JP7445634B2 - 分光計のための診断試験方法 - Google Patents
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Description
複数の検出器診断測定を実行することであって、各検出器診断測定が、
検出器を使用して、線スペクトル源の励起種によって放出される第1のスペクトル線の強度を測定することと、
検出器を使用して、線スペクトル源の励起種によって放出される第2のスペクトル線の強度を測定することと、を含み、
線スペクトル源の励起種によって放出される第1のスペクトル線および第2のスペクトル線が、スペクトル線の分岐対を形成しており、
分光計が、複数の検出器診断測定のために検出器に入射する第1のスペクトル線および第2のスペクトル線の強度を変化させるために制御される、実行することと、
複数の検出器診断測定の各々について、第2のスペクトル線の強度に対する第1のスペクトル線の強度の比に基づいて、検出器の動作状態を診断することと、を含む。
検出器は、プラズマ源の素子によって放出される第1のスペクトル線の強度を測定するように構成されており、
検出器は、プラズマ源の素子によって放出される第2のスペクトル線の強度を測定するように構成されており、
プラズマ源の素子によって放出される第1のスペクトル線および第2のスペクトル線は、スペクトル線の分岐対を形成する。
次に、本発明の実施形態が、単なる実施例として、以下の添付の図面を参照して記載される。
Claims (19)
- 線スペクトル源を含む分光計の検出器のための診断試験方法であって、前記線スペクトル源が、励起種からスペクトル線の少なくとも1つの分岐対を放出するように構成可能であり、
前記診断試験方法が、
複数の条件の診断測定を前記検出器に対して行うための複数の検出器診断測定を実行することであって、各検出器診断測定が、
前記検出器を使用して、前記線スペクトル源の励起種によって放出される第1のスペクトル線の強度を測定することと、
前記検出器を使用して、前記線スペクトル源の前記励起種によって放出される第2のスペクトル線の強度を測定することと、を含み、
前記線スペクトル源の前記励起種によって放出される前記第1のスペクトル線および前記第2のスペクトル線が、スペクトル線の分岐対を形成し、
前記分光計が、前記複数の検出器診断測定のために、前記検出器に入射する前記第1のスペクトル線および前記第2のスペクトル線の強度を変化させるために制御される、実行することと、
前記複数の検出器診断測定の各々について、前記第2のスペクトル線の前記強度に対する前記第1のスペクトル線の前記強度の比に基づいて、前記検出器の動作状態を診断することと、を含み、
診断された前記検出器の前記動作状態が、正常動作状態または不規則的動作状態を含む、診断試験方法。 - 前記線スペクトル源、前記検出器、および前記線スペクトル源と前記検出器との間の1つ以上の光学素子のうちの少なくとも1つが、前記複数の検出器診断測定のために、前記検出器に入射する前記第1のスペクトル線および前記第2のスペクトル線の前記強度を変化させるために制御される、請求項1に記載の診断試験方法。
- 前記線ペクトル源が、プラズマ源である、請求項1または2に記載の診断試験方法。
- 前記第1のスペクトル線および前記第2のスペクトル線の前記強度を変化させるために前記プラズマ源を制御することが、プラズマ電力、プラズマガス流量、ネブライザガス流量、および冷却ガス流量のうちの1つ以上を制御することを含む、請求項3に記載の診断試験方法。
- 前記第1のスペクトル線の前記強度の前記測定が、前記第2のスペクトル線の前期強度の前記測定と同時に実行される、請求項1~4のいずれか一項に記載の診断試験方法。
- 前記線スペクトル源の励起種によって放出されるスペクトル線の異なる対を使用して、さらなる複数の検出器診断測定を実行すること、をさらに含み、
前記線スペクトル源の前記励起種によって放出される前記スペクトル線の前記異なる対が、前記第1のスペクトル線および前記第2のスペクトル線に対してスペクトル線の異なる分岐対を形成する、
請求項1~5のいずれか一項に記載の診断試験方法。 - 前記不規則的動作状態が診断される場合、前記方法が、前記複数の検出器診断測定の各々について、前記第2のスペクトル線の前記強度に対する前記第1のスペクトル線の前記強度の比に基づいて、非線形動作状態または過剰ノイズ動作状態を診断することをさらに含む、請求項1~6のいずれか一項に記載の診断試験方法。
- 前記検出器の前記正常動作状態を診断することが、前記複数の検出器診断測定の各々について、前記第2のスペクトル線の前記強度に対する前記第1のスペクトル線の前記強度の比が、線形関係を形成すると判定することを含む、請求項1~7のいずれか一項に記載の診断試験方法。
- 線形関係が、前記複数の検出器診断測定について判定された前記比の各々が所定の範囲内にあるときに判定される、請求項8に記載の診断試験方法。
- 前記非線形動作状態が診断される場合、前記診断試験方法が、
スペクトル線の分岐対を形成する前記第1のスペクトル線および/または前記第2のスペクトル線が、自己吸収現象の影響を受けているかどうかを判定することをさらに含む、請求項7~9のいずれか一項に記載の診断試験方法。 - 前記第1のスペクトル線および/または前記第2のスペクトル線の自己吸収が判定される場合、前記診断方法が、異なる波長を有する分岐スペクトル線の異なる対を使用して繰り返される、請求項10に記載の診断試験方法。
- 前記非線形動作状態が診断される場合、前記診断試験方法が、
前記第1のスペクトル線の測定値および/または前記第2のスペクトル線の測定値が、線位置決め誤差の影響を受けるかどうかを判定する、請求項5~11のいずれか一項に記載の診断試験方法。 - 線位置決め誤差が発生したと判定される場合、
前記分光計が、線位置決め誤差を低減するように調整され、前記複数の検出器診断測定が繰り返されるか、または、
前記第1のスペクトル線および前記第2のスペクトル線の測定が、前記線位置決め誤差を考慮するために再較正され、前記検出器の前記動作状態が、前記複数の検出器診断測定の各々について、前記第2のスペクトル線の再較正された強度に対する前記第1のスペクトル線の再較正された強度の比に基づいて判定される、請求項12に記載の診断試験方法。 - 前記診断試験方法が、
光電子増倍管検出器、電荷結合検出器(CCD)、相補型金属酸化物半導体(CMOS)検出器、および電荷注入デバイス(CID)検出器のうちの少なくとも1つ以上で実行される、請求項1~13のいずれか一項に記載の診断試験方法。 - 前記励起種が、
前記プラズマ中に噴霧される既知の濃度を有する標準溶液、または、
プラズマガス種、のうちの1つ以上によって提供される、請求項1~14のいずれか一項に記載の診断試験方法。 - プラズマ源および検出器を備える分光計のための発光分光法の方法であって、請求項1~15のいずれか一項に記載の前記診断試験方法を含む、方法。
- 分光計であって、
励起種からスペクトル線の少なくとも1つの分岐対を放出するように構成された線スペクトル源と、
検出器と、
コントローラと、を備え、
前記コントローラが、前記分光計に前記検出器の診断試験を実行させるように構成され、前記実行させることが、
複数の条件の診断測定を前記検出器に対して行うために、前記分光計に複数の検出器診断測定を実行させることを含み、各診断検出器測定について、
前記検出器が、前記線スペクトル源の前記励起種によって放出される第1のスペクトル線の強度を測定するように構成されており、
前記検出器が、前記線スペクトル源の前記励起種によって放出される第2のスペクトル線の強度を測定するように構成されており、
前記線スペクトル源の前記励起種によって放出される前記第1のスペクトル線および前記第2のスペクトル線が、スペクトル線の分岐対を形成し、
前記コントローラが、前記複数の検出器診断測定のために、前記検出器に入射する前記第1のスペクトル線および前記第2のスペクトル線の前記強度を変化させるために前記分光計を制御するように構成されており、
前記コントローラが、前記複数の検出器診断測定の各々について、前記第2のスペクトル線の前記強度に対する前記第1のスペクトル線の前記強度の比に基づいて、前記検出器の動作状態を診断するように構成され、
診断された前記検出器の前記動作状態が、正常動作状態または不規則的動作状態を含む、分光計。 - 実行されるときに、請求項17に記載の分光計に、請求項1~15のいずれか一項に記載の診断試験方法または請求項16に記載の発光分光法の方法を実行させる命令を含むコンピュータプログラム。
- 請求項18に記載のコンピュータプログラムを格納しているコンピュータ可読媒体。
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Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002005832A (ja) | 2000-06-16 | 2002-01-09 | Shikoku Res Inst Inc | 濃度分析方法及び濃度分析装置 |
JP2006064449A (ja) | 2004-08-25 | 2006-03-09 | Jfe Steel Kk | レーザ発光分光分析による機側分析方法 |
JP2007078640A (ja) | 2005-09-16 | 2007-03-29 | Shimadzu Corp | Icp発光分光分析方法及びicp発光分光分析装置 |
JP2014215055A (ja) | 2013-04-22 | 2014-11-17 | 株式会社堀場製作所 | 発光分光分析装置及びデータ処理装置 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3274187B2 (ja) * | 1992-09-25 | 2002-04-15 | 日本板硝子株式会社 | 発光分光分析方法 |
US6029115A (en) | 1996-10-03 | 2000-02-22 | Perkin Elmer Llc | Analyzing spectrometric data |
JPH10332485A (ja) * | 1997-05-27 | 1998-12-18 | Shimadzu Corp | 発光分光分析装置のデータ処理方法 |
DE10055905B4 (de) | 2000-11-13 | 2004-05-13 | Gesellschaft zur Förderung angewandter Optik, Optoelektronik, Quantenelektronik und Spektroskopie e.V. | Verfahren zur Auswertung von Echelle-Spektren |
US7813895B2 (en) * | 2007-07-27 | 2010-10-12 | Applied Materials, Inc. | Methods for plasma matching between different chambers and plasma stability monitoring and control |
US7768639B1 (en) * | 2007-09-26 | 2010-08-03 | The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy | Methods for detecting and correcting inaccurate results in inductively coupled plasma-atomic emission spectrometry |
CA3053060C (en) * | 2013-01-31 | 2022-04-19 | Ventana Medical Systems, Inc. | Systems and methods for calibrating, configuring and validating an imaging device or system for multiplex tissue assays |
WO2018085841A1 (en) * | 2016-11-07 | 2018-05-11 | BioSensing Systems, LLC | Calibration method and apparatus for active pixel hyperspectral sensors and cameras |
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002005832A (ja) | 2000-06-16 | 2002-01-09 | Shikoku Res Inst Inc | 濃度分析方法及び濃度分析装置 |
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