JP2002181744A - 蛍光ｘ線分析装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 点検、保守およびデータ管理を確実に実施で
きる蛍光Ｘ線分析装置を提供する。 【解決手段】 装置の点検、保守およびデータ管理につ
いて、実施すべき周期別に各項目と内容を表示手段19に
表示させるとともに、項目別に実施した日時を記録して
最新の実施日時を前記表示手段19に表示させるメンテナ
ンス管理手段18を備える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、蛍光Ｘ線分析装置
において、点検、保守およびデータ管理を確実に実施で
きる装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、蛍光Ｘ線分析装置に必要な点検、
保守およびデータ管理については、取扱説明書の記載に
したがって実施され、一方、各点検、保守およびデータ
管理を実施したか否かについては、別途管理されてい
た。また、データ管理については、取扱説明書におい
て、点検、保守とは別に記載されていた。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかし、各点検、保守
およびデータ管理を実施すべき周期と、実施した日時と
が別々に管理されたのでは、点検、保守およびデータ管
理の実施が煩雑で、確実に行うことが容易でない。

【０００４】本発明は前記従来の問題に鑑みてなされた
もので、点検、保守およびデータ管理を確実に実施でき
る蛍光Ｘ線分析装置を提供することを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、本発明は、試料に１次Ｘ線を照射し発生する２次Ｘ
線の強度を測定する蛍光Ｘ線分析装置において、装置の
点検、保守およびデータ管理について、実施すべき周期
別に各項目と内容を表示手段に表示させるとともに、項
目別に実施した日時を記録して最新の実施日時を前記表
示手段に表示させるメンテナンス管理手段を備える。

【０００６】本発明の蛍光Ｘ線分析装置によれば、メン
テナンス管理手段が、点検、保守およびデータ管理の各
項目について、実施すべき周期および実施した日時を統
合して管理し、表示手段に表示させるので、点検、保守
およびデータ管理を確実に実施できる。

【０００７】ここで、さらに、実施する手順をも統合し
て管理し、点検、保守およびデータ管理を容易に実施で
きるように、メンテナンス管理手段が、項目別に実施の
手順を前記表示手段に表示させることが好ましい。

【０００８】また、点検、保守およびデータ管理の各項
目について実施すべき時期の到来が一目で分かるよう
に、メンテナンス管理手段が、前記最新の実施日時から
実施すべき周期を経過している項目と、前記最新の実施
日時から実施すべき周期を経過していない項目とを識別
可能なように、前記表示手段に表示させることが好まし
い。

【０００９】

【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施形態の蛍光
Ｘ線分析装置について、図面にしたがって説明する。ま
ず、この装置の構成について説明する。図１に示すよう
に、この装置は、Ｘ線を発生するＸ線管１と、Ｘ線管１
から発生したＸ線のうち所定の波長範囲のＸ線強度の減
衰率を大きくさせたＸ線を、試料４に照射する１次Ｘ線
３として通過させるフィルタ２と、試料４から発生する
蛍光Ｘ線等の２次Ｘ線５を検出器１０側からみて視野制
限するダイアフラム６と、ダイアフラム６を通過した２
次Ｘ線を方向を限定して通過させる発散スリット（ソー
ラスリット）７と、発散スリット７を通過した２次Ｘ線
を分光する分光素子８と、分光素子８で分光された２次
Ｘ線を方向を限定して通過させる受光スリット（ソーラ
スリット）９と、受光スリット９を通過した２次Ｘ線の
強度を測定する検出器１０、波高分析器１１およびスケ
ーラ１２とを備えている。試料４は、試料ホルダ１３を
介して試料台１４に載置され、図示しない試料交換機に
より交換される。

【００１０】ここで、種々の波長の２次Ｘ線の強度を測
定できるように、分光素子８と受光スリット９および検
出器１０とは、図示しないゴニオメータにより連動され
る。すなわち、この蛍光Ｘ線分析装置は、波長分散型で
あって走査型の装置である。フィルタ２、ダイアフラム
５、発散スリット７、分光素子８、受光スリット９、検
出器１０は、一つずつしか図示していないが、実際には
それぞれにおいて、種類（性能）の異なるものが複数備
えられ、交換機（図示せず）で任意のものを選択でき
る。試料４が１次Ｘ線３を照射される試料室１５、およ
び、分光素子８や検出器１０が設置される分光室１６
は、真空引きされる。

【００１１】スケーラ１２からの計数値に基づく演算
や、前記装置各部の操作は、装置が備えるパソコン１７
により行われる。パソコン１７は、図示しないキーボー
ドやマウス等の入力手段の他、以下のメンテナンス管理
手段１８、表示手段１９、記憶手段２０および装置メン
テナンス手段２２を有している。メンテナンス管理手段
１８は、装置の点検、保守およびデータ管理について、
実施すべき周期別に各項目と内容を表示手段１９に表示
させるとともに、項目別に実施した日時を記録して最新
の実施日時を表示手段１９に表示させ、さらに、項目別
に実施の手順を表示手段１９に表示させる。ここで、メ
ンテナンス管理手段１８は、前記最新の実施日時から実
施すべき周期を経過している項目と、前記最新の実施日
時から実施すべき周期を経過していない項目とを識別可
能なように、表示手段１９に表示させる。

【００１２】表示手段１９は、例えばＣＲＴである。記
憶手段２０は、例えばハードディスクで、スケーラから
のデータ等を記憶する。装置メンテナンス手段２２は、
操作者の選択に応じて、装置における各種の故障の有無
を自動的に診断したり、芯線クリーニングなど装置メン
テナンスを行う。

【００１３】次に、この装置の動作について説明する。
操作者が、パソコン１７を用いて、メンテナンス管理手
段１８を起動し、図２のように、表示手段１９に表示さ
れた「点検周期」のコンボボックスにおいて、例えば６
ヶ月点検を選択すると、実施すべき周期が６ヶ月である
点検、保守およびデータ管理の項目が、「点検項目」と
して表示される。ここでは、Ｎｏ．１から４までの４項
目である。なお、表示においては、簡単のために、「点
検」には保守やデータ管理も含み、「点検項目」には、
装置の各ハード部分の点検、保守の他、記憶手段２０に
記憶されているデータファイルのバックアップをとるこ
と、装置メンテナンス手段２２で故障診断を実行するこ
とも含まれる。

【００１４】点検周期においては、他に、毎日点検、毎
週点検、毎月点検、１年点検、非定期保守または装置修
理を選択できる。例えば毎日点検では、装置の点検、保
守の項目として、ＰＲガス流量チェック、冷却水のチェ
ック、ＰＨＡ調整、装置点検プログラムの実行による自
動点検（装置状態点検）などがあり、データ管理の項目
として、Ｘ線強度のドリフト補正係数更新、チェック試
料の分析などがある。また、毎月点検では、装置の点
検、保守の項目として、検出器１０の芯線クリーニン
グ、駆動部グリースアップ、ゴニオメータギアの注油、
検出器分解能チェックなどがあり、データ管理の項目と
して、ユーザーデータのセーブなどがある。非定期保守
は、Ｘ線管の交換など定期的に実施しないものに適用
し、装置修理は、修理した記録を残すものである。

【００１５】メンテナンス管理手段１８は、項目別に、
点検、保守およびデータ管理を実施した日時を記録して
おり、最新の実施日時を「点検実施日時」として表示手
段１９に表示させる。例えば毎月点検の検出器（Ｆ−Ｐ
Ｃ）１０の芯線クリーニングやユーザーデータのセーブ
のように、パソコン１７にインストールされたプログラ
ムにより自動的に実施されるものについては、実施日時
の記録も自動的になされる。駆動部グリースアップな
ど、操作者等の人手を介して実施される項目について
は、実施日時の記録も、表示手段１９の表示を見ながら
手入力でなされる。また、毎日点検のＸ線強度のドリフ
ト補正係数更新、チェック試料の分析などは、得られた
ドリフト補正係数やチェック試料の分析結果を例えば１
ヶ月まとめてグラフに表示するので、この実施日時は、
別のグラフ表示を行うプログラムで表示してもよい。デ
ータ管理の項目であるユーザーデータのセーブは、パソ
コン１７のハードディスクが故障したときの対策として
データのバックアップを行うためのものであり、自動的
に実施日時が記録されるので、実施の時期と有無が一目
で分かる。

【００１６】点検実施日時の表示は、最新の実施日時か
ら実施すべき周期を経過していない項目については通常
の字体でなされるが、最新の実施日時から実施すべき周
期を経過している項目については目立つように斜体でな
される。これにより、点検、保守およびデータ管理を実
施すべき時期の到来している項目が一目で分かる。な
お、字体を変えて識別する以外に、例えば、点検実施日
時の表示の色を変えて識別してもよい。また、点検実施
日時の欄をクリックすると、その項目について実施され
た日時の記録が新しい日時から順にリスト表示されるの
で、過去の実施履歴を調べることができる。

【００１７】このように、本実施形態の蛍光Ｘ線分析装
置によれば、メンテナンス管理手段１８が、点検、保守
およびデータ管理の各項目について、実施すべき周期お
よび実施した日時を統合して管理し、表示手段１９に表
示させ、さらに、点検、保守およびデータ管理を実施す
べき時期の到来している項目が一目で分かるので、点
検、保守およびデータ管理を忘れることなく確実に実施
できる。

【００１８】さて、この例では、「真空ポンプオイル交
換」について、保守を実施すべき時期が到来しているの
で、その項目の「ヘルプ」をクリックすると、真空ポン
プのオイル交換について実施の手順が表示される。した
がって、点検、保守およびデータ管理の実施にあたり、
取扱説明書を逐一参照する必要がない。実施したら、前
述したように、実施日時を記録する。このように、本実
施形態の蛍光Ｘ線分析装置によれば、メンテナンス管理
手段１８が、点検、保守およびデータ管理の各項目につ
いて、さらに実施する手順をも統合して管理し、表示手
段１９に表示させるので、点検、保守およびデータ管理
を容易に実施できる。

【００１９】

【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明の蛍
光Ｘ線分析装置によれば、メンテナンス管理手段が、点
検、保守およびデータ管理の各項目について、実施すべ
き周期および実施した日時を、統合して管理し、表示手
段に表示させるので、点検、保守およびデータ管理を確
実に実施できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態の蛍光Ｘ線分析装置を示す
概略図である。

【図２】同装置の表示手段における表示の一例を示す図
である。

【符号の説明】

３…１次Ｘ線、４…試料、５…２次Ｘ線、１０…検出
器、１８…メンテナンス管理手段、１９…表示手段。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 試料に１次Ｘ線を照射し発生する２次Ｘ
   線の強度を測定する蛍光Ｘ線分析装置において、 装置の点検、保守およびデータ管理について、実施すべ
   き周期別に各項目と内容を表示手段に表示させるととも
   に、項目別に実施した日時を記録して最新の実施日時を
   前記表示手段に表示させるメンテナンス管理手段を備え
   たことを特徴とする蛍光Ｘ線分析装置。
2. 【請求項２】 請求項１において、 前記メンテナンス管理手段が、項目別に実施の手順を前
   記表示手段に表示させる蛍光Ｘ線分析装置。
3. 【請求項３】 請求項１または２において、 前記メンテナンス管理手段が、前記最新の実施日時から
   実施すべき周期を経過している項目と、前記最新の実施
   日時から実施すべき周期を経過していない項目とを識別
   可能なように、前記表示手段に表示させる蛍光Ｘ線分析
   装置。