JP2008057989A - X線分析装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】X線分析装置の測定準備作業に関連して、選択画面において、複数の測定種別の中からオペレータが所望の測定種別を選択すると、その測定種別に応じて、取り付けるべき光学部品及び取り外すべき光学部品の情報が、図を伴って表示装置の画面に表示される。オペレータは、その作業指示を見て、X線分析装置の光学系から光学部品を取り外したり、光学部品を取り付けたりする作業を実行する。図を伴って表示する形態には、交換すべき光学部品16,18の光学系上の位置を図示することや、取り付け作業と取り外し作業の区別を絵記号69で表示することや、光学部品の識別マーク70,72を表示すること、が含まれる。
【選択図】図14
Description
12 試料台
14 X線検出器
16 CBO選択スリット
18 入射光学素子
20 入射平行スリット
22 長手制限スリット
24 CBOユニット
26 入射光学素子ベース
28 入射スリットボックス
30 フィルター
32 受光光学素子
34 受光平行スリット
36 カウンタモノクロメータ
38 モノクロメータスリット
40 受光スリットボックス
42 受光光学素子ベース
44 受光平行スリットアダプタ
46 カウンタアダプタ
54 入射平行スリットアダプタ
56 ソーラースリット
58 光センサ
62,64,66 標識部
70 識別マーク
76 装置本体
78 制御装置
80 表示装置
82 選択画面表示手段
84 測定種別取得手段
86 対応関係記憶手段
88 作業指示手段
Claims (4)
- 次のものを備えるX線分析装置。
(ア)試料のX線分析を実行する光学系を含む装置本体。
(イ)前記装置本体に関する情報を画面に表示する表示装置。
(ウ)複数の測定種別の中から所望の測定種別を選択できる選択画面を前記表示装置に表示させる選択画面表示手段。
(エ)前記選択画面でオペレータが選択した測定種別を取得する測定種別取得手段。
(オ)前記複数の測定種別について、測定種別とその測定種別で使用すべき光学部品との対応関係を記憶した対応関係記憶手段。
(カ)前記装置本体に取り付けられた光学部品の種別を識別して検出するセンサ。
(キ)前記測定種別取得手段で取得した測定種別について、前記対応関係記憶手段に記憶された前記対応関係に基づいて、その測定種別に対応する光学部品の種別を取得し、その取得した光学部品の種別と、前記センサによって検出された光学部品の種別とを比較して、不一致の光学部品について、前記装置本体に取り付けるべき光学部品及び前記装置本体から取り外すべき光学部品の少なくとも一方の情報を、図を用いて前記表示装置に表示させる作業指示手段。 - 請求項1に記載のX線分析装置において、前記作業指示手段は、取り付けるべき光学部品または取り外すべき光学部品の名称を前記表示装置に表示させるとともに、その光学部品の前記光学系上の位置を前記表示装置に図示させることを特徴とするX線分析装置。
- 請求項1または2に記載のX線分析装置において、前記作業指示手段は、光学部品の取り付け作業と取り外し作業を区別して絵画的に前記表示装置に図示させることを特徴とするX線分析装置。
- 請求項1から3までのいずれか1項に記載のX線分析装置において、このX線分析装置に使われる光学部品が複数の項目に分類されていて、同一の項目に属する複数の光学部品の間で光学部品の交換が行われ、各光学部品にはその項目を識別するための識別マークが付与され、前記作業指示手段は、前記装置本体に取り付けるべき光学部品または前記装置本体から取り外すべき光学部品を前記表示装置に表示させる際に、その光学部品に付与されている前記識別マークを表示させることを特徴とするX線分析装置。
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Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102879411A (zh) * | 2012-09-29 | 2013-01-16 | 国电科技环保集团股份有限公司 | 利用x射线衍射对晶体进行测试的方法 |
DE102012111504A1 (de) | 2011-11-29 | 2013-05-29 | Rigaku Corp. | Röntgenanalyseapparatur |
JP2013108940A (ja) * | 2011-11-24 | 2013-06-06 | Rigaku Corp | X線分析装置 |
JP2013137298A (ja) * | 2011-11-29 | 2013-07-11 | Rigaku Corp | X線分析装置 |
JP2013137297A (ja) * | 2011-11-29 | 2013-07-11 | Rigaku Corp | X線分析装置 |
JP2014035325A (ja) * | 2012-08-10 | 2014-02-24 | National Institute For Materials Science | X線撮像装置及びその使用方法、中性子撮像装置及びその使用方法 |
DE102013111144A1 (de) | 2012-10-11 | 2014-04-17 | Rigaku Corp. | Röntgenanalysevorrichtung |
JP2016038210A (ja) * | 2014-08-05 | 2016-03-22 | 日本電子株式会社 | 制御装置、及び制御方法 |
US9490038B2 (en) | 2013-04-17 | 2016-11-08 | Rigaku Corporation | X-ray optical component device and X-ray analyzer |
JP2017207372A (ja) * | 2016-05-18 | 2017-11-24 | 株式会社リガク | X線分析の操作ガイドシステム、操作ガイド方法、及び操作ガイドプログラム |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102008060070B4 (de) * | 2008-12-02 | 2010-10-14 | Bruker Axs Gmbh | Röntgenoptisches Element und Diffraktometer mit einer Sollerblende |
JP5598926B2 (ja) | 2011-09-26 | 2014-10-01 | 株式会社リガク | X線回折測定データの解析方法 |
US9269468B2 (en) | 2012-04-30 | 2016-02-23 | Jordan Valley Semiconductors Ltd. | X-ray beam conditioning |
JP2019191169A (ja) | 2018-04-23 | 2019-10-31 | ブルカー ジェイヴィ イスラエル リミテッドBruker Jv Israel Ltd. | 小角x線散乱測定用のx線源光学系 |
WO2020008420A2 (en) | 2018-07-05 | 2020-01-09 | Bruker Jv Israel Ltd. | Small-angle x-ray scatterometry |
US11781999B2 (en) | 2021-09-05 | 2023-10-10 | Bruker Technologies Ltd. | Spot-size control in reflection-based and scatterometry-based X-ray metrology systems |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0666737A (ja) * | 1992-08-20 | 1994-03-11 | Rigaku Corp | 1結晶法及び2結晶法兼用のexafs測定装置 |
JPH0674923A (ja) * | 1992-08-28 | 1994-03-18 | Shimadzu Corp | X線回折定性分析装置 |
JPH08101203A (ja) * | 1994-09-30 | 1996-04-16 | Shimadzu Corp | 分析装置 |
JP2000275196A (ja) * | 1999-03-27 | 2000-10-06 | Rigaku Industrial Co | グラフィック表示付きx線分析装置 |
JP2004130574A (ja) * | 2002-10-09 | 2004-04-30 | Hitachi Home & Life Solutions Inc | インクジェット記録装置 |
JP2005160935A (ja) * | 2003-12-05 | 2005-06-23 | Brother Ind Ltd | 縫製装置及び縫製装置の情報通信システム並びに縫製装置の制御プログラム |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2634149B2 (ja) | 1994-12-02 | 1997-07-23 | 技術研究組合医療福祉機器研究所 | 定位的放射線治療装置 |
JP2001108799A (ja) * | 1999-10-08 | 2001-04-20 | Nikon Corp | X線発生装置、x線露光装置及び半導体デバイスの製造方法 |
DE10108297B4 (de) * | 2001-02-21 | 2007-12-27 | Sirona Dental Systems Gmbh | Anordnung und Verfahren zur Bestimmung eines Sensorhalters für ein dentales Röntgengerät, sowie dentales Röntgengerät |
DE10216857A1 (de) * | 2002-04-16 | 2003-11-13 | Siemens Ag | Verfahren zur Steuerung einer Röntgeneinrichtung |
US7343001B2 (en) * | 2006-01-13 | 2008-03-11 | General Electric Company | Automatic detector selection by study type |
-
2006
- 2006-08-29 JP JP2006231728A patent/JP4658003B2/ja active Active
-
2007
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- 2007-08-27 CN CN2007101424985A patent/CN101137265B/zh active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0666737A (ja) * | 1992-08-20 | 1994-03-11 | Rigaku Corp | 1結晶法及び2結晶法兼用のexafs測定装置 |
JPH0674923A (ja) * | 1992-08-28 | 1994-03-18 | Shimadzu Corp | X線回折定性分析装置 |
JPH08101203A (ja) * | 1994-09-30 | 1996-04-16 | Shimadzu Corp | 分析装置 |
JP2000275196A (ja) * | 1999-03-27 | 2000-10-06 | Rigaku Industrial Co | グラフィック表示付きx線分析装置 |
JP2004130574A (ja) * | 2002-10-09 | 2004-04-30 | Hitachi Home & Life Solutions Inc | インクジェット記録装置 |
JP2005160935A (ja) * | 2003-12-05 | 2005-06-23 | Brother Ind Ltd | 縫製装置及び縫製装置の情報通信システム並びに縫製装置の制御プログラム |
Cited By (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013108940A (ja) * | 2011-11-24 | 2013-06-06 | Rigaku Corp | X線分析装置 |
US9128029B2 (en) | 2011-11-24 | 2015-09-08 | Rigaku Corporation | X-ray analysis apparatus |
US9218315B2 (en) | 2011-11-29 | 2015-12-22 | Rigaku Corporation | X-ray analysis apparatus |
JP2013137298A (ja) * | 2011-11-29 | 2013-07-11 | Rigaku Corp | X線分析装置 |
JP2013137297A (ja) * | 2011-11-29 | 2013-07-11 | Rigaku Corp | X線分析装置 |
DE102012111504A1 (de) | 2011-11-29 | 2013-05-29 | Rigaku Corp. | Röntgenanalyseapparatur |
JP2014035325A (ja) * | 2012-08-10 | 2014-02-24 | National Institute For Materials Science | X線撮像装置及びその使用方法、中性子撮像装置及びその使用方法 |
CN102879411A (zh) * | 2012-09-29 | 2013-01-16 | 国电科技环保集团股份有限公司 | 利用x射线衍射对晶体进行测试的方法 |
DE102013111144A1 (de) | 2012-10-11 | 2014-04-17 | Rigaku Corp. | Röntgenanalysevorrichtung |
JP2014077714A (ja) * | 2012-10-11 | 2014-05-01 | Rigaku Corp | X線分析装置 |
US9618461B2 (en) | 2012-10-11 | 2017-04-11 | Rigaku Corporation | X-ray analysis apparatus |
US9490038B2 (en) | 2013-04-17 | 2016-11-08 | Rigaku Corporation | X-ray optical component device and X-ray analyzer |
DE112013002039B4 (de) | 2013-04-17 | 2023-05-25 | Rigaku Corp. | Vorrichtung mit einer optischen Röntgenkomponente und Röntgenanalysator |
JP2016038210A (ja) * | 2014-08-05 | 2016-03-22 | 日本電子株式会社 | 制御装置、及び制御方法 |
JP2017207372A (ja) * | 2016-05-18 | 2017-11-24 | 株式会社リガク | X線分析の操作ガイドシステム、操作ガイド方法、及び操作ガイドプログラム |
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