JP2001221712A - 蛍光体フィルター検査方法 - Google Patents
蛍光体フィルター検査方法Info
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- Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ＰＤＰ、ＦＥＤ等用の蛍光体フィルターを装
置に組み込む前にその欠陥、むら等を自動的に検査する
方法。 【解決手段】 基板２上に発光波長の異なる蛍光体９が
周期的にパターン状に設けられてなる蛍光体フィルター
１０の検査方法において、蛍光体９面側にブラックライ
ト蛍光ランプ１２からの紫外線を照射して蛍光体９から
発光した蛍光パターンの映像信号を取り込み、その映像
信号に画像処理を施すことにより蛍光体の欠損、異物、
輝度むらを検出する。
置に組み込む前にその欠陥、むら等を自動的に検査する
方法。 【解決手段】 基板２上に発光波長の異なる蛍光体９が
周期的にパターン状に設けられてなる蛍光体フィルター
１０の検査方法において、蛍光体９面側にブラックライ
ト蛍光ランプ１２からの紫外線を照射して蛍光体９から
発光した蛍光パターンの映像信号を取り込み、その映像
信号に画像処理を施すことにより蛍光体の欠損、異物、
輝度むらを検出する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、蛍光体フィルター
検査方法に関し、特に、ＰＤＰあるいはＦＥＤ用の蛍光
体フィルターの検査方法に関するものである。
検査方法に関し、特に、ＰＤＰあるいはＦＥＤ用の蛍光
体フィルターの検査方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】ＰＤＰ（プラズマディスプレイパネル）
あるいはＦＥＤ（Ｆｉｅｌｄ Ｅｍｉｓｓｉｏｎ Ｄｉ
ｓｐｌａｙ）用の部品として蛍光体を平面ガラス上にパ
ターニングした蛍光体フィルターが必要である。この蛍
光体フィルターは、例えば、ＲＧＢ蛍光体がストライプ
状、モザイク状等に配列され、その蛍光体の膜厚は１０
〜３０μｍで、パターンピッチは５０〜５００μｍのも
のである。
あるいはＦＥＤ（Ｆｉｅｌｄ Ｅｍｉｓｓｉｏｎ Ｄｉ
ｓｐｌａｙ）用の部品として蛍光体を平面ガラス上にパ
ターニングした蛍光体フィルターが必要である。この蛍
光体フィルターは、例えば、ＲＧＢ蛍光体がストライプ
状、モザイク状等に配列され、その蛍光体の膜厚は１０
〜３０μｍで、パターンピッチは５０〜５００μｍのも
のである。
【０００３】例として、図７にＡＣ型ＰＤＰの構成例を
示す。この図は前面板と背面板を離した状態で示したも
ので、２枚のガラス基板１、２が互いに平行にかつ対向
して配設されており、両者は背面板となるガラス基板２
上に互いに平行に設けられたセル障壁３により一定の間
隔で保持されている。前面板となるガラス基板１の背面
側には、放電維持電極である透明電極４とバス電極であ
る金属電極５とで構成される複合電極が互いに平行に形
成され、これを覆って誘電体層６が形成されており、さ
らにその上に保護層（ＭｇＯ層）７が形成されている。
また、背面板となるガラス基板２の前面側には前記複合
電極と直交するようにセル障壁３の間に位置してアドレ
ス電極８が互いに平行に形成されており、さらに、セル
障壁３の壁面とセル底面を覆うようにしてＲ（赤色）、
Ｇ（緑色）、Ｂ（青色）とセル単位で周期的に蛍光体９
が設けられている。また、図８には代表的なＦＥＤの構
造を示す。エミッター２９から発生した電子３３が電圧
勾配により蛍光体フィルター３４の透明電極２４に飛来
し、その上に形成した蛍光体２５に衝突して蛍光３５を
発する。このような蛍光３５を発する蛍光体２５を周期
的に配列した蛍光体フィルター３４は、現在、フォトリ
ソクラフィー法、スクリーン印刷法等で作られている
が、出来上がった蛍光体フィルターとしては、各色の蛍
光体が白色の一様な基板に見えてしまい、検査に関して
は良い方法がない。そのため、パネルをみ組み立て点灯
させてから初めて欠陥が発見されることとなり、製品の
歩留りの低下を招いていた。なお、図８中、３２は基
板、３１は陰極、３０は絶縁体、２８はゲート、２７は
収束電極、２６は多孔質アルミ膜、２３はガラス基板で
ある。
示す。この図は前面板と背面板を離した状態で示したも
ので、２枚のガラス基板１、２が互いに平行にかつ対向
して配設されており、両者は背面板となるガラス基板２
上に互いに平行に設けられたセル障壁３により一定の間
隔で保持されている。前面板となるガラス基板１の背面
側には、放電維持電極である透明電極４とバス電極であ
る金属電極５とで構成される複合電極が互いに平行に形
成され、これを覆って誘電体層６が形成されており、さ
らにその上に保護層（ＭｇＯ層）７が形成されている。
また、背面板となるガラス基板２の前面側には前記複合
電極と直交するようにセル障壁３の間に位置してアドレ
ス電極８が互いに平行に形成されており、さらに、セル
障壁３の壁面とセル底面を覆うようにしてＲ（赤色）、
Ｇ（緑色）、Ｂ（青色）とセル単位で周期的に蛍光体９
が設けられている。また、図８には代表的なＦＥＤの構
造を示す。エミッター２９から発生した電子３３が電圧
勾配により蛍光体フィルター３４の透明電極２４に飛来
し、その上に形成した蛍光体２５に衝突して蛍光３５を
発する。このような蛍光３５を発する蛍光体２５を周期
的に配列した蛍光体フィルター３４は、現在、フォトリ
ソクラフィー法、スクリーン印刷法等で作られている
が、出来上がった蛍光体フィルターとしては、各色の蛍
光体が白色の一様な基板に見えてしまい、検査に関して
は良い方法がない。そのため、パネルをみ組み立て点灯
させてから初めて欠陥が発見されることとなり、製品の
歩留りの低下を招いていた。なお、図８中、３２は基
板、３１は陰極、３０は絶縁体、２８はゲート、２７は
収束電極、２６は多孔質アルミ膜、２３はガラス基板で
ある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明は従来技術のこ
のような現状に鑑みてなされたものであり、その目的
は、ＰＤＰ、ＦＥＤ等用の蛍光体フィルターを装置に組
み込む前にその欠損、異物、輝度むら等を自動的に検査
する方法を提供することである。
のような現状に鑑みてなされたものであり、その目的
は、ＰＤＰ、ＦＥＤ等用の蛍光体フィルターを装置に組
み込む前にその欠損、異物、輝度むら等を自動的に検査
する方法を提供することである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成する本発
明の蛍光体フィルター検査方法は、基板上に発光波長の
異なる蛍光体が周期的にパターン状に設けられてなる蛍
光体フィルターの検査方法において、蛍光体面側に紫外
線を照射して蛍光体から発光した蛍光パターンの映像信
号を取り込み、その映像信号に画像処理を施すことによ
り蛍光体の欠損、異物、輝度むらを検出することを特徴
とする方法である。
明の蛍光体フィルター検査方法は、基板上に発光波長の
異なる蛍光体が周期的にパターン状に設けられてなる蛍
光体フィルターの検査方法において、蛍光体面側に紫外
線を照射して蛍光体から発光した蛍光パターンの映像信
号を取り込み、その映像信号に画像処理を施すことによ
り蛍光体の欠損、異物、輝度むらを検出することを特徴
とする方法である。
【０００６】この場合、蛍光パターンの映像信号は、ラ
インセンサー又はエリアセンサーにより取り込むことが
できる。その場合に、センサーの前に紫外線カツトフィ
ルターを配置することが望ましい。また一方、光源側に
は可視域の光カツトフィルターを用い、光源からの直接
光の影響を少なくすることが望ましい。
インセンサー又はエリアセンサーにより取り込むことが
できる。その場合に、センサーの前に紫外線カツトフィ
ルターを配置することが望ましい。また一方、光源側に
は可視域の光カツトフィルターを用い、光源からの直接
光の影響を少なくすることが望ましい。
【０００７】本発明においては、蛍光体面側に紫外線を
照射して蛍光体から発光した蛍光パターンの映像信号を
取り込み、その映像信号に画像処理を施すことにより蛍
光体の欠損、異物、輝度むらを検出するので、装置に実
際に組み込む前に基板毎に蛍光体フィルターの検査を自
動的に行うことが可能になり、製品の品質、歩留りを向
上させることができる。
照射して蛍光体から発光した蛍光パターンの映像信号を
取り込み、その映像信号に画像処理を施すことにより蛍
光体の欠損、異物、輝度むらを検出するので、装置に実
際に組み込む前に基板毎に蛍光体フィルターの検査を自
動的に行うことが可能になり、製品の品質、歩留りを向
上させることができる。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下、本発明の蛍光体フィルター
検査方法の原理と実施例について説明する。
検査方法の原理と実施例について説明する。
【０００９】本発明の原理は、作製した蛍光体フィルタ
ーの蛍光体パターンに紫外線と照射することによって蛍
光体が発光することを利用して、その蛍光パターンを映
像信号として画像処理装置に取り込んで画像処理するこ
とにより自動的に検査を行うものである。測定する欠陥
の種類に依存するが、ブラックライト蛍光ランプ等の紫
外線光源からの光を蛍光体フィルターの基板の蛍光体面
に照射し、ＰＤＰ用蛍光体フィルター等の不透明なもの
で蛍光体面の方から像を見る場合には、基板の光源側か
ら、ＦＥＤ用蛍光体フィルター等の透明基板で蛍光体面
の反対側から像を見る場合には、基板の反対側から、Ｔ
Ｖカメラ、ＣＣＤカメラ、ＣＣＤラインセンサー等で蛍
光蛍光パターンを取り込み、その取り込んだ画像を画像
処理することによって異常点等を抽出して不良品を識別
するものである。この場合の紫外線光源としては、ブラ
ックライト蛍光ランプ以外に、超高圧水銀灯、キセノン
光源、殺菌灯等を用いることができるが、可視光の放射
を抑えるために、可視光吸収・紫外線透過フィルターを
用いることが好ましく、ＣＣＤセンサー、ＴＶカメラに
は、逆に紫外線カツトフィルターを用いる必要がある。
ーの蛍光体パターンに紫外線と照射することによって蛍
光体が発光することを利用して、その蛍光パターンを映
像信号として画像処理装置に取り込んで画像処理するこ
とにより自動的に検査を行うものである。測定する欠陥
の種類に依存するが、ブラックライト蛍光ランプ等の紫
外線光源からの光を蛍光体フィルターの基板の蛍光体面
に照射し、ＰＤＰ用蛍光体フィルター等の不透明なもの
で蛍光体面の方から像を見る場合には、基板の光源側か
ら、ＦＥＤ用蛍光体フィルター等の透明基板で蛍光体面
の反対側から像を見る場合には、基板の反対側から、Ｔ
Ｖカメラ、ＣＣＤカメラ、ＣＣＤラインセンサー等で蛍
光蛍光パターンを取り込み、その取り込んだ画像を画像
処理することによって異常点等を抽出して不良品を識別
するものである。この場合の紫外線光源としては、ブラ
ックライト蛍光ランプ以外に、超高圧水銀灯、キセノン
光源、殺菌灯等を用いることができるが、可視光の放射
を抑えるために、可視光吸収・紫外線透過フィルターを
用いることが好ましく、ＣＣＤセンサー、ＴＶカメラに
は、逆に紫外線カツトフィルターを用いる必要がある。
【００１０】以下、本発明の蛍光体フィルター検査方法
を実施する装置の実施例について説明する。
を実施する装置の実施例について説明する。
【００１１】図１は、主としてＰＤＰ背面板等の不透明
基板上に形成された蛍光体パターンの欠損欠陥検査、異
物検査を行う場合の配置を示す図であり、コンベア１１
上に被検査体として、図７で示したような蛍光体フィル
ター１０を蛍光体９の面が上になるように載置する。コ
ンベア１１の上方には、紫外線光源としてインバータ付
きブラックライト蛍光ランプ１２を配置すると共に、コ
ンベア１１の上方には、ＣＣＤラインセンサー１３が蛍
光体フィルター１０の基板上の蛍光体９に焦点が合うよ
うに設置する。なお、蛍光体フィルター１０の基板サイ
ズによっては、ＣＣＤラインセンサー１３が１台では足
りないこともあるが、その場合には複数のＣＣＤライン
センサー１３を横に並べる等して基板２上の検査面全体
を覆うようにする。ＣＣＤラインセンサー１３からの映
像信号は画像処理装置１４に取り込まれる。また、画像
処理装置１４は制御装置１５によって制御されていると
共に、制御装置１５は同時にコンベア１１の駆動装置１
６を制御している。また、画像処理装置１４には表示装
置１７が接続されており、その画像処理結果を表示でき
るようになっている。
基板上に形成された蛍光体パターンの欠損欠陥検査、異
物検査を行う場合の配置を示す図であり、コンベア１１
上に被検査体として、図７で示したような蛍光体フィル
ター１０を蛍光体９の面が上になるように載置する。コ
ンベア１１の上方には、紫外線光源としてインバータ付
きブラックライト蛍光ランプ１２を配置すると共に、コ
ンベア１１の上方には、ＣＣＤラインセンサー１３が蛍
光体フィルター１０の基板上の蛍光体９に焦点が合うよ
うに設置する。なお、蛍光体フィルター１０の基板サイ
ズによっては、ＣＣＤラインセンサー１３が１台では足
りないこともあるが、その場合には複数のＣＣＤライン
センサー１３を横に並べる等して基板２上の検査面全体
を覆うようにする。ＣＣＤラインセンサー１３からの映
像信号は画像処理装置１４に取り込まれる。また、画像
処理装置１４は制御装置１５によって制御されていると
共に、制御装置１５は同時にコンベア１１の駆動装置１
６を制御している。また、画像処理装置１４には表示装
置１７が接続されており、その画像処理結果を表示でき
るようになっている。
【００１２】このような配置において、コンベア１１上
の蛍光体フィルター１０の蛍光体９の面にブラックライ
ト蛍光ランプ１２からの紫外線を照射しながら、制御装
置１５により駆動装置１６を制御してコンベア１１を連
続的に移動させ、その移動と同期させながらＣＣＤライ
ンセンサー１３により蛍光パターンから映像信号を画像
処理装置１４に取り込む。蛍光体フィルター１０の蛍光
体９が正常にパターニングされている場合には、ＣＣＤ
ラインセンサー１３からの信号は、図５に示すような規
則的に赤、緑、青の蛍光強度に従った繰り返し信号とな
るが、蛍光体パターンに穴が開いていたり、異物が混入
している場合には、その部分で蛍光強度は観測されず暗
くなる。この測定信号を基に隣の同色画素の強度との差
分を取る等の信号処理を行うことによって、蛍光体フィ
ルター１０の蛍光体９の欠損や異物に基づく不良個所及
びその程度を識別することができる。なお、図１では、
コンベア１１の送り方向と蛍光体フィルター１０のスト
ライプ方向が直交して図示してあるが、実際には、図６
に示すように、コンベア１１の送り方向と蛍光体フィル
ター１０のストライプ方向とを平行にアライメントして
検査する。
の蛍光体フィルター１０の蛍光体９の面にブラックライ
ト蛍光ランプ１２からの紫外線を照射しながら、制御装
置１５により駆動装置１６を制御してコンベア１１を連
続的に移動させ、その移動と同期させながらＣＣＤライ
ンセンサー１３により蛍光パターンから映像信号を画像
処理装置１４に取り込む。蛍光体フィルター１０の蛍光
体９が正常にパターニングされている場合には、ＣＣＤ
ラインセンサー１３からの信号は、図５に示すような規
則的に赤、緑、青の蛍光強度に従った繰り返し信号とな
るが、蛍光体パターンに穴が開いていたり、異物が混入
している場合には、その部分で蛍光強度は観測されず暗
くなる。この測定信号を基に隣の同色画素の強度との差
分を取る等の信号処理を行うことによって、蛍光体フィ
ルター１０の蛍光体９の欠損や異物に基づく不良個所及
びその程度を識別することができる。なお、図１では、
コンベア１１の送り方向と蛍光体フィルター１０のスト
ライプ方向が直交して図示してあるが、実際には、図６
に示すように、コンベア１１の送り方向と蛍光体フィル
ター１０のストライプ方向とを平行にアライメントして
検査する。
【００１３】次に、図２は、主としてＦＥＤ前面板等の
透明基板２３上に形成された蛍光体パターン欠損欠陥検
査、異物検査を行う場合の配置を示す図であり、コンベ
ア１１上に被検査体として図８で示したような蛍光体フ
ィルター３４を蛍光体２５の面が下になるように載置す
る。コンベア１１の下方には、紫外線光源としてインバ
ータ付きブラックライト蛍光ランプ１２を配置すると共
に、コンベア１１の上方には、ＣＣＤラインセンサー１
３が蛍光体フィルター３４の基板２３上の蛍光体２５に
焦点が合うように設置する。なお、蛍光フィルター３４
の基板サイズによってＣＣＤラインセンサー１３が１台
では足りないこともあるが、その場合には複数のＣＣＤ
ラインセンサー１３を横に並べる等して基板２３上の検
査面全体を覆うようにする。ＣＣＤラインセンサー１３
からの映像信号は画像処理装置１４に取り込まれる。ま
た、画像処理装置１４は制御装置１５によって制御され
ていると共に、制御装置１５は同時にコンベア１１の駆
動装置１６を制御している。また、画像処理装置１４に
は表示装置１７が接続されており、その画像処理結果を
表示できるようになっている。
透明基板２３上に形成された蛍光体パターン欠損欠陥検
査、異物検査を行う場合の配置を示す図であり、コンベ
ア１１上に被検査体として図８で示したような蛍光体フ
ィルター３４を蛍光体２５の面が下になるように載置す
る。コンベア１１の下方には、紫外線光源としてインバ
ータ付きブラックライト蛍光ランプ１２を配置すると共
に、コンベア１１の上方には、ＣＣＤラインセンサー１
３が蛍光体フィルター３４の基板２３上の蛍光体２５に
焦点が合うように設置する。なお、蛍光フィルター３４
の基板サイズによってＣＣＤラインセンサー１３が１台
では足りないこともあるが、その場合には複数のＣＣＤ
ラインセンサー１３を横に並べる等して基板２３上の検
査面全体を覆うようにする。ＣＣＤラインセンサー１３
からの映像信号は画像処理装置１４に取り込まれる。ま
た、画像処理装置１４は制御装置１５によって制御され
ていると共に、制御装置１５は同時にコンベア１１の駆
動装置１６を制御している。また、画像処理装置１４に
は表示装置１７が接続されており、その画像処理結果を
表示できるようになっている。
【００１４】このような配置において、コンベア１１上
の蛍光フィルター３４の蛍光体２５の面にブラックライ
ト蛍光ランプ１２からの紫外線を照射しながら、制御装
置１５により駆動装置１６を制御してコンベア１１を連
続的に移動させ、その移動と同期させながらＣＣＤライ
ンセンサー１３により蛍光パターンから映像信号を画像
処理装置１４に取り込む。蛍光体フィルター３４の蛍光
体２５が正常にパターニングされている場合には、ＣＣ
Ｄラインセンサー１３からの信号は図５に示すような規
則的に赤、緑、青の蛍光強度に従った繰り返し信号とな
るが、蛍光体パターンに穴が開いていたり、異物が混入
している場合には、その部分で蛍光強度は観測されず暗
くなる。この測定信号を基に隣の同色画素の強度との差
分を取る等の信号処理を行うことによって、蛍光体フィ
ルター３４の蛍光体２５の欠損や異物に基づく不良個所
及びその程度を識別することができる。なお、図２にお
いても、コンベア１１の送り方向と蛍光体フィルター３
４のストライプ方向が直交して図示してあるが、実際に
は、図６に示すように、コンベア１１の送り方向と蛍光
体フィルター３４のストライプ方向とを平行にアライメ
ントして検査する。
の蛍光フィルター３４の蛍光体２５の面にブラックライ
ト蛍光ランプ１２からの紫外線を照射しながら、制御装
置１５により駆動装置１６を制御してコンベア１１を連
続的に移動させ、その移動と同期させながらＣＣＤライ
ンセンサー１３により蛍光パターンから映像信号を画像
処理装置１４に取り込む。蛍光体フィルター３４の蛍光
体２５が正常にパターニングされている場合には、ＣＣ
Ｄラインセンサー１３からの信号は図５に示すような規
則的に赤、緑、青の蛍光強度に従った繰り返し信号とな
るが、蛍光体パターンに穴が開いていたり、異物が混入
している場合には、その部分で蛍光強度は観測されず暗
くなる。この測定信号を基に隣の同色画素の強度との差
分を取る等の信号処理を行うことによって、蛍光体フィ
ルター３４の蛍光体２５の欠損や異物に基づく不良個所
及びその程度を識別することができる。なお、図２にお
いても、コンベア１１の送り方向と蛍光体フィルター３
４のストライプ方向が直交して図示してあるが、実際に
は、図６に示すように、コンベア１１の送り方向と蛍光
体フィルター３４のストライプ方向とを平行にアライメ
ントして検査する。
【００１５】次に、図３は、主としてＰＤＰ背面板等の
不透明基板２上に形成された蛍光体９の輝度むら欠陥検
査を行う場合の配置を示す図である。蛍光体フィルター
１０に電子線が当たったときの発光強度は蛍光体９の膜
厚により敏感に変化してしまうため、蛍光体９の厚さの
むらが表示した画面のむらになってしまう。この不良を
表示むらと呼ぶが、この検査方法としては、図３のよう
な配置により行う。いわゆる一般のカラーフィルターを
検査するには、蛍光灯を並べ、全面に拡散板を置いて均
一な面光源を用い、その上に被検査体のカラーフィルタ
ーを置いて、上方からＣＣＤカメラで撮影して透過率の
違いを測定しているが、ＰＤＰ用蛍光体パターンの場
合、観察面と蛍光体面が一緒であるために、反射方式で
測定する必要がある。そのため、図３に示すように、蛍
光灯の代わりにブラックライト蛍光ランプ１２を並べて
設置し、反射板１８にて配置した基板２上に紫外線が有
効に当たるようにする。被検査体としての蛍光体フィル
ター１０を蛍光体９の面が上に向くように検査ステージ
２２上に載置する。そして、蛍光体フィルター１０の上
方にＣＣＤカメラ２１を蛍光体フィルター１０上の蛍光
体９面に焦点が合うように設置する。ＣＣＤカメラ２１
からの映像信号は画像処理装置１４に取り込まれる。画
像処理装置１４には表示装置１７が接続されており、そ
の画像処理結果を表示できるようになっている。
不透明基板２上に形成された蛍光体９の輝度むら欠陥検
査を行う場合の配置を示す図である。蛍光体フィルター
１０に電子線が当たったときの発光強度は蛍光体９の膜
厚により敏感に変化してしまうため、蛍光体９の厚さの
むらが表示した画面のむらになってしまう。この不良を
表示むらと呼ぶが、この検査方法としては、図３のよう
な配置により行う。いわゆる一般のカラーフィルターを
検査するには、蛍光灯を並べ、全面に拡散板を置いて均
一な面光源を用い、その上に被検査体のカラーフィルタ
ーを置いて、上方からＣＣＤカメラで撮影して透過率の
違いを測定しているが、ＰＤＰ用蛍光体パターンの場
合、観察面と蛍光体面が一緒であるために、反射方式で
測定する必要がある。そのため、図３に示すように、蛍
光灯の代わりにブラックライト蛍光ランプ１２を並べて
設置し、反射板１８にて配置した基板２上に紫外線が有
効に当たるようにする。被検査体としての蛍光体フィル
ター１０を蛍光体９の面が上に向くように検査ステージ
２２上に載置する。そして、蛍光体フィルター１０の上
方にＣＣＤカメラ２１を蛍光体フィルター１０上の蛍光
体９面に焦点が合うように設置する。ＣＣＤカメラ２１
からの映像信号は画像処理装置１４に取り込まれる。画
像処理装置１４には表示装置１７が接続されており、そ
の画像処理結果を表示できるようになっている。
【００１６】このような配置において、蛍光体フィルタ
ー１０の蛍光体９の面にブラックライト蛍光ランプ１２
からの紫外線を照射すると、蛍光体９が紫外線を吸収し
て自己発光するために、赤、緑、青の蛍光体のパターン
に従った蛍光パターンを発光する。この蛍光パターンを
ＣＣＤカメラ２１で撮影し、画像処理装置１４で各画素
の強度を比較したり、点状、線状等の輝度変化を抽出す
るような周知の画像処理を施すことによって蛍光体パタ
ーンのむらを数値として表すことができ、良品、不良品
の判定を行うことができる。光源１２からの紫外光は均
一にはならないため、良品である基準板を予め測定して
おいてから、被検査体について測定し、その良品の測定
データと比較する方法、あるいは、予め単色で均一の膜
厚を持った蛍光体基板を測定しておいて、その測定デー
タを補正係数として用いる方法等がある。
ー１０の蛍光体９の面にブラックライト蛍光ランプ１２
からの紫外線を照射すると、蛍光体９が紫外線を吸収し
て自己発光するために、赤、緑、青の蛍光体のパターン
に従った蛍光パターンを発光する。この蛍光パターンを
ＣＣＤカメラ２１で撮影し、画像処理装置１４で各画素
の強度を比較したり、点状、線状等の輝度変化を抽出す
るような周知の画像処理を施すことによって蛍光体パタ
ーンのむらを数値として表すことができ、良品、不良品
の判定を行うことができる。光源１２からの紫外光は均
一にはならないため、良品である基準板を予め測定して
おいてから、被検査体について測定し、その良品の測定
データと比較する方法、あるいは、予め単色で均一の膜
厚を持った蛍光体基板を測定しておいて、その測定デー
タを補正係数として用いる方法等がある。
【００１７】次に、図４は、主としてＦＥＤ前面板等の
透明基板２３上に形成された蛍光体２５の輝度むら欠陥
検査を行う場合の配置を示す図である。ブラックライト
蛍光ランプ１２を並べて設置し、拡散板２０によって均
一にすることにより基板２３上に紫外線が均一に当たる
ようにする。被検査体としての蛍光体フィルター３４を
蛍光体２５の面が下になるように載置する。そして、蛍
光体フィルター３４の上方にＣＣＤカメラ２１を蛍光体
フィルター３４の蛍光体２５の面に焦点が合うように設
置する。ＣＣＤカメラ２１からの映像信号は画像処理装
置１４に取り込まれる。画像処理装置１４には表示装置
１７が接続されており、その画像処理結果を表示できる
ようになっている。
透明基板２３上に形成された蛍光体２５の輝度むら欠陥
検査を行う場合の配置を示す図である。ブラックライト
蛍光ランプ１２を並べて設置し、拡散板２０によって均
一にすることにより基板２３上に紫外線が均一に当たる
ようにする。被検査体としての蛍光体フィルター３４を
蛍光体２５の面が下になるように載置する。そして、蛍
光体フィルター３４の上方にＣＣＤカメラ２１を蛍光体
フィルター３４の蛍光体２５の面に焦点が合うように設
置する。ＣＣＤカメラ２１からの映像信号は画像処理装
置１４に取り込まれる。画像処理装置１４には表示装置
１７が接続されており、その画像処理結果を表示できる
ようになっている。
【００１８】このような配置において、蛍光体フィルタ
ー３４の蛍光体２５の面にブラックライト蛍光ランプ１
２からの紫外線を照射すると、蛍光体２５が紫外線を吸
収して自己発光するために、赤、緑、青の蛍光体のパタ
ーンに従った蛍光パターンを発光する。この蛍光パター
ンをＣＣＤカメラ２１で撮影し、画像処理装置１４で各
画素の強度を比較したり、点状、線状等の輝度変化を抽
出するような周知の画像処理を施すことによって蛍光体
パターンのむらを数値として表すことができ、良品、不
良品の判定を行うことができる。光源１２からの紫外光
は均一にはならないため、良品である基準板を予め測定
しておいてから、被検査体について測定し、その良品の
測定データと比較する方法、あるいは、予め単色で均一
の膜厚を持った蛍光体基板を測定しておいて、その測定
データを補正係数として用いる方法等がある。
ー３４の蛍光体２５の面にブラックライト蛍光ランプ１
２からの紫外線を照射すると、蛍光体２５が紫外線を吸
収して自己発光するために、赤、緑、青の蛍光体のパタ
ーンに従った蛍光パターンを発光する。この蛍光パター
ンをＣＣＤカメラ２１で撮影し、画像処理装置１４で各
画素の強度を比較したり、点状、線状等の輝度変化を抽
出するような周知の画像処理を施すことによって蛍光体
パターンのむらを数値として表すことができ、良品、不
良品の判定を行うことができる。光源１２からの紫外光
は均一にはならないため、良品である基準板を予め測定
しておいてから、被検査体について測定し、その良品の
測定データと比較する方法、あるいは、予め単色で均一
の膜厚を持った蛍光体基板を測定しておいて、その測定
データを補正係数として用いる方法等がある。
【００１９】以上、本発明の蛍光体フィルター検査方法
を原理と実施例の説明に基づいて詳細に説明してきた
が、本発明はこれら実施例に限定されず種々の変形が可
能である。
を原理と実施例の説明に基づいて詳細に説明してきた
が、本発明はこれら実施例に限定されず種々の変形が可
能である。
【００２０】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
の蛍光体フィルター検査方法によると、蛍光体面側に紫
外線を照射して蛍光体から発光した蛍光パターンの映像
信号を取り込み、その映像信号に画像処理を施すことに
より蛍光体の欠損、異物、輝度むらを検出するので、装
置に実際に組み込む前に基板毎に蛍光体フィルターの検
査を自動的に行うことが可能になり、製品の品質、歩留
りを向上させることができる。
の蛍光体フィルター検査方法によると、蛍光体面側に紫
外線を照射して蛍光体から発光した蛍光パターンの映像
信号を取り込み、その映像信号に画像処理を施すことに
より蛍光体の欠損、異物、輝度むらを検出するので、装
置に実際に組み込む前に基板毎に蛍光体フィルターの検
査を自動的に行うことが可能になり、製品の品質、歩留
りを向上させることができる。
【図１】本発明の蛍光体フィルターパターン欠陥の検査
方法を実施する１つの配置を示す図である。
方法を実施する１つの配置を示す図である。
【図２】本発明の蛍光体フィルターパターン欠陥の検査
方法を実施する別の配置を示す図である。
方法を実施する別の配置を示す図である。
【図３】本発明の蛍光体フィルターの輝度むらの検査方
法を実施する別の配置を示す図である。
法を実施する別の配置を示す図である。
【図４】本発明の蛍光体フィルターの輝度むらの検査方
法を実施する別の配置を示す図である。
法を実施する別の配置を示す図である。
【図５】本発明の蛍光体フィルターパターンの欠損欠陥
検査、異物検査方法を実施したときのセンサーの検出強
度例を示す図である。
検査、異物検査方法を実施したときのセンサーの検出強
度例を示す図である。
【図６】本発明の蛍光体フィルターパターンの欠損欠陥
検査、異物検査方法を実施する場合のラインセンサーと
基板の送り方向を示す図である。
検査、異物検査方法を実施する場合のラインセンサーと
基板の送り方向を示す図である。
【図７】プラズマディスプレイパネルの１つの構成を示
す分解斜視図である。
す分解斜視図である。
【図８】ＦＥＤの１つの構成を示す断面図である。
１、２…ガラス基板 ３…セル障壁 ４…透明電極 ５…金属電極 ６…誘電体層 ７…保護層（ＭｇＯ層） ８…アドレス電極 ９…蛍光体 １０…蛍光体フィルター（被検査体） １１…コンベア １２…ブラックライト蛍光ランプ １３…ＣＣＤラインセンサー １４…画像処理装置 １５…制御装置 １６…駆動装置 １７…表示装置 １８…反射板 ２０…拡散板 ２１…ＣＣＤカメラ ２２…検査ステージ ２３…透明基板 ２４…透明電極 ２５…蛍光体 ２６…多孔質アルミ膜 ２７…収束電極 ２８…ゲート ２９…エミッター ３０…絶縁体 ３１…陰極 ３２…基板 ３３…電子 ３４…蛍光体フィルター ３５…蛍光
Claims (5)
- 【請求項１】 基板上に発光波長の異なる蛍光体が周期
的にパターン状に設けられてなる蛍光体フィルターの検
査方法において、蛍光体面側に紫外線を照射して蛍光体
から発光した蛍光パターンの映像信号を取り込み、その
映像信号に画像処理を施すことにより蛍光体の欠損、異
物、輝度むらを検出することを特徴とする蛍光体フィル
ター検査方法。 - 【請求項２】 前記蛍光パターンの映像信号をラインセ
ンサーにより取り込むことを特徴とする請求項１記載の
蛍光体フィルター検査方法。 - 【請求項３】 前記蛍光パターンの映像信号をエリアセ
ンサーにより取り込むことを特徴とする請求項１記載の
蛍光体フィルター検査方法。 - 【請求項４】 前記センサーの前に紫外線カツトフィル
ターを配置することを特徴とする請求項２又は３記載の
蛍光体フィルター検査方法。 - 【請求項５】 紫外線光源の前に可視光線カツトフィル
ターを配置することを特徴とする請求項２又は３記載の
蛍光体フィルター検査方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000033181A JP2001221712A (ja) | 2000-02-10 | 2000-02-10 | 蛍光体フィルター検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000033181A JP2001221712A (ja) | 2000-02-10 | 2000-02-10 | 蛍光体フィルター検査方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001221712A true JP2001221712A (ja) | 2001-08-17 |
Family
ID=18557697
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000033181A Pending JP2001221712A (ja) | 2000-02-10 | 2000-02-10 | 蛍光体フィルター検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001221712A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100437031B1 (ko) * | 2001-12-27 | 2004-06-23 | 엘지전자 주식회사 | 플라즈마 진공자외선을 이용한 형광체 검사장치 및 방법 |
| JP2007085834A (ja) * | 2005-09-21 | 2007-04-05 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 蛍光体パネルの検査装置 |
| KR100925275B1 (ko) * | 2002-11-04 | 2009-11-05 | 엘지전자 주식회사 | 플라즈마 디스플레이 패널의 형광체 검사 장치 및 방법 |
-
2000
- 2000-02-10 JP JP2000033181A patent/JP2001221712A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100437031B1 (ko) * | 2001-12-27 | 2004-06-23 | 엘지전자 주식회사 | 플라즈마 진공자외선을 이용한 형광체 검사장치 및 방법 |
| KR100925275B1 (ko) * | 2002-11-04 | 2009-11-05 | 엘지전자 주식회사 | 플라즈마 디스플레이 패널의 형광체 검사 장치 및 방법 |
| JP2007085834A (ja) * | 2005-09-21 | 2007-04-05 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 蛍光体パネルの検査装置 |
| JP4672497B2 (ja) * | 2005-09-21 | 2011-04-20 | 株式会社日立国際電気 | 蛍光体パネルの検査装置 |
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