JPH04122833A - 漏れ試験方法および装置 - Google Patents
漏れ試験方法および装置Info
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- JPH04122833A JPH04122833A JP24544090A JP24544090A JPH04122833A JP H04122833 A JPH04122833 A JP H04122833A JP 24544090 A JP24544090 A JP 24544090A JP 24544090 A JP24544090 A JP 24544090A JP H04122833 A JPH04122833 A JP H04122833A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
本発明は燃料タンク、ニアコンディショナー用コンデン
サーなどの容器の漏れ試験に適用される試験方法、およ
び、この試験に使用される試験装置に関するものである
。
サーなどの容器の漏れ試験に適用される試験方法、およ
び、この試験に使用される試験装置に関するものである
。
従来、容器の漏れ試験にあっては、被試験物たる容器に
プローブガスを収容して試験装置の外周容器内に置き、
外周容器内を真空排気するに伴って排気中に漏れ出たプ
ローブガスの量を測定することが行われている。 また上記試験における排気中のプローブガスの量を測定
する方式として、 ■フロン化合物、Ｈ２、ＳＦ、などをブローブガスとし
て用いて、その漏れをガスセンサに検知せる方式。 ■Ｈｅのようなガスをプローブガスとして用で、その漏
れを四電極質量分析計、電磁界偏向量分析計などの質量
分析型Ｈｅ検出器に検知さる方式。
プローブガスを収容して試験装置の外周容器内に置き、
外周容器内を真空排気するに伴って排気中に漏れ出たプ
ローブガスの量を測定することが行われている。 また上記試験における排気中のプローブガスの量を測定
する方式として、 ■フロン化合物、Ｈ２、ＳＦ、などをブローブガスとし
て用いて、その漏れをガスセンサに検知せる方式。 ■Ｈｅのようなガスをプローブガスとして用で、その漏
れを四電極質量分析計、電磁界偏向量分析計などの質量
分析型Ｈｅ検出器に検知さる方式。
しかしながら、上記各方式には下記のような・点があっ
た。 ■の方式 プローブガスとしてフロン化合物ガスを用い方式は環境
破壊の問題があり、フロンガス以外（他のハロゲンガス
にあっては、機器にハロデフ１食が発生する。 又、一般にプローブガスを用いる漏洩試験で１多量の排
気中に含まれる微量のプローブガスを８定するものであ
り、また、ガスセンサが漏れにｔ応するまでにある程度
に時間が必要であって、ｌ定数が大きくならざるを得ず
、高速応答性に欠１：る。 ハロゲンガス以外のプローブガスを用いる場合であって
も、ガスセンサの経時的な劣化や特性変化を避けるため
、定期的な校正や取替を行わねばならない。 ■の方式 質量分離型の検出器は、検出に際して１０−３〜１０−
’Ｐａもの高真空を必要とするため、特別な高真空装置
を用いねばならず、また、検出に必要な高真空状態を実
現するため、ある程度の立ち上げ時間が必要とされる。 また、被試験物に漏れを生じさせるために必要な真空度
は、被試験物から漏れ出たプローブガスを検知するため
に必要な真空度より圧力が高いため、真空排気のための
経路を分岐して高真空のＨｅ検出器へ導入しなければな
らず、分岐した流量比重分だけ感度が低くなる。また、
検出のための高真空系の真空度を維持するため、ガス導
入のための分岐経路に細い管を用い、あるいは、リーク
バルブ等を用いてフンダクタンス（気体の通りやすさ）
を小さくして差圧をつけねばならず、時定数が大きくな
って高速応答性に欠ける。 本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、プローブガ
スの使用範囲が広く、高速応答性に優れ、さらには、高
い真空を必要としない漏れ試験を可能とすることを目的
とするものである。
た。 ■の方式 プローブガスとしてフロン化合物ガスを用い方式は環境
破壊の問題があり、フロンガス以外（他のハロゲンガス
にあっては、機器にハロデフ１食が発生する。 又、一般にプローブガスを用いる漏洩試験で１多量の排
気中に含まれる微量のプローブガスを８定するものであ
り、また、ガスセンサが漏れにｔ応するまでにある程度
に時間が必要であって、ｌ定数が大きくならざるを得ず
、高速応答性に欠１：る。 ハロゲンガス以外のプローブガスを用いる場合であって
も、ガスセンサの経時的な劣化や特性変化を避けるため
、定期的な校正や取替を行わねばならない。 ■の方式 質量分離型の検出器は、検出に際して１０−３〜１０−
’Ｐａもの高真空を必要とするため、特別な高真空装置
を用いねばならず、また、検出に必要な高真空状態を実
現するため、ある程度の立ち上げ時間が必要とされる。 また、被試験物に漏れを生じさせるために必要な真空度
は、被試験物から漏れ出たプローブガスを検知するため
に必要な真空度より圧力が高いため、真空排気のための
経路を分岐して高真空のＨｅ検出器へ導入しなければな
らず、分岐した流量比重分だけ感度が低くなる。また、
検出のための高真空系の真空度を維持するため、ガス導
入のための分岐経路に細い管を用い、あるいは、リーク
バルブ等を用いてフンダクタンス（気体の通りやすさ）
を小さくして差圧をつけねばならず、時定数が大きくな
って高速応答性に欠ける。 本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、プローブガ
スの使用範囲が広く、高速応答性に優れ、さらには、高
い真空を必要としない漏れ試験を可能とすることを目的
とするものである。
上記目的を達成するため、
請求項１記載の発明は、
少なくともプローブガスを含む気体が封入された被試験
物を外周容器に収納し、被試験物の周囲を真空排気し、
外周容器内部と真空排気手段を結ぶ流路中の気体を発光
分光し、その発光スペクトルを分析することにより前記
気体中に含まれるプローブガスの量を測定し、この測定
結果から被試験物の漏れの有無を判定するようにしたも
のである。 また請求項２記載の発明は、 少なくともプローブガスを含む気体が封入された被試験
物を収容する外周容器と、該外周容器内部を真空排気す
る手段と、該外周容器内部と真空排気手段を結ぶ真空排
気路と、該真空排気路の途中に設けられて内部の気体の
成分元素を励起発光させる手段と、前記気体が発光した
光線を分光する手段と、前記分光された光線を分析する
手段と前記真空排気路の圧力を測定する圧力計と、該圧
力計の測定値と前記分析手段の分析結果とから漏れ量を
演算する演算部とから構成したものである。
物を外周容器に収納し、被試験物の周囲を真空排気し、
外周容器内部と真空排気手段を結ぶ流路中の気体を発光
分光し、その発光スペクトルを分析することにより前記
気体中に含まれるプローブガスの量を測定し、この測定
結果から被試験物の漏れの有無を判定するようにしたも
のである。 また請求項２記載の発明は、 少なくともプローブガスを含む気体が封入された被試験
物を収容する外周容器と、該外周容器内部を真空排気す
る手段と、該外周容器内部と真空排気手段を結ぶ真空排
気路と、該真空排気路の途中に設けられて内部の気体の
成分元素を励起発光させる手段と、前記気体が発光した
光線を分光する手段と、前記分光された光線を分析する
手段と前記真空排気路の圧力を測定する圧力計と、該圧
力計の測定値と前記分析手段の分析結果とから漏れ量を
演算する演算部とから構成したものである。
上記構成であると、真空排気経路中で排気ガスを直接発
光分光分析するから、低真空下（真空排気途中の数百Ｐ
ａ程度）でもプローブガスの有無および量を検出するこ
とができる。
光分光分析するから、低真空下（真空排気途中の数百Ｐ
ａ程度）でもプローブガスの有無および量を検出するこ
とができる。
以下、図面を祭照して本発明の一実施例を説明する。
符号２は被試験物（容器）４を収容する外周容器であっ
て、上下２つの部材６・８に分割可能な構造とされ、両
部材６・８０間には、シール材１０が設けられてこれら
の間を封止するようになっている。 前記外周容器２の上部には、真空排気路Ｉ２が設けられ
ている。この真空排気路１２は、ロータリーポンプなと
の真空ポンプ１４に接続されており、この真空ポンプ１
４へ向かう流路の途中にはプラズマ発光器１６が設けら
れている。このプラズマ発光器１６は、例えば誘導コイ
ルによる高圧放電を利用する方式（いわゆるガイスラー
管）、あるいはグロー放電方式（ＨＦ−ＶＨＦ、ＵＨＦ
領域を用いることができ、間欠放電、連続放電のイスレ
でもよい）により放電するようになっている。またプラ
ズマ放電器１６が放出したエネルキを真空排気路１２内
の気体が受けて気体の成分元素が励起し、発光する。こ
の光線は、スリット１８を介して分光器２０へ入射する
ことにより分光され、光電子増倍管スペクトル検出器（
フォトマルチプライヤ−）２２のスキャンニングに伴っ
て各波長に対応した光線のレベルの電気信号が順次出力
されるようになっている。さらに、前記スペクトル検出
器２２の測定テークたる信号は、緩衝増幅器２４によっ
て所定のレベルまで増幅されてスペクトルメモリ２６に
一旦記憶されるようになっている。そしてスペクトル検
出器２２の出力信号は、第２図に示すように、気体の種
類に対応する波長（特性スペクトル線）により強度が異
なった特性を持っている。なお前記分光器２２は、プリ
ズム、回折格子、干渉計などの各方式が採用され、また
、スペクトルには、赤外領域、可視領域、紫外領域のい
ずれの光線を用いてもよい。また、スペクトルメモリ２
６に記憶されたスペクトルデータか存在比演算部３６に
供給される。 この存在比演算部３６において、スペクトルデータから
、排気ガス中のプローブガス存在量と参照ガス存在量の
比すなわち存在比を演算算出する。 存在比データは、漏れ量演算部３４に供給される。 一方、前記真空排気路１２内の圧力は、圧力計２８によ
り測定されて電気信号に変換されるようになっている。 この圧力計２８の出力たる圧力データは、発光制御部３
０に供給されており、この発光制御部３０は、前記プラ
ズマ放電器１６を駆動する高周波プラズマ電源３２を前
記圧力テークによって制御するようになっている。すな
わち発光制御部３２は、真空排気路１２内部か所定の圧
力になることにより、高周波プラズマ電源３２を作動さ
せてプラズマ放電器１６を駆動し、放電を開始させる。 また、放電中は放電が安定化するように、高周波プラズ
マ電源の電圧を制御する。 また前記圧力データは漏れ量演算部３４にも供給されて
いる。さらに、漏れ量演算部３４には、真空ポンプ１４
の排気速度、真空排気路１２のコンダクタンスなどの定
数が予め入力設定されている。前記定数は、真空ポンプ
１４の容量および真空排気路１２の形状、長さによって
決まるものである。この漏れ量演算部３４において、前
記存在比データと前記圧力データおよび真空ポンプ１４
の排気速度、真空排気路１２のコンダクタンスなどの定
数から漏れ量を演算するようになっている。 すなわち、発光分光分析によって得られるプローブガス
と圧カテータおよび真空ポンプ１４の排気速度、真空排
気路１２のコンタクタンスなどの定数に基づいて被試験
物４から漏れの出て来たプローブガスの流量が演算算出
されるようになっている。 また漏れ量演算部３４の演算結果としての漏れ量データ
は、判定回路３８に供給されており、この判定回路は、
設定手段４ｏによって適宜の値に設定されたしきい値（
電圧）と前記漏れ量データとを比較して、Ｇ（漏れ量が
基準値以下）、あるイハ、ＮＧ（漏れ量が基準値を趙え
る）のいずれかの判断信号を出力するようになっている
。 一方、前記外周容器２内の被試験物４は、給排気路４２
に接続されている。この給排気路４２は、既知の組成の
プローブガスを貯留するタンク４４に接続されており、
その途中には、被試験物４ヘブｏ−−ｊｆｆスを供給す
るコンプレッサ４６と、被試験物４からタンク４４ヘブ
ローブガスを戻す回収ポンプ４８とが並列に設けられて
いる。さらに、Ｒ２コンプレツサ４６の両側には電磁弁
５ｏ・５２が設けられ、また、前記ポンプ４８の両側に
は電磁弁５４・５６が設けられており、これらの切換に
よって、前記給排気路４２が前記コンプレッサ４４を経
由する流れ、または回収ポンプ４８を経由する流れに択
一的に切換られるようになっている。また前記給排気路
４２には電磁弁５８が設けられて、該給排気路°４２を
任意に大気開放することができるようになっている。 なお符号６０は外周容器２と真空排気路１２との間を開
閉する電磁弁、符号６２は真空ポンプ１２の吐出空気か
らオイルミスト分を除去するトラップである。 以上のように構成された漏れ試験装置にあっては、次の
ような順序で漏れ試験が行われる。 ■電磁弁５４・５６・５８を閉じ、５０・５２を開いて
コンプレッサ４４を駆動すると、被試験物４内にタンク
４４からプローブガスが注入される。 ■必要量のプローブガスを注入することにより被試験物
４内を所定の圧力とした後、電磁弁５０・５２を閉じる
。 ■電磁弁６０を開いて真空ポンプ１４を作動させると、
外周容器２内の圧力が徐々に低下する。 また発光制御部３０は、圧力計２８からの圧力データに
基づき、真空排気路１２内部の圧力が所定の圧力になっ
た時点で、高周波プラズマ電源３２を作動させ、プラズ
マ放電器１６を駆動する。プラズマ放電器１６が、放電
すると真空排気路１２内部の気体が励起し、発光する。 フォトマルチプライヤ−で発光スペクトル全帯域の波長
をスキャンニングすることにより排気の組成成分とスペ
クトルの強度を知ることができる。そして、測定された
排気の各成分のスペクトル強度は、緩衝増幅器２４で増
幅されスペクトルメモリ２６にスペクトルデータとして
記憶される。 ■存在比演算部３６でスペクトルデータからプローブガ
スと参照ガスの存在比を演算算出する。 そして、漏れ量演算部３４が存在比データと圧力データ
と真空ポンプの排気速度と排気路のコンダクタンスとか
ら漏れ量を演算算出する。これにより、判定回路３８で
漏れ量がしきい値設定手段４０で設定したしきい値以下
であるか否かについてのＧまたはＮＧの判定信号を出力
する。 ■判定が終わると、真空ポンプ１４を停止させ、電磁弁
５０・５２を閉じ、さらに、電磁弁５４・５６を開放し
てポンプ４８を駆動することにより、容器４内のプロー
ブガスをタンク４４に回収する。 なお、プローブガスとして安価なＮ、ガスを用いる場合
には、タンク４４への回収を省略してもよい。 ■外周容器２を分割して被試験物４を取り出すと、試験
が終了する。 なお、上記実施例では被試験物４の内部を一定の圧力と
して試験を行うようにしたが、被試験物４内の圧力を変
化させながら同様の試験を行って、前記圧力変化に同期
した発光分光分析結果の検知により漏れを判定するよう
にしてもよい。 すなわち、コンプレッサー４６を駆動することによって
被試験物４内に周期的な圧力変化を与える一方、ロック
インアンプを用いて、スペクトル検出器２２の出力（ス
キャンニングを停止させて特定ガスの特性スペクトル線
のみを取り出す）の前記周期的圧力変化に同期した交流
成分を抽出することにより、特定ガスの特性スペクトル
成分の交流成分を抽出して漏れ量を判定することができ
る。
て、上下２つの部材６・８に分割可能な構造とされ、両
部材６・８０間には、シール材１０が設けられてこれら
の間を封止するようになっている。 前記外周容器２の上部には、真空排気路Ｉ２が設けられ
ている。この真空排気路１２は、ロータリーポンプなと
の真空ポンプ１４に接続されており、この真空ポンプ１
４へ向かう流路の途中にはプラズマ発光器１６が設けら
れている。このプラズマ発光器１６は、例えば誘導コイ
ルによる高圧放電を利用する方式（いわゆるガイスラー
管）、あるいはグロー放電方式（ＨＦ−ＶＨＦ、ＵＨＦ
領域を用いることができ、間欠放電、連続放電のイスレ
でもよい）により放電するようになっている。またプラ
ズマ放電器１６が放出したエネルキを真空排気路１２内
の気体が受けて気体の成分元素が励起し、発光する。こ
の光線は、スリット１８を介して分光器２０へ入射する
ことにより分光され、光電子増倍管スペクトル検出器（
フォトマルチプライヤ−）２２のスキャンニングに伴っ
て各波長に対応した光線のレベルの電気信号が順次出力
されるようになっている。さらに、前記スペクトル検出
器２２の測定テークたる信号は、緩衝増幅器２４によっ
て所定のレベルまで増幅されてスペクトルメモリ２６に
一旦記憶されるようになっている。そしてスペクトル検
出器２２の出力信号は、第２図に示すように、気体の種
類に対応する波長（特性スペクトル線）により強度が異
なった特性を持っている。なお前記分光器２２は、プリ
ズム、回折格子、干渉計などの各方式が採用され、また
、スペクトルには、赤外領域、可視領域、紫外領域のい
ずれの光線を用いてもよい。また、スペクトルメモリ２
６に記憶されたスペクトルデータか存在比演算部３６に
供給される。 この存在比演算部３６において、スペクトルデータから
、排気ガス中のプローブガス存在量と参照ガス存在量の
比すなわち存在比を演算算出する。 存在比データは、漏れ量演算部３４に供給される。 一方、前記真空排気路１２内の圧力は、圧力計２８によ
り測定されて電気信号に変換されるようになっている。 この圧力計２８の出力たる圧力データは、発光制御部３
０に供給されており、この発光制御部３０は、前記プラ
ズマ放電器１６を駆動する高周波プラズマ電源３２を前
記圧力テークによって制御するようになっている。すな
わち発光制御部３２は、真空排気路１２内部か所定の圧
力になることにより、高周波プラズマ電源３２を作動さ
せてプラズマ放電器１６を駆動し、放電を開始させる。 また、放電中は放電が安定化するように、高周波プラズ
マ電源の電圧を制御する。 また前記圧力データは漏れ量演算部３４にも供給されて
いる。さらに、漏れ量演算部３４には、真空ポンプ１４
の排気速度、真空排気路１２のコンダクタンスなどの定
数が予め入力設定されている。前記定数は、真空ポンプ
１４の容量および真空排気路１２の形状、長さによって
決まるものである。この漏れ量演算部３４において、前
記存在比データと前記圧力データおよび真空ポンプ１４
の排気速度、真空排気路１２のコンダクタンスなどの定
数から漏れ量を演算するようになっている。 すなわち、発光分光分析によって得られるプローブガス
と圧カテータおよび真空ポンプ１４の排気速度、真空排
気路１２のコンタクタンスなどの定数に基づいて被試験
物４から漏れの出て来たプローブガスの流量が演算算出
されるようになっている。 また漏れ量演算部３４の演算結果としての漏れ量データ
は、判定回路３８に供給されており、この判定回路は、
設定手段４ｏによって適宜の値に設定されたしきい値（
電圧）と前記漏れ量データとを比較して、Ｇ（漏れ量が
基準値以下）、あるイハ、ＮＧ（漏れ量が基準値を趙え
る）のいずれかの判断信号を出力するようになっている
。 一方、前記外周容器２内の被試験物４は、給排気路４２
に接続されている。この給排気路４２は、既知の組成の
プローブガスを貯留するタンク４４に接続されており、
その途中には、被試験物４ヘブｏ−−ｊｆｆスを供給す
るコンプレッサ４６と、被試験物４からタンク４４ヘブ
ローブガスを戻す回収ポンプ４８とが並列に設けられて
いる。さらに、Ｒ２コンプレツサ４６の両側には電磁弁
５ｏ・５２が設けられ、また、前記ポンプ４８の両側に
は電磁弁５４・５６が設けられており、これらの切換に
よって、前記給排気路４２が前記コンプレッサ４４を経
由する流れ、または回収ポンプ４８を経由する流れに択
一的に切換られるようになっている。また前記給排気路
４２には電磁弁５８が設けられて、該給排気路°４２を
任意に大気開放することができるようになっている。 なお符号６０は外周容器２と真空排気路１２との間を開
閉する電磁弁、符号６２は真空ポンプ１２の吐出空気か
らオイルミスト分を除去するトラップである。 以上のように構成された漏れ試験装置にあっては、次の
ような順序で漏れ試験が行われる。 ■電磁弁５４・５６・５８を閉じ、５０・５２を開いて
コンプレッサ４４を駆動すると、被試験物４内にタンク
４４からプローブガスが注入される。 ■必要量のプローブガスを注入することにより被試験物
４内を所定の圧力とした後、電磁弁５０・５２を閉じる
。 ■電磁弁６０を開いて真空ポンプ１４を作動させると、
外周容器２内の圧力が徐々に低下する。 また発光制御部３０は、圧力計２８からの圧力データに
基づき、真空排気路１２内部の圧力が所定の圧力になっ
た時点で、高周波プラズマ電源３２を作動させ、プラズ
マ放電器１６を駆動する。プラズマ放電器１６が、放電
すると真空排気路１２内部の気体が励起し、発光する。 フォトマルチプライヤ−で発光スペクトル全帯域の波長
をスキャンニングすることにより排気の組成成分とスペ
クトルの強度を知ることができる。そして、測定された
排気の各成分のスペクトル強度は、緩衝増幅器２４で増
幅されスペクトルメモリ２６にスペクトルデータとして
記憶される。 ■存在比演算部３６でスペクトルデータからプローブガ
スと参照ガスの存在比を演算算出する。 そして、漏れ量演算部３４が存在比データと圧力データ
と真空ポンプの排気速度と排気路のコンダクタンスとか
ら漏れ量を演算算出する。これにより、判定回路３８で
漏れ量がしきい値設定手段４０で設定したしきい値以下
であるか否かについてのＧまたはＮＧの判定信号を出力
する。 ■判定が終わると、真空ポンプ１４を停止させ、電磁弁
５０・５２を閉じ、さらに、電磁弁５４・５６を開放し
てポンプ４８を駆動することにより、容器４内のプロー
ブガスをタンク４４に回収する。 なお、プローブガスとして安価なＮ、ガスを用いる場合
には、タンク４４への回収を省略してもよい。 ■外周容器２を分割して被試験物４を取り出すと、試験
が終了する。 なお、上記実施例では被試験物４の内部を一定の圧力と
して試験を行うようにしたが、被試験物４内の圧力を変
化させながら同様の試験を行って、前記圧力変化に同期
した発光分光分析結果の検知により漏れを判定するよう
にしてもよい。 すなわち、コンプレッサー４６を駆動することによって
被試験物４内に周期的な圧力変化を与える一方、ロック
インアンプを用いて、スペクトル検出器２２の出力（ス
キャンニングを停止させて特定ガスの特性スペクトル線
のみを取り出す）の前記周期的圧力変化に同期した交流
成分を抽出することにより、特定ガスの特性スペクトル
成分の交流成分を抽出して漏れ量を判定することができ
る。
以上の説明で明らかなように、本願発明は、プローブガ
スを含む気体が封入された被試験物を外周容器に収納し
、被試験物の周囲を真空排気し、外周容器内部と真空排
気手段を結ぶ流路中の気体を発光分光し、その発光スペ
クトルを分析することにより前記気体中のプローブガス
の有無または量を介して被試験物の漏れの有無を判定す
るものであるから、被試験物周囲の圧力が低下して被試
験物内のプローブガスが真空排気中に流出した場合に、
排気流路中の発光気体の分光分析により、その流出の度
合を直ちに判定することができ、したがって、 ａ６発光分光分析は、プローブガスの種類を問わないか
ら、プローブガスとして種々のものを利用することがで
きる。 ｂ、真空排気そのものを発光分光分析して測定している
から、真空度のいかんを問わず、被試験物内のプローブ
ガスの排気中への漏れを直ちに分光分析結果に反映させ
ることができ、したがって、高速応答性に優れている。
スを含む気体が封入された被試験物を外周容器に収納し
、被試験物の周囲を真空排気し、外周容器内部と真空排
気手段を結ぶ流路中の気体を発光分光し、その発光スペ
クトルを分析することにより前記気体中のプローブガス
の有無または量を介して被試験物の漏れの有無を判定す
るものであるから、被試験物周囲の圧力が低下して被試
験物内のプローブガスが真空排気中に流出した場合に、
排気流路中の発光気体の分光分析により、その流出の度
合を直ちに判定することができ、したがって、 ａ６発光分光分析は、プローブガスの種類を問わないか
ら、プローブガスとして種々のものを利用することがで
きる。 ｂ、真空排気そのものを発光分光分析して測定している
から、真空度のいかんを問わず、被試験物内のプローブ
ガスの排気中への漏れを直ちに分光分析結果に反映させ
ることができ、したがって、高速応答性に優れている。
【図面の簡単な説明】
図面は本発明の一実施例を示すもので、第１図はブロッ
ク図、第２図はスペクトル検出器の出力波形図である。 ２・・・・・・外周容器、４・・・・・・被試験物（容
器）、１２・・・・・真空排気路、１４・・・・真空ポ
ンプ、１６・・・・プラズマ放電器、１８・・・・・・
スリット、２ｏ・・・・・・分光器、２２・・・・光電
子増倍管スペクトル検出器（フォトマルチプライヤ−）
、２４・・・・・緩衝増幅器、２６・・・・・・スペク
トルメモリ、２８・・・・・・圧力ｉｔ、３０・・・・
発光制御部、３２・・・・高周波プラズマ電源、３４・
−・・漏れ量演算部、３６・・・・・・存在比演算部、
３８・・・・・判定回路、４０・・・・・・しきい値設
定手段。 出願人 ヤ マ ハ 株 式 会 社スペクトル例 →波長 第２図
ク図、第２図はスペクトル検出器の出力波形図である。 ２・・・・・・外周容器、４・・・・・・被試験物（容
器）、１２・・・・・真空排気路、１４・・・・真空ポ
ンプ、１６・・・・プラズマ放電器、１８・・・・・・
スリット、２ｏ・・・・・・分光器、２２・・・・光電
子増倍管スペクトル検出器（フォトマルチプライヤ−）
、２４・・・・・緩衝増幅器、２６・・・・・・スペク
トルメモリ、２８・・・・・・圧力ｉｔ、３０・・・・
発光制御部、３２・・・・高周波プラズマ電源、３４・
−・・漏れ量演算部、３６・・・・・・存在比演算部、
３８・・・・・判定回路、４０・・・・・・しきい値設
定手段。 出願人 ヤ マ ハ 株 式 会 社スペクトル例 →波長 第２図
Claims (2)
- （１）少なくともプローブガスを含む気体が封入された
被試験物を外周容器に収納し、被試験物の周囲を真空排
気し、外周容器内部と真空排気手段を結ぶ流路中の気体
を発光分光し、その発光スペクトルを分析することによ
り前記気体中に含まれるプローブガスの量を測定し、こ
の測定結果から被試験物の漏れの有無を判定することを
特徴とする漏れ試験方法。 - （２）少なくともプローブガスを含む気体が封入された
被試験物を収容する外周容器と、該外周容器内部を真空
排気する手段と、該外周容器内部と真空排気手段を結ぶ
真空排気路と、該真空排気路の途中に設けられて内部の
気体の成分元素を励起発光させる手段と、前記気体が発
光した光線を分光する手段と、前記分光された光線を分
析する手段と前記真空排気路の圧力を測定する圧力計と
、該圧力計の測定値と前記分析手段の分析結果とから漏
れ量を演算する演算部とからなることを特徴とする漏れ
試験装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24544090A JP2926943B2 (ja) | 1990-09-14 | 1990-09-14 | 漏れ試験方法および装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24544090A JP2926943B2 (ja) | 1990-09-14 | 1990-09-14 | 漏れ試験方法および装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04122833A true JPH04122833A (ja) | 1992-04-23 |
| JP2926943B2 JP2926943B2 (ja) | 1999-07-28 |
Family
ID=17133697
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24544090A Expired - Lifetime JP2926943B2 (ja) | 1990-09-14 | 1990-09-14 | 漏れ試験方法および装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2926943B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2494362C1 (ru) * | 2012-04-12 | 2013-09-27 | Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Физический институт им. П.Н. Лебедева Российской академии наук (ФИАН) | Электроразрядный способ обнаружения микротечей паров воды |
| CN104541142A (zh) * | 2012-07-23 | 2015-04-22 | 阿迪克森真空产品公司 | 用于检查密封产品的泄漏的检测方法和设备 |
| CN113588567A (zh) * | 2021-08-31 | 2021-11-02 | 西京学院 | 基于光声光谱的激光痕量真空管道气体检测装置与方法 |
| CN114018512A (zh) * | 2021-10-29 | 2022-02-08 | 深圳市祥为测控技术有限公司 | 液体泄漏检测装置和方法 |
| CN117091772A (zh) * | 2023-10-17 | 2023-11-21 | 宁德时代新能源科技股份有限公司 | 气密性检测方法及气密性检测系统 |
| CN113588567B (zh) * | 2021-08-31 | 2024-05-14 | 西京学院 | 基于光声光谱的激光痕量真空管道气体检测装置与方法 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017072491A (ja) * | 2015-10-08 | 2017-04-13 | Ｖｉｓｔａ株式会社 | 漏れ検査装置及び漏れ検査方法 |
| KR102473925B1 (ko) * | 2017-10-24 | 2022-12-02 | 가부시키가이샤 마루나카 | 가스 분석기 |
-
1990
- 1990-09-14 JP JP24544090A patent/JP2926943B2/ja not_active Expired - Lifetime
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| RU2494362C1 (ru) * | 2012-04-12 | 2013-09-27 | Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Физический институт им. П.Н. Лебедева Российской академии наук (ФИАН) | Электроразрядный способ обнаружения микротечей паров воды |
| CN104541142A (zh) * | 2012-07-23 | 2015-04-22 | 阿迪克森真空产品公司 | 用于检查密封产品的泄漏的检测方法和设备 |
| US20150211955A1 (en) * | 2012-07-23 | 2015-07-30 | Adixen Vacuum Products | Detection method and facility for checking sealed products for leaks |
| JP2015526718A (ja) * | 2012-07-23 | 2015-09-10 | アデイクセン・バキユーム・プロダクト | 密封製品の耐漏洩性を検査するための検出方法及び検出装置 |
| US9841345B2 (en) | 2012-07-23 | 2017-12-12 | Adixen Vacuum Products | Detection method and facility for checking sealed products for leaks |
| CN113588567A (zh) * | 2021-08-31 | 2021-11-02 | 西京学院 | 基于光声光谱的激光痕量真空管道气体检测装置与方法 |
| CN113588567B (zh) * | 2021-08-31 | 2024-05-14 | 西京学院 | 基于光声光谱的激光痕量真空管道气体检测装置与方法 |
| CN114018512A (zh) * | 2021-10-29 | 2022-02-08 | 深圳市祥为测控技术有限公司 | 液体泄漏检测装置和方法 |
| CN117091772A (zh) * | 2023-10-17 | 2023-11-21 | 宁德时代新能源科技股份有限公司 | 气密性检测方法及气密性检测系统 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2926943B2 (ja) | 1999-07-28 |
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