JP2012007928A - X線分析装置および発光分析装置 - Google Patents
X線分析装置および発光分析装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2012007928A JP2012007928A JP2010142404A JP2010142404A JP2012007928A JP 2012007928 A JP2012007928 A JP 2012007928A JP 2010142404 A JP2010142404 A JP 2010142404A JP 2010142404 A JP2010142404 A JP 2010142404A JP 2012007928 A JP2012007928 A JP 2012007928A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- abnormality
- information
- time series
- time
- ray
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 title claims abstract description 11
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 claims abstract description 191
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 43
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 32
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 claims abstract description 30
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims abstract 2
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 abstract description 41
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 49
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 9
- 238000011835 investigation Methods 0.000 description 5
- 238000004876 x-ray fluorescence Methods 0.000 description 5
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 4
- 238000003745 diagnosis Methods 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 3
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000002149 energy-dispersive X-ray emission spectroscopy Methods 0.000 description 1
- -1 for example Substances 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 210000000707 wrist Anatomy 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
Abstract
【解決手段】X線分析装置は、試料Sに1次X線2を照射し発生する2次X線6の強度をX線検出器7で測定する装置であって、分析室10の真空度と温度、X線検出器7の高電圧、X線検出器7のフローガス流量のうちの少なくとも1つの計測値を求める計測手段13と、当該装置の動作の異常を検出する異常検出手段21と、現時点以前の所定の時間内の計測値の時系列を記憶しながら現時点以前の所定の時間内から外れた計測値の時系列を順に消去する記憶手段22と、異常検出手段21が異常を検出すると、記憶手段22から記憶されている計測値の時系列を読出して記憶し、警告情報または異常情報、および記憶した時系列を表示手段23に表示させる管理手段25とを備える。
【選択図】図1
Description
2 1次X線
4、6 2次X線
7 X線検出器
10 分析室
13 計測手段
21 異常検出手段
22 記憶手段
23 表示手段
24 選択・入力手段
25 管理手段
26 履歴情報読出手段
51 放電手段
52 発光
57 光検出器
F フローガス流量
L 放電ガス流量
P 真空度
S 試料
T 恒温化温度
V 高電圧
Claims (6)
- 分析室に配置された試料にX線源から1次X線を照射し発生する2次X線の強度をX線検出器で測定するX線分析装置において、
前記分析室の真空度、前記分析室の温度、前記X線検出器に印加する高電圧、および、前記X線検出器に流されるフローガス流量のうちの少なくとも1つの計測値を求める計測手段と、
分析中の当該装置の動作の異常を検出する異常検出手段と、
現時点以前の所定の時間内の前記計測値の時系列を記憶しながら現時点以前の所定の時間内から外れた前記計測値の時系列を順に消去する記憶手段と、
前記異常検出手段によって異常が検出されると、前記記憶手段から記憶されている現時点以前の所定の時間内の前記計測値の時系列を読出して記憶するとともに、前記異常検出手段によって検出された異常に基づく警告情報または異常情報、および現時点以前の所定の時間内の前記計測値の時系列を表示手段に表示させる管理手段と、
を備えるX線分析装置。 - 請求項1において、
前記警告情報または異常情報と現時点以前の所定の時間内の前記計測値の時系列とに基づいて処置された内容を示す処置内容を、選択または入力するための選択・入力手段を備え、
前記管理手段が、前記選択・入力手段によって選択または入力された処置内容を前記警告情報または異常情報に対応させて記憶し、前記異常検出手段によって異常が検出されると、前記警告情報または異常情報に対応した処置内容を前記表示手段に表示させるX線分析装置。 - 請求項2において、
前記管理手段が発生日時毎の前記警告情報、異常情報および処置内容の履歴を履歴情報として記憶し、
前記管理手段から記憶された前記履歴情報を読み出して前記表示手段に表示させるための履歴情報読出手段を備えるX線分析装置。 - 分光室に配置された試料を放電手段で放電させ試料からの発光を分光し、その発光強度を測定する発光分析装置において、
前記分光室の真空度、前記分光室の温度、前記光検出器に印加する高電圧、および、前記放電手段に流される放電ガス流量のうちの少なくとも1つの計測値を求める計測手段と、
分析中の当該装置の動作の異常を検出する異常検出手段と、
現時点以前の所定の時間内の前記計測値の時系列を記憶しながら現時点以前の所定の時間内から外れた前記計測値の時系列を順に消去する記憶手段と、
前記異常検出手段によって異常が検出されると、前記記憶手段から記憶されている現時点以前の所定の時間内の前記計測値の時系列を読出して記憶するとともに、前記異常検出手段によって検出された異常に基づく警告情報または異常情報、および現時点以前の所定の時間内の前記計測値の時系列を表示手段に表示させる管理手段と、
を備える発光分析装置。 - 請求項4において、
前記警告情報または異常情報と現時点以前の所定の時間内の前記計測値の時系列とに基づいて処置された内容を示す処置内容を、選択または入力するための選択・入力手段を備え、
前記管理手段が、前記選択・入力手段によって選択または入力された処置内容を前記警告情報または異常情報に対応させて記憶し、前記異常検出手段によって異常が検出されると、前記警告情報または異常情報に対応した処置内容を前記表示手段に表示させる発光分析装置。 - 請求項5において、
前記管理手段が発生日時毎の前記警告情報、異常情報および処置内容の履歴を履歴情報として記憶し、
前記管理手段から記憶された前記履歴情報を読み出して前記表示手段に表示させるための履歴情報読出手段を備える発光分析装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010142404A JP5540235B2 (ja) | 2010-06-23 | 2010-06-23 | X線分析装置および発光分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010142404A JP5540235B2 (ja) | 2010-06-23 | 2010-06-23 | X線分析装置および発光分析装置 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012007928A true JP2012007928A (ja) | 2012-01-12 |
JP2012007928A5 JP2012007928A5 (ja) | 2013-04-04 |
JP5540235B2 JP5540235B2 (ja) | 2014-07-02 |
Family
ID=45538659
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010142404A Active JP5540235B2 (ja) | 2010-06-23 | 2010-06-23 | X線分析装置および発光分析装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5540235B2 (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016153769A (ja) * | 2015-02-20 | 2016-08-25 | 株式会社イシダ | 物品検査装置 |
JP2019113351A (ja) * | 2017-12-21 | 2019-07-11 | 株式会社島津製作所 | X線分析装置及び異常検知方法 |
WO2019181065A1 (ja) * | 2018-03-20 | 2019-09-26 | 株式会社島津製作所 | 信号処理装置、分析装置および信号処理方法 |
JP2021181897A (ja) * | 2020-05-18 | 2021-11-25 | 株式会社リガク | 蛍光x線分析装置 |
WO2023135915A1 (ja) * | 2022-01-13 | 2023-07-20 | 株式会社リガク | 蛍光x線分析装置 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000028529A (ja) * | 1998-07-07 | 2000-01-28 | Rigaku Industrial Co | グロー放電発光分光分析方法およびその装置 |
JP2001183314A (ja) * | 1999-12-28 | 2001-07-06 | Rigaku Industrial Co | 装置保守情報の記憶機能を備えたx線分析装置 |
JP2002098658A (ja) * | 2000-09-26 | 2002-04-05 | Rigaku Industrial Co | 蛍光x線分析装置 |
JP2002168812A (ja) * | 2000-12-05 | 2002-06-14 | Rigaku Industrial Co | 蛍光x線分析装置 |
-
2010
- 2010-06-23 JP JP2010142404A patent/JP5540235B2/ja active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000028529A (ja) * | 1998-07-07 | 2000-01-28 | Rigaku Industrial Co | グロー放電発光分光分析方法およびその装置 |
JP2001183314A (ja) * | 1999-12-28 | 2001-07-06 | Rigaku Industrial Co | 装置保守情報の記憶機能を備えたx線分析装置 |
JP2002098658A (ja) * | 2000-09-26 | 2002-04-05 | Rigaku Industrial Co | 蛍光x線分析装置 |
JP2002168812A (ja) * | 2000-12-05 | 2002-06-14 | Rigaku Industrial Co | 蛍光x線分析装置 |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016153769A (ja) * | 2015-02-20 | 2016-08-25 | 株式会社イシダ | 物品検査装置 |
JP2019113351A (ja) * | 2017-12-21 | 2019-07-11 | 株式会社島津製作所 | X線分析装置及び異常検知方法 |
WO2019181065A1 (ja) * | 2018-03-20 | 2019-09-26 | 株式会社島津製作所 | 信号処理装置、分析装置および信号処理方法 |
JP2021181897A (ja) * | 2020-05-18 | 2021-11-25 | 株式会社リガク | 蛍光x線分析装置 |
WO2021235037A1 (ja) * | 2020-05-18 | 2021-11-25 | 株式会社リガク | 蛍光x線分析装置 |
CN114641687A (zh) * | 2020-05-18 | 2022-06-17 | 株式会社理学 | 荧光x射线分析装置 |
CN114641687B (zh) * | 2020-05-18 | 2022-10-14 | 株式会社理学 | 荧光x射线分析装置 |
US11513086B2 (en) | 2020-05-18 | 2022-11-29 | Rigaku Corporation | X-ray fluorescence spectrometer |
JP7190749B2 (ja) | 2020-05-18 | 2022-12-16 | 株式会社リガク | 蛍光x線分析装置 |
WO2023135915A1 (ja) * | 2022-01-13 | 2023-07-20 | 株式会社リガク | 蛍光x線分析装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5540235B2 (ja) | 2014-07-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5540235B2 (ja) | X線分析装置および発光分析装置 | |
JP4247559B2 (ja) | 蛍光x線分析装置およびそれに用いるプログラム | |
CN105518439B (zh) | 核酸分析装置及其装置诊断方法 | |
CN104849360B (zh) | 用于监测色谱仪的操作状态的系统 | |
JP6368067B2 (ja) | 質量分析装置及び質量分析方法 | |
JP6493531B2 (ja) | 蛍光x線分析装置及びそれに用いられるスペクトル表示方法 | |
CN108469431B (zh) | 发射光谱分析装置 | |
US20120298881A1 (en) | Spectrophotofluorometer and fluorescence detector for liquid chromatograph | |
EP3327736B1 (en) | Method for determining abnormality in oil-filled electric apparatus | |
John et al. | Multi-element Saha Boltzmann plot (MESBP) coupled calibration-free laser-induced breakdown spectroscopy (CF-LIBS): an efficient approach for quantitative elemental analysis | |
JP6613402B2 (ja) | 真空排気監視装置 | |
EP3048458A1 (en) | Radiation analyzing apparatus | |
US7720193B2 (en) | X-ray fluorescence analysis to determine levels of hazardous substances | |
JP2014235153A (ja) | 分析装置制御装置 | |
JP2012068145A (ja) | 検量線作成方法 | |
WO2014175363A1 (ja) | 成分濃度計測装置と方法 | |
JP6467684B2 (ja) | 蛍光x線分析装置 | |
Melikechi et al. | Laser-induced breakdown spectroscopy of whole blood and other liquid organic compounds | |
JP2014041065A (ja) | X線分析装置及びコンピュータプログラム | |
JP6191408B2 (ja) | 蛍光x線分析装置 | |
JP3433178B2 (ja) | 蛍光x線分析装置 | |
JP4640057B2 (ja) | 分光光度計 | |
JP2002181744A (ja) | 蛍光x線分析装置 | |
JP7445634B2 (ja) | 分光計のための診断試験方法 | |
JP5634763B2 (ja) | 蛍光x線分析装置及びコンピュータプログラム |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130218 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130218 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20131218 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140114 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140304 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140325 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140331 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5540235 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
SG99 | Written request for registration of restore |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R316G99 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
SG99 | Written request for registration of restore |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R316G99 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
S803 | Written request for registration of cancellation of provisional registration |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R316805 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
S803 | Written request for registration of cancellation of provisional registration |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R316805 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |