JPH11352013A - 蛍光体塗布むら検査方法 - Google Patents
蛍光体塗布むら検査方法Info
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- JPH11352013A JPH11352013A JP10163200A JP16320098A JPH11352013A JP H11352013 A JPH11352013 A JP H11352013A JP 10163200 A JP10163200 A JP 10163200A JP 16320098 A JP16320098 A JP 16320098A JP H11352013 A JPH11352013 A JP H11352013A
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/8422—Investigating thin films, e.g. matrix isolation method
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- Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【課題】蛍光体の励起に使う２５４ｎｍの照度むらをＴ
Ｖカメラで、測定するのは、困難である。 【解決手段】４３６ｎｍの成分で、水銀ランプの照度む
ら補正を行う。また、Ｒ，Ｇ，Ｂの分離および、不要な
水銀スペクトルが入射しないように、狭帯域フィルタを
レンズと撮像素子の間に設置する。
Ｖカメラで、測定するのは、困難である。 【解決手段】４３６ｎｍの成分で、水銀ランプの照度む
ら補正を行う。また、Ｒ，Ｇ，Ｂの分離および、不要な
水銀スペクトルが入射しないように、狭帯域フィルタを
レンズと撮像素子の間に設置する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、電子ディスプレイ
の蛍光体塗布むら検査方法に関するものであり、特に、
プラズマディスプレイパネルの蛍光体印刷むら検査方法
に関するものである。
の蛍光体塗布むら検査方法に関するものであり、特に、
プラズマディスプレイパネルの蛍光体印刷むら検査方法
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】蛍光体の発光を利用した電子ディスプレ
イにおいては、蛍光体の塗布むらは、完成パネルの発光
色むらとなるので、できるだけ、少ないことが望まし
い。ブラウン管の蛍光体塗布検査に関するものとして
は、特開平８−８３５６９号公報において、紫外線によ
り蛍光体を発光させ、分光光度計を用いて発光スペクト
ルを解析して、検査する方法が述べられている。また、
ブラウン管では、３５０ｎｍあたりの紫外線で、蛍光体
を励起させ、各蛍光体の発光強度を測定することによ
り、塗布むらを検査する方法がしられている。
イにおいては、蛍光体の塗布むらは、完成パネルの発光
色むらとなるので、できるだけ、少ないことが望まし
い。ブラウン管の蛍光体塗布検査に関するものとして
は、特開平８−８３５６９号公報において、紫外線によ
り蛍光体を発光させ、分光光度計を用いて発光スペクト
ルを解析して、検査する方法が述べられている。また、
ブラウン管では、３５０ｎｍあたりの紫外線で、蛍光体
を励起させ、各蛍光体の発光強度を測定することによ
り、塗布むらを検査する方法がしられている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところが、プラズマデ
ィスプレイパネルの蛍光体は、３５０ｎｍあたりの紫外
線では励起することができず、水銀ランプの２５４ｎｍ
で、励起できるものがほとんどである。照明分布むらの
補正のためには、２５４ｎｍに感度をもつＴＶカメラが
必要であるが、ほとんどなく、かつ、高価である。ま
た、水銀ランプは、可視光域に輝線スペクトルを持つた
め、通常の３色分解フィルタでは、パネル面で反射した
輝線スペクトル成分も重畳して強度を測定することにな
り、測定誤差となる。
ィスプレイパネルの蛍光体は、３５０ｎｍあたりの紫外
線では励起することができず、水銀ランプの２５４ｎｍ
で、励起できるものがほとんどである。照明分布むらの
補正のためには、２５４ｎｍに感度をもつＴＶカメラが
必要であるが、ほとんどなく、かつ、高価である。ま
た、水銀ランプは、可視光域に輝線スペクトルを持つた
め、通常の３色分解フィルタでは、パネル面で反射した
輝線スペクトル成分も重畳して強度を測定することにな
り、測定誤差となる。
【０００４】
【課題を解決するための手段】水銀ランプは、４３６ｎ
ｍに輝線スペクトルを持つ。２５４ｎｍと４３６ｎｍの
放射強度は、比例していると考えられる。このため、通
常のＴＶカメラが感度を持つ４３６ｎｍでの照明強度分
布を測定することにより、照明強度補正を行うことがで
きる。また、水銀ランプの輝線スペクトルをさけるた
め、半値幅が２０ｎｍ以下の狭帯域光学フィルタを用い
て、３色の蛍光体の発光強度を測定する。
ｍに輝線スペクトルを持つ。２５４ｎｍと４３６ｎｍの
放射強度は、比例していると考えられる。このため、通
常のＴＶカメラが感度を持つ４３６ｎｍでの照明強度分
布を測定することにより、照明強度補正を行うことがで
きる。また、水銀ランプの輝線スペクトルをさけるた
め、半値幅が２０ｎｍ以下の狭帯域光学フィルタを用い
て、３色の蛍光体の発光強度を測定する。
【０００５】狭帯域光学フィルタは、通常、多層干渉膜
により製作される干渉フィルタが一般的である。ところ
が、干渉フィルタは、透過波長特性が、光の入射角で、
大きく変化するため、フィルタは、レンズの前に置か
ず、レンズと撮像センサとの間に置くようにする。
により製作される干渉フィルタが一般的である。ところ
が、干渉フィルタは、透過波長特性が、光の入射角で、
大きく変化するため、フィルタは、レンズの前に置か
ず、レンズと撮像センサとの間に置くようにする。
【０００６】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例を図面によ
り説明する。
り説明する。
【０００７】図２は、水銀ランプのスペクトル放射強度
である。２５４ｎｍが全出力の９０％を占めるが、この
水銀ランプでは、４３６ｎｍが、第２の強度の輝線スペ
クトルとなっている。狭帯域フィルタにより、４３６ｎ
ｍの強度分布を測定し、紫外線照明むら補正に使用す
る。
である。２５４ｎｍが全出力の９０％を占めるが、この
水銀ランプでは、４３６ｎｍが、第２の強度の輝線スペ
クトルとなっている。狭帯域フィルタにより、４３６ｎ
ｍの強度分布を測定し、紫外線照明むら補正に使用す
る。
【０００８】図３は、蛍光体を塗布したパネルに水銀ラ
ンプを照射したときのスペクトル放射強度である。２５
４ｎｍの紫外線によりＲ，Ｇ，Ｂの蛍光体が励起され、
それぞれの色を発光する。しかしながら、蛍光体表面な
どで、紫外線そのものも反射されるため、両者の合成さ
れたスペクトルとなる。ここで、各蛍光体の発光出力を
分離し、かつ、紫外線の輝線スペクトルが入らないよう
にするには、Ｂ蛍光体は、４７０ｎｍ、Ｇ蛍光体は、５
２０ｎｍを中心波長とする狭帯域フィルタ、Ｒ蛍光体
は、６００ｎｍより長い波長の光を透過するフィルタが
必要である。
ンプを照射したときのスペクトル放射強度である。２５
４ｎｍの紫外線によりＲ，Ｇ，Ｂの蛍光体が励起され、
それぞれの色を発光する。しかしながら、蛍光体表面な
どで、紫外線そのものも反射されるため、両者の合成さ
れたスペクトルとなる。ここで、各蛍光体の発光出力を
分離し、かつ、紫外線の輝線スペクトルが入らないよう
にするには、Ｂ蛍光体は、４７０ｎｍ、Ｇ蛍光体は、５
２０ｎｍを中心波長とする狭帯域フィルタ、Ｒ蛍光体
は、６００ｎｍより長い波長の光を透過するフィルタが
必要である。
【０００９】図４は、紫外線照度むら補正の装置図であ
る。白色顔料を塗布した照明補正用パネル１に、水銀ラ
ンプ２から紫外線が照射される。反射板３は、下方への
照射効率を増すためのものである。このとき、照明補正
用パネル１からは、図２で示したスペクトルの紫外線反
射光４が反射している。これを、レンズ７、紫外線透過
フィルタ６、ＴＶカメラ５で撮像する。紫外線透過フィ
ルタ６は、４３６ｎｍの光を透過する狭帯域フィルタで
あり、ＴＶカメラ５の出力は、水銀ランプ２による紫外
線照度むら画像２０となり、画像処理装置１１に、記憶
する。
る。白色顔料を塗布した照明補正用パネル１に、水銀ラ
ンプ２から紫外線が照射される。反射板３は、下方への
照射効率を増すためのものである。このとき、照明補正
用パネル１からは、図２で示したスペクトルの紫外線反
射光４が反射している。これを、レンズ７、紫外線透過
フィルタ６、ＴＶカメラ５で撮像する。紫外線透過フィ
ルタ６は、４３６ｎｍの光を透過する狭帯域フィルタで
あり、ＴＶカメラ５の出力は、水銀ランプ２による紫外
線照度むら画像２０となり、画像処理装置１１に、記憶
する。
【００１０】図１は、本発明による装置構成図である。
蛍光体９を塗布したプラズマディスプレイパネル８に紫
外線を照射し、そのときの、蛍光体発光画像２１をレン
ズ７、ＲＧＢ狭帯域フィルタ１０、ＴＶカメラ５により
撮像し、画像処理装置１１に記憶する。ＲＧＢ狭帯域フ
ィルタは、図３の説明で述べた波長透過特性を持つ３枚
のフィルタであり、たとえば、回転板に設置しておき、
Ｒ，Ｇ，Ｂ３種の蛍光体発光画像を得る。
蛍光体９を塗布したプラズマディスプレイパネル８に紫
外線を照射し、そのときの、蛍光体発光画像２１をレン
ズ７、ＲＧＢ狭帯域フィルタ１０、ＴＶカメラ５により
撮像し、画像処理装置１１に記憶する。ＲＧＢ狭帯域フ
ィルタは、図３の説明で述べた波長透過特性を持つ３枚
のフィルタであり、たとえば、回転板に設置しておき、
Ｒ，Ｇ，Ｂ３種の蛍光体発光画像を得る。
【００１１】図５に画像処理装置１１で行う処理を示
す。紫外線照度むら画像２０と蛍光体発光画像２１か
ら、照度むらを補正し、蛍光体塗布むらを抽出する。照
明強度と蛍光体発光強度とは比例するので、蛍光体発光
強度を照明強度で規格化すれば、一様な照明強度に対す
る蛍光体発光強度むら、すなわち、蛍光体塗布むらがわ
かる。いま、ｘ，ｙを画面位置とし、紫外線照度むら画
像２０をＵ（ｘ，ｙ）、蛍光体発光画像２１をＰ（ｘ，
ｙ）とすれば、蛍光体塗布むら画像２５Ｍ（ｘ，ｙ）
は、
す。紫外線照度むら画像２０と蛍光体発光画像２１か
ら、照度むらを補正し、蛍光体塗布むらを抽出する。照
明強度と蛍光体発光強度とは比例するので、蛍光体発光
強度を照明強度で規格化すれば、一様な照明強度に対す
る蛍光体発光強度むら、すなわち、蛍光体塗布むらがわ
かる。いま、ｘ，ｙを画面位置とし、紫外線照度むら画
像２０をＵ（ｘ，ｙ）、蛍光体発光画像２１をＰ（ｘ，
ｙ）とすれば、蛍光体塗布むら画像２５Ｍ（ｘ，ｙ）
は、
【００１２】
【数１】Ｍ（ｘ，ｙ）＝Ｐ（ｘ，ｙ）／Ｕ（ｘ，ｙ） となる。これにより、照明むら２２がなくなり、蛍光体
塗布むら２３が検出できる。検査のためには、蛍光体塗
布むら画像２５の二値化画像２６を作り、むら部分を抽
出する。また、蛍光体塗布むら画像２５の微分処理を併
用して、むら部分を抽出することもできる。
塗布むら２３が検出できる。検査のためには、蛍光体塗
布むら画像２５の二値化画像２６を作り、むら部分を抽
出する。また、蛍光体塗布むら画像２５の微分処理を併
用して、むら部分を抽出することもできる。
【００１３】この結果を蛍光体塗布工程にフィードバッ
クし、塗布条件などを最適化することにより、むらの少
ないパネルを作ることが可能となる。
クし、塗布条件などを最適化することにより、むらの少
ないパネルを作ることが可能となる。
【００１４】
【発明の効果】紫外線照明むらのために、目視では見え
なかった塗布むらが検出でき、また、むらの定量的な強
さがわかる。さらに、検査結果情報を蛍光体塗布工程に
フィードバックすることにより、高品質な蛍光面が形成
でき、色むらのない、高画質なプラズマディスプレイパ
ネルが製造できる。
なかった塗布むらが検出でき、また、むらの定量的な強
さがわかる。さらに、検査結果情報を蛍光体塗布工程に
フィードバックすることにより、高品質な蛍光面が形成
でき、色むらのない、高画質なプラズマディスプレイパ
ネルが製造できる。
【図１】本発明による蛍光体塗布むら検査装置構成図。
【図２】水銀ランプのスペクトル強度分布を示す特性
図。
図。
【図３】紫外線による蛍光体の発光強度スペクトル図。
【図４】照度むら補正の蛍光体塗布むら検査装置構成
図。
図。
【図５】蛍光体むら検査処理方法を示す図。
１…照明補正用パネル、 ２…水銀ランプ、 ５
…ＴＶカメラ、６…紫外線透過フィルタ、 ７…レン
ズ、８…プラズマディスプレイパネル、
９…蛍光体、１０…ＲＧＢ狭帯域フィルタ、１１…画
像処理装置、２０…紫外線照度むら画像、 ２１…蛍光
体発光画像、２５…蛍光体塗布むら画像。
…ＴＶカメラ、６…紫外線透過フィルタ、 ７…レン
ズ、８…プラズマディスプレイパネル、
９…蛍光体、１０…ＲＧＢ狭帯域フィルタ、１１…画
像処理装置、２０…紫外線照度むら画像、 ２１…蛍光
体発光画像、２５…蛍光体塗布むら画像。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 中豊留 博文 神奈川県横浜市戸塚区吉田町292番地株式 会社日立製作所家電・情報メディア事業本 部内 (72)発明者 古川 正 神奈川県横浜市戸塚区吉田町292番地株式 会社日立製作所家電・情報メディア事業本 部内
Claims (4)
- 【請求項１】電子ディスプレイの蛍光体塗布検査におい
て、実際に励起発光させている水銀ランプの紫外線波長
の強度分布で照度むらを測定するのではなく、可視光域
のスペクトル強度分布で、照度むらを測定することを特
徴とする蛍光体塗布むら検査方法。 - 【請求項２】電子ディスプレイの蛍光体塗布検査におい
て、水銀ランプの４３６ｎｍの波長の強度分布により、
照明のむら補正を行うことを特徴とする蛍光体塗布むら
検査方法。 - 【請求項３】電子ディスプレイの蛍光体塗布検査におい
て、Ｒ，Ｇ，Ｂ発光強度測定を行うとき、励起用水銀ラ
ンプのスペクトル成分が入らず、かつ、波長で隣接する
２色が、混合しないように、２０ｎｍ以下の狭帯域フィ
ルタを用いて、蛍光体発光強度を測定することを特徴と
する蛍光体塗布むら検査方法。 - 【請求項４】電子ディスプレイの蛍光体塗布検査におい
て、Ｒ，Ｇ，Ｂ発光強度測定を行うとき、Ｒ，Ｇ，Ｂを
分離する色フィルタを、レンズと撮像素子の間に設置す
ることにより、透過波長特性を一定に保つようにしたこ
とを特徴とする蛍光体塗布むら検査方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10163200A JPH11352013A (ja) | 1998-06-11 | 1998-06-11 | 蛍光体塗布むら検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10163200A JPH11352013A (ja) | 1998-06-11 | 1998-06-11 | 蛍光体塗布むら検査方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11352013A true JPH11352013A (ja) | 1999-12-24 |
Family
ID=15769192
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10163200A Pending JPH11352013A (ja) | 1998-06-11 | 1998-06-11 | 蛍光体塗布むら検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11352013A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001250108A (ja) * | 2000-03-06 | 2001-09-14 | Toray Ind Inc | プラズマディスプレイパネル背面板の検査装置および製造方法 |
| DE102004037555A1 (de) * | 2004-08-03 | 2006-02-23 | Erlus Aktiengesellschaft | Einrichtung und Verfahren zur berührungslosen und/oder zerstörungsfreien Prüfung einer photokatalytischen Oberflächenbeschichtung |
| WO2006078435A1 (en) * | 2005-01-21 | 2006-07-27 | Innovative Productivity, Inc. | Fluorescent coating void detection system and method |
| SG130027A1 (en) * | 2001-03-06 | 2007-03-20 | Toray Industries | Display panel inspection method and device, and display panel manufacturing method |
| KR100925275B1 (ko) * | 2002-11-04 | 2009-11-05 | 엘지전자 주식회사 | 플라즈마 디스플레이 패널의 형광체 검사 장치 및 방법 |
| JP2015503829A (ja) * | 2012-01-03 | 2015-02-02 | アンドリュー ズジンコＡｎｄｒｅｗ Ｚｓｉｎｋｏ | エレクトロルミネッセンスデバイス、およびその製造 |
| CN109115462A (zh) * | 2018-06-27 | 2019-01-01 | 昆山睿力得软件技术有限公司 | 一种高效机动车车灯检测装置 |
| CN109115464A (zh) * | 2018-07-18 | 2019-01-01 | 昆山睿力得软件技术有限公司 | 一种新型机动车车灯照明检测装置 |
-
1998
- 1998-06-11 JP JP10163200A patent/JPH11352013A/ja active Pending
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| JP4531186B2 (ja) * | 2000-03-06 | 2010-08-25 | パナソニック株式会社 | プラズマディスプレイパネル背面板の検査装置および製造方法 |
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| DE102004037555B4 (de) * | 2004-08-03 | 2012-09-06 | Erlus Aktiengesellschaft | Verfahren zur berührungslosen und/oder zerstörungsfreien Prüfung einer photokatalytischen Oberflächenbeschichtung |
| WO2006078435A1 (en) * | 2005-01-21 | 2006-07-27 | Innovative Productivity, Inc. | Fluorescent coating void detection system and method |
| US7105834B2 (en) | 2005-01-21 | 2006-09-12 | Innovative Productivity, Inc. | Fluorescent coating void detection system and method |
| JP2015503829A (ja) * | 2012-01-03 | 2015-02-02 | アンドリュー ズジンコＡｎｄｒｅｗ Ｚｓｉｎｋｏ | エレクトロルミネッセンスデバイス、およびその製造 |
| CN109115462A (zh) * | 2018-06-27 | 2019-01-01 | 昆山睿力得软件技术有限公司 | 一种高效机动车车灯检测装置 |
| CN109115464A (zh) * | 2018-07-18 | 2019-01-01 | 昆山睿力得软件技术有限公司 | 一种新型机动车车灯照明检测装置 |
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