JP2003086103A - プラズマディスプレイパネルの欠陥検出方法 - Google Patents
プラズマディスプレイパネルの欠陥検出方法Info
- Publication number
- JP2003086103A JP2003086103A JP2001277960A JP2001277960A JP2003086103A JP 2003086103 A JP2003086103 A JP 2003086103A JP 2001277960 A JP2001277960 A JP 2001277960A JP 2001277960 A JP2001277960 A JP 2001277960A JP 2003086103 A JP2003086103 A JP 2003086103A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- plasma display
- defect
- light
- display panel
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Testing, Inspecting, Measuring Of Stereoscopic Televisions And Televisions (AREA)
- Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
- Gas-Filled Discharge Tubes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ＰＤＰの欠陥検査方法において、信頼性の高
い検査が行えるようにすることを目的とする。 【解決手段】 間に放電空間が形成されるように対向配
置する基板上に電極を形成するとともに、その電極を覆
うように誘電体層を形成したプラズマディスプレイパネ
ルにおいて、前面パネル１０１の欠陥を検査する際に、
前面パネル１０１の検査領域に前面パネル１０１とほぼ
垂直な方向から光照射手段２０１により光束を照射する
とともに、その照射光による前記検査領域からの散乱光
を光学センサで受け、この光学センサからの検出信号に
基づいて前記基板の欠陥を検出する。
い検査が行えるようにすることを目的とする。 【解決手段】 間に放電空間が形成されるように対向配
置する基板上に電極を形成するとともに、その電極を覆
うように誘電体層を形成したプラズマディスプレイパネ
ルにおいて、前面パネル１０１の欠陥を検査する際に、
前面パネル１０１の検査領域に前面パネル１０１とほぼ
垂直な方向から光照射手段２０１により光束を照射する
とともに、その照射光による前記検査領域からの散乱光
を光学センサで受け、この光学センサからの検出信号に
基づいて前記基板の欠陥を検出する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、プラズマディスプ
レイパネル（以下ＰＤＰという）の欠陥検出方法に関す
るものである。
レイパネル（以下ＰＤＰという）の欠陥検出方法に関す
るものである。
【０００２】
【従来の技術】近年双方向情報端末として大画面、壁掛
けテレビへの期待が高まっている。そのため、液晶Ｔ
Ｖ、フィールドエミッションディスプレイ、エレクトロ
ーラーミネッセンスディスプレイ等に代表されるディス
プレイパネルが数多くあり、一部は市販され、一部は開
発中である。
けテレビへの期待が高まっている。そのため、液晶Ｔ
Ｖ、フィールドエミッションディスプレイ、エレクトロ
ーラーミネッセンスディスプレイ等に代表されるディス
プレイパネルが数多くあり、一部は市販され、一部は開
発中である。
【０００３】これらの中でもＰＤＰは自発光型で美しい
画像表示ができる、大画面化が容易であるなど他のデバ
イスにはない特徴を持っている。
画像表示ができる、大画面化が容易であるなど他のデバ
イスにはない特徴を持っている。
【０００４】このＰＤＰは、それぞれ電極を備えた前面
パネルと背面パネルからなり、前面パネルは、前面ガラ
ス基板上に、複数の表示電極（主に透明電極なる電極と
抵抗を下げるために導電性の高い金属からなる電極（行
電極））を形成し、その上に表示電極を覆うように誘電
体層及び酸化マグネシウム（ＭｇＯ）を形成した構成で
ある。
パネルと背面パネルからなり、前面パネルは、前面ガラ
ス基板上に、複数の表示電極（主に透明電極なる電極と
抵抗を下げるために導電性の高い金属からなる電極（行
電極））を形成し、その上に表示電極を覆うように誘電
体層及び酸化マグネシウム（ＭｇＯ）を形成した構成で
ある。
【０００５】また、背面パネルは、背面ガラス基板上
に、アドレス電極、誘電体層、隔壁、及び蛍光体層を形
成した構成であり、そしてこのような前面パネルと背面
パネルとを周辺シール材によって貼り合わせ、隔壁で仕
切られた空間に放電ガスを封入することで放電空間を形
成することによりＰＤＰが構成されている。なお、カラ
ー表示のためには前記蛍光体層は、通常、赤、緑、青の
３色が順に配置されている。
に、アドレス電極、誘電体層、隔壁、及び蛍光体層を形
成した構成であり、そしてこのような前面パネルと背面
パネルとを周辺シール材によって貼り合わせ、隔壁で仕
切られた空間に放電ガスを封入することで放電空間を形
成することによりＰＤＰが構成されている。なお、カラ
ー表示のためには前記蛍光体層は、通常、赤、緑、青の
３色が順に配置されている。
【０００６】ところで、このＰＤＰにおいては、アドレ
ス電極、表示電極には、銀、Ｃｒ−Ｃｕ−Ｃｒ等が用い
られる。このうち銀による電極の製造方法としては、ス
クリーン印刷法のように銀、樹脂、溶剤などを含有する
銀ペーストを用いる方法や、ラミネート法のように、
銀、樹脂などを含有するフィルムを用いる方法などがあ
る。
ス電極、表示電極には、銀、Ｃｒ−Ｃｕ−Ｃｒ等が用い
られる。このうち銀による電極の製造方法としては、ス
クリーン印刷法のように銀、樹脂、溶剤などを含有する
銀ペーストを用いる方法や、ラミネート法のように、
銀、樹脂などを含有するフィルムを用いる方法などがあ
る。
【０００７】さらに、前記電極を被覆する誘電体層は、
通常低融点鉛ガラスなどの粉末、結着樹脂および溶剤を
含有するガラスペースト組成物を調製し、これをスクリ
ーン印刷またはダイコート塗布等によって、ガラス基板
に塗工し、乾燥、焼成することで形成される。
通常低融点鉛ガラスなどの粉末、結着樹脂および溶剤を
含有するガラスペースト組成物を調製し、これをスクリ
ーン印刷またはダイコート塗布等によって、ガラス基板
に塗工し、乾燥、焼成することで形成される。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】上記の電極または誘電
体形成工程において、異物、電極の欠陥、誘電体の欠陥
に起因する不良が生じることがある。そこで、それらの
欠陥を検出するために、撮影手段により撮影された画像
に画像処理をかけることによって欠陥及び欠陥位置を把
握する外観検査が行われることがある。この外観検査
は、欠陥部に修正を施す位置と必要性を判断するために
行われる場合と、欠陥が重大な場合には基板を前もって
選別するために、電極または誘電体層が形成された直後
において施される。
体形成工程において、異物、電極の欠陥、誘電体の欠陥
に起因する不良が生じることがある。そこで、それらの
欠陥を検出するために、撮影手段により撮影された画像
に画像処理をかけることによって欠陥及び欠陥位置を把
握する外観検査が行われることがある。この外観検査
は、欠陥部に修正を施す位置と必要性を判断するために
行われる場合と、欠陥が重大な場合には基板を前もって
選別するために、電極または誘電体層が形成された直後
において施される。
【０００９】本発明はこのような現状に鑑みなされたも
ので、ＰＤＰの欠陥検査方法において、信頼性の高い検
査が行えるようにすることを目的とする。
ので、ＰＤＰの欠陥検査方法において、信頼性の高い検
査が行えるようにすることを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明は、間に放電空間が形成されるように対向配置
する基板上に電極を形成するとともに、その電極を覆う
ように誘電体層を形成したプラズマディスプレイパネル
において、前記電極および誘電体層を形成した基板の欠
陥を検査する際に、前記基板の検査領域に基板とほぼ垂
直な方向から光束を照射するとともに、その照射光によ
る前記検査領域からの散乱光を光学センサで受け、この
光学センサからの検出信号に基づいて前記基板の欠陥を
検出することを特徴とするものである。
に本発明は、間に放電空間が形成されるように対向配置
する基板上に電極を形成するとともに、その電極を覆う
ように誘電体層を形成したプラズマディスプレイパネル
において、前記電極および誘電体層を形成した基板の欠
陥を検査する際に、前記基板の検査領域に基板とほぼ垂
直な方向から光束を照射するとともに、その照射光によ
る前記検査領域からの散乱光を光学センサで受け、この
光学センサからの検出信号に基づいて前記基板の欠陥を
検出することを特徴とするものである。
【００１１】また、本発明では、基板の検査領域に照射
する光束が、欠陥部分以外は反射により画像として白色
として表示される強度であることを特徴としている。
する光束が、欠陥部分以外は反射により画像として白色
として表示される強度であることを特徴としている。
【００１２】さらに、本発明の検査装置は、間に放電空
間が形成されるように対向配置する基板上に電極を形成
するとともに、その電極を覆うように誘電体層を形成し
たプラズマディスプレイパネルの検査装置において、前
記電極および誘電体層を形成した基板の検査領域に基板
とほぼ垂直な方向から光束を照射する光照射手段と、前
記検査領域からの散乱光を検出する光学センサとを備え
たものである。
間が形成されるように対向配置する基板上に電極を形成
するとともに、その電極を覆うように誘電体層を形成し
たプラズマディスプレイパネルの検査装置において、前
記電極および誘電体層を形成した基板の検査領域に基板
とほぼ垂直な方向から光束を照射する光照射手段と、前
記検査領域からの散乱光を検出する光学センサとを備え
たものである。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下、本発明について、図１〜図
３の図面を参照しながら説明する。
３の図面を参照しながら説明する。
【００１４】図１は、本実施の形態に係るプラズマディ
スプレイである。このプラズマディスプレイは図１に示
すようにそれぞれ電極を備えた前面パネル１０１と背面
パネル１１１からなる。
スプレイである。このプラズマディスプレイは図１に示
すようにそれぞれ電極を備えた前面パネル１０１と背面
パネル１１１からなる。
【００１５】前面パネル１０１は、前面ガラス基板１０
２上に、例えばインジウム錫酸化物又は酸化錫等からな
る透明電極１０４を互いに平行となるように配列して形
成し、その透明電極１０４上に透明電極のライン抵抗を
下げるために抵抗の低い金属、例えばＣｒ／Ｃｕ／Ｃｒ
またはＡｇなどからなるバス電極１０５を形成すること
により、複数列の行電極１０３を形成している。なお、
この行電極１０３のバス電極１０５は発光光を遮らない
ように、透明電極１０４よりも十分に幅が狭く形成され
ている。
２上に、例えばインジウム錫酸化物又は酸化錫等からな
る透明電極１０４を互いに平行となるように配列して形
成し、その透明電極１０４上に透明電極のライン抵抗を
下げるために抵抗の低い金属、例えばＣｒ／Ｃｕ／Ｃｒ
またはＡｇなどからなるバス電極１０５を形成すること
により、複数列の行電極１０３を形成している。なお、
この行電極１０３のバス電極１０５は発光光を遮らない
ように、透明電極１０４よりも十分に幅が狭く形成され
ている。
【００１６】そして、この行電極１０３を覆うように前
面ガラス基板１０２上に誘電体層１０６が形成され、さ
らにこの誘電体層１０６上に酸化マグネシウム（Ｍｇ
Ｏ）からなる保護層１０７が形成されている。
面ガラス基板１０２上に誘電体層１０６が形成され、さ
らにこの誘電体層１０６上に酸化マグネシウム（Ｍｇ
Ｏ）からなる保護層１０７が形成されている。
【００１７】また、背面パネル１１１は、背面ガラス基
板１１２上に、アドレス電極１１３、誘電体層１１４、
隔壁１１５、及び蛍光体層１１６（赤、緑、青の３色が
順に配置）が設けられて形成されている。
板１１２上に、アドレス電極１１３、誘電体層１１４、
隔壁１１５、及び蛍光体層１１６（赤、緑、青の３色が
順に配置）が設けられて形成されている。
【００１８】そして、このような前面パネル１０１と背
面パネル１１１とが周辺シール材（図示せず）によって
貼り合わせられ、この前面パネル１０１と背面パネル１
１１との間の隔壁１１５で仕切られた放電空間に、例え
ばＮｅ、ＸｅガスやＨｅ、Ｎｅガスのような放電ガスを
封入することにより構成されている。
面パネル１１１とが周辺シール材（図示せず）によって
貼り合わせられ、この前面パネル１０１と背面パネル１
１１との間の隔壁１１５で仕切られた放電空間に、例え
ばＮｅ、ＸｅガスやＨｅ、Ｎｅガスのような放電ガスを
封入することにより構成されている。
【００１９】ところで、従来においては、上記のような
構成のＰＤＰにおいて、前面パネル１０１の欠陥を検査
する場合、前面パネル１０１に対して垂直な方向から照
射できる第１の照射光学系による落射光と、前面パネル
１０１に対して垂線から任意の傾きから光束を照射する
第２の照射光学系による反射光と、前面パネル１０１の
裏面から前面パネル１０１に対して垂直な方向から照射
できる第３の照射光学系による透過光により前面パネル
１０１に対して設定される検査領域に光束を照射し、第
１、第２および第３の照射光学系による検査領域からの
散乱光を光学センサで受けてこの光学センサからの検出
信号に基づいて前面パネル１０１の欠陥の検査を行って
いた。
構成のＰＤＰにおいて、前面パネル１０１の欠陥を検査
する場合、前面パネル１０１に対して垂直な方向から照
射できる第１の照射光学系による落射光と、前面パネル
１０１に対して垂線から任意の傾きから光束を照射する
第２の照射光学系による反射光と、前面パネル１０１の
裏面から前面パネル１０１に対して垂直な方向から照射
できる第３の照射光学系による透過光により前面パネル
１０１に対して設定される検査領域に光束を照射し、第
１、第２および第３の照射光学系による検査領域からの
散乱光を光学センサで受けてこの光学センサからの検出
信号に基づいて前面パネル１０１の欠陥の検査を行って
いた。
【００２０】このような検査方法によれば、前面パネル
１０１の裏面から前面パネル１０１に対して垂直な方向
から照射できる第３の照射光学系からの光速の照射によ
り、バス電極以外の光を通す部分の異物、電極の断線、
短絡、電極の形状異常、バス電極以外の誘電体中に存在
する異物、それらによる泡等は、全て光を遮るもしくは
散乱することによって、光学センサへの光を遮り黒い欠
陥として容易に認識でき、様々な種類の欠陥を同時に検
出することができるため、通常はこの方法を用いて検査
を行っている。また、この場合には電極上が完全に影の
部分となるため、通常は前記透過光とあわせて、落射光
および反射光を用いて電極上の欠陥も検出できるように
調整している。
１０１の裏面から前面パネル１０１に対して垂直な方向
から照射できる第３の照射光学系からの光速の照射によ
り、バス電極以外の光を通す部分の異物、電極の断線、
短絡、電極の形状異常、バス電極以外の誘電体中に存在
する異物、それらによる泡等は、全て光を遮るもしくは
散乱することによって、光学センサへの光を遮り黒い欠
陥として容易に認識でき、様々な種類の欠陥を同時に検
出することができるため、通常はこの方法を用いて検査
を行っている。また、この場合には電極上が完全に影の
部分となるため、通常は前記透過光とあわせて、落射光
および反射光を用いて電極上の欠陥も検出できるように
調整している。
【００２１】ところが、透過光を含む場合には、それに
より欠陥で形成される濃度差が落射及び反射で形成され
る濃度差よりも大きくなるため、電極上の欠陥を検出す
るために感度を向上させると、膨大な欠陥を検出し、レ
ビューに多大な時間を必要とするため重要な欠陥の特定
が困難になるという課題があった。
より欠陥で形成される濃度差が落射及び反射で形成され
る濃度差よりも大きくなるため、電極上の欠陥を検出す
るために感度を向上させると、膨大な欠陥を検出し、レ
ビューに多大な時間を必要とするため重要な欠陥の特定
が困難になるという課題があった。
【００２２】一方、ＰＤＰの不具合が発生する要因につ
いて本発明者らが調査検討した結果、誘電体層の絶縁破
壊がバス電極付近に集中していることを見出した。
いて本発明者らが調査検討した結果、誘電体層の絶縁破
壊がバス電極付近に集中していることを見出した。
【００２３】そこで、本発明者らがこのような検査方法
について検討を行った結果、バス電極付近を選択的に信
頼性良く検査できるようにすることが効果的であるとの
ことを見出したものである。
について検討を行った結果、バス電極付近を選択的に信
頼性良く検査できるようにすることが効果的であるとの
ことを見出したものである。
【００２４】すなわち、本発明においては、間に放電空
間が形成されるように対向配置する基板としての前面ガ
ラス基板および背面ガラス基板上に電極を形成するとと
もに、その電極を覆うように誘電体層を形成したプラズ
マディスプレイパネルにおいて、前記電極および誘電体
層を形成した基板の欠陥を検査する際に、前記基板の検
査領域に基板とほぼ垂直な方向から光束を照射するとと
もに、その照射光による前記検査領域からの散乱光を光
学センサで受け、この光学センサからの検出信号に基づ
いて前記基板の欠陥を検出するものである。
間が形成されるように対向配置する基板としての前面ガ
ラス基板および背面ガラス基板上に電極を形成するとと
もに、その電極を覆うように誘電体層を形成したプラズ
マディスプレイパネルにおいて、前記電極および誘電体
層を形成した基板の欠陥を検査する際に、前記基板の検
査領域に基板とほぼ垂直な方向から光束を照射するとと
もに、その照射光による前記検査領域からの散乱光を光
学センサで受け、この光学センサからの検出信号に基づ
いて前記基板の欠陥を検出するものである。
【００２５】すなわち、本発明においては、図２におい
て、前面パネル１０１に対して垂直な方向から照射でき
る光照射手段２０１による落射光により、前面パネル１
０１に対して設定される検査領域に光束を照射し、検査
領域からの散乱光を光学センサで受けてこの光学センサ
からの検出信号に基づいて前面パネル１０１の欠陥の検
査を行うものである。図３に光学センサからの信号に基
づき検出結果を画像表示した状況を模擬的に示す図であ
り、この図３に示すようにバス電極１０５上の誘電体層
１０６の欠陥部３０１を検出することができる。
て、前面パネル１０１に対して垂直な方向から照射でき
る光照射手段２０１による落射光により、前面パネル１
０１に対して設定される検査領域に光束を照射し、検査
領域からの散乱光を光学センサで受けてこの光学センサ
からの検出信号に基づいて前面パネル１０１の欠陥の検
査を行うものである。図３に光学センサからの信号に基
づき検出結果を画像表示した状況を模擬的に示す図であ
り、この図３に示すようにバス電極１０５上の誘電体層
１０６の欠陥部３０１を検出することができる。
【００２６】なお、前面パネル１０１の検査領域に照射
する光束は、欠陥部分以外は反射により画像として白色
として表示される強度としている。これは、バス電極上
のそれ自体が色を持たない誘電体の欠陥に対しても、十
分な濃度差を持たせるようにすればよいことを見出した
ことに基づくもので、通常落射光を用いる場合はバス電
極とそれ以外の部分がはっきりと認識できる光速の強度
を用いるが、本発明では、特定の欠陥以外の全ての領域
が落射光の反射により白い画像として認識されるに十分
な強度の光速を照射するもので、電極付近の欠陥の検出
にフォーカスしているにもかかわらず、電極が鮮明に見
える光速の強度をあえて用いないものである。
する光束は、欠陥部分以外は反射により画像として白色
として表示される強度としている。これは、バス電極上
のそれ自体が色を持たない誘電体の欠陥に対しても、十
分な濃度差を持たせるようにすればよいことを見出した
ことに基づくもので、通常落射光を用いる場合はバス電
極とそれ以外の部分がはっきりと認識できる光速の強度
を用いるが、本発明では、特定の欠陥以外の全ての領域
が落射光の反射により白い画像として認識されるに十分
な強度の光速を照射するもので、電極付近の欠陥の検出
にフォーカスしているにもかかわらず、電極が鮮明に見
える光速の強度をあえて用いないものである。
【００２７】また、本発明の欠陥検査方法に用いる検査
装置は、前記電極および誘電体層を形成した基板の検査
領域に基板とほぼ垂直な方向から光束を照射する光照射
手段と、前記検査領域からの散乱光を検出する光学セン
サとを備えた構成としている。
装置は、前記電極および誘電体層を形成した基板の検査
領域に基板とほぼ垂直な方向から光束を照射する光照射
手段と、前記検査領域からの散乱光を検出する光学セン
サとを備えた構成としている。
【００２８】以上説明したように、本発明によれば、誘
電体形成後に、誘電体に影響を与える行電極付近の欠陥
のみを選択的に検出することができるため、検出感度を
向上させても検出数が膨大になることを防ぐことができ
る。なお、この方法によれば、行電極自体の欠陥を検出
することはできないが、電極の欠陥は電極形成後で誘電
体層形成前に検査を行うことにより、電極自体の欠陥を
検出することができる。
電体形成後に、誘電体に影響を与える行電極付近の欠陥
のみを選択的に検出することができるため、検出感度を
向上させても検出数が膨大になることを防ぐことができ
る。なお、この方法によれば、行電極自体の欠陥を検出
することはできないが、電極の欠陥は電極形成後で誘電
体層形成前に検査を行うことにより、電極自体の欠陥を
検出することができる。
【００２９】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、電極およ
び誘電体層を形成した基板の欠陥を検査する際に、前記
基板の検査領域に基板とほぼ垂直な方向から光束を照射
するとともに、その照射光による前記検査領域からの散
乱光を光学センサで受け、この光学センサからの検出信
号に基づいて前記基板の欠陥を検出するものであり、誘
電体形成後のバス電極近傍の欠陥を選択的に検出するこ
とができ、歩留まりの向上による低コスト化に貢献でき
る。
び誘電体層を形成した基板の欠陥を検査する際に、前記
基板の検査領域に基板とほぼ垂直な方向から光束を照射
するとともに、その照射光による前記検査領域からの散
乱光を光学センサで受け、この光学センサからの検出信
号に基づいて前記基板の欠陥を検出するものであり、誘
電体形成後のバス電極近傍の欠陥を選択的に検出するこ
とができ、歩留まりの向上による低コスト化に貢献でき
る。
【図１】プラズマディスプレイパネルを示す分解斜視図
【図２】本発明の一実施の形態による欠陥検出方法を説
明するための概略図
明するための概略図
【図３】本発明による欠陥検出結果の一例を示す概略図
１０１ 前面パネル
１０２ 前面ガラス基板
１０３ 行電極
１０４ 透明電極
１０５ バス電極
１０６ 誘電体層
２０１ 光照射手段
３０１ 欠陥部
フロントページの続き
(72)発明者 米原 浩幸
大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器
産業株式会社内
(72)発明者 日比野 純一
大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器
産業株式会社内
(72)発明者 渡邉 拓
大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器
産業株式会社内
Ｆターム(参考） 5C012 AA09 BE03
5C027 AA05
5C040 GD09 JA26 JA31 MA23
5C061 BB03 CC05 EE21
Claims (3)
- 【請求項１】 間に放電空間が形成されるように対向配
置する基板上に電極を形成するとともに、その電極を覆
うように誘電体層を形成したプラズマディスプレイパネ
ルにおいて、前記電極および誘電体層を形成した基板の
欠陥を検査する際に、前記基板の検査領域に基板とほぼ
垂直な方向から光束を照射するとともに、その照射光に
よる前記検査領域からの散乱光を光学センサで受け、こ
の光学センサからの検出信号に基づいて前記基板の欠陥
を検出することを特徴とするプラズマディスプレイパネ
ルの欠陥検出方法。 - 【請求項２】 基板の検査領域に照射する光束が、欠陥
部分以外は反射により画像として白色として表示される
強度であることを特徴とする請求項１に記載のプラズマ
ディスプレイパネルの欠陥検出方法。 - 【請求項３】 間に放電空間が形成されるように対向配
置する基板上に電極を形成するとともに、その電極を覆
うように誘電体層を形成したプラズマディスプレイパネ
ルの検査装置において、前記電極および誘電体層を形成
した基板の検査領域に基板とほぼ垂直な方向から光束を
照射する光照射手段と、前記検査領域からの散乱光を検
出する光学センサとを備えたことを特徴とするプラズマ
ディスプレイパネルの検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001277960A JP4752160B2 (ja) | 2001-09-13 | 2001-09-13 | プラズマディスプレイパネルの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001277960A JP4752160B2 (ja) | 2001-09-13 | 2001-09-13 | プラズマディスプレイパネルの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003086103A true JP2003086103A (ja) | 2003-03-20 |
| JP4752160B2 JP4752160B2 (ja) | 2011-08-17 |
Family
ID=19102406
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001277960A Expired - Fee Related JP4752160B2 (ja) | 2001-09-13 | 2001-09-13 | プラズマディスプレイパネルの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4752160B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006049078A (ja) * | 2004-08-04 | 2006-02-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | プラズマディスプレイパネル用基板の検査方法 |
| JP2007333662A (ja) * | 2006-06-19 | 2007-12-27 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 欠陥検出方法 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56115945A (en) * | 1980-02-18 | 1981-09-11 | Hitachi Electronics Eng Co Ltd | Detecting device for defect of panel plate |
| WO1998059236A1 (en) * | 1997-06-23 | 1998-12-30 | Nederlandse Organisatie Voor Toegepast-Natuurwetenschappelijk Onderzoek Tno | Method and installation for inspecting an article for defects |
| JP2000294141A (ja) * | 1999-04-08 | 2000-10-20 | Hitachi Ltd | プラズマディスプレイ装置の製造方法およびプラズマディスプレイ装置 |
-
2001
- 2001-09-13 JP JP2001277960A patent/JP4752160B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56115945A (en) * | 1980-02-18 | 1981-09-11 | Hitachi Electronics Eng Co Ltd | Detecting device for defect of panel plate |
| WO1998059236A1 (en) * | 1997-06-23 | 1998-12-30 | Nederlandse Organisatie Voor Toegepast-Natuurwetenschappelijk Onderzoek Tno | Method and installation for inspecting an article for defects |
| JP2000294141A (ja) * | 1999-04-08 | 2000-10-20 | Hitachi Ltd | プラズマディスプレイ装置の製造方法およびプラズマディスプレイ装置 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006049078A (ja) * | 2004-08-04 | 2006-02-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | プラズマディスプレイパネル用基板の検査方法 |
| JP2007333662A (ja) * | 2006-06-19 | 2007-12-27 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 欠陥検出方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP4752160B2 (ja) | 2011-08-17 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US8093812B2 (en) | Plasma tube array-type display sub-module and display device | |
| JP4807154B2 (ja) | 欠陥検出方法 | |
| JP2003086103A (ja) | プラズマディスプレイパネルの欠陥検出方法 | |
| JP4572533B2 (ja) | 電気泳動表示装置用前面板、その検査方法及び検査装置 | |
| KR20020022578A (ko) | 플라즈마 디스플레이 패널 및 그 제조 방법 | |
| JP4984381B2 (ja) | プラズマディスプレイパネル用基板の検査方法 | |
| JP3282989B2 (ja) | 表示装置の製造方法 | |
| CN101689461B (zh) | 等离子体显示板和等离子体显示装置 | |
| WO2013046634A1 (ja) | 光学フィルタおよび表示装置 | |
| JPH11230863A (ja) | プラズマディスプレイパネル用背面板の障壁検査装置および検査方法 | |
| JP2000162139A (ja) | プラズマディスプレイパネル用背面板の欠陥検査方法および欠陥検査装置 | |
| JP2001221712A (ja) | 蛍光体フィルター検査方法 | |
| CN113764436B (zh) | 阵列基板的修补方法及修补装置 | |
| JP4411964B2 (ja) | 電極検査方法および電極検査装置 | |
| JPH06203759A (ja) | プラズマディスプレイパネルの電極支持基板 | |
| JP2008147061A (ja) | 欠陥検査方法 | |
| JP4457786B2 (ja) | プラズマディスプレイパネル検査方法および検査装置 | |
| JP2009271001A (ja) | 基板表面欠陥検査方法，基板表面欠陥検査装置 | |
| JP4547883B2 (ja) | 自発光型パネル表示装置 | |
| KR100647665B1 (ko) | 플라즈마 디스플레이 패널 | |
| JP4273745B2 (ja) | プラズマディスプレイパネル | |
| JP2005249651A (ja) | フラットディスプレイパネルの塗布膜の検査方法 | |
| TW567323B (en) | Device and method to inspect the broken electrode in plasma display panel | |
| KR100647659B1 (ko) | 플라즈마 디스플레이 패널 | |
| JP4876665B2 (ja) | 欠陥検査方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080804 |
|
| RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20080912 |
|
| RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20091119 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20101122 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20101130 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110117 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110208 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110405 |
|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110426 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110509 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140603 Year of fee payment: 3 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140603 Year of fee payment: 3 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |