JP2006343112A - 蛍光x線分析装置およびそれに用いるプログラム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 仮定した元素の濃度に基づいて、試料13中の各元素から発生する2次X線4 の理論強度を計算し、その理論強度と検出手段9 で測定した測定強度とが合致するように、仮定した元素の濃度を最適化計算して、試料13における元素の濃度を算出する算出手段10を備え、その算出手段10が、蛍光X線4 を測定しない非測定元素については、複数の非測定元素の濃度を仮定するとともに、試料中の非測定元素から発生する2次X線に代えて、濃度を仮定する非測定元素と少なくとも同数の1次X線の散乱線を用い、用いる1次X線の散乱線に、試料で散乱される前の波長が相異なる散乱線を含める。
【選択図】 図2
Description
2 1次X線
4 2次X線(蛍光X線、散乱線)
9 検出手段
10 算出手段
11 X線管
12 1次X線フィルタ(透過型2次ターゲット)
13 試料
Claims (5)
- 試料に1次X線を照射するX線源と、
試料から発生する2次X線の強度を測定する検出手段と、
仮定した元素の濃度に基づいて、試料中の各元素から発生する2次X線の理論強度を計算し、その理論強度と前記検出手段で測定した測定強度とが合致するように、前記仮定した元素の濃度を最適化計算して、試料における元素の濃度を算出する算出手段とを備えた蛍光X線分析装置において、
前記算出手段が、蛍光X線を測定しない非測定元素については、複数の非測定元素の濃度を仮定するとともに、試料中の非測定元素から発生する2次X線に代えて、濃度を仮定する非測定元素と少なくとも同数の1次X線の散乱線を用い、用いる1次X線の散乱線に、試料で散乱される前の波長が相異なる散乱線を含めることを特徴とする蛍光X線分析装置。 - 請求項1において、
前記算出手段が、前記濃度を仮定する非測定元素の組合せをも変えながら、前記最適化計算を行う蛍光X線分析装置。 - 請求項1または2において、
前記1次X線の散乱線が、1次X線の特性X線の散乱線である蛍光X線分析装置。 - 請求項1ないし3のいずれか一項において、
前記X線源が、X線管およびそのX線管から発生するX線の光路に進退自在の1次X線フィルタを有し、その1次X線フィルタを透過型の2次ターゲットとして利用することにより、試料に照射する1次X線の波長を変化させる蛍光X線分析装置。 - 請求項1ないし4のいずれか一項に記載の蛍光X線分析装置が備えるコンピュータを前記算出手段として機能させるためのプログラム。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012002785A (ja) * | 2010-06-21 | 2012-01-05 | Horiba Ltd | 蛍光x線分析装置及びコンピュータプログラム |
JP2013127395A (ja) * | 2011-12-19 | 2013-06-27 | Rigaku Corp | 蛍光x線分析装置 |
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Families Citing this family (20)
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---|---|---|---|---|
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JP3965191B2 (ja) * | 2005-04-06 | 2007-08-29 | 理学電機工業株式会社 | 蛍光x線分析装置およびそれに用いるプログラム |
SE533452C2 (sv) * | 2009-01-19 | 2010-10-05 | Xrf Analytical Ab | Förfarande vid spektrometri för undersökning av prover innehållande åtminstone två grundämnen |
US7972062B2 (en) * | 2009-07-16 | 2011-07-05 | Edax, Inc. | Optical positioner design in X-ray analyzer for coaxial micro-viewing and analysis |
CN102187208B (zh) * | 2009-09-07 | 2013-12-04 | 株式会社理学 | 荧光x射线分析方法 |
JP5975181B2 (ja) * | 2013-10-15 | 2016-08-23 | 株式会社島津製作所 | 蛍光x線分析方法及び蛍光x線分析装置 |
CN104677926A (zh) * | 2013-11-29 | 2015-06-03 | 沈阳黎明航空发动机(集团)有限责任公司 | 一种采用虚拟曲线法分析中、低合金钢中化学成分的方法 |
JP6142135B2 (ja) * | 2014-12-25 | 2017-06-07 | 株式会社リガク | 斜入射蛍光x線分析装置および方法 |
CN105938113B (zh) * | 2015-03-03 | 2020-03-27 | 马尔文帕纳科公司 | 定量x射线分析-多光路仪器 |
JP6175662B2 (ja) * | 2015-08-10 | 2017-08-09 | 株式会社リガク | 蛍光x線分析装置 |
CN108398712B (zh) * | 2018-02-08 | 2019-12-06 | 中国工程物理研究院上海激光等离子体研究所 | 圆锥条晶谱仪及其安装调节方法 |
DE112019004478T5 (de) | 2018-09-07 | 2021-07-08 | Sigray, Inc. | System und verfahren zur röntgenanalyse mit wählbarer tiefe |
DE112020004169T5 (de) * | 2019-09-03 | 2022-05-25 | Sigray, Inc. | System und verfahren zur computergestützten laminografieröntgenfluoreszenz-bildgebung |
US11175243B1 (en) | 2020-02-06 | 2021-11-16 | Sigray, Inc. | X-ray dark-field in-line inspection for semiconductor samples |
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JP7380421B2 (ja) * | 2020-05-27 | 2023-11-15 | 株式会社島津製作所 | X線分析装置およびx線分析方法 |
DE112021004828T5 (de) | 2020-09-17 | 2023-08-03 | Sigray, Inc. | System und verfahren unter verwendung von röntgenstrahlen für tiefenauflösende messtechnik und analyse |
DE112021006348T5 (de) | 2020-12-07 | 2023-09-21 | Sigray, Inc. | 3d-röntgenbildgebungssystem mit hohem durchsatz, das eine transmissionsröntgenquelle verwendet |
US11992350B2 (en) | 2022-03-15 | 2024-05-28 | Sigray, Inc. | System and method for compact laminography utilizing microfocus transmission x-ray source and variable magnification x-ray detector |
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Family Cites Families (7)
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---|---|---|---|---|
KR900008955B1 (ko) * | 1984-05-10 | 1990-12-15 | 가와사끼 세이데쓰 가부시끼 가이샤 | 합금피막의 피막두께 및 조성 측정방법 |
FI97647C (fi) * | 1994-11-14 | 1997-01-27 | Ima Engineering Ltd Oy | Menetelmä ja laitteisto alkuaineen pitoisuuden määrittämiseksi |
CN2237241Y (zh) * | 1996-02-17 | 1996-10-09 | 中国航天工业总公司 | 一种x射线荧光分析仪 |
JP3921872B2 (ja) * | 1999-05-20 | 2007-05-30 | 株式会社島津製作所 | 蛍光x線分析用データ処理装置 |
JP3889187B2 (ja) * | 1999-09-09 | 2007-03-07 | 株式会社リガク | 蛍光x線分析方法およびその装置 |
DE10159828B4 (de) * | 2001-12-06 | 2007-09-20 | Rigaku Industrial Corporation, Takatsuki | Röntgenfluoreszenzspektrometer |
JP3800541B2 (ja) | 2003-02-20 | 2006-07-26 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 球面モータを用いた首振り運動光てこによる光線追尾式レーザ干渉測長装置および該装置を用いた座標測定方法 |
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012002785A (ja) * | 2010-06-21 | 2012-01-05 | Horiba Ltd | 蛍光x線分析装置及びコンピュータプログラム |
JP2013127395A (ja) * | 2011-12-19 | 2013-06-27 | Rigaku Corp | 蛍光x線分析装置 |
WO2023100611A1 (ja) * | 2021-12-01 | 2023-06-08 | 株式会社リガク | 蛍光x線分析装置 |
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