JP5598926B2 - X線回折測定データの解析方法 - Google Patents
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Description
このように解析処理を繰り返していくことで、次第に解析精度が高まっていく。
図1は、本発明に係るX線回折測定データの解析方法の実施に用いられる解析システムの構成例を示すブロック図である。
この解析システムは、解析処理の全般的な制御を司るコンピュータ1を有しており、そのコンピュータ1は、CPU(中央処理装置)2と、各種データを読み書き自在に格納する半導体メモリ3と、各種の外部機器との間に配置されるインターフェースI/Fとを有している。
各インターフェースI/Fには、例えば、ハードディスク等の外部記憶装置4、測定機器としてのX線回折装置5、出力機器としてのプリンタ6やディスプレイ7がそれぞれ接続されている。
図3〜図5は、本実施形態に係るX線回折測定データの解析方法を示すフローチャートである。
図3に示すように、測定試料Sに対し、X線回折装置5がX線回折測定を開始すると(ステップS1)、分析システムは、X線回折装置5からのX線回折測定データ(以下、単に測定データと称することもある)を入力して、逐次、ピーク位置と積分強度を求めていく(ステップS2)。なお、測定データが2次元データであった場合は、解析処理に先立って2次元データを1次元データに変換する。
上述した測定データの入力(ステップS2)からピーク位置・積分強度の解析(ステップS3)、X線回折プロファイル20のディスプレイ7への表示(ステップS4)の各処理は、X線回折測定の進行に合わせて連続して行われる。したがって、ディスプレイ7上に表示されるX線回折プロファイル20は、回折角度2θの低角側(図の左側)から高角側(図の右側)へと順次延びていく。
例えば、定性分析は、既述した標準ピークカードデータを用いた手法で行うことができる。すなわち、測定開始から定性分析を行うまで(すなわち、設定本数のピークをカウントするまで)にステップS3で求められた回折X線のピーク位置と積分強度について、あらかじめデータベース化してある標準ピークカードデータと照合して、測定試料Sに含まれる物質を検索する。
図5は、測定試料Sに対する簡易判定の処理手順を示している。同図に示すように、簡易判定の処理ステップでは、ステップS7で検索された物質を、測定試料Sに含まれる物質としてあらかじめ予想された物質と照合する(ステップS90)。さらに、ステップS7で検索された物質が、予期しない不純物(すなわち、含まれることがあり得ない物質)であるか否かを判定基準として、測定試料Sを簡易判定する。
なお、ステップS7で得られた分析結果は、少ない測定データに基づき簡易に処理されたものであるから精度は低い。よって、通常は解析処理が進むにつれてステップS7で得られる分析結果は変わっていく。
例えば、図7〜図10を参照すると、検察された物質の標準ピークカードデータ21の種類と、同物質の量的割合22が、初期段階の分析結果を表示する図7から、測定の進行に合わせて図8、図9、図10と進むにつれて、逐次変更されていることがわかる。
勿論、後ろに行くほど解析処理のもとになる測定データの量が多いため、分析結果の精度は上がっている。
このようにして得られた分析結果をもって、最終定な測定試料Sの同定を高精度に行うことができる。
例えば、X線回折測定データの解析を開始した後の解析処理のタイミングとしては、次のタイミングをもって実行するようにしてもよい。
(a)あらかじめ設定した測定角度毎に、測定開始から当該測定角度に至るまでに得られたX線回折測定データに基づき、次の解析を実行する。
(b)あらかじめ設定した時間間隔毎に、測定開始から当該時間間隔に至るまでに得られたX線回折測定データに基づき、次の解析を実行する。
(c)X線回折装置から出力されたX線回折測定データに基づき回折X線のピーク位置と積分強度を求め、当該求めた回折X線のピーク本数を計数し、あらかじめ設定したピーク本数に達する毎に、次の解析を実行する。
(d)X線回折装置から出力されたX線回折測定データに基づき回折X線のピーク位置と積分強度を求め、新しい回折X線のピークが出る毎に、次の解析を実行する。
ただし、これら(a)〜(d)のいずれかのタイミングで解析処理を実行する場合は、その実行前に直前の解析処理が終了しているか否かを判定し、当該直前の解析処理が終了していることを条件とする。
10:X線源、11:試料回転系、12:X線検出器、
20:X線回折プロファイル、21:標準ピークカードデータ、22:検索した物質の量的割合、
S:測定試料
Claims (6)
- X線回折装置によるX線回折測定と並行して、X線回折装置から出力されたX線回折測定データに基づき当該データの解析を繰り返し実行するX線回折測定データの解析方法であって、
X線回折装置から出力されたX線回折測定データに基づき回折X線のピーク位置と積分強度を求め、当該求めた回折X線のピーク本数を計数し、あらかじめ設定したピーク本数に達したとき、前記X線回折測定データの解析を開始することを特徴としたX線回折測定データの解析方法。 - 前記X線回折測定データの解析を開始した後は、解析処理が終了する毎に、測定開始から当該解析処理の終了までに得られたX線回折測定データに基づき、次の解析を実行することを特徴とする請求項1のX線回折データの解析方法。
- 前記X線回折測定データの解析は、測定開始から当該解析処理までに得られたX線回折測定データから求めた回折X線のピーク位置と積分強度を、あらかじめデータベース化してある標準ピークカードデータと照合して、測定試料に含まれる物質を検索する定性分析を含むことを特徴とする請求項1又は2のX線回折測定データの解析方法。
- 前記X線回折測定データの解析は、前記定性分析に加えて、測定開始から当該解析処理までに得られたX線回折測定データに基づき、測定試料に含まれる物質の量を求める定量分析を含むことを特徴とする請求項3のX線回折測定データの解析方法。
- X線回折装置によるX線回折測定が終了した後、当該X線回折装置から出力された測定開始から終了までの全X線回折測定データから求めた回折X線のピーク位置と積分強度を、あらかじめデータベース化してある標準ピークカードデータと照合して、測定試料に含まれる物質を検索する定性分析を行うことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載のX線回折測定データの解析方法。
- X線回折装置によるX線回折測定が終了した後、当該X線回折装置から出力された測定開始から終了までの全X線回折測定データに基づき、測定試料に含まれる物質の量を求める定量分析を行うことを特徴とする請求項1乃至5のいずれか一項に記載のX線回折測定データの解析方法。
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