JP2000275196A - グラフィック表示付きｘ線分析装置 - Google Patents
グラフィック表示付きｘ線分析装置Info
- Publication number
- JP2000275196A JP2000275196A JP11124693A JP12469399A JP2000275196A JP 2000275196 A JP2000275196 A JP 2000275196A JP 11124693 A JP11124693 A JP 11124693A JP 12469399 A JP12469399 A JP 12469399A JP 2000275196 A JP2000275196 A JP 2000275196A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- image
- sample
- display
- ray
- computer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 装置各部の動作状態の実情を容易に把握でき
る表示手段を備えたＸ線分析装置を得る。 【解決手段】 １次Ｘ線を照射した試料５から発生する
２次Ｘ線を検出して試料の分析を行うＸ線分析装置であ
って、装置の各部を立体的画像３３で表示する表示器３
１と、装置の可動部の動作に合わせて前記画像３３を切
り換える画像変更手段２９とを備えた。
る表示手段を備えたＸ線分析装置を得る。 【解決手段】 １次Ｘ線を照射した試料５から発生する
２次Ｘ線を検出して試料の分析を行うＸ線分析装置であ
って、装置の各部を立体的画像３３で表示する表示器３
１と、装置の可動部の動作に合わせて前記画像３３を切
り換える画像変更手段２９とを備えた。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、動作時の状態を立
体的画像で表示する表示器を備えたＸ線分析装置に関す
る。
体的画像で表示する表示器を備えたＸ線分析装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】図４はＸ線分析装置の概略構成を示す図
である。Ｘ線源１は真空容器２に取り付けられて１次Ｘ
線３をフィルタ４を介して試料５に照射し、試料５から
発生した蛍光Ｘ線（２次Ｘ線）６は絞りが形成されてい
るダイアフラム７を通り、Ｘ線を減衰させるアッテネー
タ８およびＸ線を平行化するソーラスリット９を通って
分光結晶１０に入射する。検出器１１は分光された蛍光
Ｘ線を検出する。信号処理回路１２は検出された蛍光Ｘ
線を電気的に信号処理し、後述する操作用コンピュータ
２３に内蔵された分析手段で試料５を分析する。
である。Ｘ線源１は真空容器２に取り付けられて１次Ｘ
線３をフィルタ４を介して試料５に照射し、試料５から
発生した蛍光Ｘ線（２次Ｘ線）６は絞りが形成されてい
るダイアフラム７を通り、Ｘ線を減衰させるアッテネー
タ８およびＸ線を平行化するソーラスリット９を通って
分光結晶１０に入射する。検出器１１は分光された蛍光
Ｘ線を検出する。信号処理回路１２は検出された蛍光Ｘ
線を電気的に信号処理し、後述する操作用コンピュータ
２３に内蔵された分析手段で試料５を分析する。
【０００３】真空容器２内には、フィルタ４，ダイアフ
ラム７，アッテネータ８、ソーラスリット９，分光結晶
１０，検出器１１が収容されている。試料５を取り付け
た試料ホルダ１３は、真空容器２の予備真空室１４に設
けられた試料挿入用の開閉蓋１５を矢印Ａ方向に開いて
予備真空室１４内に挿入して開閉蓋１５を閉じたのち、
矢印Ｃ→Ｄ→Ｅ方向に搬送されて照射位置にセットさ
れ、Ｘ線源１から１次Ｘ線３が照射される。１次Ｘ線３
の照射が終わると、前記と逆方向に搬送されて予備真空
室１４内に入り、開閉蓋１５が矢印Ａ方向に開かれて予
備真空室１４から取り出される。
ラム７，アッテネータ８、ソーラスリット９，分光結晶
１０，検出器１１が収容されている。試料５を取り付け
た試料ホルダ１３は、真空容器２の予備真空室１４に設
けられた試料挿入用の開閉蓋１５を矢印Ａ方向に開いて
予備真空室１４内に挿入して開閉蓋１５を閉じたのち、
矢印Ｃ→Ｄ→Ｅ方向に搬送されて照射位置にセットさ
れ、Ｘ線源１から１次Ｘ線３が照射される。１次Ｘ線３
の照射が終わると、前記と逆方向に搬送されて予備真空
室１４内に入り、開閉蓋１５が矢印Ａ方向に開かれて予
備真空室１４から取り出される。
【０００４】前記のように構成されたＸ線分析装置は、
試料５に合わせて分析条件を設定するために、フィルタ
４，ダイアフラム７、および複数の分光結晶１０を外周
に備えたロータリー型分光器２０が、それぞれ矢印Ｆ，
Ｇ，Ｉ方向に回動させて切り換えられ、さらに、ソーラ
スリット９が紙面に垂直なＨ方向に移動させて切り換え
られ、アッテネータ８もＸ線光路に対してＨ方向に進入
・退避する。これらの切換動作は、操作入力手段２２か
ら操作用コンピュータ２３に指令が与えられると、操作
用コンピュータ２３から制御コマンド２５が装置制御用
コンピュータ２４に出力され、装置制御用コンピュータ
２４が制御コマンド２５に対応した制御信号２６を該当
する各部に送出することによりなされる。
試料５に合わせて分析条件を設定するために、フィルタ
４，ダイアフラム７、および複数の分光結晶１０を外周
に備えたロータリー型分光器２０が、それぞれ矢印Ｆ，
Ｇ，Ｉ方向に回動させて切り換えられ、さらに、ソーラ
スリット９が紙面に垂直なＨ方向に移動させて切り換え
られ、アッテネータ８もＸ線光路に対してＨ方向に進入
・退避する。これらの切換動作は、操作入力手段２２か
ら操作用コンピュータ２３に指令が与えられると、操作
用コンピュータ２３から制御コマンド２５が装置制御用
コンピュータ２４に出力され、装置制御用コンピュータ
２４が制御コマンド２５に対応した制御信号２６を該当
する各部に送出することによりなされる。
【０００５】表示器３１には、図５に示すように、各部
が二次元の画像３３で表示される。この画像３３は、試
料ホルダ１３の移動や、フィルタ４，ダイアフラム７，
ソーラスリット９，分光結晶１０，検出器１１等の切換
動作が発生するたびに、画像変更手段２９により、移動
や切換動作が発生した各部もしくはこれに関連した部分
のみの画像が変更され、操作者は、可動部分の移動前の
画面と、切換動作終了後の画像の相違から、指令した可
動部分の切換動作が行われたことを確認する。すなわ
ち、試料ホルダ１３の移動にともなって、試料ホルダ１
３の画像が変更されるとともに、フィルタ４、ダイヤフ
ラム７、分光結晶１０および検出器１１については、こ
れら自身の画像はそのままで、これらに関連した表示窓
に文字で切換動作の完了が表示される。
が二次元の画像３３で表示される。この画像３３は、試
料ホルダ１３の移動や、フィルタ４，ダイアフラム７，
ソーラスリット９，分光結晶１０，検出器１１等の切換
動作が発生するたびに、画像変更手段２９により、移動
や切換動作が発生した各部もしくはこれに関連した部分
のみの画像が変更され、操作者は、可動部分の移動前の
画面と、切換動作終了後の画像の相違から、指令した可
動部分の切換動作が行われたことを確認する。すなわ
ち、試料ホルダ１３の移動にともなって、試料ホルダ１
３の画像が変更されるとともに、フィルタ４、ダイヤフ
ラム７、分光結晶１０および検出器１１については、こ
れら自身の画像はそのままで、これらに関連した表示窓
に文字で切換動作の完了が表示される。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】従来の表示画像は、Ｘ
線分析装置の構成を、各部の関連が判り易いように二次
元的に配置して示している。このため、各部の形状を把
握しずらいので、保守・点検の際に作業者が実際にＸ線
分析装置の中身を見たときに、各部を正確に認識しにく
い。
線分析装置の構成を、各部の関連が判り易いように二次
元的に配置して示している。このため、各部の形状を把
握しずらいので、保守・点検の際に作業者が実際にＸ線
分析装置の中身を見たときに、各部を正確に認識しにく
い。
【０００７】また、従来のＸ線分析装置では、表示画面
の窓内に制御コマンドの内容が表示されると切換動作が
行われたとしているので、装置に異常が発生して切換動
作が実行されなかったときは、装置内の実際の状態と画
面に表示されている状態とが相違するという問題点があ
った。
の窓内に制御コマンドの内容が表示されると切換動作が
行われたとしているので、装置に異常が発生して切換動
作が実行されなかったときは、装置内の実際の状態と画
面に表示されている状態とが相違するという問題点があ
った。
【０００８】本発明は、前記の従来の問題点に鑑みてな
されたもので、装置を構成する各部の形状および動作状
態を把握し易い表示画像が得られるＸ線分析装置を提供
することを目的とする。
されたもので、装置を構成する各部の形状および動作状
態を把握し易い表示画像が得られるＸ線分析装置を提供
することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の一構成に係るグラフィック表示付きＸ線分
析装置は、Ｘ線を試料に照射して試料の分析を行うＸ線
分析装置であって、装置の各部を立体的画像で表示する
表示器と、装置の可動部の動作に合わせて前記表示器の
画像の可動部もしくは可動部に関連した部分を変更する
画像変更手段とを備えている。前記可動部に関連した部
分は、例えば可動部の切換え状態を文字で表示する画面
上の表示窓である。上記構成によれば、可動部の元の状
態と動作後の状態が立体的画像で表示されるので、操作
者は可動部の動きを正確、かつ容易に見分けることがで
きる。また、Ｘ線分析装置の各部が立体的画面で表示さ
れるから、各部の立体的な形状を把握できるので、保守
・点検の際に作業者が実際にＸ線分析装置の中身を見た
ときに、各部を正確に認識できる。
に、本発明の一構成に係るグラフィック表示付きＸ線分
析装置は、Ｘ線を試料に照射して試料の分析を行うＸ線
分析装置であって、装置の各部を立体的画像で表示する
表示器と、装置の可動部の動作に合わせて前記表示器の
画像の可動部もしくは可動部に関連した部分を変更する
画像変更手段とを備えている。前記可動部に関連した部
分は、例えば可動部の切換え状態を文字で表示する画面
上の表示窓である。上記構成によれば、可動部の元の状
態と動作後の状態が立体的画像で表示されるので、操作
者は可動部の動きを正確、かつ容易に見分けることがで
きる。また、Ｘ線分析装置の各部が立体的画面で表示さ
れるから、各部の立体的な形状を把握できるので、保守
・点検の際に作業者が実際にＸ線分析装置の中身を見た
ときに、各部を正確に認識できる。
【００１０】本発明の他の構成に係るグラフィック表示
付きＸ線分析装置は、Ｘ線を試料に照射して試料の分析
を行うＸ線分析装置であって、装置の各部を立体的画像
で表示する表示器と、装置の各部を制御する装置制御用
コンピュータと、オペレータの操作により前記装置制御
用コンピュータを制御する操作用コンピュータとを備
え、前記装置制御用コンピュータは各部の動作完了およ
び状態変化を前記操作用コンピュータに伝達する状態伝
達手段を有し、さらに、動作完了または状態変化のたび
に前記表示器の画像の少なくとも動作完了および状態変
化が発生した各部もしくはこれに関連した部分を変更す
る画像変更手段を備えている。上記構成によれば、各部
の元の状況と動作後または状態変化後の状況が立体的画
像で表示されるので、操作者は各部の状態を正確、かつ
容易に見分けることができる。また、やはり、Ｘ線分析
装置の各部が立体的画面で表示されるから、各部の立体
的な形状を把握できるので、保守・点検の際に作業者が
実際にＸ線分析装置の中身を見たときに、各部を正確に
認識できる。
付きＸ線分析装置は、Ｘ線を試料に照射して試料の分析
を行うＸ線分析装置であって、装置の各部を立体的画像
で表示する表示器と、装置の各部を制御する装置制御用
コンピュータと、オペレータの操作により前記装置制御
用コンピュータを制御する操作用コンピュータとを備
え、前記装置制御用コンピュータは各部の動作完了およ
び状態変化を前記操作用コンピュータに伝達する状態伝
達手段を有し、さらに、動作完了または状態変化のたび
に前記表示器の画像の少なくとも動作完了および状態変
化が発生した各部もしくはこれに関連した部分を変更す
る画像変更手段を備えている。上記構成によれば、各部
の元の状況と動作後または状態変化後の状況が立体的画
像で表示されるので、操作者は各部の状態を正確、かつ
容易に見分けることができる。また、やはり、Ｘ線分析
装置の各部が立体的画面で表示されるから、各部の立体
的な形状を把握できるので、保守・点検の際に作業者が
実際にＸ線分析装置の中身を見たときに、各部を正確に
認識できる。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施形態を図面
に基づいて説明する。図１に本実施形態のＸ線分析装置
の構成を示す。筒形ケースの側面に照射窓を持つサイド
ウインドウ型Ｘ線源１は、真空容器２に取り付けられて
１次Ｘ線３をフィルタ４を介して試料５に照射し、試料
５から発生した蛍光Ｘ線（２次Ｘ線）６は、絞りが形成
されているダイアフラム７を通り、アッテネータ８およ
び第１ソーラスリット９Ａを通って分光結晶１０に入射
する。検出器１１Ａ，１１Ｂは、分光結晶１０で分光さ
れたのち第２ソーラスリット９Ｂを通った蛍光Ｘ線を検
出する。
に基づいて説明する。図１に本実施形態のＸ線分析装置
の構成を示す。筒形ケースの側面に照射窓を持つサイド
ウインドウ型Ｘ線源１は、真空容器２に取り付けられて
１次Ｘ線３をフィルタ４を介して試料５に照射し、試料
５から発生した蛍光Ｘ線（２次Ｘ線）６は、絞りが形成
されているダイアフラム７を通り、アッテネータ８およ
び第１ソーラスリット９Ａを通って分光結晶１０に入射
する。検出器１１Ａ，１１Ｂは、分光結晶１０で分光さ
れたのち第２ソーラスリット９Ｂを通った蛍光Ｘ線を検
出する。
【００１２】第１の検出器１１Ａは波長の短い（エネル
ギーの高い）蛍光Ｘ線用のシンチレーションカウンタ
（ＳＣ）であり、第２の検出器１１Ｂは波長の長い（エ
ネルギーの低い）蛍光Ｘ線用のガスフロー型比例計数管
（Ｆ−ＰＣ）である。検出対象の波長に応じて、両検出
器１１Ａ，１１Ｂの一方が選択的に使用される。信号処
理回路１２は検出された蛍光Ｘ線を電気的に信号処理
し、操作用コンピュータ２３に内蔵された分析手段で試
料５を分析する。
ギーの高い）蛍光Ｘ線用のシンチレーションカウンタ
（ＳＣ）であり、第２の検出器１１Ｂは波長の長い（エ
ネルギーの低い）蛍光Ｘ線用のガスフロー型比例計数管
（Ｆ−ＰＣ）である。検出対象の波長に応じて、両検出
器１１Ａ，１１Ｂの一方が選択的に使用される。信号処
理回路１２は検出された蛍光Ｘ線を電気的に信号処理
し、操作用コンピュータ２３に内蔵された分析手段で試
料５を分析する。
【００１３】図２および図３は、本発明の一実施形態に
係るＸ線分析装置の表示器に表示される表示画面を示す
図である。図２は、第１試料ホルダ１３Ａに載置された
第１試料５Ａに１次Ｘ線が照射されて試料分析が行わ
れ、第２試料５Ｂを載置した第２試料ホルダ１３Ｂが予
備真空室１４内に入れられて、開閉蓋１５が閉じられて
いる状態を示す画面３３ａであり、図３は、第１試料５
Ａの分析が終了して、第１試料ホルダ１３Ａが予備真空
室１４外に取り出され、試料ホルダ１３Ｂに保持された
第２試料５Ｂに１次Ｘ線が照射されて試料分析が行われ
ている状態を示す画面３３ｂである。また、Ｘ線２２も
表示されている。これらの画面３３ａ，３３ｂでは、各
部がそれぞれ立体的に表示され、それぞれの形状が三次
元的に表わされているので、操作者はその形状と、その
近傍に設けられた表示窓内の表示データより、現在の各
部の現状を正確に認識することができる。
係るＸ線分析装置の表示器に表示される表示画面を示す
図である。図２は、第１試料ホルダ１３Ａに載置された
第１試料５Ａに１次Ｘ線が照射されて試料分析が行わ
れ、第２試料５Ｂを載置した第２試料ホルダ１３Ｂが予
備真空室１４内に入れられて、開閉蓋１５が閉じられて
いる状態を示す画面３３ａであり、図３は、第１試料５
Ａの分析が終了して、第１試料ホルダ１３Ａが予備真空
室１４外に取り出され、試料ホルダ１３Ｂに保持された
第２試料５Ｂに１次Ｘ線が照射されて試料分析が行われ
ている状態を示す画面３３ｂである。また、Ｘ線２２も
表示されている。これらの画面３３ａ，３３ｂでは、各
部がそれぞれ立体的に表示され、それぞれの形状が三次
元的に表わされているので、操作者はその形状と、その
近傍に設けられた表示窓内の表示データより、現在の各
部の現状を正確に認識することができる。
【００１４】上記各画面３３ａ，３３ｂには、図２の画
面３３ａに符号を付して示すように、真空容器２（図
１）内の主な構成部分の立体的画像に加えて、Ｘ線源１
の電圧・電流の表示窓４１、Ｘ線源１の冷却水の流れ状
態の表示窓４２、真空容器２内の温度の表示窓４３、真
空容器２内の圧力の表示窓４４が設けられ、さらに、フ
ィルタ４の取付け・取外し状態の表示窓４６、ダイアフ
ラム６の選択された絞り孔径の表示窓４７、ソーラスリ
ット９の選択されたタイプ（箔間隔の大小による種類）
の表示窓４８、分光結晶１０の素材の表示窓４９、検出
器１１Ａ，１１Ｂに入射する蛍光Ｘ線の分光角度の表示
窓５０、ＳＣ１１ＡとＦ−ＰＣ１１Ｂの検出パルスの波
高値幅の表示窓５１、および予備真空室１４の圧力の表
示窓５２が設けられている。
面３３ａに符号を付して示すように、真空容器２（図
１）内の主な構成部分の立体的画像に加えて、Ｘ線源１
の電圧・電流の表示窓４１、Ｘ線源１の冷却水の流れ状
態の表示窓４２、真空容器２内の温度の表示窓４３、真
空容器２内の圧力の表示窓４４が設けられ、さらに、フ
ィルタ４の取付け・取外し状態の表示窓４６、ダイアフ
ラム６の選択された絞り孔径の表示窓４７、ソーラスリ
ット９の選択されたタイプ（箔間隔の大小による種類）
の表示窓４８、分光結晶１０の素材の表示窓４９、検出
器１１Ａ，１１Ｂに入射する蛍光Ｘ線の分光角度の表示
窓５０、ＳＣ１１ＡとＦ−ＰＣ１１Ｂの検出パルスの波
高値幅の表示窓５１、および予備真空室１４の圧力の表
示窓５２が設けられている。
【００１５】装置の各部は、動作が１段階終わるたび
に、および状態変化が発生するたびに、すなわち、ホル
ダ搬送部材１６による第１試料５Ａおよび第２試料５Ｂ
の移動および回転、フィルタ４，ダイアフラム７，第１
ソーラスリット９Ａ，分光結晶１０，シンチレーション
カウンタ１１Ａ，比例計数管１１Ｂ等の切換え動作の完
了と、Ｘ線源１の電圧，電流の変更、冷却水の流れ状態
の変化（例えば停止）等の状態変化とが生じるたびに、
動作完了信号２７を装置制御用コンピュータ２４に送出
し、装置制御用コンピュータ２４は操作用コンピュータ
２３に制御完了信号２８を送出する。この制御完了信号
２８を受けた操作用コンピュータ２３は、画像変更手段
２９に切換動作または状態変化が生じた各部の切換え
後、もしくは変化後の状態を示す画像データを出力させ
る画像変更信号３０を送出し、画像変更手段２９は指示
された切換え後の各部の状態を示す画像信号３２を表示
器３１に送出し、表示器３１に切換え後の画像３３が表
示される。
に、および状態変化が発生するたびに、すなわち、ホル
ダ搬送部材１６による第１試料５Ａおよび第２試料５Ｂ
の移動および回転、フィルタ４，ダイアフラム７，第１
ソーラスリット９Ａ，分光結晶１０，シンチレーション
カウンタ１１Ａ，比例計数管１１Ｂ等の切換え動作の完
了と、Ｘ線源１の電圧，電流の変更、冷却水の流れ状態
の変化（例えば停止）等の状態変化とが生じるたびに、
動作完了信号２７を装置制御用コンピュータ２４に送出
し、装置制御用コンピュータ２４は操作用コンピュータ
２３に制御完了信号２８を送出する。この制御完了信号
２８を受けた操作用コンピュータ２３は、画像変更手段
２９に切換動作または状態変化が生じた各部の切換え
後、もしくは変化後の状態を示す画像データを出力させ
る画像変更信号３０を送出し、画像変更手段２９は指示
された切換え後の各部の状態を示す画像信号３２を表示
器３１に送出し、表示器３１に切換え後の画像３３が表
示される。
【００１６】この例では、第１試料ホルダ１３Ａおよび
第２試料ホルダ１３Ｂの移動および回転、ホルダ搬送部
材１６の回転、Ｘ線２２、表示窓４１のＸ線源１のＯＮ
／ＯＦＦマーク４１ａ、冷却水の流れ状態の表示窓４２
にある水流表示用の矢印４２ａ，予備真空室１４の開閉
蓋１５の開閉動作などは、それ自身の形状を示す画像が
変更される。これに対し、Ｘ線源１の電圧・電流の変更
と、雰囲気の変化と、フィルタ４，ダイアフラム７，第
１ソーラスリット９Ａ，分光結晶１０，シンチレーショ
ンカウンタ１１Ａ，比例計数管１１Ｂ等の切換え動作の
完了などは、これら各部の形状を示す画像は変化しない
そのままの状態で、それら関連した部分である表示窓４
１、４４、４６、４７、４９、５０、５１の文字が変更
されることで、それらの切換動作完了と状態変化とが表
示される。なお、照射位置にある第１試料ホルダ１３Ａ
は、測定中に回転するが、その回転は、ホルダ側面の真
空引き用の空気抜き孔２１の画像を回転方向に少しずつ
ずらせて空気抜き孔２１を移動させることで表示され
る。
第２試料ホルダ１３Ｂの移動および回転、ホルダ搬送部
材１６の回転、Ｘ線２２、表示窓４１のＸ線源１のＯＮ
／ＯＦＦマーク４１ａ、冷却水の流れ状態の表示窓４２
にある水流表示用の矢印４２ａ，予備真空室１４の開閉
蓋１５の開閉動作などは、それ自身の形状を示す画像が
変更される。これに対し、Ｘ線源１の電圧・電流の変更
と、雰囲気の変化と、フィルタ４，ダイアフラム７，第
１ソーラスリット９Ａ，分光結晶１０，シンチレーショ
ンカウンタ１１Ａ，比例計数管１１Ｂ等の切換え動作の
完了などは、これら各部の形状を示す画像は変化しない
そのままの状態で、それら関連した部分である表示窓４
１、４４、４６、４７、４９、５０、５１の文字が変更
されることで、それらの切換動作完了と状態変化とが表
示される。なお、照射位置にある第１試料ホルダ１３Ａ
は、測定中に回転するが、その回転は、ホルダ側面の真
空引き用の空気抜き孔２１の画像を回転方向に少しずつ
ずらせて空気抜き孔２１を移動させることで表示され
る。
【００１７】次に、第１試料５Ａの１次Ｘ線の照射が終
わると、操作用コンピュータ２３は自動的に、「試料交
換」制御コマンド２５を装置制御用コンピュータ２４に
送出する。このコマンド２５を受けた装置制御用コンピ
ュータ２４は、図示していない試料ホルダ昇降機構に制
御信号２６を送出し、ホルダ保持部材１７Ａと１７Ｂを
それぞれ、図２に示す矢印Ｅ２方向とＣ１方向に下降さ
せてホルダ搬送部材１６に載置させたのち、ホルダ搬送
部材１６の図示していない回動機構に制御信号２６を送
出してホルダ搬送部材１６を矢印Ｋ方向に回動させ、次
に、試料ホルダ昇降機構を矢印Ｃ２およびＥ１方向に上
昇させて、図３に示すように、第１試料ホルダ１３Ａを
予備真空室１４内に、第２試料ホルダ１３Ｂを１次Ｘ線
照射位置に移動させる。このときホルダ保持部材１７は
予備真空室１４の下面に気密に密着して予備真空室１４
の下壁を形成し、開閉蓋１５が開かれて予備真空室１４
内が大気圧となったときに、真空容器２内の真空を維持
する。
わると、操作用コンピュータ２３は自動的に、「試料交
換」制御コマンド２５を装置制御用コンピュータ２４に
送出する。このコマンド２５を受けた装置制御用コンピ
ュータ２４は、図示していない試料ホルダ昇降機構に制
御信号２６を送出し、ホルダ保持部材１７Ａと１７Ｂを
それぞれ、図２に示す矢印Ｅ２方向とＣ１方向に下降さ
せてホルダ搬送部材１６に載置させたのち、ホルダ搬送
部材１６の図示していない回動機構に制御信号２６を送
出してホルダ搬送部材１６を矢印Ｋ方向に回動させ、次
に、試料ホルダ昇降機構を矢印Ｃ２およびＥ１方向に上
昇させて、図３に示すように、第１試料ホルダ１３Ａを
予備真空室１４内に、第２試料ホルダ１３Ｂを１次Ｘ線
照射位置に移動させる。このときホルダ保持部材１７は
予備真空室１４の下面に気密に密着して予備真空室１４
の下壁を形成し、開閉蓋１５が開かれて予備真空室１４
内が大気圧となったときに、真空容器２内の真空を維持
する。
【００１８】次に、予備真空室１４の開閉蓋１５を開く
と、第１試料ホルダ１３Ａが矢印Ｂ方向に排出されたの
ち、次の図示していない第３試料ホルダが予備真空室１
４内に挿入されて開閉蓋１５が閉じられる。
と、第１試料ホルダ１３Ａが矢印Ｂ方向に排出されたの
ち、次の図示していない第３試料ホルダが予備真空室１
４内に挿入されて開閉蓋１５が閉じられる。
【００１９】前記試料交換動作の間に第２試料５Ｂへの
１次Ｘ線照射が行われるが、試料５の分析開始に先立っ
て、図１の装置制御用コンピュータ２４から制御信号２
６が送出されて、可動部であるフィルタ４，ダイアフラ
ム７，ソーラスリット９Ａ，９Ｂ，分光結晶１０，ＳＣ
１１Ａ，Ｆ−ＰＣ１１Ｂ等が、試料の種類、分析対象元
素の種類に応じて適切なものが選択されるよう切り換え
られる。これらの動作の完了は、各部の駆動機構から送
出される動作完了信号２７により装置制御用コンピュー
タ２４が認識し、そのたびに制御完了信号２８が操作用
コンピュータ２３に送出される。以下、同様の手順で、
逐次試料のＸ線分析が実行される。
１次Ｘ線照射が行われるが、試料５の分析開始に先立っ
て、図１の装置制御用コンピュータ２４から制御信号２
６が送出されて、可動部であるフィルタ４，ダイアフラ
ム７，ソーラスリット９Ａ，９Ｂ，分光結晶１０，ＳＣ
１１Ａ，Ｆ−ＰＣ１１Ｂ等が、試料の種類、分析対象元
素の種類に応じて適切なものが選択されるよう切り換え
られる。これらの動作の完了は、各部の駆動機構から送
出される動作完了信号２７により装置制御用コンピュー
タ２４が認識し、そのたびに制御完了信号２８が操作用
コンピュータ２３に送出される。以下、同様の手順で、
逐次試料のＸ線分析が実行される。
【００２０】前記第１，第２試料ホルダ１３Ａ，１３Ｂ
の交換動作の際、可動部であるホルダ搬送部材１６およ
び昇降機構の動作が１段階完了するたびに、例えば第
１，第２試料ホルダ１３Ａ，１３Ｂが図１の位置Ｐ１〜
Ｐ４のそれぞれに移動するたびに、動作完了信号２７が
装置制御用コンピュータ２４に送出され、装置制御用コ
ンピュータ２４からそのつど制御完了信号２８が操作用
コンピュータ２３に送出される。さらに、冷却水の流れ
の変化、Ｘ線源１の電圧，電流の変化、真空容器２内の
圧力の変化などが生じるたびに、動作完了信号２７が装
置制御用コンピュータ２４に送出され、装置制御用コン
ピュータ２４から制御完了信号２８が操作用コンピュー
タ２３に送出される。制御完了信号２８を受けた操作用
コンピュータ２３から、そのつど画像変更手段２９に動
作完了または状態変化した後の状況を示す画像信号に切
り換える画像変更信号３０が送出され、画像変更手段２
９は切換え後の画像信号３２を表示器３１に送出する。
の交換動作の際、可動部であるホルダ搬送部材１６およ
び昇降機構の動作が１段階完了するたびに、例えば第
１，第２試料ホルダ１３Ａ，１３Ｂが図１の位置Ｐ１〜
Ｐ４のそれぞれに移動するたびに、動作完了信号２７が
装置制御用コンピュータ２４に送出され、装置制御用コ
ンピュータ２４からそのつど制御完了信号２８が操作用
コンピュータ２３に送出される。さらに、冷却水の流れ
の変化、Ｘ線源１の電圧，電流の変化、真空容器２内の
圧力の変化などが生じるたびに、動作完了信号２７が装
置制御用コンピュータ２４に送出され、装置制御用コン
ピュータ２４から制御完了信号２８が操作用コンピュー
タ２３に送出される。制御完了信号２８を受けた操作用
コンピュータ２３から、そのつど画像変更手段２９に動
作完了または状態変化した後の状況を示す画像信号に切
り換える画像変更信号３０が送出され、画像変更手段２
９は切換え後の画像信号３２を表示器３１に送出する。
【００２１】このように、装置制御用コンピュータ２４
から動作完了または状態変化が操作用コンピュータ２３
に伝達され、その結果が表示器３１に表示されるので、
各部の実際の動作および状態を正確に把握できるととも
に、装置各部の異常を画面上でただちに視認できる。さ
らに、Ｘ線分析装置の各部が立体的画面で表示されるか
ら、各部の立体的な形状を把握できるので、保守・点検
の際に作業者が実際にＸ線分析装置の中身を見たとき
に、各部を正確に認識できる。また、形状のみで認知し
難い物品、たとえば試料ホルダ１３には、適当な表示を
付すことで複数の同一形状の各試料ホルダ１３の移動、
交換を認知することができる。
から動作完了または状態変化が操作用コンピュータ２３
に伝達され、その結果が表示器３１に表示されるので、
各部の実際の動作および状態を正確に把握できるととも
に、装置各部の異常を画面上でただちに視認できる。さ
らに、Ｘ線分析装置の各部が立体的画面で表示されるか
ら、各部の立体的な形状を把握できるので、保守・点検
の際に作業者が実際にＸ線分析装置の中身を見たとき
に、各部を正確に認識できる。また、形状のみで認知し
難い物品、たとえば試料ホルダ１３には、適当な表示を
付すことで複数の同一形状の各試料ホルダ１３の移動、
交換を認知することができる。
【００２２】さらに、Ｘ線源１の動作状態などの変化
は、画面内に設けた窓内に数値表示、またはグラフィッ
クスのインジケータなどで表示するのは従来例と同様で
ある。なお、前記実施形態では、動作完了もしくは状態
変化のたびに、それらが発生した部分の画像のみを変更
したが、画面全体を変更してもよい。
は、画面内に設けた窓内に数値表示、またはグラフィッ
クスのインジケータなどで表示するのは従来例と同様で
ある。なお、前記実施形態では、動作完了もしくは状態
変化のたびに、それらが発生した部分の画像のみを変更
したが、画面全体を変更してもよい。
【００２３】
【発明の効果】本発明の一構成によれば、Ｘ線分析装置
の各部を立体的画像で表示する表示器と、当該装置の可
動部の動作に合わせて前記画像を切り換える画像変更手
段とを備えたので、可動部の実際の状態を立体的画像で
容易に認知することができ、装置の正常・異常を、正確
に把握することができる。
の各部を立体的画像で表示する表示器と、当該装置の可
動部の動作に合わせて前記画像を切り換える画像変更手
段とを備えたので、可動部の実際の状態を立体的画像で
容易に認知することができ、装置の正常・異常を、正確
に把握することができる。
【００２４】本発明の他の構成によれば、Ｘ線分析装置
の各部の動作完了および状態変化のたびに、操作用コン
ピュータから装置制御用コンピュータに制御コマンドを
送出し、表示器の立体的画像を変更して表示するように
したので、立体的画像によって各部の状況を立体的な映
像として見ることができるため、各部の実際の状態を容
易に認知することができ、装置の正常・異常を、正確に
把握することができる。
の各部の動作完了および状態変化のたびに、操作用コン
ピュータから装置制御用コンピュータに制御コマンドを
送出し、表示器の立体的画像を変更して表示するように
したので、立体的画像によって各部の状況を立体的な映
像として見ることができるため、各部の実際の状態を容
易に認知することができ、装置の正常・異常を、正確に
把握することができる。
【図１】本発明の一実施形態に係るＸ線分析装置の内部
構造を示す側面図である。
構造を示す側面図である。
【図２】本実施形態の表示画面を示す図である。
【図３】本実施形態の表示画面を示す図である。
【図４】従来のＸ線分析装置の内部構造を示す側面図で
ある。
ある。
【図５】従来例の表示画面を示す図である。
１…Ｘ線源、２…真空容器、３…１次Ｘ線、４…フィル
タ、５…試料、６…蛍光Ｘ線、７…ダイアフラム、８…
アッテネータ、９Ａ，９Ｂ…ソーラスリット、１０…分
光結晶、１１…検出器、１１Ａ…シンチレーションカウ
ンタ、１１Ｂ…比例計数管、１２…信号処理回路、１３
…試料ホルダ、１４…予備真空室、１５…開閉蓋、１６
…ホルダ搬送部材、１７Ａ，１７Ｂ…ホルダ保持部材、
２０…分光器、２２…操作入力手段、２３…操作用コン
ピュータ、２４…装置制御用コンピュータ、２５…制御
コマンド、２６…制御信号、２７…動作完了信号、２８
…制御完了信号、２９…画像変更手段、３０…画像変更
信号、３１…表示器、３２…画像信号、３３，３３ａ，
３３ｂ…表示画像
タ、５…試料、６…蛍光Ｘ線、７…ダイアフラム、８…
アッテネータ、９Ａ，９Ｂ…ソーラスリット、１０…分
光結晶、１１…検出器、１１Ａ…シンチレーションカウ
ンタ、１１Ｂ…比例計数管、１２…信号処理回路、１３
…試料ホルダ、１４…予備真空室、１５…開閉蓋、１６
…ホルダ搬送部材、１７Ａ，１７Ｂ…ホルダ保持部材、
２０…分光器、２２…操作入力手段、２３…操作用コン
ピュータ、２４…装置制御用コンピュータ、２５…制御
コマンド、２６…制御信号、２７…動作完了信号、２８
…制御完了信号、２９…画像変更手段、３０…画像変更
信号、３１…表示器、３２…画像信号、３３，３３ａ，
３３ｂ…表示画像
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2G001 AA01 BA04 CA01 DA06 EA06 EA09 GA01 HA05 HA20 JA08 KA01 PA02 PA07 PA11 PA12 PA14 SA01 SA02
Claims (2)
- 【請求項１】 Ｘ線を試料に照射して試料の分析を行う
Ｘ線分析装置であって、 装置の各部を立体的画像で表示する表示器と、 装置の可動部の動作に合わせて前記表示器の画像の可動
部もしくは可動部に関連した部分を変更する画像変更手
段とを備えたグラフィック表示付きＸ線分析装置。 - 【請求項２】 Ｘ線を試料に照射して試料の分析を行う
Ｘ線分析装置であって、 装置の各部を立体的画像で表示する表示器と、 装置の各部を制御する装置制御用コンピュータと、オペ
レータの操作により前記装置制御用コンピュータを制御
する操作用コンピュータとを備え、 前記装置制御用コンピュータは各部の動作完了および状
態変化を前記操作用コンピュータに伝達する状態伝達手
段を有し、 さらに、動作完了または状態変化のたびに前記表示器の
画像の少なくとも動作完了および状態変化が発生した各
部もしくはこれに関連した部分を変更する画像変更手段
を備えたグラフィック表示付きＸ線分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11124693A JP2000275196A (ja) | 1999-03-27 | 1999-03-27 | グラフィック表示付きｘ線分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11124693A JP2000275196A (ja) | 1999-03-27 | 1999-03-27 | グラフィック表示付きｘ線分析装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000275196A true JP2000275196A (ja) | 2000-10-06 |
Family
ID=14891762
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11124693A Pending JP2000275196A (ja) | 1999-03-27 | 1999-03-27 | グラフィック表示付きｘ線分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000275196A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1895292A2 (en) * | 2006-08-29 | 2008-03-05 | Rigaku Corporation | X-ray analysis apparatus |
| CN103308539A (zh) * | 2012-03-12 | 2013-09-18 | 日本株式会社日立高新技术科学 | 荧光x射线分析装置和荧光x射线分析方法 |
| CN103728325A (zh) * | 2012-10-11 | 2014-04-16 | 株式会社理学 | X射线分析装置 |
-
1999
- 1999-03-27 JP JP11124693A patent/JP2000275196A/ja active Pending
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1895292A2 (en) * | 2006-08-29 | 2008-03-05 | Rigaku Corporation | X-ray analysis apparatus |
| JP2008057989A (ja) * | 2006-08-29 | 2008-03-13 | Rigaku Corp | Ｘ線分析装置 |
| EP1895292A3 (en) * | 2006-08-29 | 2010-08-18 | Rigaku Corporation | X-ray analysis apparatus |
| JP4658003B2 (ja) * | 2006-08-29 | 2011-03-23 | 株式会社リガク | Ｘ線分析装置 |
| CN101137265B (zh) * | 2006-08-29 | 2012-08-08 | 株式会社理学 | X射线分析装置 |
| CN103308539A (zh) * | 2012-03-12 | 2013-09-18 | 日本株式会社日立高新技术科学 | 荧光x射线分析装置和荧光x射线分析方法 |
| CN103308539B (zh) * | 2012-03-12 | 2017-04-12 | 日本株式会社日立高新技术科学 | 荧光x射线分析装置和荧光x射线分析方法 |
| CN103728325A (zh) * | 2012-10-11 | 2014-04-16 | 株式会社理学 | X射线分析装置 |
| GB2507856A (en) * | 2012-10-11 | 2014-05-14 | Rigaku Denki Co Ltd | X-ray analysis apparatus |
| US9618461B2 (en) | 2012-10-11 | 2017-04-11 | Rigaku Corporation | X-ray analysis apparatus |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP3029455B1 (en) | X-ray fluorescence analyzer | |
| US6292532B1 (en) | Fluorescent X-ray analyzer useable as wavelength dispersive type and energy dispersive type | |
| KR101752164B1 (ko) | 하전 입자선 장치 및 시료 화상 취득 방법 | |
| EP0099129A2 (en) | Filter testing apparatus | |
| EP3026429B1 (en) | X-ray fluorescence analyzer and x-ray fluorescence analyzing method | |
| Oji et al. | Automatic XAFS measurement system developed at BL14B2 in SPring-8 | |
| CN107957430B (zh) | X射线分析装置 | |
| JP2012173226A (ja) | 液面検知装置 | |
| JP2000275196A (ja) | グラフィック表示付きｘ線分析装置 | |
| US9618461B2 (en) | X-ray analysis apparatus | |
| CN110491755A (zh) | 阴极发光光学集线器 | |
| JP3600866B2 (ja) | 分析装置 | |
| KR20010088425A (ko) | 시료 표면의 관찰 기구를 갖는 ｘ-선 분석 장치 | |
| WO2012015053A1 (ja) | Ｘ線回折方法及びその装置 | |
| JPH06318446A (ja) | 分析方法および装置 | |
| US9268126B2 (en) | Observation and analysis unit | |
| WO2001040735A1 (fr) | Dispositif d'analyse/observation | |
| WO2020105718A1 (ja) | 単結晶ｘ線構造解析システム | |
| GB1568863A (en) | Measuring devices for x-ray fluorescence analysis | |
| EP0766083A2 (en) | X-ray fluorescence inspection apparatus and method | |
| CN113302484A (zh) | 单晶x射线构造解析装置用试样保持架单元 | |
| JP4041606B2 (ja) | Ｘ線分析装置 | |
| JP3521425B2 (ja) | Ｘ線分析装置 | |
| JP7323892B2 (ja) | 測定用気密ボックス、気密装置、測定システムおよび測定装置 | |
| JP2002098658A (ja) | 蛍光ｘ線分析装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 5 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071213 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081213 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081213 Year of fee payment: 6 |
|
| S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081213 Year of fee payment: 6 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 7 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091213 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 7 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091213 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101213 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 8 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101213 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111213 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111213 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121213 Year of fee payment: 10 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |