DE102013111144A1

DE102013111144A1 - Röntgenanalysevorrichtung

Info

Publication number: DE102013111144A1
Application number: DE102013111144.0A
Authority: DE
Inventors: Tetsuya Ozawa; Kunio Nishi; Takao Ohara; Kenji WAKASAYA
Original assignee: Rigaku Denki Co Ltd; Rigaku Corp
Current assignee: Rigaku Denki Co Ltd; Rigaku Corp
Priority date: 2012-10-11
Filing date: 2013-10-09
Publication date: 2014-04-17
Also published as: JP2014077714A; US9618461B2; GB2507856A; US20140105368A1; CN103728325B; GB201316060D0; JP5807967B2; CN103728325A

Abstract

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Röntgenanalysevorrichtung zum Detektieren, mit Hilfe eines Röntgenstrahldetektors, von Röntgenstrahlen, die von einer Probe abgegeben werden, wenn die Probe mit Röntgenstrahlen bestrahlt wird, wobei die Röntgenanalysevorrichtung austauschbare Komponenten umfasst. Die Röntgenanalysevorrichtung umfasst Schilder, die an den austauschbaren Komponenten angebracht sind und Symbole umfassen, welche die Arten von austauschbaren Komponenten anzeigen, eine Kamera zum Fotografieren der austauschbaren Komponenten und der Schilder, und eine CPU und Bilderkennungssoftware zum Spezifizieren der Arten von austauschbaren Komponenten durch Berechnung auf der Grundlage der Symbole in den Schildern.

Description

HINTERGRUND DER ERFINDUNG
Gebiet der Erfindung
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Röntgenanalysevorrichtung zum Analysieren einer Probe mittels Röntgenstrahlen. Insbesondere betrifft die vorliegende Erfindung eine Röntgenanalysevorrichtung, die austauschbaren Komponenten umfasst.
Beschreibung des Standes der Technik
Eine Röntgenanalysevorrichtung weist für gewöhnlich austauschbare Komponenten auf. Zu Beispielen von austauschbaren Komponenten gehören Röntgenstrahlröhren, Röntgenstrahldetektoren, optische Röntgenkomponenten, Anbauteile (Zubehöreinrichtungen) und dergleichen. Zu Beispielen von optischen Röntgenkomponenten gehören ein Schlitz, ein Monochromator, ein Soller-Schlitz, ein Parallelschlitzkollimator (PSK), ein Filter, ein Parallelschlitzanalysator (PSA) und dergleichen. Zu Beispielen von Anbauteilen gehören ein Probenhalter, in den die Probe eingefüllt wird, eine Probenplatteneinheit, auf der der Probenhalter angeordnet wird, ein Probenwechsler (eine Probenaustauschvorrichtung) und verschiedene sonstige Zubehörvorrichtungen.
Im Stand der Technik sind Röntgenanalysevorrichtungen bekannt, in denen ein Magnetsensor verwendet wird, um die Art der Röntgenstrahlröhre als eine austauschbare Komponente zu identifizieren (siehe zum Beispiel Patentzitierung 1). Außerdem sind Röntgenanalysevorrichtungen bekannt, in denen die Art eines Schlitzes, Monochromators, Filters oder sonstiger derartiger austauschbarer Komponenten mit Hilfe eines Fotosensors, eines Mikroschalters oder dergleichen identifiziert wird (siehe zum Beispiel Patentzitierung 2).
(Dokumente des Standes der Technik)

(Patentzitierung 1): japanische Gebrauchsmusteranmeldungs-Offenlegungsschrift Nr. H2-069750 (Patentzitierung 2): japanische Patentanmeldungs-Offenlegungsschrift 2008-057989

Jedoch ist in einem herkömmlichen Verfahren zum Erkennen von Komponenten unter Verwendung eines Sensors, eines Mikroschalters oder dergleichen die Anzahl der Indikatoren zum Abfühlen begrenzt. Zum Beispiel war es möglich, nur IDs (Identifikations-Codes) von maximal 5 Bits (32 Arten) zu erstellen. Daher bestand ein Problem darin, dass IDs zur Identifikation keinen Komponenten zugeordnet wurden, welche die begrenzte Anzahl überstiegen.
In einem herkömmliche Verfahren zum Erkennen von Komponenten unter Verwendung eines Sensors, eines Mikroschalters oder dergleichen muss eine zu inspizierende Komponente mit einer Leiterplatte über eine Kommunikationsleitung verbunden werden. Daher ist die Position, wo die Komponente montiert ist (d. h. die Position der Komponente), auf eine bestimmte Position beschränkt, und es war bisher nicht möglich, Montagepositionen hinzuzufügen.
Obgleich es möglich war, die Art einer Komponente in einem herkömmlichen Verfahren zum Erkennen von Komponenten unter Verwendung eines Sensors, eines Mikroschalters oder dergleichen zu identifizieren, ist es nicht möglich gewesen, die Montageposition der Komponente zu erkennen. Es ist außerdem nicht möglich gewesen, Montagerichtungen zu erkennen, d. h. ob die Komponente in einer Längsrichtung oder in einer Querrichtung montiert ist.
Kurzdarstellung der Erfindung
Die vorliegende Erfindung basiert auf der Erkenntnis der oben beschriebenen Probleme, und es ist eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Röntgenanalysevorrichtung bereitzustellen, mit der die Zahl der erkennbaren Arten von Komponenten erhöht werden kann, mit der Komponenten, die an neuen Montagepositionen montiert werden, zusätzlich erkannt werden können, und mit der die Montagepositionen und Montagerichtungen der Komponenten erkannt werden können.
Die erste Röntgenanalysevorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung ist eine Röntgenanalysevorrichtung zum Detektieren, mit Hilfe eines Röntgenstrahldetektors, von Röntgenstrahlen, die von einer Probe abgegeben werden, wenn die Probe mit Röntgenstrahlen bestrahlt wird, wobei die Röntgenanalysevorrichtung eine austauschbare Komponente umfasst, und wobei die Röntgenanalysevorrichtung außerdem Folgendes umfasst: einen Indikator, der an der austauschbaren Komponente angeordnet ist, eine Kamera zum Fotografieren der austauschbaren Komponente und des Indikators, und ein Komponentenart-Berechnungsmittel zum Spezifizieren der Artbezeichnungen der austauschbaren Komponente durch Berechnung auf der Grundlage eines Bildes des Indikators. Das Komponentenart-Berechnungsmittel kann zum Beispiel unter Verwendung einer Kombination einer CPU und einer Bilderkennungs-Anwendungssoftware realisiert werden.
Bei der ersten Röntgenanalysevorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung ist es nicht so, dass die Arten von Komponenten unter Verwendung eines Fotosensors oder dergleichen zum Übertragen von Signalen über eine Kommunikationsleitung klassifiziert werden; stattdessen ist es so, dass die Arten von optischen Komponenten oder dergleichen durch Analysieren der Bilder erkannt werden, die mittels der Kamera erhalten werden, welche die Indikatoren fotografiert, die zu den optischen Komponenten oder Anbauteilen hinzugefügt werden. Daher können mehr Arten von Komponenten erkannt werden, indem die Indikatoren korrekt ermittelt werden.
Da keine Sensoren und Kommunikationskabel verwendet werden, können nicht nur spezielle Positionen erkannt werden, die durch die Kommunikationskabel festgelegt sind, sondern Komponenten, die an neuen Montagepositionen montiert sind, können ebenfalls einfach erkannt werden.
Ein herkömmliches Erkennungsverfahren erfordert Fotosensoren und Kommunikationskabel, aber in der vorliegenden Ausführungsform werden Sensoren und Kommunikationskabel, die sich von den Sensoren erstrecken, nicht benötigt, da die von der Kamera aufgenommenen Bilder gelesen werden und die Informationen in Daten umgewandelt werden. Daher können die Komponentenkosten gesenkt werden.
In einer herkömmlichen Röntgenanalysevorrichtung ist ein aus Bleiglas bestehendes Beobachtungsfenster an einer zweckmäßigen Position in einer Öffnungs- und Schließtür angeordnet, damit die Betriebsbedingungen des Systems überprüft werden können, aber bei der Röntgenanalysevorrichtung der vorliegenden Erfindung wird ein solches Fensters nicht benötigt, und die Kosten können gesenkt werden, da das System durch eine Kamera fotografiert wird.
Die zweite Röntgenanalysevorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung ist eine Röntgenanalysevorrichtung zum Detektieren, mit Hilfe eines Röntgenstrahldetektors, von Röntgenstrahlen, die von einer Probe abgegeben werden, wenn die Probe mit Röntgenstrahlen bestrahlt wird, wobei die Röntgenanalysevorrichtung eine austauschbare Komponente umfasst, und wobei die Röntgenanalysevorrichtung außerdem Folgendes umfasst: einen Indikator, der an der austauschbaren Komponente angeordnet ist, eine Kamera zum Fotografieren der austauschbaren Komponente und des Indikators, und ein Komponentenpositions-Berechnungsmittel zum Spezifizieren der Position, wo die austauschbare Komponente montiert ist, durch Berechnung auf der Grundlage eines Bildes des Indikators, das von der Kamera aufgenommen wurde. Das Komponentenpositions-Berechnungsmittel kann zum Beispiel unter Verwendung einer Kombination einer CPU und einer Bilderkennungs-Anwendungssoftware realisiert werden.
Mit der zweiten Röntgenanalysevorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung können die Positionen der austauschbaren Komponenten, zum Beispiel von optischen Komponenten und Anbauteilen, außerdem erkannt werden, indem Informationen über die Positionen, wo die austauschbaren Komponenten montiert werden sollen, in die Indikatoren eingebunden werden.
In einer herkömmlichen Röntgenanalysevorrichtung ist ein aus Bleiglas bestehendes Beobachtungsfenster an einer zweckmäßigen Position in einer Öffnungs- und Schließtür angeordnet, damit die Betriebsbedingungen des Systems überprüft werden können, aber bei der Röntgenanalysevorrichtung der vorliegenden Erfindung wird ein solches Fensters nicht benötigt, und die Kosten können gesenkt werden, da das System durch eine Kamera fotografiert wird.
Bei der Röntgenanalysevorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung können die Indikatoren eines von Folgendem sein: (1) ein Symbol, das den Schildern hinzugefügt wird, die an der austauschbaren Komponente angebracht sind, (2) die Form der austauschbaren Komponente, (3) eine Farbe, die der austauschbaren Komponente hinzugefügt wird, (4) die Farbe des Schildes, das an der austauschbaren Komponente angebracht ist, (5) ein Symbol, das direkt auf die austauschbare Komponente geschrieben ist, oder (6) ein Symbol, das direkt auf die austauschbare Komponente eingraviert ist.
„Schilder“ meint generische Hinweise, wie zum Beispiel Aufkleber, die auf die Komponenten geklebt werden, Anhängeschildchen, die an die Komponenten gehängt werden, Druckschriften, die den Komponenten hinzugefügt werden, usw. Die Schilder zeigen die erforderlichen Indikatoren. Es gibt verschiedene Verfahren zum Anbringen der Schilder an den Komponenten, wie zum Beispiel Aufkleben, Anheften, direktes Drucken auf die Komponenten, direktes Einbrennen in die Komponenten und dergleichen.
Bei der Röntgenanalysevorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung kann die austauschbare Komponente zum Beispiel eine optische Röntgenkomponente oder ein Anbauteil sein. Die optische Röntgenkomponente kann ein Schlitz, ein Monochromator oder dergleichen sein. Das Anbauteil kann ein Probenhalter oder dergleichen sein.
Die Röntgenanalysevorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung kann des Weiteren ein Muster, in dem zwei zueinander orthogonale Richtungen klassifiziert werden können, und ein Komponentenrichtungs-Berechnungsmittel zum Spezifizieren der Richtungen der austauschbaren Komponente durch Berechnung auf der Grundlage des Musters umfassen. Das Komponentenrichtungs-Berechnungsmittel kann zum Beispiel unter Verwendung einer Kombination einer CPU und einer Bilderkennungs-Anwendungssoftware realisiert werden.
Bei der Röntgenanalysevorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung kann das Muster, in dem zwei zueinander orthogonale Richtungen klassifiziert werden können, die Form eines rechteckigen Rahmens sein.
Die Röntgenanalysevorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung kann ein Komponentenentfernungs-Berechnungsmittel zum Berechnen der Entfernung von einem Referenzpunkt in dem aufgenommenen Bild der Kamera zu einem spezifischen Punkt der austauschbaren Komponente umfassen. Das Komponentenentfernungs-Berechnungsmittel kann zum Beispiel unter Verwendung einer Kombination einer CPU und einer Bilderkennungs-Anwendungssoftware realisiert werden.
Der zuvor beschriebene „Referenzpunkt in dem aufgenommenen Bild der Kamera“ kann jeder gewünschte Punkt in dem aufgenommenen Bild sein. Zum Beispiel kann der Referenzpunkt eine Probenmitte sein, welche die Mitte des Bereichs ist, der den Röntgenstrahlen in der Probe ausgesetzt ist, oder ein spezifischer Punkt auf einer Z-Stufe, die eine Befestigung zum Justieren der Aufwärts-Abwärts-Position der Probe ist. Wenn der Referenzpunkt ein spezifischer Punkt auf der Z-Stufe ist, so kann ein Schild an die gewünschte Position auf der Z-Stufe geklebt werden, und ein spezifischer Punkt, der auf dem Schild festgelegt wird, kann der spezifische Punkt der Z-Stufe sein.
Bei der Röntgenanalysevorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung kann ein rechteckiger Rahmen zu der austauschbaren Komponente hinzugefügt werden, und der spezifische Punkt an der austauschbaren Komponente kann ein Schnittpunkt der Diagonalen des rechteckigen Rahmens sein. Mit dieser Konfiguration können die spezifischen Punkte der austauschbaren Komponenten einfach spezifiziert werden. Das Verfahren zum Feststellen der bestimmten Punkte kann ein Verfahren zum Verwenden des Schnittpunkts der Diagonalen oder ein sonstiges gewünschtes Bestimmungsverfahren sein. Zum Beispiel kann eine Ecke des rechteckigen Rahmens als der spezifische Punkt verwendet werden, oder die spezifischen Punkte können anhand von anderen Formen als einem Rechteck bestimmt werden.
Bei der Röntgenanalysevorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung kann die austauschbare Komponente einen Indikator mit einer linearen Länge oder einen Indikator mit einer planaren Breite aufweisen. Die Röntgenanalysevorrichtung kann ein Komponenten-Z-Positions-Berechnungsmittel zum Berechnen einer Änderung der Länge eines Indikators mit einer linearen Länge oder einer Änderung der Fläche eines Indikators mit einer planaren Breite und zum Finden einer Änderung der Vorwärts-Rückwärts-Position der austauschbaren Komponente relativ zu der Kamera durch eine Berechnung auf der Grundlage der Änderung der Länge oder der Änderung der Fläche aufweisen. Das Komponenten-Z-Positions-Berechnungsmittel kann zum Beispiel unter Verwendung einer Kombination einer CPU und einer Bilderkennungs-Anwendungssoftware realisiert werden.
Als nächstes ist die Röntgenanalysevorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung dadurch gekennzeichnet, dass sie Folgendes aufweist: ein Berechnungsmittel zum Feststellen, ob die austauschbare Komponente auf den ordnungsgemäßen Zustand eingestellt wurde oder nicht, anhand des Berechnungsergebnisses von mindestens einem des oben beschriebenen Komponentenart-Berechnungsmittels, Komponentenpositions-Berechnungsmittels, Komponentenrichtungs-Berechnungsmittels, Komponentenentfernungs-Berechnungsmittels und Komponenten-Z-Positions-Berechnungsmittels.
(Auswirkungen der Erfindung)
Bei der ersten Röntgenanalysevorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung ist es nicht so, dass die Arten von Komponenten unter Verwendung eines Fotosensors oder dergleichen zum Übertragen von Signalen über eine Kommunikationsleitung klassifiziert werden; stattdessen ist es so, dass die Arten von optischen Komponenten oder dergleichen durch Analysieren der Bilder erkannt werden, die mittels der Kamera erhalten werden, welche die Indikatoren fotografiert, die zu den optischen Komponenten oder Anbauteilen hinzugefügt werden. Daher können mehr Arten von Komponenten erkannt werden, indem die Indikatoren korrekt ermittelt werden. Da keine Sensoren und Kommunikationskabel, die sich von den Sensoren erstrecken, verwendet werden, können nicht nur spezielle Positionen erkannt werden, die durch die Kommunikationskabel festgelegt sind, sondern Komponenten, die an neuen Montagepositionen montiert sind, können ebenfalls einfach erkannt werden.
Ein herkömmliches Erkennungsverfahren erfordert Fotosensoren und Kommunikationskabel, aber mit der vorliegenden Erfindung werden Sensoren und Kommunikationskabel, die sich von den Sensoren erstrecken, nicht benötigt, da die von der Kamera aufgenommenen Bilder gelesen werden und die Informationen in Daten umgewandelt werden. Daher können die Komponentenkosten gesenkt werden.
In einer herkömmlichen Röntgenanalysevorrichtung ist ein aus Bleiglas bestehendes Beobachtungsfenster an einer zweckmäßigen Position in einer Öffnungs- und Schließtür angeordnet, damit die Betriebsbedingungen des Systems überprüft werden können, aber bei der Röntgenanalysevorrichtung der vorliegenden Erfindung wird ein solches Fensters nicht benötigt, und die Kosten können gesenkt werden, da das System durch eine Kamera fotografiert wird.
Mit der zweiten Röntgenanalysevorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung können die Positionen der austauschbaren Komponenten, zum Beispiel von optischen Komponenten und Anbauteilen, außerdem erkannt werden, indem Informationen über die Positionen, wo die austauschbaren Komponenten montiert werden sollen, in die Indikatoren eingebunden werden. In einer herkömmlichen Röntgenanalysevorrichtung ist ein aus Bleiglas bestehendes Beobachtungsfenster an einer zweckmäßigen Position in einer Öffnungs- und Schließtür angeordnet, damit die Betriebsbedingungen des Systems überprüft werden können, aber bei der Röntgenanalysevorrichtung der vorliegenden Erfindung wird ein solches Fensters nicht benötigt, und die Kosten können gesenkt werden, da das System durch eine Kamera fotografiert wird.
KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
1 ist ein Schaubild, das die mechanische und elektrische Konfiguration einer Ausführungsform einer Röntgenanalysevorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung zeigt;
2A ist eine Zeichnung, die den geschlossenen Zustand der Türen der Umfassung zeigt, die das Röntgenmesssystem umschließt, das ein mechanisches Konfigurationselement der Röntgenanalysevorrichtung von 1 ist;
2B ist eine Zeichnung, die den geöffneten Zustand der Türen zeigt;
3 ist eine Zeichnung, die ein Messbetriebssystem zeigt, das ein mechanisches Konfigurationselement der Röntgenanalysevorrichtung von 1 ist;
4 ist eine Grundrissansicht des Messbetriebssystems von 3;
5A ist ein Schaubild, das ein Beispiel eines Schildes als eine wichtige Komponente der Röntgenanalysevorrichtung der vorliegenden Erfindung zeigt;
5B ist ein Schaubild, das ein weiteres Beispiel eines Schildes zeigt;
5C ist ein Schaubild, das ein Beispiel von Symbolen zeigt, die an dem Schild angebracht sind;
6 ist ein Ablaufschaubild, das einen Teil der Funktionsweise der Röntgenanalysevorrichtung von 1 zeigt;
7A ist eine Zeichnung, die ein Beispiel eines Schildes (ein in Längsrichtung langes Schild) als eine Hauptkomponente der Röntgenanalysevorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung zeigt;
7B ist eine Zeichnung, die ein Beispiel eines Schildes (ein in Querrichtung langes Schild) als eine Hauptkomponente der Röntgenanalysevorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung zeigt;
8A ist eine Zeichnung, die eine Modifizierung der Röntgenanalysevorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung zeigt;
8B ist eine Zeichnung, die eine weitere Modifizierung der Röntgenanalysevorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung zeigt; und
9 ist eine Zeichnung, die das Messbetriebssystem als einen Hauptteil einer weiteren Ausführungsform der Röntgenanalysevorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung zeigt.
BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORMEN
(Erste Ausführungsform der Röntgenanalysevorrichtung)
Die Röntgenanalysevorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung wird nun im Folgenden anhand der Ausführungsformen beschrieben. Es ist anzumerken, dass die vorliegende Erfindung nicht auf die folgende Ausführungsform beschränkt ist. In den Zeichnungen, die der Beschreibung beiliegen, können die Konfigurationselemente mit verschiedenen Verhältnissen als das tatsächliche Element veranschaulicht sein, um das Verständnis von kennzeichnenden Abschnitten zu erleichtern.
1 zeigt eine Ausführungsform einer Röntgenanalysevorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung. In 1 weist eine Röntgenanalysevorrichtung 1 der vorliegenden Ausführungsform ein Röntgenmesssystem 2, eine Steuervorrichtung 3, eine Anzeigevorrichtung 4 und eine Eingabevorrichtung 5 auf. In dem Röntgenmesssystem 2 werden, wenn eine Probe mit Röntgenstrahlen bestrahlt wird, die Röntgenstrahlen, die aus der Probe austreten, zum Beispiel gebeugte Röntgenstrahlen, durch einen Röntgenstrahldetektor detektiert.
Die Steuervorrichtung 3 ist eine Vorrichtung zum Steuern der Aktionen des Röntgenmesssystems 2 und zum Verarbeiten der durch das Röntgenmesssystem 2 erhaltenen Messdaten. Die Anzeigevorrichtung 4 ist eine Vorrichtung zum Anzeigen verschiedener Daten als Bilder auf einem Bildschirm, zum Beispiel einem Flachbildschirm, der als eine Flüssigkristall-Anzeigevorrichtung bekannt ist, oder dergleichen. Die Eingabevorrichtung 5 ist eine Vorrichtung, die verwendet wird, wenn ein Bediener Daten in die Steuervorrichtung 3 eingibt, und ist zum Beispiel eine Tastatur, eine Maus oder dergleichen.
In der vorliegenden Ausführungsform wird die Steuervorrichtung 3 durch ein Computersystem konfiguriert, in dem eine zentrale Verarbeitungseinheit (Central Processing Unit, CPU) 8, ein Nurlesespeicher (Read-Only Memory, ROM) 9, ein Direktzugriffsspeicher (Random Access Memory, RAM) 10 und ein Speicher 11 mit einem Bus 12 verbunden sind. Die Anzeigevorrichtung 4 und die Eingabevorrichtung 5 sind mit der CPU 8 über eine geeignete Schnittstelle verbunden.
(Röntgenmesssystem)
Das Röntgenmesssystem 2 weist ein Röntgenstrahlabschirmungsgehäuse 14, das Röntgenstrahlen blockieren kann, ein Messbetriebssystem 15, das im Inneren des Abschirmungsgehäuses 14 installiert ist, eine Kamera 16, die in einer Position nahe der Decke des Abschirmungsgehäuses 14 installiert ist, und eine Beleuchtungsvorrichtung, zum Beispiel eine Leuchtdioden-(LED)-Beleuchtungsvorrichtung 17, die an der Decke des Abschirmungsgehäuses 14 angeordnet ist, auf. Die Kamera 16 ist eine Kamera mit einer Funktion zum Spezifizieren von Positionen in einem aufgenommenen Bild als Koordinatenwerte unter zweidimensionalen Koordinaten. Eine solche Kamera kann unter Verwendung einer typischen Charge-Coupled-Device-(CCD)-Kamera, einer sogenannten WEB-Kamera oder dergleichen konfiguriert werden.
Während einer Messung ist die nach vorn offene Fläche des Röntgenstrahl-Abschirmungsgehäuses 14 durch eine mittlere Tür 20a und eine linke und eine rechte Tür 20b, 20c geschlossen, wie in 2A gezeigt. Wenn ein Bediener eine Operation ausführt, die für das Messbetriebssystem 15 erforderlich ist, so werden die mittlere Tür 20a und die linke und die rechte Tür 20b, 20c nach links und nach rechts geschoben, und die nach vorn offene Fläche des Röntgenstrahl-Abschirmungsgehäuses 14 wird weit zur Außenseite hin geöffnet. Ein Kombination des Gehäuses 14 und der Türen 20a, 20b, 20c bildet eine Abdeckung zum Umschließen des Messbetriebssystems 15.
Das Messbetriebssystem 15 hat ein Goniometer 25 mit einem Einfallsarm 23 und einem Empfangsarm 24, wie in den 3 und 4 gezeigt. Eine Z-Achsen-Stufe 22 ist an dem Mittelabschnitt des Goniometers 25 montiert. Eine Probenstufe 21 ist an der Z-Achsen-Stufe 22 montiert. Eine Probenplatte 26 ist an dieser Probenstufe 21 montiert. Eine Probe 28 als der Messgegenstand wird in einen Probenhalter 27 eingefüllt. Dieser Probenhalter 27 wird auf der Probenplatte 26 angeordnet. Die Z-Achsen-Stufe 22, die Probenstufe 21, die Probenplatte 26 und der Probenhalter 27 bilden jeweils ein Anbauteil.
Eine vertikale Antriebsvorrichtung 29 (siehe 4) ist an der Z-Achsen-Stufe 22 angebracht. Die Z-Achsen-Stufe 22 wird durch die vertikale Antriebsvorrichtung 29 vertikal bewegt (wie durch den Pfeil C in 3 gezeigt, die Richtung senkrecht zur Bildebene in 4), wodurch die vertikale Position der Probe 28 justiert werden kann. Oder anders ausgedrückt: die Z-Achsen-Stufe 22 fungiert als eine Vorrichtung zum Verstellen der Vertikalposition von Proben zur Vornahme von Justierungen der vertikalen Position der Probe 28.
In der vorliegenden Ausführungsform sind die Z-Achsen-Stufe 22, die Probenstufe 21, die Probenplatte 26 und der Probenhalter 27 beispielhaft als Anbauteile gezeigt. Jedoch gibt es noch weitere Anbauteile außer diesen. Weitere Beispiele von Anbauteilen sind ein Probenwechsler, eine Probenoszillationsmechanismus und dergleichen.
Ein θ-Rotationssystem 31 ist mit dem Einfallsarm 23 verbunden. Ein 2θ-Rotationssystem 32 ist mit dem Empfangsarm 24 verbunden. Der Einfallsarm 23 wird durch das θ-Rotationssystem 31 angetrieben, um eine Rotationsbewegung um eine Probenmittelachse X0 zu vollführen, die eine horizontale Linie ist, die durch die Oberfläche der Probe 28 verläuft, wie durch den Pfeil A-A gezeigt. Der Empfangsarm 24 wird durch das 2θ-Rotationssystem 32 angetrieben, um eine Rotationsbewegung um die Probenmittelachse X0 zu vollführen, wie durch den Pfeil B-B gezeigt.
Das θ-Rotationssystem 31 und das 2θ-Rotationssystem 32 können durch Rotationsantriebsstrukturen mit jeder gewünschten Struktur konfiguriert werden. Die vorliegende Ausführungsform verwendet ein Rotationssystem, wobei ein Motor, dessen Drehwinkel gesteuert werden kann, zum Beispiel ein Servomotor, ein Impulsmotor oder dergleichen, als die Kraftquelle verwendet wird und die Kraft über ein Kraftübertragungssystem, das aus einer Schnecke und einem Schneckenrad besteht, zu den Armen übertragen wird.
(Optisches Einfallssystem)
Der Einfallsarm 23 stützt ein optisches Einfallssystem 33. Das optische Einfallssystem 33 hat eine Röntgenstrahlröhre 34, eine Kreuzstrahloptik(Cross Beam Optics, CBO)-Einheit 35, ein einfallsseitiges erstes optisches Element 36 und einen Einfallsschlitzkasten 37. Im Inneren der Röntgenstrahlröhre 34 befindet sich ein Röntgenstrahlbrennpunkt F als eine Röntgenstrahlquelle.
(CBO-Einheit)
Die CBO-Einheit 35 ist eine Einheit zum Bilden von Röntgenstrahlen einer Stärke und Querschnittsform entsprechend jeweiligen Messungsklassifikationen (zum Beispiel Pulvermessung, Kleinwinkel-Streuungsmessung, mikroskopische Messung, Ebenenmessung und dergleichen). Die CBO-Einheit 35 hat einen Mehrschichtspiegel in ihrem Inneren. Ein Motor zum Justieren der Position des Mehrschichtspiegels ist im Inneren der CBO-Einheit 35 aufgenommen. Ein Treiber zum Steuern der Drehung der Abtriebswelle des Motors ist im Inneren einer Schnittstellenplatine 47 aufgenommen. Der Motor und der Treiber in der Platine 47 sind über ein Kommunikationskabel 48 verbunden, das eine Kommunikationsleitung ist.
Die CBO-Einheit 35 hat ein Schlitzeinschubloch 40. Ein Auswahlschlitz 41 kann in dieses Schlitzeinschubloch 40 eingeschoben werden. Der eingeschobene Auswahlschlitz 41 ist auf der Röntgenstrahl-Ausgangsseite des Mehrschichtspiegels angeordnet.
Die folgenden vier Arten von Schlitzen sind mögliche Beispiele von Komponenten, die der Auswahlschlitz 41 sein kann.

(1) Auswahlschlitz BB
(2) Auswahlschlitz PB
(3) Auswahlschlitz SA
(4) Auswahlschlitz MA

„BB“ ist ein Schlitz für ein Fokussierverfahren, „PB“ ist ein Schlitz für ein Parallelstrahlverfahren, „SA“ ist ein Schlitz für eine Kleinwinkel-Streuungsmessung, und „MA“ ist ein Schlitz für eine mikroskopische Messung. Der Auswahlschlitz SA kann durch Reduzieren der Breite des Auswahlschlitzes PB erhalten werden. Der Auswahlschlitz MA kann durch Reduzieren der Länge des Auswahlschlitzes PB erhalten werden. Ein Hohlblock wird zuweilen an der Stelle, wo sich die CBO-Einheit 35 befindet, anstelle der CBO-Einheit 35 angeordnet. Ein solcher Hohlblock wird mitunter als ein Einfallspfad bezeichnet.
(Einfallsseitiges erstes optisches Element)
Das einfallsseitige erste optische Element 36 ist abnehmbar auf einer Elementbasis 42 montiert. Die folgenden Beispiele von optischen Röntgenelementen sind als das einfallsseitige erste optische Element 36 anwendbar:

(1) Zweikristall-Monochromator Ge (220) × 2
(2) Zweikristall-Monochromator Ge (400) × 2
(3) Vierkristall-Monochromator Ge (220) × 4
(4) Vierkristall-Monochromator Ge (400) × 4
(5) Soller-Schlitz Offen
(6) Soller-Schlitz 5 Grad
(7) Soller-Schlitz 2,5 Grad
(8) In der Ebene liegender Parallelschlitzkollimator (PSK) 1,0 Grad
(9) In der Ebene liegender PSK 0,5 Grad
(10) In der Ebene liegender PSK 0,15 Grad

Ein Monochromator ist direkt auf der Elementbasis 42 montiert. Ein Soller-Schlitz und ein in der Ebene liegender PSK sind auf dem Monochromator montiert, der auf der Elementbasis 42 montiert ist, oder sind auf der Elementbasis 42 über einen exklusiven Einfallsparallelschlitz(Incident Parallel Slit, IPS)-Adapter montiert.
In einigen Fällen befinden sich kein Monochromator, Soller-Schlitz oder PSK an der Position, wo das einfallsseitige erste optische Element 36 montiert ist. Es gibt außerdem Fälle, in denen kein IPS-Adapter montiert ist.
(Einfallsschlitzkasten)
Der Einfallsschlitzkasten 37 weist ein Schlitzeinschubloch 43 auf. Ein Längenbeschränkungsschlitz 44 kann in das Schlitzeinschubloch 43 eingeschoben werden. Die folgenden Schlitze sind mögliche Beispiele von Komponenten, die der Längenbeschränkungsschlitz 44 sein können.

(1) Längenbeschränkungsschlitz 0,5 mm
(2) Längenbeschränkungsschlitz 2 mm
(3) Längenbeschränkungsschlitz 5 mm
(4) Längenbeschränkungsschlitz 10 mm
(5) Längenbeschränkungsschlitz 15 mm

Ein Motor zum Öffnen und Schließen des Schlitzes ist im Inneren des Einfallsschlitzkastens 37 aufgenommen. Ein Treiber zum Steuern der Drehung der Abtriebswelle des Motors ist in der Schnittstellenplatine 47 aufgenommen. Der oben beschriebene Motor und der Treiber im Inneren der Platine 47 sind über das Kommunikationskabel 48 verbunden, das eine Kommunikationsleitung ist.
Bei der in Patentzitierung 2 ( JP A 2008-057989 ) offenbarten Röntgenanalysevorrichtung wird ein Verfahren zum Abfühlen von Indikatoren durch einen Fotosensor verwendet, um die Artbezeichnung des ersten optischen Elements 36 abzufühlen, das auf der Elementbasis 42 in 3 der vorliegenden Anmeldung montiert ist. Daher ist es erforderlich gewesen, die Elementbasis 42 und die Platine 47 über ein Kommunikationskabel zu verbinden und die Ausgangssignale des Fotosensors auf der Elementbasis 42 über das Kommunikationskabel und die Platine 47 nach draußen auszugeben.
In der vorliegenden Ausführungsform werden die Artbezeichnung des einfallsseitigen ersten optischen Elements 36 und die Position, wo das einfallsseitige erste optische Element 36 zu montieren ist, durch ein Erkennungsverfahren unter Verwendung einer Kamera erkannt, wie im Folgenden beschrieben wird; daher besteht keine Notwendigkeit, einen Fotosensor oder dergleichen als ein Abfühlelement auf der Elementbasis 42 zu verwenden, und es besteht daher keine Notwendigkeit, die Elementbasis 42 und die Platine 47 über das Kommunikationskabel 48 zu verbinden.
(Optisches Empfangssystem)
In 3 stützt der Empfangsarm 24 ein optisches Empfangssystem 51. Das optische Empfangssystem 51 weist einen ersten Empfangsschlitzkasten 52, ein empfangsseitiges zweites optisches Element 53, ein empfangsseitiges drittes optisches Element 54, einen zweiten Empfangsschlitzkasten 55, einen Dämpfungskasten 56 und einen Röntgenstrahldetektor 57 auf.
(Erster Empfangsschlitzkasten)
Der erste Empfangsschlitzkasten 52 umfasst einen Empfangsschlitz und einen Motor zum Öffnen und Schließen des Schlitzes. Der erste Empfangsschlitzkasten 52 hat außerdem ein Schlitzeinschubloch 60. Ein Kβ-Filter 61 kann in dieses Schlitzeinschubloch 60 eingeschoben werden.
(Empfangsseitiges zweites optisches Element)
Das empfangsseitige zweite optische Element 53 ist abnehmbar auf einem ROD-Adapter (Receiving Optical Element Adapter) 62 montiert. Die folgenden optischen Röntgenelemente sind anwendbare Beispiele des empfangsseitigen zweiten optischen Elements 53.

(1) Parallelschlitzanalysator (PSA) Offen
(2) PSA 1,0 Grad
(3) PSA 0,5 Grad
(4) PSA 0,114 Grad
(5) PSA 0,05 Grad
(6) Vakuumpfad

Mitunter lässt man einen Zwischenraum offen, wenn der PSA nicht auf dem ROD-Adapter 62 montiert ist.
(Empfangsseitiges drittes optisches Element 54)
Das empfangsseitige dritte optische Element 54 ist abnehmbar auf einem Empfangsparallelschlitz-Adapter (RPS-Adapter) 63 montiert. Die folgenden optischen Röntgenelemente sind anwendbare Beispiele des empfangsseitigen dritten optischen Elements 54.

(1) Soller-Schlitz 5 Grad
(2) Soller-Schlitz 2,5 Grad
(3) In der Ebene liegender Parallelschlitzanalysator (PSA) 1,0 Grad
(4) In der Ebene liegender PSA 0,5 Grad
(5) In der Ebene liegender PSA 0,114 Grad

In einigen Fällen wird auf den RPS-Adapter 63 verzichtet. In einigen Fällen ist weder ein Soller-Schlitz, noch ein in der Ebene liegender PSA auf dem RPS-Adapter 63 montiert, und der Zwischenraum bleibt offen.
(Zweiter Empfangsschlitzkasten)
Ein Empfangsschlitz ist im Inneren des zweiten Empfangsschlitzkastens 55 angeordnet. Außerdem befinden sich im Inneren des zweiten Empfangsschlitzkastens 55 ein Motor zum Öffnen und Schließen des Schlitzes. Der zweite Empfangsschlitzkasten 55 ist ebenfalls mit einem Schlitzeinschubloch 64 versehen. Ein Höhenbeschränkungsschlitz 65 kann in dieses Schlitzeinschubloch 64 eingeschoben werden. In einigen Fällen wird der Höhenbeschränkungsschlitz 65 nicht in das Schlitzeinschubloch 64 eingeschoben.
(Dämpfungskasten)
Ein Dämpfer ist im Inneren des Dämpfungskastens 56 angeordnet. Außerdem befindet sich im Inneren des Dämpfungskastens 56 ein Motor zum Schalten der Art des Dämpfers.
In einer Schnittstellenplatine 68 sind Treiber zum Steuern der Drehung der Abtriebswellen der jeweiligen Motoren in dem ersten Empfangsschlitzkasten 52, dem zweiten Empfangsschlitzkasten 55 und dem Dämpfungskasten 56 aufgenommen. Die Motoren in den Kästen und die Treiber in der Platine 68 sind über ein Kommunikationskabel 69 verbunden, das eine Kommunikationsleitung ist.
Bei der in Patentzitierung 2 ( JP-A 2008-057989 ) offenbarten Röntgenanalysevorrichtung wird ein Verfahren zum Abfühlen von Indikatoren durch einen Fotosensor verwendet, um die Art des zweiten optischen Elements 53 abzufühlen, das auf dem ROD-Adapter 62 in 3 der vorliegenden Anmeldung montiert ist, und um außerdem die Art des dritten optischen Elements 54 abzufühlen, das auf dem RPS-Adapter 63 montiert ist. Daher ist es erforderlich gewesen, den ROD-Adapter 62 und die Platine 68 über ein Kommunikationskabel zu verbinden, den RPS-Adapter 63 und die Platine 68 über ein Kommunikationskabel zu verbinden und die Ausgangssignale der Fotosensoren auf den Adaptern 62, 63 über das Kommunikationskabel 69 und die Platine 68 nach draußen auszugeben.
In der vorliegenden Ausführungsform werden die Artbezeichnungen des zweiten optischen Elements 53 und des dritten optischen Elements 54 und die Positionen, wo diese Elemente montiert werden sollen, durch ein Erkennungsverfahren erkannt, das eine Kamera verwendet, wie im Folgenden beschrieben wird; daher besteht keine Notwendigkeit, Abfühlelemente, wie zum Beispiel Fotosensoren, auf den Adaptern 62, 63 vorzusehen, und es besteht daher keine Notwendigkeit, die Adapter 62, 63 und die Platine 68 mit dem Kommunikationskabel 69 zu verbinden.
Die Ausgangsleitungen der Schnittstellenplatine 47, das θ-Rotationssystem 31, das 2θ-Rotationssystem 32 und die Schnittstellenplatine 68 sind mit einem Anschluss auf der Messungsseite einer Steuereinheit 67 verbunden. Ein Anschluss auf der Steuerseite der Steuereinheit 67 ist mit der CPU 8 der Steuervorrichtung 3 durch ein LAN-Kabel 66 verbunden. Der Eingangs-/Ausgangs-Anschluss der Kamera 16 ist mit der CPU 8 der Steuervorrichtung 3 über ein Kommunikationskabel 71 verbunden.
(Messungsklassifikation)

In dem Messbetriebssystem 15 von 3 in der vorliegenden Ausführungsform können verschiedene Messungen durch entsprechendes Auswechseln von Komponenten vorgenommen werden. Zum Beispiel können Messungen unter Verwendung des Fokussierverfahrens, Messungen des Reflexionsvermögens, eine Kleinwinkel-Streuungsmessung, mikroskopische Messungen und verschiedene andere Arten von Messungen ausgeführt werden. Um diese Messungen auszuführen, werden eine oder einige optische Komponenten entsprechend ausgetauscht, um das optimale optische System zu bilden. In Fällen, in denen zum Beispiel Messungen unter Verwendung des Fokussierverfahrens, Messungen des Reflexionsvermögens und Kleinwinkel-Streuungsmessungen ausgeführt werden, werden die in den folgenden Tabellen gezeigten optischen Komponenten selektiv in dem in 3 gezeigten Messbetriebssystem 15 verwendet. (1) Messungsklassifikation = einfache Weitwinkelmessungen (Fokussierverfahren), Probe = pulverförmige Probe, in eine gläserne Probenplatte gefüllt

	Beim Justieren des optischen Systems	Beim Justieren der Probenposition	Beim Messen von Daten
CBO-Auswahlschlitz 41	BB	BB	BB
Erstes optisches Element 36 (Kristall-Monochromator)	keines	keines	keines
Erstes optisches Element 36 (Einfallsparallel-schlitz)	Soller-Schlitz 5,0 Grad	Soller-Schlitz 5,0 Grad	Soller-Schlitz 5,0 Grad
Längenbeschränkungsschlitz 44	10 mm	10 mm	10 mm
Filter 61	keines	keines	keines
Zweites optisches Element 53 (Parallelschlitz analysator)	PSA offen	PSA offen	PSA offen
Drittes optisches Element 54 (Empfangsparallelschlitz)	Soller-Schlitz 5,0 Grad	Soller-Schlitz 5,0 Grad	Soller-Schlitz 5,0 Grad
Höhenbeschränkungsschlitz 65	keines	keines	keines
Dämpfer 56	keines	keines	keines

(2) Messungsklassifikation = Messungen des Reflexionsvermögens (hohe Auflösung), Probe = Dünnfilmprobe von 1 cm × 1 cm

	Beim Justieren des optischen Systems	Beim Justieren der Probenposition	Beim Messen von Daten
CBO-Auswahlschlitz 41	PB	PB	PB
Erstes optisches Element 36 (Kristall-Monochromator)	Ge (220) × 2	Ge (220) × 2	Ge (220) × 2
Erstes optisches Element 36 (Einfallsparallel-schlitz)	Soller-Schlitz Offen	Soller-Schlitz Offen	Soller-Schlitz Offen
Längenbeschränkungsschlitz 44	10 mm	5 mm	5 mm
Filter 61	keines	keines	keines
Zweites optisches Element 53 (Parallelschlitz analysator)	PSA offen	PSA offen	PSA offen
Drittes optisches Element 54 (Empfangsparallel schlitz)	Soller-Schlitz Offen	Soller-Schlitz Offen	Soller-Schlitz Offen
Höhenbeschränkungsschlitz 65	keines	keines	keines
Dämpfer 56	keines	keines	keines

(3) Messungsklassifikation = Kleinwinkel-Streuungsmessung vom Übertragungstyp, Probe = Nanopartikel, in Kapillaren verschlossen

	Beim Justieren des optischen Systems	Beim Justieren der Probenposition	Beim Messen von Daten
CBO-Auswahlschlitz 41	SA	SA	SA
Erstes optisches Element 36 (Kristall-Monochromator)	keines	keines	keines
Erstes optisches Element 36 (Einfallsparallel-schlitz)	Soller-Schlitz 5,0 Grad	Soller-Schlitz 5,0 Grad	Soller-Schlitz 5,0 Grad
Längenbeschränkungsschlitz 44	10 mm	10 mm	10 mm
Filter 61	keines	keines	keines
Zweites optisches Element 53 (Parallelschlitz analysator)	Vakuumpfad	Vakuumpfad	Vakuumpfad
Drittes optisches Element 54 (Empfangsparallel schlitz)	keines	keines	keines
Höhenbeschränkungsschlitz 65	keines	keines	keines
Dämpfer 56	keines	keines	keines

(Konfiguration zum Erkennen der Art von austauschbaren Komponenten und Montageposition)
Wie oben beschrieben, müssen bei der Röntgenanalysevorrichtung der vorliegenden Ausführungsform die optischen Komponenten gemäß der Messungsklassifikation ausgetauscht werden. Der Austausch der optischen Komponenten erfolgt in der vorliegenden Ausführungsform manuell durch einen Bediener. Wenn die optischen Komponenten ausgetauscht wurden, muss überprüft werden, ob die optischen Komponenten von der richtigen Art sind oder nicht, ob die optischen Komponenten in den richtigen Positionen montiert sind oder nicht, usw. Wenn eine solche Überprüfung vorgenommen wird, müssen zuerst die Art der optischen Komponente und die Position, wo die optische Komponente zu montieren ist, korrekt erkannt werden. Das Folgende ist eine Beschreibung eines Verfahrens zum Erkennen der Art und Position einer optischen Komponente in der vorliegenden Ausführungsform.
4 zeigt eine Grundrissansicht des Messbetriebssystems 15 von 3 in der Draufsicht. Diese Zeichnung entspricht einem Bild des Messbetriebssystems 15, wenn das Messbetriebssystem 15 von der Kamera 16 aufgenommen wird, die im oberen Teil des Abschirmungsgehäuses 14 in 1 angeordnet ist.
In 4 sind Schilder 70 auf den Oberseiten der Röntgenstrahlröhre 34, der CBO-Einheit 35, des Auswahlschlitzes 41, des einfallsseitigen ersten optischen Elements 36, des Einfallsschlitzkastens 37 und des Längenbeschränkungsschlitzes 44 in dem optischen Einfallssystem 33 angebracht. Während das Verfahren zum Anbringen der Schilder 70 jedes gewünschte Verfahren sein kann, werden die Schilder in der vorliegenden Ausführungsform mittels Klebstoff angeklebt.
Die Schilder 70 werden ebenfalls durch einen Klebstoff oder dergleichen auf den Oberseiten des ersten Empfangsschlitzkastens 52, des Filters 61, des empfangsseitigen zweiten optischen Elements 53, des empfangsseitigen dritten optischen Elements 54, des zweiten Empfangsschlitzkastens 55, des Höhenbeschränkungsschlitzes 65 und des Dämpfungskasten 56 in dem optischen Empfangssystem 51 angebracht. Ein Schild 70 wird außerdem auf der Oberseite der Z-Achsen-Stufe 22 angebracht, die ein Anbauteil ist, und ein Schild 70 wird ebenfalls auf der Oberseite des Probenhalters 27 angebracht, der ein weiteres Anbauteil ist.
Rechteckige Rahmenmuster 73 sind auf den Schildern 70 enthalten, wie in den 5A und 5B gezeigt, und im Inneren der Rahmen der Muster 73 sind sechs Zahlen oder Buchstaben des Alphabets, d. h. Identifikationssymbole, d. h. Indikatoren, enthalten. Von diesen sechs Symbolen zeigen die ersten zwei Symbole auf der linken Seite (d. h. „12“ in 5A und „AB“ in 5B) die Stelle (d. h. die Position) an, an der die Komponente, die das Schild 70 trägt, zu montieren ist.
Die zwei mittigen Symbole der sechs (d. h. „34“ in 5A und „01“ in 5B) zeigen die Artbezeichnung der Komponente, die das Schild 70 trägt, an. Zum Beispiel sind diese zwei Mittelsymbole Symbole, die dem Auswahlschlitz BB zugeordnet sind, wenn die Komponente ein Auswahlschlitz BB ist, oder Symbole, die dem Zweikristall-Monochromator Ge (220) × 2 zugeordnet sind, wenn die Komponente der Zweikristall-Monochromator Ge (220) × 2 ist. Des Weiteren sind von den sechs Identifikationssymbolen die zwei am rechten Ende (d. h. „56“ in 5A und „23“ in 5B) eine Prüfsumme zum Detektieren falscher Erkennungen.
Der 6-stellige Indikator wird aus insgesamt 36 Symbolen von 0 bis 9 und von A bis Z, wie in 5C gezeigt, ausgewählt, außer den fünf Symbolen „0“, „1“, „I“, „O“ und „Q“. Diese fünf Symbole sind deshalb ausgeschlossen, weil davon ausgegangen wird, dass sie eine hohe Wahrscheinlichkeit in sich bergen, zu einer Falscherkennung zu führen. Wenn es noch weitere Symbole gibt, von denen angenommen wird, dass sie vermutlich zu einer Falscherkennung führen werden, so werden solche Symbole bevorzugt nicht als Indikatoren verwendet. Die Anzahl der Symbole, die als Indikatoren verwendet werden, kann auch eine andere Zahl als sechs sein, wie zum Beispiel fünf.
(Steuervorrichtung)
In 1 wird der Speicher 11 als ein Konfigurationselement der Steuervorrichtung 3 durch ein Speichermedium von einer geeigneten Struktur, zum Beispiel eine Festplatte oder einen Halbleiterspeicher, gebildet. Das Speichermedium selbst kann ein oder mehrere Medien umfassen. Eine Anwendungssoftware 74 zur Bilderkennung, eine Anwendungssoftware 75 zur Anleitung und eine Anwendungssoftware 76 zur Röntgenstrahlmessung werden installiert, d. h. im Speicher 11 gespeichert. Eine Komponentendatenbank 77 und eine Messungsklassifikations-Komponentenverwendungs-Datenbank 78 sind ebenfalls im Speicher 11 gespeichert.
Die Bilderkennungs-Anwendungssoftware 74 ist eine Anwendungssoftware zum Analysieren der von der Kamera 16 aufgenommenen Bilder. Die Anleitungs-Anwendungssoftware 75 ist eine Software zum Anleiten des Bedieners, wie er verschiedene Arten von Röntgenmessungen ausführt. Genauer gesagt, ist die Anleitungs-Anwendungssoftware 75 eine Software zum Informieren des Bedieners, welche Art von Röntgenkomponenten und welche Art von Anbauteilen zu verwenden sind, wenn eine bestimmte Art von Röntgenmessung ausgeführt wird. Die Anleitungs-Anwendungssoftware 75 ist außerdem eine Software zum Informieren des Bedieners über die Positionen zum Anordnen der verschiedenen Arten von Röntgenkomponenten und darüber, welche Arten von Anbauteilen zu verwenden sind, wenn eine bestimmte Art von Röntgenmessung ausgeführt wird.
Die Röntgenmessungs-Anwendungssoftware 76 ist eine Software zur Verwendung des Messbetriebssystems 15 zum Ausführen verschiedener Arten von Röntgenmessungen, zum Beispiel Messungen unter Verwendung des Fokussierverfahrens, Messungen des Reflexionsvermögens, Ebenenmessung, Kleinwinkel-Streuungsmessung, mikroskopische Messungen und sonstige verschiedene Messungen.
Die Komponentendatenbank 77 ist eine Datenbank, die die Beziehung zwischen den Symbolen festlegt, die – von den sechs Identifikationssymbolen, die an dem Schild 70 angebracht sind – der Position entsprechen, wo die Komponente zu montieren ist (die zwei Symbole am linken Ende in der vorliegenden Ausführungsform), und der Position entsprechen, wo die optische Röntgenkomponente zu montieren ist; sowie die Beziehung zwischen den Symbolen festlegt, die der Position entsprechen, wo die Komponente zu montieren ist, und der Position entsprechen, wo das Anbauteil zu montieren ist.
Die Komponentendatenbank 77 ist eine Datenbank, die die Beziehung zwischen der Bezeichnung der optischen Röntgenkomponente und dem Symbol, das der Komponentenklassifikation (die zwei Mittelsymbole in der vorliegenden Ausführungsform) entspricht, aus den sechs Identifikationssymbolen, die an den Schildern 70 in den 5A und 5B angebracht sind, sowie die Beziehung zwischen dem Symbol, das der Komponentenklassifikation entspricht, und der Bezeichnung des Anbauteils festlegt.
Die Messungsklassifikations-Komponentenverwendungs-Datenbank 78 ist eine Datenbank, die festlegt, an welchen Positionen die Röntgenkomponente und das Anbauteil angeordnet werden müssen, um die verschiedenen Arten von Röntgenmessungen auszuführen, zum Beispiel Messungen unter Verwendung des Fokussierverfahrens, Messungen des Reflexionsvermögens, Ebenenmessung, Kleinwinkel-Streuungsmessung, mikroskopische Messungen und sonstige verschiedene Messungen.
(Detaillierte konkrete Beispiele von Indikatoren)
Um die Beschreibung einfacher verstehen zu können, werden im Folgenden konkrete Beispiele dargelegt, um die Indikatoren zu beschreiben, die den optischen Komponenten und den Anbauteilen zugeordnet sind. Die beispielhaften Indikatoren sind lediglich Beispiele zum besseren Verständnis der Beschreibung; und in der Praxis werden andere geeignete Indikatoren nach Bedarf ausgewählt. Konkrete Beispiele von Indikatoren für die Beschreibung sind folgende.
Indikatoren für Anbauteile, die austauschbare Komponenten sind, sind folgende.

Anbauteil-Bezeichnung Indikator

Z-Achsen-Stufe AA0121

Probenhalter 27 BB0242
Die Paare von Symbolen an den linken Enden, „AA“ und „BB“, zeigen an, welche Position das Anbauteil relativ zum Goniometer 25 haben sollte. Die richtigen Positionen „AA“ und „BB“ relativ zum Goniometer 25 werden im Voraus in der Anwendungssoftware festgelegt. Die mittleren Paare von Symbolen, „01“ und „02“, zeigen die Artbezeichnung des Anbauteils an. Die Indikatorsymbole für die Artbezeichnung des Anbauteils werden im Voraus in der Anwendungssoftware festgelegt.

Die Indikatoren für die erste Gruppe optischer Komponenten (bezüglich eines Kastens), die ausgetauscht werden können, sind folgende.

Komponentenbezeichnung	Indikator
Röntgenstrahlröhre 34	CC0363
CBO-Einheit 35	DD0484
Einfallsschlitzkasten 37	EE05A5
Erster Empfangsschlitzkasten 52	FF06C6
Zweiter Empfangsschlitzkasten 55	GG07E7
Dämpfungskasten 56	HH0808

Die zwei Symbole am linken Ende, „CC“, „DD“, ... zeigen an, welche Position diese Komponenten relativ zu dem Goniometer 25 haben sollten. Die richtigen Positionen „CC“, „DD“ usw. relativ zu dem Goniometer 25 werden im Voraus als Bilddaten oder dergleichen in der Anwendungssoftware festgelegt. Die zwei Symbole in der Mitte, „03“, „04“, ... zeigen die Artbezeichnung jeder Komponente an. Die Korrelationen zwischen den Artbezeichnungen und den Zwei-Symbol-Indikatoren werden im Voraus als eine Datentabelle oder dergleichen in der Anwendungssoftware festgelegt.
Die Indikatoren für die zweite Gruppe optischer Komponenten (bezüglich eines Elements), die ausgetauscht werden können, sind folgende. (Auswahlschlitz 41 in CBO-Einheit 35)

Komponentenbezeichnung Indikator

Auswahlschlitz BB 115126

Auswahlschlitz PB 115227

Auswahlschlitz SA 115328

Auswahlschlitz MA 115429

Die zwei Symbole „11“ am linken Ende zeigen an, dass diese Komponenten an der Stelle (d. h. der Position) der CBO-Einheit 35 angeordnet werden sollten. Eine Bedingung, dass die zwei Symbole „11“ der CBO-Einheit 35 entsprechen, wird im Voraus als Bilddaten oder dergleichen in der Anwendungssoftware festgelegt. Die Symbole in der Mitte, „51“ bis „54“, zeigen die jeweiligen Komponentenartbezeichnungen an. Die Korrelationen zwischen den Artbezeichnungen und den Zwei-Symbol-Indikatoren werden im Voraus als eine Datentabelle oder dergleichen in der Anwendungssoftware festgelegt. (Einfallsseitiges erstes optisches Element 36)

Komponentenbezeichnung	Indikator
2-Kristall-Monochromator Ge (220) × 2	22554A
2-Kristall-Monochromator Ge (400) × 2	22564B
4-Kristall-Monochromator Ge (220) × 4	22574C
4-Kristall-Monochromator Ge (400) × 4	22584D
Soller-Schlitz Offen	22594E
Soller-Schlitz 5 Grad	226046
Soller-Schlitz 2,5 Grad	226147
In der Ebene liegender PSK 1,0 Grad	226248
In der Ebene liegender PSK 0,5 Grad	226349
In der Ebene liegender PSK 0,15 Grad	22644A

Die zwei Symbole „22“ am linken Ende zeigen an, dass diese Komponenten gegeneinander ausgetauscht und an der Stelle (d. h. Position) des einfallsseitigen ersten optischen Elements 36 angeordnet werden sollten. Eine Bedingung, dass die zwei Symbole „22“ der Position des einfallsseitigen ersten optischen Elements 36 entsprechen, wird im Voraus als Bilddaten oder dergleichen in der Anwendungssoftware festgelegt. Die mittleren zwei Symbole „55“ bis „64“ zeigen die jeweiligen Komponentenartbezeichnungen an. Die Korrelationen zwischen den Artbezeichnungen und den Zwei-Symbol-Indikatoren werden im Voraus als eine Datentabelle oder dergleichen in der Anwendungssoftware festgelegt. (Längenbeschränkungsschlitz 44 im Einfallsschlitzkasten 37)

Komponentenbezeichnung	Indikator
Längenbeschränkungsschlitz 0,5 mm	33656B
Längenbeschränkungsschlitz 2 mm	33666C
Längenbeschränkungsschlitz 5 mm	33676D
Längenbeschränkungsschlitz 10 mm	33686E
Längenbeschränkungsschlitz 15 mm	33696F

Die zwei Symbole „33“ am linken Ende zeigen an, dass diese Komponenten gegeneinander ausgetauscht und an der Stelle (d. h. Position) des Einfallsschlitzkastens 37 angeordnet werden sollten. Eine Bedingung, dass die zwei Symbole „33“ der Position des Einfallsschlitzkastens 37 entsprechen, wird im Voraus als Bilddaten oder dergleichen in der Anwendungssoftware festgelegt. Die mittleren zwei Symbole „65“ bis „69“ zeigen die jeweiligen Komponentenartbezeichnungen an. Die Korrelationen zwischen den Artbezeichnungen und den Zwei-Symbol-Indikatoren werden im Voraus als eine Datentabelle oder dergleichen in der Anwendungssoftware festgelegt. (Kβ-Filter 61 im ersten optischen Schlitzkasten 52)

Komponentenbezeichnung Indikator

Kβ-Filter 61 447087
Die zwei Symbole „44“ am linken Ende zeigen an, dass das Kβ-Filter 61 an der Stelle (d. h. Position) des ersten Empfangsschlitzkastens 52 angeordnet werden sollte. Eine Bedingung, dass die zwei Symbole „44“ der Position des ersten Empfangsschlitzkastens 52 entsprechen, wird im Voraus als Bilddaten oder dergleichen in der Anwendungssoftware festgelegt. Die mittleren zwei Symbole „70“ zeigen an, dass die Komponente ein Kβ-Filter ist. Die Korrelation zwischen der Artbezeichnung und dem Zwei-Symbol-Indikator wird im Voraus als eine Datentabelle oder dergleichen in der Anwendungssoftware festgelegt. (Empfangsseitiges zweites optisches Element 53)

Komponentenbezeichnung Indikator

PSA Offen 5571A8

PSA 1,0 Grad 5572A9

PSA 0,5 Grad 5573AA

PSA 0,114 Grad 5574AB

PSA 0,05 Grad 5575AC

Vakuumpfad 5576AD

Die zwei Symbole „55“ am linken Ende zeigen an, dass diese Komponenten gegeneinander ausgetauscht und an der Stelle (d. h. Position) des empfangsseitigen zweiten optischen Elements 53 angeordnet werden sollten. Eine Bedingung, dass die zwei Symbole „55“ der Position des empfangsseitigen zweiten optischen Elements 53 entsprechen, wird im Voraus als Bilddaten oder dergleichen in der Anwendungssoftware festgelegt. Die mittleren zwei Symbole „71“ bis „76“ zeigen die jeweiligen Komponentenbezeichnungsarten an. Die Korrelationen zwischen den Artbezeichnungen und den Zwei-Symbol-Indikatoren werden im Voraus als eine Datentabelle oder dergleichen in der Anwendungssoftware festgelegt. (Empfangsseitiges drittes optisches Element 54)

Komponentenbezeichnung	Indikator
Soller-Schlitz 5 Grad	6677CE
Soller-Schlitz 2,5 Grad	6678CF
In der Ebene liegender PSA 1,0 Grad	6679C0
In der Ebene liegender PSA 0,5 Grad	6680C8
In der Ebene liegender PSA 0,114 Grad	6681C9

Die zwei Symbole „66“ am linken Ende zeigen an, dass diese Komponenten gegeneinander ausgetauscht und an der Stelle (d. h. Position) des empfangsseitigen dritten optischen Elements 54 angeordnet werden sollten. Eine Bedingung, dass die zwei Symbole „66“ der Position des empfangsseitigen dritten optischen Elements 54 entsprechen, wird im Voraus als Bilddaten oder dergleichen in der Anwendungssoftware festgelegt. Die mittleren zwei Symbole „77“ bis „81“ zeigen die jeweiligen Komponentenbezeichnungsarten an. Die Korrelationen zwischen den Artbezeichnungen und den Zwei-Symbol-Indikatoren werden im Voraus als eine Datentabelle oder dergleichen in der Anwendungssoftware festgelegt. (Höhenbeschränkungsschlitz 65 in dem zweiten Empfangsschlitzkasten 55)

Komponentenbezeichnung Indikator

Höhenbeschränkungsschlitz 65 7782EA
Die zwei Symbole „77“ am linken Ende zeigen an, dass der Höhenbeschränkungsschlitz 65 an der Stelle (d. h. Position) des zweiten Empfangsschlitzkastens 55 angeordnet werden sollte. Eine Bedingung, dass die zwei Symbole „77“ der Position des zweiten Empfangsschlitzkastens 55 entsprechen, wird im Voraus als Bilddaten oder dergleichen in der Anwendungssoftware festgelegt. Die mittleren zwei Symbole „82“ zeigen an, dass die Komponente ein Höhenbeschränkungsschlitz ist. Die Korrelation zwischen der Artbezeichnung und dem Zwei-Symbol-Indikator wird im Voraus als eine Datentabelle oder dergleichen in der Anwendungssoftware festgelegt.
(Prozess zum Erkennen der Artbezeichnung und Montageposition von austauschbaren Komponenten)
Das Folgende ist eine Beschreibung, unter Verwendung des Ablaufschaubildes von 6, des Prozesses zum Erkennen einer austauschbaren Komponente (d. h. einer optischen Komponente oder eines Anbauteils), die auf dem in den 3 und 4 gezeigten Messbetriebssystem 15 montiert ist.
In Schritt S1 von 6 bewegt die CPU 8 (1) als das Berechnungsmittel den Einfallsarm 23 und den Empfangsarm 24 von 3 in eine zuvor festgelegte optische Austauschposition. In der vorliegenden Ausführungsform ist die optische Austauschposition die Position, die in den 3 und 4 gezeigt ist, oder genauer gesagt, eine Position, wo das optische Einfallssystem 33 und das optische Empfangssystem 51 linear innerhalb einer horizontalen Ebene aufeinander ausgerichtet sind.
Als nächstes drückt der Nutzer, d. h. der Bediener, in Schritt S2 eine zuvor festgelegte Taste zum Öffnen der Türen 20a, 20b, 20c in 2A, und die Türen werden geöffnet. Wenn die Türen geöffnet werden, so arretiert die CPU 8 in Schritt S4 die Türen im offenen Zustand. Gemäß der Anleitungs-Anwendungssoftware 75 im Speicher 11 von 1 zeigt die CPU 8 bei Bedarf Hinweise der optischen Komponente und des Anbauteils, die für die durch den Nutzer vorgesehene Messung benötigt werden, auf dem Bildschirm der Anzeigevorrichtung 4 an.
Gemäß der Bildschirmanzeige führt der Nutzer in Schritt S5 bei Bedarf einen Austausch der optischen Komponente und des Anbauteils aus. Wenn der Austausch endet, so drückt der Nutzer in Schritt S6 eine Taste zum Schließen der Türen, und die Türen werden geschlossen. Wenn sich die Türen geschlossen haben, so führt die CPU 8 in Schritt S8 einen Prozess zum Abfühlen des konfigurierten Zustands der Komponenten und Anbauteile des Messbetriebssystems 15 aus.
Genauer gesagt, werden in Schritt S8.1 das optische Einfallssystem 33 und das optische Empfangssystem 51 des Messbetriebssystems 15 von der Kamera 16 von 1 aufgenommen. Die optischen Komponenten und die Anbauteile werden dadurch fotografiert, wie auch die daran befestigten Schilder 70, wie in 4 gezeigt. Die CPU 8 speichert dieses aufgenommene Bild in einem zuvor festgelegten Speicherbereich im Speicher 11 (1) in Schritt S8.1.1.
Als nächstes analysiert die CPU 8 das gespeicherte Bild. Genauer gesagt, stellt die CPU 8 anhand der zwei Komponentenklassifikationssymbole der sechs Identifikationssymbole auf dem Schild 70 fest, welche optische Komponente und welches Anbauteil momentan auf dem Goniometer 25 montiert sind. Anhand der zwei positionsspezifizierenden Symbole der sechs Identifikationssymbole stellt die CPU 8 fest, in welcher Position die optische Komponente und das Anbauteil montiert sein sollten. Die Formulierung „in welcher Position“ meint in diesem Fall eine Position, die zum Beispiel durch einen Ausdruck festgelegt wird, welche Zahl die Komponente in dem optischen Einfallssystem 33 hat, von der Mitte des Goniometers 25 aus betrachtet, das die Probe 28 trägt, oder welche Zahl die Komponente in dem optischen Empfangssystem 51 hat, von der Mitte des Goniometers 25 aus betrachtet.
Anhand der auf diese Weise bestimmten Art der Komponente und Position der Komponente kann die CPU 8 die Anleitungs-Anwendungssoftware 75 von 1 starten und den Nutzer entsprechend anleiten.
(Prozess zum Erkennen der Montagerichtung von austauschbaren Komponenten)
Die Bilderkennungs-Anwendungssoftware 74 (1) der vorliegenden Ausführungsform kann einen Prozess des Zertifizierens der Montagerichtung der Komponente ausführen, zusätzlich zu dem Prozess des Zertifizierens der Art und Position der optischen Komponente, wie oben beschrieben. Genauer gesagt, stellt die CPU 8 in 4 für jede individuelle optische Komponente und jedes individuelle Anbauteil fest, ob sich die Längsrichtung der rechteckigen Rahmen 73 der Schilder 70 auf den individuellen optischen Komponenten und Anbauteilen von links nach rechts in 4 erstreckt oder sich von vorn nach hinten in 4 erstreckt (die Richtung senkrecht zur Links-Rechts-Richtung).
Die CPU 8 kann dadurch korrekt und einfach feststellen, ob die individuellen optischen Komponenten und individuellen Anbauteile in die richtige Richtung weisen oder nicht. Um die Montagerichtung der Komponenten zu erkennen, sind die Muster auf den Schildern 70 nicht auf rechteckige Rahmen 73 beschränkt, und sind nicht einmal auf Rechtecke beschränkt, solange die Muster zwei zueinander orthogonale klassifizierbare Richtungen haben. Zum Beispiel können die Muster elliptisch, eiförmig (und zwar in Form eines Rechtecks, dessen beide Enden gerundet sind) oder auf sonstige Weise geformt sein.
Es können punktfokussierte Röntgenstrahlen (d. h. Röntgenstrahlen mit einer punktförmigen Querschnittsform) von einer Wand der Röntgenstrahlröhre 34 aus gemessen werden. Alternativ können linienfokussierte Röntgenstrahlen (d. h. Röntgenstrahlen mit einer linearen Querschnittsform) von einer Wand aus gemessen werden, die in einem 90°-Winkel zu der ersten Wand steht. In einer herkömmlichen Röntgenanalysevorrichtung ist es schwierig gewesen festzustellen, ob die Röntgenstrahlröhre 34 punktfokussierte Röntgenstrahlen oder linienfokussierte Röntgenstrahlen aussendet. Im Gegensatz dazu ist bei der vorliegenden Ausführungsform ein Schild 70 mit einem rechteckigen Rahmenmuster auf der Oberseite der Röntgenstrahlröhre 34 angebracht, und es lässt sich einfach feststellen, ob die Röntgenstrahlröhre 34 punktfokussierte Röntgenstrahlen oder linienfokussierte Röntgenstrahlen aussendet, indem man unterscheidet, ob das Schild 70 von links nach rechts (in der Querrichtung) oder von vorn nach hinten (in der Längsrichtung) ausgerichtet ist.
(Prozess zum Erkennen der Position, wo die austauschbare Komponente im Hinblick auf die Entfernung installiert ist)
Zusätzlich zu dem Prozess des Zertifizierens der Art und Position der optischen Komponente, wie oben beschrieben, und dem Prozess des Erkennens der Montagerichtung der optischen Komponente, wie oben beschrieben, hat die Bilderkennungs-Anwendungssoftware 74 (1) der vorliegenden Ausführungsform eine Funktion zum Berechnen der Entfernung von zuvor festgelegten Referenzpositionen an der austauschbaren Komponente und dem austauschbaren Anbauteil.
Genauer gesagt, kann die CPU 8 in den 7A und 7B den Schnittpunkt P0 der Diagonalen des rechteckigen Rahmens 73 auf dem Schild 70 als die Position des Schildes 70 und daher als einen spezifischen Punkt auf der optischen Komponente oder dem Anbauteil, die bzw. das das Schild 70 trägt, erkennen. Die CPU 8 kann den Mittelpunkt P1 der Probe 28 als eine Referenzposition in 4 als Bilddaten spezifizieren. Die CPU 8 kann dann die Entfernung zwischen der Referenzposition P1 und der Schildposition P0 durch Berechnen innerhalb der Bilddaten finden.
Zusammen mit den Messdaten, die unter Verwendung der Röntgenanalysevorrichtung gefunden wurden, wird oft die Entfernung von den Proben der optischen Komponenten als eine Bedingung für das Finden der Messdaten gespeichert. Bisher ist die Entfernungsbedingung manuell durch einen Bediener über eine Tastatur oder dergleichen als eine Eingabevorrichtung eingegeben worden. Im Gegensatz dazu kann in der vorliegenden Ausführungsform die Entfernung zu den Proben der Komponenten durch Berechnen anhand des Bildes des Schildes 70, das von der Kamera 16 aufgenommen wurde, gefunden werden, und der Arbeitsaufwand des Bedieners kann daher beträchtlich reduziert werden.
Die Referenzposition P1 ist nicht auf den Mittelpunkt der Probe 28 beschränkt und kann auf jede andere gewünschte Position in dem aufgenommenen Bild von der Kamera 16 eingestellt werden. Zum Beispiel kann in 4 ein spezifischer Punkt auf dem Schild 70, das auf der Z-Stufe 22 angeordnet ist, als der Referenzpunkt eingestellt werden. Die Entfernung, d. h. die Positionen der Komponenten relativ zum Referenzpunkt, lassen sich dann finden.
Der spezifische Punkt der optischen Komponente oder des Anbauteils ist nicht nur auf den Schnittpunkt der Diagonalen des rechteckigen Rahmens 73 beschränkt und kann eine Ecke eines rechteckigen Werkstücks 73, zum Beispiel die obere linke Ecke, sein. Alternativ kann der spezifische Punkt ein Punkt innerhalb jeder anderen gewünschten Form als einem Rechteck sein.
Wenn die Entfernung der Schildposition in der oben beschriebenen Weise abgefühlt wird, so gibt es Situationen, in denen der Einfallsarm 23 und der Empfangsarm 24 des Goniometers 25 nicht in horizontalen Positionen stehen. In diesem Fall kann die korrekte Entfernung der Komponenten erhalten werden, indem die Entfernung, die mit Hilfe des durch die Kamera 16 aufgenommenen Bildes gefunden wurde, mit dem Winkel des Arms korrigiert wird.
(Abfühlen einer Verschiebung der Z-Richtungsposition der austauschbaren Komponente oder nicht-austauschbaren Komponente)
In 4 ist die Z-Achsen-Stufe 22 im Mittelabschnitt des Goniometers 25 angeordnet. Diese Z-Achsen-Stufe 22 wird durch die vertikalen Antriebsvorrichtung 29 angetrieben, um sich parallel in der vertikalen Richtung zu bewegen (in der Richtung, die durch den Oberfläche der Zeichnung von 4 verläuft), um die vertikale Position der Probe 28 zu justieren. Ein Schild 70 ist auf der Oberseite der Z-Achsen-Stufe 22 angebracht. Ein rechteckiger Rahmen 73, wie zum Beispiel derjenige, der in den 5A und 5B gezeigt ist, ist an diesem Schild 70 angebracht. Dieser Rahmen 73 fungiert als ein Indikator mit einer linearen Länge oder ein Indikator mit einer planaren Breite. Ein Indikator mit einer linearen Länge wäre entweder eine lange Seite oder eine kurze Seite des Rahmens 73. Ein Indikator mit einer planaren Breite wäre der Bereich der Region, der durch den Rahmen 73 umschlossen wird.
Das Symbol im Inneren des Rahmens 73 ist ein Symbol wie zum Beispiel „AA0121“, wobei „AA“ die Position anzeigt, wo die Z-Achsen-Stufe 22 zu montieren ist, „01“ die Artbezeichnung der Z-Achsen-Stufe 22 anzeigt und „21“ die Prüfsumme anzeigt. Diese Positionsinformationen und Artbezeichnungsinformationen werden im Voraus in das Programm der Anwendungssoftware geschrieben.
Die CPU 8 kann die Längen der Seiten oder der Fläche des Rahmens 73 in dem Schild 70 berechnen (siehe 7A und 7B). Des Weiteren kann die CPU 8 durch Berechnung die Längen der Seiten oder die Fläche des Rahmens 73 zu unterschiedlichen Zeiten finden. Wenn sich diese Werte im Lauf der Zeit ändern, so kann bestimmt werden, dass sich die Position des Goniometers 25 vertikal, d. h. in der Z-Richtung, verschoben hat. Die CPU 8 kann dadurch die Entfernung abfühlen, um die sich die vertikale Position der Z-Achsen-Stufe 22 bewegt hat.
(Praktisches Beispiel von detektierten Informationen)
Wie anhand der 5A und 5B beschrieben wurde, werden in der vorliegenden Ausführungsform Informationen zur Artbezeichnung der Komponente, die das Schild 70 trägt, und zur Position, in der diese Komponente anzuordnen ist, anhand von Bildern, die mittels der Kamera 16 zum Fotografieren von Indikatoren erhalten werden, die auf den Schilder 70 der austauschbaren Komponenten angezeigt werden, durch die Steuervorrichtung 3 von 1 oder insbesondere durch die CPU 8, die gemäß der Bilderkennungs-Anwendungssoftware 74 funktioniert, gefunden.
Wie anhand von 4 beschrieben wurde, wird in der vorliegenden Ausführungsform eine Feststellung getroffen, ob sich die Längsrichtung der rechteckigen Rahmen 73 der Schilder 70 auf den individuellen optischen Komponenten und Anbauteilen von links nach rechts in 4 oder von vorn nach hinten in 4 (die Richtung orthogonal zur Links-Rechts-Richtung) erstreckt, und auf der Grundlage dieser Feststellung wird die Richtung der Komponenten durch die Steuervorrichtung 3 von 1 oder speziell durch die CPU 8, die gemäß der Bilderkennungs-Anwendungssoftware 74 funktioniert, gefunden.
In der vorliegenden Ausführungsform wird, wie anhand der 4, 7A und 7B beschrieben, der Probenmittelpunkt P1 (siehe 4) als der Referenzpunkt ausgewählt, die Schnittpunkte P0 der Diagonalen der Rahmen 73 in den Schildern 70 (siehe 7A und 7B) auf den Komponenten werden als spezifische Punkte der Komponenten ausgewählt, und die Entfernung von den spezifischen Punkten P0 der Komponenten zu den Referenzpositionen P1 werden durch die Steuervorrichtung 3 von 1 oder speziell durch die CPU 8, die gemäß der Bilderkennungs-Anwendungssoftware 74 funktioniert, gefunden.
Des Weiteren werden, wie anhand von 4 beschrieben, in der vorliegenden Ausführungsform Änderungen der vertikalen Position der Z-Achsen-Stufe 22 anhand des Bildes, das durch Fotografieren des Schildes 70 auf der Z-Achsen-Stufe 22 mit der Kamera 16 erhalten wurde, durch die Steuervorrichtung 3 von 1 oder speziell durch die CPU 8, die gemäß der Bilderkennungs-Anwendungssoftware 74 funktioniert, gefunden.
In der in 1 gezeigten Steuervorrichtung 3 steuert entweder die CPU 8, die gemäß der Anleitungs-Anwendungssoftware 75 funktioniert, die CPU 8, die gemäß der Bilderkennungs-Anwendungssoftware 74 funktioniert, oder die CPU 8, die gemäß der Röntgenmessungs-Anwendungssoftware 76 funktioniert, die mehreren Arten von Messungen (zum Beispiel Pulvermessung, Kleinwinkel-Streuungsmessung, mikroskopische Messung, Ebenenmessung und dergleichen), die durch das Röntgenmesssystem 2 ausgeführt werden.
In den Anwendungen im Speicher 11 oder in den zuvor festgelegten Tabellendaten im Speicher 11 werden im Voraus Informationen darüber gespeichert, welche Arten von optischen Komponenten oder Anbauteilen entsprechend den Messungsarten verwendet werden sollten, oder Informationen darüber, an welchen Positionen diese optischen Komponenten und dergleichen angeordnet werden sollten. Die CPU 8, die als eine zuvor festgelegte Anwendung funktioniert, vergleicht die Komponentenartbezeichnungs-Informationen und die Komponentenpositions-Informationen, die anhand der mittels der Kamera 16 erhaltenen Bildinformationen gewonnen werden, mit den Daten, die in den Datentabellen und dergleichen, wie oben beschrieben, gespeichert sind, und stellt fest, ob eine austauschbare Komponente die richtige Art der Komponente entsprechend der Messungsart ist und sich an der richtigen Position für die jeweilige Komponente befindet oder nicht. Des Weiteren ist die CPU 8 anhand des Berechnungsergebnisses der CPU 8 bezüglich der Montagerichtung der Komponente in der Lage festzustellen, ob die Richtung der austauschbaren Komponente korrekt ist oder nicht.
Des Weiteren werden in den Anwendungen im Speicher 11 oder in den zuvor festgelegten Tabellendaten im Speicher 11 im Voraus Informationen darüber gespeichert, in welcher Entfernung (in Millimetern) die optischen Komponenten oder Anbauteile, die für die Messungsarten verwendet werden, von der Referenzposition angeordnet sein müssen, und Informationen darüber, in welcher Position in der Z-Richtung (d. h. vertikal) die optischen Komponenten oder Anbauteile, die für die Messungsarten verwendet werden, angeordnet sein müssen.
Die CPU 8, die gemäß einer zuvor festgelegten Anwendung funktioniert, vergleicht Informationen über die „Entfernung von der Referenzposition“, die anhand der mittels der Kamera 16 erhaltenen Bildinformationen gefunden wurden, mit den Daten, die in der Datentabelle oder dergleichen, wie oben beschrieben, gespeichert sind, und stellt fest, ob die austauschbare Komponente in der korrekten Position entsprechend der Messungsart angeordnet ist oder nicht. Des Weiteren vergleicht die CPU 8, die gemäß einer zuvor festgelegten Anwendung funktioniert, Informationen über die „Z-Richtungspositionen der Komponenten“, die anhand der mittels der Kamera 16 erhaltenen Bildinformationen gefunden wurden, mit den Daten, die in der Datentabelle oder dergleichen, wie oben beschrieben, gespeichert sind, und stellt fest, ob die austauschbare Komponente in der korrekten Z-Richtungsposition entsprechend der Messungsart angeordnet ist oder nicht.
Wie oben beschrieben, stellt die CPU 8 der vorliegenden Ausführungsform durch Vergleichen der im Speicher 11 gespeicherten Daten und der durch das Fotografieren mit der Kamera 16 erhaltenen Informationen fest, ob eine austauschbare Komponente im richtigen Zustand entsprechend der Messungsart eingestellt (d. h. platziert) ist oder nicht.
(Auswirkungen der vorliegenden Ausführungsform)
Wie oben beschrieben, können gemäß der vorliegenden Ausführungsform mehr Arten von Komponenten durch korrektes Feststellen des Indikators auf dem Schild erkannt werden, da die Art der optischen Komponente oder dergleichen durch Analysieren des Bildes, das mittels der Kamera zum Fotografieren des Indikators in dem Schild auf der optischen Komponente oder dem Anbauteil erhalten wird, erkannt wird, anstatt die Art der Komponente unter Verwendung eines Fotosensors oder dergleichen zum Übertragen von Signalen über eine Kommunikationsleitung zu klassifizieren.
Da kein Sensor und kein Kommunikationskabel, das sich von dem Sensor erstreckt, verwendet werden, um die Artbezeichnung der Komponente oder die Position, wo die Komponente zu montieren ist, zu erkennen, kann nicht nur eine spezielle Position, die durch das Kommunikationskabel festgelegt wird, einfach erkannt werden, sondern eine Komponente, die an einer neuen Montageposition montiert ist, kann ebenfalls einfach erkannt werden.
Da gemäß der vorliegenden Ausführungsform Informationen zur Position, wo die Komponente zu montieren ist, in dem Indikator auf dem Schild enthalten sind, kann nicht nur die Artbezeichnung der optischen Komponente oder des Anbauteils erkannt werden, sondern die Position der optischen Komponente oder dergleichen kann ebenfalls erkannt werden.
Gemäß der vorliegenden Ausführungsform kann die Montagerichtung der optischen Komponente oder des Anbauteils erkannt werden, indem ein Muster, das zwei erkennbare Richtungen hat, wie zum Beispiel der rechteckige Rahmen 73, in das Schild aufgenommen wird und das Muster mit einer Kamera fotografiert wird. Der Indikator zum Erkennen der Montagerichtung ist nicht auf den rechteckigen Rahmen 73 beschränkt, und es kann jede gewünschte Form verwendet werden, solange die Position des Indikators in zwei Richtungen erkannt werden kann. Zum Beispiel kann der Indikator ein Dreieck, ein anderes Polygon als ein Dreieck oder ein Quadrat oder dergleichen sein.
Herkömmliche Erkennungsverfahren haben Fotosensoren und Kommunikationskabel erfordert, aber in der vorliegenden Ausführungsform kann auf einen Sensor und ein Kommunikationskabel, das sich von einem Sensor erstreckt, verzichtet werden, da das Bild, das von der Kamera aufgenommen wurde, gelesen wird und die Informationen in Daten umgewandelt werden. Daher können die Komponentenkosten gesenkt werden.
In einer herkömmlichen Röntgenanalysevorrichtung ist ein Stoff zum Blockieren von Röntgenstrahlen, zum Beispiel Bleiglas, als ein Beobachtungsfenster an zweckmäßigen Positionen in den Türen 20a, 20b, 20c der 2A und 2B angeordnet, damit die Betriebsbedingungen des Systems überprüft werden können. Aber bei der Röntgenanalysevorrichtung der vorliegenden Ausführungsform sind Bleiglas und dergleichen nicht erforderlich, und die Kosten können gesenkt werden, da das System von der Kamera aufgenommen wird. Somit können in der vorliegenden Ausführungsform die Abdeckung zum Umschließen des Messbetriebssystems 15 durch das Gehäuse 14 ohne Beobachtungsfenster und die Türen 20a, 20b, 20c ohne Beobachtungsfenster ausgebildet werden.
Das Schild 70 auf dem Probenhalter 27 als ein Anbauteil unterstützt die Erkennung der Art und Montageposition des Probenhalters 27. Verschiedene Identifikationssymbole können jeder individuellen Probe zugeordnet werden.
(Modifizierungen)

(1) In der obigen Ausführungsform enthalten die 6-stelligen Symbole auf dem Schild 70 sowohl klassifizierende Informationen über die Komponente als auch Informationen über die Position, wo die Komponente zu montieren ist. Stattdessen besteht eine weitere mögliche Option darin, entweder nur die klassifizierenden Informationen über die Komponente oder nur die Informationen über die Position, wo die Komponente zu montieren ist, in das Schild 70 aufzunehmen. Mit dieser Konfiguration kann die CPU 8 (siehe 1) nur die Klassifikation der Komponente oder des Anbauteils erkennen oder nur die Position erkennen, wo die Komponente oder dergleichen zu montieren ist, indem das Schild 70 durch die Kamera 16 fotografiert wird.
(2) In der obigen Ausführungsform werden die optischen Komponenten und Anbauteile durch eine einzige Kamera 16 aufgenommen, wie in 1 gezeigt. Stattdessen besteht eine weitere mögliche Option darin, wie in 8A gezeigt, die optischen Komponenten und dergleichen mittels zweier Kameras 16a und 16b zu fotografieren. Mit dieser Konfiguration können Kameras mit einem schmalen Sichtwinkel verwendet werden.
(3) In der obigen Ausführungsform ist die Kamera 16 im Deckenabschnitt des Abschirmungsgehäuses 14 angeordnet, und die optischen Komponenten und dergleichen werden relativ zu dem horizontal angeordneten Goniometer fotografiert. Oder anders ausgedrückt: die Austauschposition der optischen Komponenten und dergleichen wird auf die horizontal angeordnete Position des Goniometers eingestellt. Stattdessen besteht eine weitere mögliche Option darin, wie in 8B gezeigt, Kameras 16 nahe der Seitenwand des Abschirmungsgehäuses 14 anzuordnen und die vertikale, in der Aufwärts-Abwärts-Richtung angeordnete Position des Goniometers 25 auf die fotografierte Position der optischen Komponenten und dergleichen einzustellen, d. h. auf die Austauschposition der optischen Komponenten und dergleichen.
(4) In der obigen Ausführungsform wurden Symbole, die aus Zahlen und Buchstaben bestehen, die an den Schildern 70 angebracht sind, als Indikatoren verwendet, aber diese können beispielsweise durch folgende Indikatoren ersetzt werden: (a) Symbole, die an Schildern angebracht werden, die an den austauschbaren Komponenten angebracht sind, (b) die Formen der austauschbaren Komponenten selbst, (c) die Farben der austauschbaren Komponenten, (d) die Farben der Schilder, die an den austauschbaren Komponenten angebracht sind, (e) Symbole, die direkt auf die austauschbaren Komponenten geschrieben werden, und (f) Symbole, die direkt auf die austauschbaren Komponenten eingraviert werden.

(Zweite Ausführungsform der Röntgenanalysevorrichtung)
9 zeigt eine weitere Ausführungsform der Röntgenanalysevorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung. Die Gesamtkonfiguration der vorliegenden Ausführungsform ist die gleiche wie die in 1 gezeigte Ausführungsform. Im Fall der vorliegenden Ausführungsform ist die Funktion, die durch die Bilderkennungs-Anwendungssoftware 74 in 1 ausgeführt ist, eine andere als die der zuvor beschriebenen ersten Ausführungsform.
In der ersten Ausführungsform, die in den 3, 4, 5A, 5B und 5C gezeigt ist, umfassen die 6-stelligen Indikatoren, d. h. Identifikationssymbole, in dem Schild 70 zwei Symbole, welche die Artbezeichnungen der optischen Komponenten und Anbauteile anzeigen, und zwei Symbole, welche die Stellen (d. h. Positionen) anzeigen, wo die Komponenten oder Anbauteile montiert werden sollen.
In dem Messbetriebssystem 15 von 3 sind die Elemente der austauschbaren Komponenten, einschließlich der Röntgenstrahlröhre 34, der CBO-Einheit 35, des einfallsseitigen ersten optischen Elements 36, des Einfallsschlitzkastens 37, des ersten Empfangsschlitzkastens 52, des empfangsseitigen zweiten optischen Elements 53, des empfangsseitigen dritten optischen Elements 54, des zweiten Empfangsschlitzkastens 55 und des Dämpfungskastens 56, nicht mit Konfigurationen zum Anzeigen der Artbezeichnungen der Komponenten (die Konfigurationen, die zum Beispiel klassifizierende Indikatoren umfassen) und Fotosensoren zum Erkennen der Konfigurationen ausgestattet.
In dem in 9 gezeigten Messbetriebssystem 15A der vorliegenden Ausführungsform umfassen das einfallsseitige erste optische Element 36 und weitere optische Komponenten Konfigurationen zum Ausgeben der Arten dieser Komponenten als elektrische Signale. Solche Konfigurationen umfassen Kombinationen von klassifizierenden Indikatoren und Fotosensoren zum Abfühlen dieser Indikatoren, wie zum Beispiel die Konfiguration, die in 4 von JP-A-2008-057989 offenbart ist.
Daher erstrecken sich in der vorliegenden Ausführungsform Kommunikationskabel 48 zu der Schnittstellenplatine 47 von den optischen Komponenten im Inneren des optischen Einfallssystem 33, einschließlich der CBO-Einheit 35, des einfallsseitigen ersten optischen Elements 36 und des Einfallsschlitzkastens 37. Und Ausgangssignale der Sensoren in den optischen Komponenten werden zu der Platine 47 über das Kommunikationskabel 48 übertragen.
Kommunikationskabel 69 erstrecken sich außerdem zu der Schnittstellenplatine 68 von den optischen Komponenten in dem optischen Empfangssystem 51, einschließlich des ersten Empfangsschlitzkastens 52, des empfangsseitigen zweiten optischen Elements 53, des empfangsseitigen dritten optischen Elements 54, des zweiten Empfangsschlitzkastens 55 und des Dämpfungskastens 56. Und Ausgangssignale der Sensoren in den optischen Komponenten werden zu der Platine 68 über das Kommunikationskabel 69 übertragen.
Somit werden in dem Messbetriebssystem 15A der vorliegenden Ausführungsform Kombinationen von Konfigurationen (wie zum Beispiel klassifizierende Indikatoren) zum Abfühlen der Arten der austauschbaren Komponenten und Fotosensoren verwendet. Daher sind in der vorliegenden Ausführungsform keine Symbole zum Anzeigen der Artbezeichnungen der optischen Komponenten in den Schildern 70 von 4 vorhanden, und es sind nur Symbole zum Anzeigen der Positionen, wo die austauschbaren Komponenten montiert werden sollen, vorhanden.
Wenn also die Kamera 16 von 1 verwendet wird, um das Messbetriebssystem 15A von 4 zu fotografieren und Bilddaten aufzunehmen, so umfassen die Schilder 70 in den Bilddaten keine Informationen, welche die Artbezeichnungen der montierbaren Komponenten anzeigen, und umfassen nur Informationen, welche die Positionen anzeigen, wo die Komponenten montiert werden sollen. Somit werden in der vorliegenden Ausführungsform Informationen, welche die Artbezeichnungen der Komponenten anzeigen, durch Signale klassifiziert, die von den Sensoren ausgegeben werden, die in den Komponenten selbst untergebracht sind, während Informationen, welche die Positionen anzeigen, wo die Komponenten montiert werden sollen, anhand von Bildinformationen der Indikatoren in den von der Kamera 16 aufgenommenen Schildern 70 klassifiziert werden.
Indem gemäß der vorliegenden Ausführungsform Informationen über die Positionen, wo die austauschbaren Komponenten (d. h. die optischen Komponenten und die Anbauteile) montiert werden sollen, in die Informationen auf den Schildern aufgenommen werden, können nicht nur die Komponenten erkannt werden, sondern auch die Positionen der Komponenten können erkannt werden.
Indem gemäß der vorliegenden Ausführungsform ein Muster, in dem zwei Richtungen klassifiziert werden können, wie zum Beispiel der rechteckige Rahmen 73, auf dem Schild angebracht wird und das Muster mit einer Kamera fotografiert wird, können die Montagerichtungen der Komponenten und Anbauteile erkannt werden.
In einer herkömmlichen Röntgenanalysevorrichtung ist ein Stoff zum Blockieren von Röntgenstrahlen, zum Beispiel Bleiglas, als ein Beobachtungsfenster an zweckmäßigen Positionen in den Türen 20a, 20b, 20c der 2A und 2B angeordnet, damit die Betriebsbedingungen des Systems überprüft werden können. Bei der Röntgenanalysevorrichtung der vorliegenden Ausführungsform sind Bleiglas und dergleichen jedoch nicht erforderlich, und die Kosten können gesenkt werden, da das System von der Kamera aufgenommen wird.
(Weitere Ausführungsformen)
Es wurden bevorzugte Ausführungsformen vorgestellt, um die vorliegende Erfindung oben zu beschreiben, jedoch ist die vorliegende Erfindung nicht auf diese Ausführungsformen beschränkt. Es können verschiedene Änderungen innerhalb des Schutzumfangs der Erfindung, wie er in den Ansprüchen dargelegt ist, vorgenommen werden. Zum Beispiel sind die austauschbaren Komponenten nicht auf Komponenten beschränkt, die in den 3 und 9 gezeigt sind, einschließlich der Röntgenstrahlröhre 34, der CBO-Einheit 35, des einfallsseitigen ersten optischen Elements 36, des Einfallsschlitzkastens 37, des ersten Empfangsschlitzkastens 52, des empfangsseitigen zweiten optischen Elements 53, des empfangsseitigen dritten optischen Elements 54, des zweiten Empfangsschlitzkastens 55 und des Dämpfungskastens 56, und es können alle sonstigen gewünschten optischen Komponenten nach Bedarf verwendet werden.
In den obigen Ausführungsformen werden Schilder 70 zu den austauschbaren Komponente hinzugefügt, und die Artbezeichnungen der Komponenten und Positionen, wo die Komponenten montiert werden sollen, werden anhand der Indikatoren in den Symbolen in den Schildern 70 klassifiziert. Anstatt aber die Indikatoren in den Schildern zu lesen, besteht eine weitere Möglichkeit darin, die Arten und sonstigen Merkmale der Komponenten durch Bilderkennung der Formen der Komponenten zu klassifizieren.
Des Weiteren kann eine Steuerung dergestalt ausgeführt werden, dass die Positionen, wo die Komponenten montiert sind, durch Bilderkennung der Formen der Komponenten klassifiziert werden, und die Artbezeichnungen der Komponenten werden durch die Indikatoren in den Schildern klassifiziert.
(Legende zu den Symbolen)

1. Röntgenanalysevorrichtung, 2. Röntgenmesssystem, 3. Steuervorrichtung, 4. Anzeigevorrichtung, 5. Eingabevorrichtung, 11. Speicher, 14. Röntgenstrahlabschirmungsgehäuse, 15. Messbetriebssystem, 15A. Messbetriebssystem, 16. Kamera, 17. LED-Beleuchtungsvorrichtung, 20a. mittlere Tür, 20b, 20c. linke und rechte Tür, 21. Probenstufe, 22. Z-Achsen-Stufe (Proben-Aufwärts-Abwärts-Positions-Justierteil), 23. Einfallsarm, 24. Empfangsarm, 25. Goniometer, 26. Probenplatte, 27. Probenhalter, 28. Probe, 31, θ-Rotationssystem, 32. 2θ-Rotationssystem, 33. optisches Einfallssystem, 34. Röntgenstrahlröhre, 35. CBO-Einheit, 36. einfallsseitiges erstes optisches Element, 37. Einfallsschlitzkasten, 40. Schlitzeinschubloch, 41. Auswahlschlitz, 42. Elementbasis, 43. Schlitzeinschubloch, 44. Längenbeschränkungsschlitz, 47. Schnittstellenplatine, 48. Kommunikationskabel (Kommunikationsleitung), 51. optisches Empfangssystem, 52. erster Empfangsschlitzkasten, 53. empfangsseitiges zweites optisches Element, 54. empfangsseitiges drittes optisches Element, 55. zweiter Empfangsschlitzkasten, 56. Dämpfungskasten, 57. Röntgenstrahldetektor, 60. Schlitzeinschubloch, 61. Kβ-Filter, 62. ROD-Adapter, 63. RPS-Adapter, 64. Schlitzeinschubloch, 65. Höhenbeschränkungsschlitz, 66. LAN-Kabel, 67. Steuereinheit, 68. Schnittstellenplatine, 69. Kommunikationskabel, 70. Schild, 71. Kommunikationskabel, 73. rechteckiges Rahmenmuster, 74. Bilderkennungs-Anwendungssoftware, 75. Anleitungs-Anwendungssoftware, 76. Röntgenmessungs-Anwendungssoftware, 77. Komponentendatenbank, 78. Messungsklassifikations-Komponentenverwendungs-Datenbank, X0. Probenmittelachse, A-A. θ-Drehung, B-B. 2θ-Drehung, F. Röntgenstrahlbrennpunkt, P0. Schnittpunkt von Diagonalen (spezifischer Punkt), P1. Probenmittelpunkt (Referenzposition)

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
Zitierte Patentliteratur

JP 2-069750 A [0004]
JP 2008-057989 A [0004, 0066, 0077, 0145]

Claims

Röntgenanalysevorrichtung (1) zum Detektieren, mit Hilfe eines Röntgenstrahldetektors (57), von Röntgenstrahlen, die von einer Probe (28) abgegeben werden, wenn die Probe mit Röntgenstrahlen bestrahlt wird, wobei die Röntgenanalysevorrichtung eine austauschbare Komponente (34, 35, 36, 37, 27, 26, 52, 53, 54, 55, 56) umfasst; wobei die Röntgenanalysevorrichtung Folgendes umfasst: – einen Indikator (Zahlen oder Buchstaben des Alphabets in einem Rahmenmuster 73 eines Schildes 70), der an der austauschbaren Komponente angeordnet ist; – eine Kamera (16) zum Fotografieren der austauschbaren Komponente und des Indikators; und – ein Komponentenart-Berechnungsmittel (CPU 8, Software 74) zum Spezifizieren der Artbezeichnungen (mittlere 2-stellige Symbole „34“, „01“ in den 5A, 5B) der austauschbaren Komponente durch Berechnung auf der Grundlage eines Bildes des Indikators, das von der Kamera aufgenommen wurde.
Röntgenanalysevorrichtung (1) zum Detektieren, mit Hilfe eines Röntgenstrahldetektors (57), von Röntgenstrahlen, die von einer Probe (28) abgegeben werden, wenn die Probe mit Röntgenstrahlen bestrahlt wird, wobei die Röntgenanalysevorrichtung eine austauschbare Komponente (34, 35, 36, 37, 27, 26, 52, 53, 54, 55, 56) umfasst; wobei die Röntgenanalysevorrichtung Folgendes umfasst: – einen Indikator (Zahlen oder Buchstaben des Alphabets in einem Rahmenmuster 73 eines Schildes 70), der an der austauschbaren Komponente angeordnet ist; – eine Kamera (16) zum Fotografieren der austauschbaren Komponente und des Indikators; und – ein Komponentenpositions-Berechnungsmittel (CPU 8, Software 74) zum Spezifizieren der Position (am linken Ende befindliche 2-stellige Symbole „12“, „AB“, in den 5A, 5B), wo die austauschbare Komponente montiert ist, durch Berechnung auf der Grundlage eines Bildes des Indikators, das von der Kamera aufgenommen wurde.
Röntgenanalysevorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, wobei der Indikator eines von Folgendem ist: (a) ein Symbol (Zahlen, Buchstaben des Alphabets), das den Schildern (70) hinzugefügt wird, die an der austauschbaren Komponente angebracht sind, (b) die Form der austauschbaren Komponente, (c) eine Farbe, die der austauschbaren Komponente hinzugefügt wird, (d) eine Farbe des Schildes (70), das an der austauschbaren Komponente angebracht ist, (e) ein Symbol, das direkt auf die austauschbaren Komponenten geschrieben ist, oder (f) ein Symbol, das direkt auf die austauschbaren Komponenten eingraviert ist.
Röntgenanalysevorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, wobei die austauschbare Komponente eine optische Röntgenkomponente (34, 35, 36, 37, 52, 53, 54, 55, 56) und/oder ein Anbauteil (27, 26) ist.
Röntgenanalysevorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, die Folgendes umfasst: – ein Muster (73), in dem zwei zueinander orthogonale Richtungen klassifiziert werden können; und – ein Komponentenrichtungs-Berechnungsmittel (CPU 8, Software 74) zum Spezifizieren der Richtung der austauschbaren Komponente durch Berechnung auf der Grundlage des Musters.
Röntgenanalysevorrichtung nach Anspruch 5, wobei das Muster, in dem zwei zueinander orthogonale Richtungen klassifiziert werden können, ein rechteckiger Rahmen (73) ist.
Röntgenanalysevorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, umfassend ein Komponentenentfernungs-Berechnungsmittel (CPU 8, Software 74) zum Berechnen der Entfernung von einem Referenzpunkt (P1) in dem aufgenommenen Bild der Kamera (16) zu einem spezifischen Punkt der austauschbaren Komponente.
Röntgenanalysevorrichtung nach Anspruch 7, wobei ein rechteckiger Rahmen (73) zu der austauschbaren Komponente hinzugefügt wird und der spezifische Punkt auf der austauschbaren Komponente ein Schnittpunkt (P0 in den 7A, 7B) der Diagonalen des rechteckigen Rahmens ist.
Röntgenanalysevorrichtung nach Anspruch 7, wobei ein rechteckiger Rahmen (73) zu der austauschbaren Komponente hinzugefügt wird und der spezifische Punkt der austauschbaren Komponente eine Ecke des rechteckigen Rahmens ist.
Röntgenanalysevorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 9, wobei die austauschbare Komponente einen Indikator mit einer linearen Länge (eine Seite eines Rahmen 73 in den 5, 7) oder einen Indikator mit einer planaren Breite (eine Fläche eines Rahmens in den 5, 7) aufweist; und die Röntgenanalysevorrichtung ein Komponenten-Z-Positions-Berechnungsmittel (CPU 8, Software 74) zum Berechnen einer Änderung der Länge eines Indikators mit einer linearen Länge oder einer Änderung der Fläche eines Indikators mit einer planaren Breite und zum Finden einer Änderung der Vorwärts-Rückwärts-Position der austauschbaren Komponente relativ zu der Kamera durch eine Berechnung auf der Grundlage der Änderung der Länge oder der Änderung der Fläche aufweist.
Röntgenanalysevorrichtung nach Anspruch 1, die ein Berechnungsmittel (CPU 8, Software 74, Datenbank 77, 78) zum Feststellen, ob die Art der austauschbaren Komponente korrekt ist oder nicht, anhand des Berechnungsergebnisses des Komponentenart-Berechnungsmittels (CPU 8, Software 74) aufweist.
Röntgenanalysevorrichtung nach Anspruch 2, die ein Berechnungsmittel (CPU 8, Software 74, Datenbank 77, 78) zum Feststellen, ob die Position der austauschbaren Komponente korrekt ist oder nicht, anhand des Berechnungsergebnisses des Komponentenpositions-Berechnungsmittels (CPU 8, Software 74) aufweist.
Röntgenanalysevorrichtung nach Anspruch 5, die ein Berechnungsmittel (CPU 8, Software 74, Datenbank 77, 78) zum Feststellen, ob die Richtung der austauschbaren Komponente korrekt ist oder nicht, anhand des Berechnungsergebnisses des Komponentenrichtungs-Berechnungsmittels (CPU 8, Software 74) aufweist.
Röntgenanalysevorrichtung nach Anspruch 7, die ein Berechnungsmittel (CPU 8, Software 74, Datenbank 77, 78) zum Feststellen, ob die Entfernung der austauschbaren Komponente korrekt ist oder nicht, anhand des Berechnungsergebnisses des Komponentenentfernungs-Berechnungsmittels (CPU 8, Software 74) aufweist.
Röntgenanalysevorrichtung nach Anspruch 10, die ein Berechnungsmittel (CPU 8, Software 74, Datenbank 77, 78) zum Feststellen, ob die Vorwärts-Rückwärts-Position der austauschbaren Komponente korrekt ist oder nicht, anhand der Berechnungsergebnisse des Komponenten-Z-Positions-Berechnungsmittel (CPU 8, Software 74) aufweist.
Röntgenanalysevorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, ferner umfassend: eine Abdeckung, die Folgendes umschließt: Mittel (33) zum Bestrahlen der Probe mit Röntgenstrahlen, Mittel (51) zum Detektieren von Röntgenstrahlen, die durch die Probe abgegeben werden, die austauschbare Komponente und die Kamera, wobei die Abdeckung durch ein Gehäuse ohne Beobachtungsfenster und eine Tür ohne Beobachtungsfenster gebildet ist.