JP2000304651A - プラズマディスプレイパネルの検査装置および製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 オゾンの発生が少なく、オゾン排気装置およ
びオゾン還元装置を必要としない、プラズマディスプレ
イパネル背面板に形成された蛍光体の検査装置、および
その検査装置を用いたプラズマディスプレイパネル背面
板の製造方法を提供する。 【解決手段】 プラズマディスプレイパネル背面板への
ＲＧＢ蛍光体の塗着状態を検査する装置であって、ＲＧ
Ｂ蛍光体の所定の塗着位置に紫外線を照射する紫外線照
射手段と、受光素子が一次元に配列され、ＲＧＢ蛍光体
の塗着位置からのそれぞれの発光を前記所定の塗着位置
毎に検出して映像信号を出力する撮像手段と、映像信号
を所定の基準値と比較し、基準値との異同に基づきＲＧ
Ｂ蛍光体の塗着状態を判断する処理手段とを有すること
を特徴とする、プラズマディスプレイパネルの検査装
置、およびその検査装置を用いたプラズマディスプレイ
パネルの製造方法。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、プラズマディスプ
レイパネルの検査装置および製造方法に関し、とくに、
プラズマディスプレイパネル背面板に形成されたＲＧＢ
蛍光体の塗着状態を検査する装置、およびその検査装置
を用いて所望のプラズマディスプレイパネル背面板を製
造する方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】プラズマディスプレイパネルの背面板に
は、通常、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）用の蛍光体
が、ストライプ状に順に繰り返し塗着されているが、各
蛍光体の塗着状態に欠陥があると、紫外線照射による所
定の蛍光体の発光状態が得られず、ディスプレイパネル
上での映像に欠陥が生じる。したがって、プラズマディ
スプレイパネル背面板の製造段階で蛍光体の塗着状態を
検査している。

【０００３】この検査は、通常、紫外線を各蛍光体が塗
着されたプラズマディスプレイパネル背面板に照射し、
蛍光体が励起、発光した光を受光することによって行わ
れている。大気中の検査では、オゾンの発生に伴い紫外
線のエネルギーが吸収されるので、真空中や窒素ガス雰
囲気中で検査を行う場合もある。しかし、このような特
殊雰囲気下での検査には、特殊雰囲気を作るための設備
が必要になり装置コストが増大すること、特殊雰囲気を
作るために時間がかかり検査効率が低下すること等の問
題がある。

【０００４】このような問題に対し、特開平１１−１６
４９８号公報には、オゾンを排除しながら紫外線照射に
よる検査を行い、大気中でも所定の検査を可能にした検
査方法が開示されている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、特開平
１１−１６４９８号公報に開示の方法には、以下のよう
な問題がある。まず、紫外線照射により発生したオゾン
を排除するために、大がかりな外部との遮蔽カバーおよ
び排気設備が必要になり、装置全体が大型化するととも
に、設備費も増大する。

【０００６】また、蛍光体塗着状態の撮像手段として２
次元カメラを用いているため、撮像を遮らないようにそ
の視野範囲外に紫外線照射手段（紫外線源）を設置しよ
うとすると、プラズマディスプレイパネル背面板から離
れた位置に設置せざるを得ないこととなっている。検査
波長における、酸素を含む雰囲気下での背面板に到達す
る紫外線の強度は、紫外線源と背面板との距離に対し指
数関数的に減衰するので、背面板から離れた位置に設置
した紫外線源により検査に必要な発光強度を得るために
は、強力な紫外線が必要になる。紫外線の強度が高くな
ると、それだけオゾンが大量に発生することになる。

【０００７】オゾンの大量発生は、労働環境上問題であ
り、かつ、金属部分の酸化等の問題も招く。また、オゾ
ン処理には、排気ダクトやオゾン還元装置等が必要にな
り、コストがかかる。

【０００８】そこで本発明の課題は、従来技術の上記問
題点を解決し、オゾンの発生が少なく、オゾン排気装置
およびオゾン還元装置を必要としない、プラズマディス
プレイパネル背面板に形成された蛍光体の検査装置、お
よびその検査装置を用いたプラズマディスプレイパネル
背面板の製造方法を提供することにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明のプラズマディスプレイパネルの検査装置
は、プラズマディスプレイパネル背面板へのＲＧＢ蛍光
体の塗着状態を検査する装置であって、ＲＧＢ蛍光体の
所定の塗着位置に紫外線を照射する紫外線照射手段と、
受光素子が一次元に配列され、ＲＧＢ蛍光体の塗着位置
からのそれぞれの発光を前記所定の塗着位置毎に検出し
て映像信号を出力する撮像手段と、映像信号を所定の基
準値と比較し、基準値との異同に基づきＲＧＢ蛍光体の
塗着状態を判断する処理手段とを有することを特徴とす
るものからなる。

【００１０】このプラズマディスプレイパネルの検査装
置においては、紫外線の照射を酸素を含む雰囲気中、た
とえば大気中で行うことが可能になる。紫外線照射手段
としては、紫外線を少なくとも１本の棒状に発光する手
段からなることが好ましい。また、紫外線照射手段は、
プラズマディスプレイ背面板の上面から０．１ｍ以下の
位置に配置されることが好ましい。撮像手段が、受光素
子が一次元に配列された手段（ラインセンサ）からなる
ので、このように紫外線照射手段をプラズマディスプレ
イ背面板に近づけても、撮像手段による視野範囲を遮ら
ないようにすることが可能になる。

【００１１】紫外線照射手段としては、検査精度を向上
するために白バランスの良い励起波長のもの、たとえば
波長が１８０〜２６０ｎｍの紫外線を照射する手段が好
ましい。また、波長が２００ｎｍ以上の紫外線は、後述
の如く酸素雰囲気中の吸収率が低く、オゾンがほとんど
発生しないので、２００〜２６０ｎｍの波長の紫外線が
より好ましい。このような波長範囲の紫外線を照射でき
る紫外線照射手段としては、とくに、ＫｒおよびＣｌが
封入されている、中心波長が２２２ｎｍの紫外線を発光
するエキシマランプが好ましい。ただし、発光波長が２
００ｎｍ以上となる紫外線照射手段として、封入ガスが
ＫｒおよびＢｒ、ＫｒおよびＦのエキシマランプ、低圧
水銀ランプなどを使用することも可能である。

【００１２】また、紫外線の照射時間を必要最小限に抑
え、オゾンの発生量を最小に抑えるために、紫外線照射
手段が点灯制御手段を備え、撮像手段の動作に同期して
点灯が制御されるようにすることが好ましい。

【００１３】さらに、オゾン発生の少ない波長の紫外線
を使用した場合にも白バランスを良好に調整できるよう
にするためには、撮像手段が、ＲＧＢ信号増幅手段（Ｒ
ＧＢ信号増幅率調整手段）を備え、ＲＧＢの信号強度を
調整できるようにすることが好ましい。

【００１４】本発明に係るプラズマディスプレイパネル
の製造方法は、プラズマディスプレイパネル背面板に形
成されたＲＧＢ蛍光体の塗着状態を、上記のような検査
装置を用いて検査し、得られた欠陥情報に基づいて、良
品と不良品を判別することを特徴とする方法からなる。

【００１５】また、本発明に係るプラズマディスプレイ
パネルの製造方法は、プラズマディスプレイパネル背面
板に形成されたＲＧＢ蛍光体の塗着状態を、上記のよう
な検査装置を用いて検査し、得られた欠陥情報に基づい
て、ＲＧＢ蛍光体層の修正を行うことを特徴とする方法
からなる。

【００１６】これらの方法においては、ＲＧＢ蛍光体の
各色の塗布工程内において、塗着された蛍光体層が乾燥
する前に、判別または修正を行うことが好ましく、それ
によって検査不合格によるロスを最小に抑えることが可
能になる。

【００１７】このような本発明に係るプラズマディスプ
レイパネルの検査装置および製造方法においては、受光
素子が一次元に配列された撮像手段を用いているので、
容易に撮像範囲に紫外線照射手段が入らないように該照
射手段を設置でき、かつ、その紫外線照射手段の設置位
置をプラズマディスプレイパネル背面板に近づけること
ができる。たとえば、背面板から０．１ｍ以下の位置に
設置することが可能になる。その結果、照射される紫外
線には大きな強度は不要になり、所定の検査性能が維持
されつつ、オゾンの発生量が少なくなって、オゾン処理
設備が不要になる。

【００１８】また、紫外線の照射量が少なく抑えられる
結果、波長２００〜２６０ｎｍの紫外線はもちろん、オ
ゾン発生率の高い波長１８０〜２００ｎｍの紫外線を使
用してもオゾン発生量の絶対量は小さく抑えられること
になり、このような波長の紫外線を問題なく使用できる
ようになる。使用する紫外線の波長は、ＲＧＢ蛍光体材
料の発光特性から決定するものであり、ＲＧＢの発光強
度のバランスがよい波長を使用する。

【００１９】

【発明の実施の形態】以下に、本発明の望ましい実施の
形態を、図面を参照して説明する。図１は、本発明の一
実施態様に係るプラズマディスプレイパネルの検査装置
を示している。図１において、１は、検査に供されるプ
ラズマディスプレイパネル（以下、ＰＤＰと略称するこ
ともある。）の背面板を示しており、このＰＤＰ背面板
１には、図２に示すように、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ
（青）用の蛍光体３０５、３０６、３０７がストライプ
状に順に繰り返し塗着されている。

【００２０】プラズマディスプレイパネル３００として
は、図３に示すように、背面ガラス基板３０１上に、ア
ドレス電極３０２が配置された誘電体層３０３上に、隔
壁３０４間にＲＧＢ蛍光体３０５、３０６、３０７がス
トライプ状に順に繰り返し塗着されたＰＤＰ背面板１が
設けられ、背面板１の上方に、全面ガラス基板３０８が
設けられるとともに、背面板１と前面ガラス基板３０８
の間に、表示電極３０９が配置された誘電体層３１０と
保護膜３１１が介装された構成となっている。表示電極
３０９とアドレス電極３０２との間の電圧によりプラズ
マ３１２が発生され、それによって選択された位置の蛍
光体が発色され、各蛍光体の発色の組み合わせにより所
望の色表示が行われるようになっている。

【００２１】ＰＤＰ背面板１へのＲＧＢ蛍光体３０５、
３０６、３０７の塗着は、たとえば図４に示すようにス
クリーン印刷によって行われ、印刷スクリーン４０２を
通して塗布された蛍光体の余剰量をスキージ４０１でか
きとることにより、図３に示したように各蛍光体３０
５、３０６、３０７が隔壁３０４間に所定量塗着される
ようになっている。

【００２２】ところが、ＲＧＢ蛍光体３０５、３０６、
３０７の塗着が所定通りに行われていないと、たとえば
図５に示すような色むらが生じることがあり、たとえ
ば、赤っぽい色むら５０１や青っぽい色むら５０２など
が生じる。また、図６に示すように、ＲＧＢ蛍光体３０
５、３０６、３０７の配列において、ある色の蛍光体が
次の色の蛍光体部分にはみだして混色を生じた部分６０
１や、塗着抜けが生じて暗点６０２となった部分が生じ
ることもある。

【００２３】ＰＤＰ背面板１へのＲＧＢ蛍光体３０５、
３０６、３０７の塗着における上記のような各種欠陥
が、図１に示した検査装置により検査される。再び図１
を参照して説明するに、搬送ローラ２等を備えた搬送装
置３によりＰＤＰ背面板１が搬送され、搬送装置３は駆
動制御装置４によって制御される。

【００２４】搬送装置３の上方には、紫外線照射装置５
と撮像装置６が配置されている。搬送装置３は、撮像装
置６の撮像範囲をＰＤＰ背面板１の全面にわたって走査
させるためのもので、ＰＤＰ背面板１を一定速度で搬送
する。紫外線照射装置５は、ＰＤＰ背面板１上に塗布さ
れた蛍光体を励起、発光させるためのもので、紫外線を
ＰＤＰ背面板１に照射する。照射は大気中あるいはそれ
に近い雰囲気中で、つまり、酸素を含む雰囲気中で行わ
れる。照射される紫外線は、本実施態様では、良好な白
バランスを得るために、波長が１８０〜２６０ｎｍのも
のの中から選ばれている。また本実施態様では、紫外線
を線状に発光する紫外線源が２本並設されており、その
点灯は、点灯制御装置７により、実質的に撮像装置６の
動作に同期して点灯を制御できるようになっている。

【００２５】撮像装置６は、ＰＤＰ背面板１上のある範
囲を画素に分割して、その画素ごとの輝度を測定して画
像信号に変換し、画像処理装置８に送信する。この撮像
装置６には、受光素子が一次元に配列されて内蔵されて
おり、ＲＧＢ蛍光体のストライプ方向に沿って、あるい
はそれと垂直の方向に沿って、一次元的に映像を出力で
きるようになっている。ＲＧＢ蛍光体のそれぞれの画像
を得るために、撮像装置６としてカラーラインセンサカ
メラを使用すると光学系が簡略化できるので好ましい。

【００２６】本実施態様では、撮像装置６からの出力信
号は、ＲＧＢ信号増幅装置９（ＲＧＢ信号増幅手段）を
介して画像処理装置８に送られる。ＲＧＢ信号増幅装置
９は、撮像装置６で得られたＲＧＢ蛍光体の発光強度比
が異なる場合にも、画像処理装置８に送信する信号強度
を揃えるために、各色ごとの画像信号を予め設定されて
いる倍率で増幅し、画像処理装置８に送信する。したが
って、このＲＧＢ信号増幅装置９により、ＲＧＢそれぞ
れの信号強度を同程度に揃えて、画像処理装置８に入力
することが可能になり、処理精度が向上する。このＲＧ
Ｂそれぞれの信号強度比の調整は、撮像装置に色補正フ
ィルタを取り付けて、行ってもよい。

【００２７】信号処理手段としての画像処理装置８は、
蛍光体に発生する欠陥を検出するためのもので、撮像装
置６で撮像されたＲＧＢ蛍光体それぞれの画像信号を入
力し、公知の画像処理技術により画像解析を行い欠陥を
検出する。すなわち、ＲＧＢ信号増幅装置９からの映像
信号を所定の基準値と比較し、基準値との異同に基づき
ＲＧＢ蛍光体の塗着状態を判断する。

【００２８】制御装置１０は、搬送装置３、点灯制御装
置７、画像処理装置８に接続されており、決められた手
順に基づいて、搬送装置３の搬送動作、点灯制御装置７
を介しての紫外線照射装置５による紫外線照射動作、撮
像装置６および画像処理装置８による撮像および信号処
理動作に対し操作指令を与えるものである。画像処理装
置８には表示装置１１が接続されており、表示装置１１
は、画像処理装置８で検出した各欠陥情報を表示するた
めのものである。

【００２９】このように構成されたプラズマディスプレ
イパネルの検査装置においては、上流側の装置からＰＤ
Ｐ背面板１が搬送装置３に投入されると、搬送装置３は
制御装置１０に背面板投入信号を与え、背面板１の搬送
を開始する。制御装置１０は、背面板投入信号が入力さ
れると、紫外線照射装置５を作動させる。搬送装置３
は、背面板１を撮像位置まで搬送すると、内蔵している
背面板検知センサ（図示略）から背面板進入信号を制御
装置１０に与える。背面板進入信号が入力されると制御
装置１０は、画像処理装置８に画像取り込み開始信号を
与え、画像処理装置８は、撮像装置６から出力される画
像信号の取り込みを開始する。ＲＧＢ信号増幅装置９は
撮像装置６から入力した画像信号に対して、品種ごとに
決められた倍率でＲＧＢそれぞれの信号を増幅し、画像
処理装置８に出力する。画像処理装置８は画像信号を記
憶し、公知の画像処理技術によりＰＤＰ背面板１に発生
する欠陥を検出する。画像処理装置８は、画像取り込み
終了後、制御装置１０に画像取り込み終了信号を与え、
制御装置１０は点灯制御装置７を介して紫外線照射装置
５を停止させる。

【００３０】とくに本発明においては、撮像装置６に受
光素子を一次元に配列したものを用いたので、撮像装置
６の視野を遮ることなく、紫外線照射装置５をＰＤＰ背
面板１の上面から極めて近い位置、たとえば０．１ｍ以
下の位置に設置することができ、それによって、紫外線
強度をそれほど高くしないでも検査に必要な所定の紫外
線をＰＤＰ背面板１に到達させることができる。紫外線
強度が弱いことにより、酸素を含む雰囲気中の検査であ
っても、オゾンの発生量を小さく抑えることができ、オ
ゾン処理装置の設置は不要になる。また、紫外線照射
を、点灯制御装置７による同期制御により、必要最小限
の時間に限ることにより、一層、オゾンの発生量は小さ
く抑えられる。また、照射される紫外線に最適な波長の
ものを用いることにより、白バランスを良好に維持して
検査精度を高めつつ、さらにオゾンの発生量を小さく抑
えることができる。

【００３１】図７は、酸素雰囲気下における照射紫外線
の波長と吸収率との関係を示している。吸収率の増加に
伴いオゾン発生量も増加するが、図７に示すように、波
長２００ｎｍ以上の紫外線では、吸収率が少なく、オゾ
ンはほとんど発生しない。

【００３２】このようなオゾン発生量がすくない紫外線
を発光する紫外線源として、前述の如くエキシマラン
プ、とくにＫｒおよびＣｌが封入されているエキシマラ
ンプが好適である。このＫｒおよびＣｌが封入されてい
るエキシマランプからの紫外線の強度スペクトルは図８
に示すようになり、これよりこのエキシマランプから
は、中心波長が２２２ｎｍの、ほぼ単一波長紫外線が得
られることがわかる。

【００３３】このような紫外線中心波長が２２２ｎｍの
エキシマランプに対し、ＲＧＢ各蛍光体の励起波長と発
光強度との関係は、図９に示すようになる。用いたＲＧ
Ｂ各蛍光体は図９に示した通りである。このように、Ｋ
ｒおよびＣｌが封入されているエキシマランプからの、
中心波長が２２２ｎｍの紫外線は、ＲＧＢ蛍光体の発光
強度のバランスが非常に良く（１／３〜３倍程度）、色
バランス（白バランス）が良い。

【００３４】このとき、前述の如く、そこでＲＧＢ信号
増幅装置９により、ＲＧＢそれぞれの信号強度を同程度
に揃えて、画像処理装置８に入力することにより、さら
に精度の高い検査が可能になる。ＲＧＢそれぞれの信号
強度比の調整は、撮像装置に色補正フィルタを取り付け
て行ってもよい。

【００３５】このような検査装置を用いて、ＰＤＰ背面
板１に形成されたＲＧＢ蛍光体の塗着状態を検査し、得
られた欠陥情報に基づいて、そのＰＤＰ背面板１が良品
であるか不良品であるかの判別を行うことができる。ま
た、得られた欠陥情報に基づいて、ＲＧＢ蛍光体層の修
正を行うことができる。これら判別あるいは修正を、塗
着された蛍光体層が乾燥する前に行うと、最終的な不良
品発生によるロスを最小限に抑えることが可能になる。

【００３６】図１０は、本発明の別の実施態様を示して
おり、ＰＤＰ背面板２１を固定し、撮像装置２２、紫外
線照射装置２３をＸＹガントリーステージ２４にて移動
させ、ＰＤＰ背面板２１全面にわたって検査を行うよう
にした検査装置の例を示している。図１１は、本発明の
さらに別の実施態様を示しており、ＰＤＰ背面板３１に
対し撮像装置３２を１列に並べ、撮像装置３２、紫外線
照射装置３３に対し、搬送装置３４でＰＤＰ背面板３１
を搬送する際に、全面にわたって検査を行うようにした
検査装置の例を示している。このように、撮像装置、紫
外線照射装置とＰＤＰ背面板との相対位置、配置関係や
撮像装置の配列は、実質的に任意に設定可能である。

【００３７】

【実施例】実施例１ 図１に示した装置を用いて試験した。紫外線照射装置５
は、点灯周波数２ＧＨｚ、照射紫外線中心波長２２２ｎ
ｍの、ＫｒおよびＣｌを封入したエキシマランプを使用
し、ＰＤＰ背面板上面から５０ｍｍの位置に設置した。
撮像装置６には、２０４８画素の３板式のカラーライン
センサカメラを使用し、１画素がＰＤＰ背面板上で１０
０μｍに対応するようにレンズを選択した。ＰＤＰ背面
板１は、印刷欠陥、色むらを含む基板を使用し、搬送装
置３により７ｍ／ｍｉｎで搬送し、検査を行った。その
結果、ＲＧＢそれぞれの蛍光体の印刷欠陥、色むらを精
度よく検出できた。また、基板を５分間隔で１００回連
続して検査を実施した後、検査機付近のオゾン濃度を測
定限界０．１ｐｐｍの測定機で測定した結果、オゾン濃
度が測定限界以下のため、全く検出されなかった。

【００３８】

【発明の効果】以上説明したように、本発明に係るプラ
ズマディスプレイパネルの検査装置および製造方法によ
れば、とくに受光素子が一次元に配列された撮像手段を
用いているので、撮像範囲に紫外線照射手段が入らない
ようにしてその紫外線照射手段をプラズマディスプレイ
パネル背面板に近接させて設置でき、検査に必要な紫外
線の強度を小さくして、所定の検査性能を維持しつつ、
オゾンの発生量を少なくすることができ、オゾン処理設
備が不要になって、装置全体のコストを低減できる。

【００３９】また、２００ｎｍ以上の波長の紫外線源を
用いても、ＲＧＢそれぞれの蛍光体を精度よく検査でき
る。したがって、確実に良品のみをユーザーに供給でき
る。

【００４０】さらに、検査結果情報を各工程にフィード
バックすることで、最適な条件で製造が行え、収率が向
上する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施態様に係るプラズマディスプレ
イパネルの検査装置の概略構成図である。

【図２】プラズマディスプレイパネル背面板の概略平面
図である。

【図３】プラズマディスプレイパネルの部分縦断面図で
ある。

【図４】プラズマディスプレイパネル背面板への蛍光体
印刷の一例を示す斜視図である。

【図５】ＲＧＢ蛍光体の塗着不良状態の一例を示すプラ
ズマディスプレイパネル背面板の概略平面図である。

【図６】ＲＧＢ蛍光体の塗着不良状態の別の例を示すプ
ラズマディスプレイパネル背面板の部分平面図である。

【図７】酸素を含む雰囲気下における照射紫外線波長と
吸収率との関係図である。

【図８】エキシマランプからの紫外線の強度スペクトル
図である。

【図９】代表的なＲＧＢ蛍光体の励起波長と発光強度と
の関係図である。

【図１０】本発明の別の実施態様に係るプラズマディス
プレイパネルの検査装置の概略斜視図である。

【図１１】本発明のさらに別の実施態様に係るプラズマ
ディスプレイパネルの検査装置の概略斜視図である。

【符号の説明】

１、２１、３１ プラズマディスプレイパネル背面板 ３、３４ 搬送装置 ４ 駆動制御装置 ５、２３、３３ 紫外線照射装置 ６、２２、３２ 撮像装置 ７ 点灯制御装置 ８ 画像処理装置 ９ ＲＧＢ信号増幅装置 １０ 制御装置 １１ 表示装置 ２４ ＸＹガントリーステージ ３０１ 背面ガラス基板 ３０２ アドレス電極 ３０３ 誘電体層 ３０４ 隔壁 ３０５ 蛍光体（Ｒ色） ３０６ 蛍光体（Ｇ色） ３０７ 蛍光体（Ｂ色） ３０８ 前面ガラス基板 ３０９ 表示電極 ３１０ 誘電体層 ３１１ 保護膜 ３１２ プラズマ ４０１ スキージ ４０２ 印刷スクリーン ５０１ 色むら（赤っぽい部分） ５０２ 色むら（青っぽい部分） ６０１ 混色部分 ６０２ 暗点

─────────────────────────────────────────────────────

【手続補正書】

【提出日】平成１２年３月２日（２０００．３．２）

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００３７

【補正方法】変更

【補正内容】

【００３７】

【実施例】実施例１ 図１に示した装置を用いて試験した。紫外線照射装置５
は、点灯周波数２ＭＨｚ、照射紫外線中心波長２２２ｎ
ｍの、ＫｒおよびＣｌを封入したエキシマランプを使用
し、ＰＤＰ背面板上面から５０ｍｍの位置に設置した。
撮像装置６には、２０４８画素の３板式のカラーライン
センサカメラを使用し、１画素がＰＤＰ背面板上で１０
０μｍに対応するようにレンズを選択した。ＰＤＰ背面
板１は、印刷欠陥、色むらを含む基板を使用し、搬送装
置３により７ｍ／ｍｉｎで搬送し、検査を行った。その
結果、ＲＧＢそれぞれの蛍光体の印刷欠陥、色むらを精
度よく検出できた。また、基板を５分間隔で１００回連
続して検査を実施した後、検査機付近のオゾン濃度を測
定限界０．１ｐｐｍの測定機で測定した結果、オゾン濃
度が測定限界以下のため、全く検出されなかった。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 平田 肇 滋賀県大津市園山１丁目１番１号 東レ株 式会社滋賀事業場内 (72)発明者 武田 修三 滋賀県大津市園山１丁目１番１号 東レ株 式会社滋賀事業場内 (72)発明者 津田 敬治 滋賀県大津市園山１丁目１番１号 東レ株 式会社滋賀事業場内 Ｆターム(参考） 2G086 EE03 EE12 5C012 AA09 BE03 5C040 FA01 GB02 JA26 LA17 MA23 MA25 MA26 5G435 AA17 AA19 BB06 CC09 HH06 KK05 KK10

Claims (11)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 プラズマディスプレイパネル背面板への
   ＲＧＢ蛍光体の塗着状態を検査する装置であって、ＲＧ
   Ｂ蛍光体の所定の塗着位置に紫外線を照射する紫外線照
   射手段と、受光素子が一次元に配列され、ＲＧＢ蛍光体
   の塗着位置からのそれぞれの発光を前記所定の塗着位置
   毎に検出して映像信号を出力する撮像手段と、映像信号
   を所定の基準値と比較し、基準値との異同に基づきＲＧ
   Ｂ蛍光体の塗着状態を判断する処理手段とを有すること
   を特徴とする、プラズマディスプレイパネルの検査装
   置。
2. 【請求項２】 紫外線の照射が酸素を含む雰囲気中で行
   われる、請求項１に記載のプラズマディスプレイパネル
   の検査装置。
3. 【請求項３】 紫外線照射手段がプラズマディスプレイ
   背面板の上面から０．１ｍ以下の位置に配置されてい
   る、請求項１または２に記載のプラズマディスプレイパ
   ネルの検査装置。
4. 【請求項４】 紫外線照射手段が紫外線を少なくとも１
   本の棒状に発光する手段からなる、請求項１〜３のいず
   れかに記載のプラズマディスプレイパネルの検査装置。
5. 【請求項５】 紫外線照射手段が、波長が２００〜２６
   ０ｎｍの紫外線を主として照射する手段からなる、請求
   項１〜４のいずれかに記載のプラズマディスプレイパネ
   ルの検査装置。
6. 【請求項６】 紫外線照射手段が、ＫｒおよびＣｌが封
   入されているエキシマランプからなる、請求項１〜５の
   いずれかに記載のプラズマディスプレイパネルの検査装
   置。
7. 【請求項７】 紫外線照射手段が点灯制御手段を備え、
   撮像手段の動作に同期して点灯が制御される、請求項１
   〜６のいずれかに記載のプラズマディスプレイパネルの
   検査装置。
8. 【請求項８】 撮像手段がＲＧＢ信号増幅手段を備えて
   いる、請求項１〜７のいずれかに記載のプラズマディス
   プレイパネルの検査装置。
9. 【請求項９】 プラズマディスプレイパネル背面板に形
   成されたＲＧＢ蛍光体の塗着状態を、請求項１〜８のい
   ずれかに記載の検査装置を用いて検査し、得られた欠陥
   情報に基づいて、良品と不良品を判別することを特徴と
   する、プラズマディスプレイパネルの製造方法。
10. 【請求項１０】 プラズマディスプレイパネル背面板に
    形成されたＲＧＢ蛍光体の塗着状態を、請求項１〜８の
    いずれかに記載の検査装置を用いて検査し、得られた欠
    陥情報に基づいて、ＲＧＢ蛍光体層の修正を行うことを
    特徴とする、プラズマディスプレイパネルの製造方法。
11. 【請求項１１】 ＲＧＢ蛍光体の各色の塗布工程内にお
    いて、塗着された蛍光体層が乾燥する前に、判別または
    修正を行うことを特徴とする、請求項９または１０のプ
    ラズマディスプレイパネルの製造方法。