は、通常、ＦＥＴが設けられており、この初段ＦＥＴ
は、ガス（エア）漏れによって真空不良の状態が継続さ
れる破損して、また、それ自体が黒く焦げて破損してし
まうおそれがある。

【００２０】そして、本発明によれば、さらに、上記し
た蛍光Ｘ線分析装置は、以下に説明する真空度異常検出
・保護動作を実行する。なお、かかる動作の実行は、上
記装置本体１内に設けられた制御部１００により、一定
の周期で、予め記憶装置に格納されたプログラムに従っ
て実行される。

【００２１】添付の図１に示すように、まず、一定の周
期で処理が開始され、主室の雰囲気から、主室内が真空
であるか、あるいは、大気やガス雰囲気下であるかを判
定する（ステップＳ１１）。なお、ここで主室とは、上
述したように、本例では、試料室１３、管球室１４及び
分光室１６からなるものとして説明したが、しかしなが
ら主室とはこれに限られることなく、本発明の目的や効
果を達成することが可能な場所であればよく、上記の分
光室１６の真空度に代え、例えば、試料室１３内の真空
度や管球室１４内の真空度を検出してもよい。そして、
具体的には、予め上記主室の雰囲気制御により主室の雰
囲気状態（例えば、主室内が大気、ガス、真空になって
いることを示すフラグ）を記憶しておく。その後、この
記憶された主室の雰囲気状態（すなわち、大気、ガス、
真空）に基づいて「大気、ガス」と判定された場合に
は、「その他の処理へ」移行するが、その内容は本発明
と関連しないことから、ここでその詳細な説明は省略す
る。

【００２２】他方、判定の結果、「真空」と判定された
場合には、続くステップＳ１２へ移行する。すなわち、
このステップＳ１２では、主室の真空度が制御中（所定
の真空度へ移行中）であるか否かを判定する。これは、
分光室を含めた主室の真空度は、通常、装置が真空状態
へ移行中である場合には変動しており、かかる場合に
は、上述したようなガスフロー型比例係数管（Ｆ−Ｐ
Ｃ）からのガス（エア）漏れは問題とならないため、そ
こで、この分光室を含む主室が真空状態へ移行中である
場合を排除するための処理である。なお、この判定にお
いて「はい」（＝主室の制御中）とされた場合には、上
記と同様に本発明と関連しないことから、「その他の処
理へ」移行する。

【００２３】そして、上記ステップＳ１２で「いい
え」、すなわち、主室の真空度が制御中（真空状態へ移
行中）でない場合には、続く、ステップＳ１３におい
て、主室の真空度が「正常」であるか「異常」であるか
を判定する。すなわち、上記ステップＳ１１において
「真空」であると判定され、かつ、続くステップＳ１２
において「主室制御中」でないと判定された場合には、
装置本体１は既に真空状態となっており、分析動作が行
える状態となっているはずである。そして、その場合に
は、上記分光室１３を含む主室内の真空度は、所定の値
において、かつ所定の範囲内で安定していなければなら
ない。

【００２４】そこで、本発明によれば、本来、主室内の
真空度が所定の値で安定していなければならない上記期
間を利用してその真空度を確認することにより、上記ガ
スフロー型比例係数管（Ｆ−ＰＣ）の窓部からのガス
（エア）漏れや供給チューブの破損などが生じているこ
とを検知しようとするものである。なお、より具体的に
は、本実施例では、上記分光室１６内に設けられた真空
度検出センサ３０１からの検出信号（電圧）を利用し
て、検出した主室真空度が所定の値（Ｆ−ＰＣ窓破れ監
視真空度）よりも悪化している（例えば、１３Ｐａの設
定値に対して１００Ｐａ（＝Ｆ−ＰＣ窓破れ監視真空
度）以上となっている）か否かを判定する（ステップＳ
１３）。そして、その判定の結果、「正常」（すなわ
ち、漏れなどは生じていない）と判定された場合には、
その一連の処理を終了する。

【００２５】一方、上記ステップＳ１３において「異
常」（すなわち、漏れが生じていなる）と判定された場
合には、以下の複数のステップへ移行する。まず、ステ
ップＳ１４では、装置内でガス（エア）漏れや供給チュ
ーブの破損などが生じていることを、上記通信回線３を
介してパーソナル・コンピュータ装置２の本体２１へ通
知する。これにより、操作装置（周辺装置）として別体
に設けられたパーソナル・コンピュータ装置２は、その
一例を添付の図７に示すような故障通知（フェーリア）
画面をそのディスプレー装置２２上にメッセージとして
表示する（同時にスピーカを介して警告音を発生しても
よい）。

【００２６】その後、装置の制御部１００は、上記した
ように高電圧Ｈｖ.（１２００〜１５００Ｖ程度）が印
加されており、ガス（エア）漏れによって真空不良の状
態が継続すると初段ＦＥＴが破損してしまうおそれのあ
るＦ−ＰＣ４００の動作を停止する。具体的には、Ｆ−
ＰＣ４００への上記高電圧Ｈｖ.の印加をオフ（ＯＦ
Ｆ）する（ステップＳ１５）。さらに、主室や予備排気
室の全ての真空排気バルブを閉じ（ステップＳ１６）、
さらに、そのまま運転した場合にはそれ自体が発熱して
破損することとなる真空ポンプ３００を停止（所謂、オ
フ（ＯＦＦ））し、一連の処理を終了する。

【００２７】なお、上記の実施例では、上記ステップＳ
１３における主室の真空度が「正常」であるか「異常」
であるかの判定を、分光室１６内に設けられた真空度検
出センサ３０１からの検出信号を所定の値（Ｆ−ＰＣ窓
破れ監視真空度）と比較することにより実現している
が、本発明ではこれのみに限定されることなく、その他
の検出方法を採用することも可能である。例えば、上記
図１に示した処理が一定の周期で開始されることを利用
して主室内の真空度の変化率を算出し（即ち、真空度の
変化率＝｜（前回の真空度）−（今回の真空度）｜／時
間）、この算出した真空度変化率が所定の値以上である
か否かにより、主室の真空度が「正常」であるか「異
常」であるか否かを判定することも可能である。また、
上記所定の値（Ｆ−ＰＣ窓破れ監視真空度）を含め、比
較べき真空度変化率の所定の値を変更して設定可能とす
ることにより、上記真空度の異常の検出感度を必要に応
じて自在に設定することが可能となり、好ましい。

【００２８】

【発明の効果】以上の詳細な説明からも明らかなよう
に、本発明によれば、蛍光Ｘ線分析装置内において、Ｘ
線検出器である比例係数管等の破損によるガス（エア）
漏れを原因とする真空不良の状態が生じた場合、これを
確実に検知し、破損されるおそれのある装置や部品の作
動を停止して、この真空不良状態による悪影響から比較
的高価な蛍光Ｘ線分析装置を安全かつ確実に保護するこ
とが出来るという優れた効果を発揮する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の蛍光Ｘ線分析装置の特徴となる真空度
異常検出・保護動作を示すフローチャート図である。

【図２】上記本発明になる蛍光Ｘ線分析装置の外観を示
す斜視図である。

【図３】上記本発明になる蛍光Ｘ線分析装置の内部構成
を示すブロック図である。

【図４】上記本発明の蛍光Ｘ線分析装置の内部構成の一
例を示す一部断面図である。

【図５】上記本発明になる蛍光Ｘ線分析装置のＸ線検出
器を構成する一例であるガスフロー型比例係数管の外観
を示す斜視図である。

【図６】上記ガスフロー型比例係数管の内部構成を示す
断面図である。

【図７】上記本発明になる蛍光Ｘ線分析装置における故
障通知（フェーリア）画面の一例を示す図である。

【符号の説明】

１蛍光Ｘ線分析装置の装置本体２操作（周辺）装置としてのパーソナル・コンピュー
タ装置１３試料室１４Ｘ線管１７２２ディスプレー装置１００制御部１０１Ｉ／Ｏ装置３００真空ポンプ３０１真空度検出センサ４００ガスフロー型比例係数管（Ｆ−ＰＣ）ＳＨサンプルホルダー

【手続補正書】

【提出日】平成１３年６月２１日（２００１．６．２
１）

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】０００４

【補正方法】変更

【補正内容】

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】そのため、従来の蛍光
Ｘ線分析装置では、以下のような問題点が指摘されてい
る。すなわち、装置内で上記複数種の検出器を使用する
場合、特に、検出器内に検出用ガスを封じ込め、あるい
は、流しながら使用する比例係数管等を使用する場合に
は、上記した検出器の窓部やガス（エア）供給チューブ
が何らかの原因で破損すると、その内部のガスやエアが
分光室内へ流れ出てしまい、真空ポンプの動作にもかか
わらず、装置が真空不良の状態に陥ってしまう。また、
この状態をそのまま放置して分析動作を継続した場合、
検出器（特に、ガスフロー型比例係数管（Ｆ−ＰＣ））
では、１０００Ｖ程度の高電圧が印加される検出回路の
初段ＦＥＴが破損してしまい、このＦ−ＰＣ自体が黒く
焦げて破損してしまう、他方、真空ポンプ側では、真空
ポンプ自体が発熱して破損することとなる。これでは、
比較的高価な蛍光Ｘ線分析装置を、安全かつ確実に保護
することが出来ないことともなってしまう。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】試料を真空度制御手段によって所定の真
空度に保たれた試料室内に載置してＸ線管からのＸ線を
照射し、前記試料から発生する蛍光Ｘ線を、前記真空度
制御手段によって所定の真空度に保たれた分光室内に設
けた分光手段により分光し、当該分光した蛍光Ｘ線の強
度をＸ線検出器により測定して前記試料を分析する蛍光
Ｘ線分析装置であって、少なくとも前記分光室を含む主
室内の真空度を検出するための手段を備えているものに
おいて：前記Ｘ線検出器は、少なくとも、その内部にガ
スを満たすと共に、その一部に蛍光Ｘ線を内部に導くた
めの窓部を備えた検出器を含んでおり、かつ、前記主室内における真空度の異常を、前記主室内に備え
た真空度検出手段からの真空度に基づいて検知し、当該
異常を検知した場合には、前記真空度制御手段の動作を
停止すると共に、前記Ｘ線検出器への高電圧の印加を停
止することを特徴とする蛍光Ｘ線分析装置。
【請求項２】前記請求項１に記載した蛍光Ｘ線分析装
置において、前記制御手段は、前記主室内における真空
度の異常を、前記主室内に備えた真空度検出手段からの
真空度を所定の値と比較することにより検知することを
特徴とする蛍光Ｘ線分析装置。
【請求項３】前記請求項１に記載した蛍光Ｘ線分析装
置において、前記制御手段は、前記主室内における真空
度の異常を、前記主室内に備えた真空度検出手段からの
真空度に基づいて真空度変化率を算出し、当該算出した
真空度変化率を所定の真空度変化率と比較することによ
り検知することを特徴とする蛍光Ｘ線分析装置。
【請求項４】前記請求項１に記載した蛍光Ｘ線分析装
置において、前記制御手段は、前記主室内における真空
度の異常を検知した場合に、当該分光室内の真空度の異
常を表示することを特徴とする蛍光Ｘ線分析装置。
【請求項５】前記請求項４に記載した蛍光Ｘ線分析装
置において、前記分光室内の真空度の異常の表示を、前
記蛍光Ｘ線分析装置とは別体に構成された周辺装置の表
示手段上に表示することを特徴とする蛍光Ｘ線分析装
置。
【請求項６】前記請求項２に記載した蛍光Ｘ線分析装
置において、前記主室内における真空度の異常を検知す
るために比較される所定の値は可変であることを特徴と
する蛍光Ｘ線分析装置。
【請求項７】前記請求項３に記載した蛍光Ｘ線分析装
置において、前記主室内における真空度の異常を検知す
るための所定の真空度変化率は可変であることを特徴と
する蛍光Ｘ線分析装置。