JPH11230863A - プラズマディスプレイパネル用背面板の障壁検査装置および検査方法 - Google Patents
プラズマディスプレイパネル用背面板の障壁検査装置および検査方法Info
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- JPH11230863A JPH11230863A JP4300698A JP4300698A JPH11230863A JP H11230863 A JPH11230863 A JP H11230863A JP 4300698 A JP4300698 A JP 4300698A JP 4300698 A JP4300698 A JP 4300698A JP H11230863 A JPH11230863 A JP H11230863A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ＰＤＰ用の背面板の障壁の凹欠陥、凸欠陥等
の形状欠陥を障壁の頂部だけでなく、障壁の両側面部に
わたり、効率的に検出できる、検査装置、検査方法の提
供する。 【解決手段】 障壁形成面側を上にして、試料移送部に
より、一定速度で一方向に移動されるプラズマディスプ
レイ用背面板に対し、その障壁形成面側を照明光にて照
明し、その反射光を撮影手段により撮影して得られた画
像データを基に、画像データ処理部により障壁部の欠陥
を検出するプラズマディスプレイパネル用背面板の障壁
の欠陥検査装置であって、障壁の両側面から、それぞ
れ、所定の角度θにてプラズマディスプレイパネル用背
面板の障壁形成面側を照明する第一照明手段、第二照明
手段と、障壁形成面側からの反射光を撮影するための、
障壁部の配列方向に沿い、且つ障壁部の検査領域を跨ぐ
ように設けられ、背面板に略直交する方向から撮影する
撮影手段とを有する。
の形状欠陥を障壁の頂部だけでなく、障壁の両側面部に
わたり、効率的に検出できる、検査装置、検査方法の提
供する。 【解決手段】 障壁形成面側を上にして、試料移送部に
より、一定速度で一方向に移動されるプラズマディスプ
レイ用背面板に対し、その障壁形成面側を照明光にて照
明し、その反射光を撮影手段により撮影して得られた画
像データを基に、画像データ処理部により障壁部の欠陥
を検出するプラズマディスプレイパネル用背面板の障壁
の欠陥検査装置であって、障壁の両側面から、それぞ
れ、所定の角度θにてプラズマディスプレイパネル用背
面板の障壁形成面側を照明する第一照明手段、第二照明
手段と、障壁形成面側からの反射光を撮影するための、
障壁部の配列方向に沿い、且つ障壁部の検査領域を跨ぐ
ように設けられ、背面板に略直交する方向から撮影する
撮影手段とを有する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、プラズマディスプ
レイパネル（ＰＤＰとも言う）用背面板の障壁の凹欠
陥、凸欠陥等の形状欠陥を検査する検査装置と検査方法
に関する。
レイパネル（ＰＤＰとも言う）用背面板の障壁の凹欠
陥、凸欠陥等の形状欠陥を検査する検査装置と検査方法
に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、プラズマディスプレイパネル（以
下ＰＤＰとも記す）は、その奥行きの薄いこと、軽量で
あること、更に鮮明な表示と液晶パネルに比べ視野角が
広いことにより、種々の表示装置に利用されつつある。
一般に、プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）は、２
枚の対向するガラス基板にそれぞれ規則的に配列した一
対の電極を設け、その間にネオン、キセノン等を主体と
するガスを封入した構造となっている。そして、これら
の電極間に電圧を印加し、電極周辺の微小なセル内で放
電を発生させることにより、各セルを発光させて表示を
行うようにしている。特に情報表示をするためには、規
則的に並んだセルを選択的に放電発光させている。
下ＰＤＰとも記す）は、その奥行きの薄いこと、軽量で
あること、更に鮮明な表示と液晶パネルに比べ視野角が
広いことにより、種々の表示装置に利用されつつある。
一般に、プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）は、２
枚の対向するガラス基板にそれぞれ規則的に配列した一
対の電極を設け、その間にネオン、キセノン等を主体と
するガスを封入した構造となっている。そして、これら
の電極間に電圧を印加し、電極周辺の微小なセル内で放
電を発生させることにより、各セルを発光させて表示を
行うようにしている。特に情報表示をするためには、規
則的に並んだセルを選択的に放電発光させている。
【０００３】ここで、ＰＤＰの構成を、図５に示すＡＣ
型ＰＤＰの１例を挙げて説明しておく。図５はＰＤＰ構
成斜視図であるが、分かり易くするため前面板（ガラス
基板５１０）、背面板（ガラス基板５２０）とを実際よ
り離して示してある。図５に示すように、２枚のガラス
基板５１０、５２０が互いに平行に且つ対向して配設さ
れており、両者は背面板となるガラス基板５２０上に互
いに平行に設けられた障壁（セル障壁とも言う）５３０
により、一定の間隔に保持されている。前面板となるガ
ラス基板５１０の背面側には、放電維持電極である透明
電極５４０とバス電極である金属電極５５０とで構成さ
れる複合電極が互いに平行に形成され、これを覆って、
誘電体層５６０が形成されており、更にその上に保護層
（ＭｇＯ層）５７０が形成されている。また、背面板と
なるガラス基板５２０の前面側には前記複合電極と直交
するように障壁５３０間に位置してアドレス電極５８０
が互いに平行に形成されており、更に障壁５３０の壁面
とセル底面を覆うように螢光面５９０が設けられてい
る。障壁５３０は放電空間を区画するためのもので、区
画された各放電空間をセルないし単位発光領域と言う。
このＡＣ型ＰＤＰは面放電型であって、前面板上の複合
電極間に交流電圧を印加し、で放電させる構造である。
この場合、交流をかけているために電界の向きは周波数
に対応して変化する。そして、この放電により生じる紫
外線により螢光体５９０を 発光させ、前面板を透過す
る光を観察者が視認できるものである。なお、ＤＣ型Ｐ
ＤＰにあっては、電極は誘電体層で被膜されていない構
造を有する点でＡＣ型と相違するが、その放電効果は同
じである。また、図５に示すものは、ガラス基板５２０
の一面に下地層５６７を設けその上に誘電体層５６５を
設けた構造となっているが、下地層５６７、誘電体層５
６５は必ずしも必要としない。
型ＰＤＰの１例を挙げて説明しておく。図５はＰＤＰ構
成斜視図であるが、分かり易くするため前面板（ガラス
基板５１０）、背面板（ガラス基板５２０）とを実際よ
り離して示してある。図５に示すように、２枚のガラス
基板５１０、５２０が互いに平行に且つ対向して配設さ
れており、両者は背面板となるガラス基板５２０上に互
いに平行に設けられた障壁（セル障壁とも言う）５３０
により、一定の間隔に保持されている。前面板となるガ
ラス基板５１０の背面側には、放電維持電極である透明
電極５４０とバス電極である金属電極５５０とで構成さ
れる複合電極が互いに平行に形成され、これを覆って、
誘電体層５６０が形成されており、更にその上に保護層
（ＭｇＯ層）５７０が形成されている。また、背面板と
なるガラス基板５２０の前面側には前記複合電極と直交
するように障壁５３０間に位置してアドレス電極５８０
が互いに平行に形成されており、更に障壁５３０の壁面
とセル底面を覆うように螢光面５９０が設けられてい
る。障壁５３０は放電空間を区画するためのもので、区
画された各放電空間をセルないし単位発光領域と言う。
このＡＣ型ＰＤＰは面放電型であって、前面板上の複合
電極間に交流電圧を印加し、で放電させる構造である。
この場合、交流をかけているために電界の向きは周波数
に対応して変化する。そして、この放電により生じる紫
外線により螢光体５９０を 発光させ、前面板を透過す
る光を観察者が視認できるものである。なお、ＤＣ型Ｐ
ＤＰにあっては、電極は誘電体層で被膜されていない構
造を有する点でＡＣ型と相違するが、その放電効果は同
じである。また、図５に示すものは、ガラス基板５２０
の一面に下地層５６７を設けその上に誘電体層５６５を
設けた構造となっているが、下地層５６７、誘電体層５
６５は必ずしも必要としない。
【０００４】このようなプラズマディスプレイ（ＰＤ
Ｐ）用基板の背面板、前面板の製造工程は複雑で長い
為、製造過程で不良が発生し、製造中および製造後に各
種検査が行われている。中でも背面板の障壁の凹欠陥や
凸欠陥等の形状欠陥の検査は、ＰＤＰの品質を保証する
ものとして不可欠である。障壁の形状検査は、通常、背
面板に障壁を形成する工程の後、螢光体層を設ける工程
の前において行われ、頂上部の形状欠陥については、人
間の目視検査が採られていた。形状欠陥の検査方法とし
ては、従来、図４（ａ）に示すように、試料４６０の欠
陥検出面側を上にして、試料移送部４３０により、一定
速度で一方向に移動する周期性パターンを有する平面状
の試料４６０に対し、その欠陥検出面側を一方向の照明
光４２０Ａにて照明して、その反射光４２０Ｂを、試料
４６０の絵柄の配列方向に沿う（略平行の）線状領域撮
影手段４１０により撮影した画像データ（画像信号デー
タ）に基づき、周期性パターンにある凹欠陥、凸欠陥等
の形状欠陥を検出する方法が知られている。この方法は
隣接パターン比較法とも呼ばれている。この方法は、正
常な試料面においては、反射光４２０Ｂが線状領域撮影
手段４１０にて撮影されるように、線状領域撮影手段４
１０と照明手段４２０とを法線Ｌ１に略対象な位置に配
置しているため、凹欠陥や凸欠陥に照明光４２０Ａが当
たった場合には、その箇所において散乱反射されるた
め、その箇所における線状領域撮影手段４１０に入射さ
れる光の量は、正常の試料面に比べ少なくなる。各パタ
ーンの画像データは、それぞれ隣接するパターンの画像
データと比べると、欠陥がなかったり、同じ欠陥がある
場合には同じ画像データとなり、一方のみが欠陥があっ
たり、異なる位置に欠陥がある場合には画像データは異
なるため、隣接するパターン間で、その画像データ同志
の差を、各画素毎にとることにより、図４（ｂ）に示す
ようになり、これを不良検出用のスライスレベルＳＬ２
と比較することにより欠陥箇所を概ね把握することがで
きる。
Ｐ）用基板の背面板、前面板の製造工程は複雑で長い
為、製造過程で不良が発生し、製造中および製造後に各
種検査が行われている。中でも背面板の障壁の凹欠陥や
凸欠陥等の形状欠陥の検査は、ＰＤＰの品質を保証する
ものとして不可欠である。障壁の形状検査は、通常、背
面板に障壁を形成する工程の後、螢光体層を設ける工程
の前において行われ、頂上部の形状欠陥については、人
間の目視検査が採られていた。形状欠陥の検査方法とし
ては、従来、図４（ａ）に示すように、試料４６０の欠
陥検出面側を上にして、試料移送部４３０により、一定
速度で一方向に移動する周期性パターンを有する平面状
の試料４６０に対し、その欠陥検出面側を一方向の照明
光４２０Ａにて照明して、その反射光４２０Ｂを、試料
４６０の絵柄の配列方向に沿う（略平行の）線状領域撮
影手段４１０により撮影した画像データ（画像信号デー
タ）に基づき、周期性パターンにある凹欠陥、凸欠陥等
の形状欠陥を検出する方法が知られている。この方法は
隣接パターン比較法とも呼ばれている。この方法は、正
常な試料面においては、反射光４２０Ｂが線状領域撮影
手段４１０にて撮影されるように、線状領域撮影手段４
１０と照明手段４２０とを法線Ｌ１に略対象な位置に配
置しているため、凹欠陥や凸欠陥に照明光４２０Ａが当
たった場合には、その箇所において散乱反射されるた
め、その箇所における線状領域撮影手段４１０に入射さ
れる光の量は、正常の試料面に比べ少なくなる。各パタ
ーンの画像データは、それぞれ隣接するパターンの画像
データと比べると、欠陥がなかったり、同じ欠陥がある
場合には同じ画像データとなり、一方のみが欠陥があっ
たり、異なる位置に欠陥がある場合には画像データは異
なるため、隣接するパターン間で、その画像データ同志
の差を、各画素毎にとることにより、図４（ｂ）に示す
ようになり、これを不良検出用のスライスレベルＳＬ２
と比較することにより欠陥箇所を概ね把握することがで
きる。
【０００５】この図４（ａ）に示す方法（隣接パターン
比較法）をプラズマディスプレイ（ＰＤＰ）用基板の背
面板の障壁の凹欠陥や凸欠陥等の形状欠陥の検査に適用
した場合、障壁は所定のピッチで略平行に配列されてお
り、周期性パターンを形成しているため、各障壁の画像
データは、それぞれ隣接する障壁の画像データと比べる
ことにより、欠陥箇所を把握することができる。しか
し、この方法は、言うまでもなく、障壁からの反射光が
得られる範囲については有効であるが、障壁からの反射
光が得られない範囲については有効でない。図４（ａ）
に示す方法は、単一の光源を用いて照明するもので、こ
の方法をそまままプラズマディスプレイ（ＰＤＰ）用基
板の背面板の障壁の凹欠陥や凸欠陥等の形状欠陥の検査
に適用した場合、図４（ｃ）に図１（ａ）のＤ０部に相
当する部分を拡大して示すように、各障壁の撮影におい
て照明光の影となる部分が生じ、障壁の頂部の欠陥の検
出、障壁の照明光４２０Ａが照射される側面についての
欠陥検出は可能であるが、影となる領域についての欠陥
については検出ができない。試料の向きを変えて２回検
査すれば、障壁の両側面の欠陥を検査することがてきる
が、作業性が悪い。尚、ここでは、１回の検査とは、試
料の検査全領域を１回撮影する動作を言っている。即
ち、図４では、試料移動装置により、試料を定速度で一
方向に移動しながら線状撮影手段により試料の検査領域
を全て撮影する動作１回である。
比較法）をプラズマディスプレイ（ＰＤＰ）用基板の背
面板の障壁の凹欠陥や凸欠陥等の形状欠陥の検査に適用
した場合、障壁は所定のピッチで略平行に配列されてお
り、周期性パターンを形成しているため、各障壁の画像
データは、それぞれ隣接する障壁の画像データと比べる
ことにより、欠陥箇所を把握することができる。しか
し、この方法は、言うまでもなく、障壁からの反射光が
得られる範囲については有効であるが、障壁からの反射
光が得られない範囲については有効でない。図４（ａ）
に示す方法は、単一の光源を用いて照明するもので、こ
の方法をそまままプラズマディスプレイ（ＰＤＰ）用基
板の背面板の障壁の凹欠陥や凸欠陥等の形状欠陥の検査
に適用した場合、図４（ｃ）に図１（ａ）のＤ０部に相
当する部分を拡大して示すように、各障壁の撮影におい
て照明光の影となる部分が生じ、障壁の頂部の欠陥の検
出、障壁の照明光４２０Ａが照射される側面についての
欠陥検出は可能であるが、影となる領域についての欠陥
については検出ができない。試料の向きを変えて２回検
査すれば、障壁の両側面の欠陥を検査することがてきる
が、作業性が悪い。尚、ここでは、１回の検査とは、試
料の検査全領域を１回撮影する動作を言っている。即
ち、図４では、試料移動装置により、試料を定速度で一
方向に移動しながら線状撮影手段により試料の検査領域
を全て撮影する動作１回である。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】近年、プラズマディス
プレイ（ＰＤＰ）はその大型化とともに、各セルのファ
イン化も進む中、障壁の側面部についても、品質面から
その欠陥検査が要求されるようになってきたが、図４に
示す形状欠陥の検出方法（隣接パターン比較法）をＰＤ
Ｐ用背面板の障壁の欠陥検査に適用した場合には、１回
の検査では障壁の照明光の影となる領域の欠陥の検出は
できず、試料の向きを変えた２回検査では作業性が劣る
という問題があり、この対応が求められていた。本発明
は、これに対応するためのもので、ＰＤＰ用の背面板の
障壁の凹欠陥、凸欠陥等の形状欠陥を検査する装置であ
って、効率的に、且つ、障壁の両側面部の欠陥も検出で
きる検査装置を提供しようとするものである。
プレイ（ＰＤＰ）はその大型化とともに、各セルのファ
イン化も進む中、障壁の側面部についても、品質面から
その欠陥検査が要求されるようになってきたが、図４に
示す形状欠陥の検出方法（隣接パターン比較法）をＰＤ
Ｐ用背面板の障壁の欠陥検査に適用した場合には、１回
の検査では障壁の照明光の影となる領域の欠陥の検出は
できず、試料の向きを変えた２回検査では作業性が劣る
という問題があり、この対応が求められていた。本発明
は、これに対応するためのもので、ＰＤＰ用の背面板の
障壁の凹欠陥、凸欠陥等の形状欠陥を検査する装置であ
って、効率的に、且つ、障壁の両側面部の欠陥も検出で
きる検査装置を提供しようとするものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明のプラズマディス
プレイパネル用背面板の障壁検査装置は、障壁形成面側
を上にして、試料移送部により、一定速度で一方向に移
動されるプラズマディスプレイ用背面板に対し、その障
壁形成面側を照明光にて照明し、その反射光を撮影手段
により撮影して得られた画像データを基に、画像データ
処理部により障壁部の欠陥を検出するプラズマディスプ
レイパネル用背面板の障壁の欠陥検査装置であって、障
壁の両側面から、それぞれ、所定の角度θにてプラズマ
ディスプレイパネル用背面板の障壁形成面側を照明する
第一照明手段、第二照明手段と、前記障壁形成面からの
反射光を撮影するための、障壁部の配列方向に沿い、且
つ障壁部の検査領域を跨ぐように設けられ、背面板に略
直交する方向から撮影する撮影手段とを有することを特
徴とするものである。そして、上記における所定の角度
θが、障壁間の距離をＬ０、障壁の高さをＨ０とし、ｔ
ａｎ-1（Ｌ０／Ｈ０）以下であることを特徴とするもの
である。
プレイパネル用背面板の障壁検査装置は、障壁形成面側
を上にして、試料移送部により、一定速度で一方向に移
動されるプラズマディスプレイ用背面板に対し、その障
壁形成面側を照明光にて照明し、その反射光を撮影手段
により撮影して得られた画像データを基に、画像データ
処理部により障壁部の欠陥を検出するプラズマディスプ
レイパネル用背面板の障壁の欠陥検査装置であって、障
壁の両側面から、それぞれ、所定の角度θにてプラズマ
ディスプレイパネル用背面板の障壁形成面側を照明する
第一照明手段、第二照明手段と、前記障壁形成面からの
反射光を撮影するための、障壁部の配列方向に沿い、且
つ障壁部の検査領域を跨ぐように設けられ、背面板に略
直交する方向から撮影する撮影手段とを有することを特
徴とするものである。そして、上記における所定の角度
θが、障壁間の距離をＬ０、障壁の高さをＨ０とし、ｔ
ａｎ-1（Ｌ０／Ｈ０）以下であることを特徴とするもの
である。
【０００８】本発明のプラズマディスプレイパネル用背
面板の障壁検査方法は、相対的に、一定速度で一方向に
移動されるプラズマディスプレイ用背面板に対し、その
障壁形成面側を照明光にて照明し、その反射光を撮影手
段により撮影して得られた画像データを基に、画像デー
タ処理部により障壁部の欠陥を検出するプラズマディス
プレイパネル用背面板の障壁の欠陥検査方法であって、
障壁の両側面から、それぞれ、所定の角度θにてプラズ
マディスプレイパネル用背面板の障壁形成面側を照明
し、障壁部の配列方向に沿い、且つ障壁部の検査領域を
跨ぐように設けられ、背面板に略直交する方向から撮影
する撮影手段により、反射光を撮影することを特徴とす
るものである。そして、上記における所定の角度θが、
障壁間の距離をＬ０、障壁の高さをＨ０とし、ｔａｎ-1
（Ｌ０／Ｈ０）以下であることを特徴とするものであ
る。また、上記において、障壁間に螢光面がある場合に
は、螢光面部の状態を併せて欠陥検出を行うものである
ことを特徴とするものである。即ち、螢光体部の欠陥
も、障壁部の欠陥とともに検出する。
面板の障壁検査方法は、相対的に、一定速度で一方向に
移動されるプラズマディスプレイ用背面板に対し、その
障壁形成面側を照明光にて照明し、その反射光を撮影手
段により撮影して得られた画像データを基に、画像デー
タ処理部により障壁部の欠陥を検出するプラズマディス
プレイパネル用背面板の障壁の欠陥検査方法であって、
障壁の両側面から、それぞれ、所定の角度θにてプラズ
マディスプレイパネル用背面板の障壁形成面側を照明
し、障壁部の配列方向に沿い、且つ障壁部の検査領域を
跨ぐように設けられ、背面板に略直交する方向から撮影
する撮影手段により、反射光を撮影することを特徴とす
るものである。そして、上記における所定の角度θが、
障壁間の距離をＬ０、障壁の高さをＨ０とし、ｔａｎ-1
（Ｌ０／Ｈ０）以下であることを特徴とするものであ
る。また、上記において、障壁間に螢光面がある場合に
は、螢光面部の状態を併せて欠陥検出を行うものである
ことを特徴とするものである。即ち、螢光体部の欠陥
も、障壁部の欠陥とともに検出する。
【０００９】
【作用】本発明の本発明のプラズマディスプレイパネル
用背面板の障壁検査装置は、このような構成にすること
により、効率的に、且つ、障壁の両側面部の凹欠陥、凸
欠陥等の形状欠陥も検出できる検査装置の提供を可能と
している。結果、ＰＤＰのセルのファイン化にも対応で
きるものとしている。具体的には、障壁形成面側を上に
して、試料移送部により、一定速度で一方向に移動され
るプラズマディスプレイ用背面板に対し、その障壁形成
面側を照明光にて照明し、その反射光を撮影手段により
撮影して得られた画像データを基に、画像データ処理部
により障壁部の欠陥を検出するプラズマディスプレイパ
ネル用背面板の障壁の欠陥検査装置であって、障壁の両
側面から、それぞれ、所定の角度θにてプラズマディス
プレイパネル用背面板の障壁形成面側を照明する第一照
明手段、第二照明手段と、前記障壁形成面からの反射光
を撮影するための、障壁部の配列方向に沿い、且つ障壁
部の検査領域を跨ぐように設けられ、背面板に略直交す
る方向から撮影する撮影手段とを有することにより、こ
れを達成している。即ち、障壁の両側面から、それぞ
れ、所第一照明手段、第二照明手段と、障壁形成面から
の反射光を撮影するための、障壁部の配列方向に沿い、
且つ障壁部の検査領域を跨ぐように設けられ線状領域撮
影手段とを有することにより、障壁の頂部のみならず、
障壁の両側面の形状欠陥を検出できるものとしている。
そして、所定の角度θが、障壁間の距離をＬ０、障壁の
高さをＨ０とし、ｔａｎ-1（Ｌ０／Ｈ０）以下であるこ
とにより、確実に障壁の頂部と両側面部の欠陥検出を可
能としている。
用背面板の障壁検査装置は、このような構成にすること
により、効率的に、且つ、障壁の両側面部の凹欠陥、凸
欠陥等の形状欠陥も検出できる検査装置の提供を可能と
している。結果、ＰＤＰのセルのファイン化にも対応で
きるものとしている。具体的には、障壁形成面側を上に
して、試料移送部により、一定速度で一方向に移動され
るプラズマディスプレイ用背面板に対し、その障壁形成
面側を照明光にて照明し、その反射光を撮影手段により
撮影して得られた画像データを基に、画像データ処理部
により障壁部の欠陥を検出するプラズマディスプレイパ
ネル用背面板の障壁の欠陥検査装置であって、障壁の両
側面から、それぞれ、所定の角度θにてプラズマディス
プレイパネル用背面板の障壁形成面側を照明する第一照
明手段、第二照明手段と、前記障壁形成面からの反射光
を撮影するための、障壁部の配列方向に沿い、且つ障壁
部の検査領域を跨ぐように設けられ、背面板に略直交す
る方向から撮影する撮影手段とを有することにより、こ
れを達成している。即ち、障壁の両側面から、それぞ
れ、所第一照明手段、第二照明手段と、障壁形成面から
の反射光を撮影するための、障壁部の配列方向に沿い、
且つ障壁部の検査領域を跨ぐように設けられ線状領域撮
影手段とを有することにより、障壁の頂部のみならず、
障壁の両側面の形状欠陥を検出できるものとしている。
そして、所定の角度θが、障壁間の距離をＬ０、障壁の
高さをＨ０とし、ｔａｎ-1（Ｌ０／Ｈ０）以下であるこ
とにより、確実に障壁の頂部と両側面部の欠陥検出を可
能としている。
【００１０】また、本発明の本発明のプラズマディスプ
レイパネル用背面板の障壁検査方法は、このような構成
にすることにより、効率的に、且つ、障壁の両側面部の
凹欠陥、凸欠陥等の形状欠陥も検出できるものとしてお
り、ＰＤＰのセルのファイン化にも対応できるものとし
ている。
レイパネル用背面板の障壁検査方法は、このような構成
にすることにより、効率的に、且つ、障壁の両側面部の
凹欠陥、凸欠陥等の形状欠陥も検出できるものとしてお
り、ＰＤＰのセルのファイン化にも対応できるものとし
ている。
【００１１】
【発明の実施の形態】本発明のプラズマディスプレイパ
ネル用背面板の障壁検査装置の実施の形態の１例を挙げ
て、本発明を説明する。図１（ａ）は実施の形態の１例
の概略構成図で、図１（ｂ）は図１（ａ）のＡ１側から
みた撮影部の平面図で、図２（ａ）は図１のＡ０部を拡
大して示した図で、図２（ｂ）は欠陥箇所抽出データの
図、図３は画像処理の１例を示した図である。図１、図
２中、１００は障壁検査装置、１１０は線状領域撮影手
段、１２０は第一照明手段、１２０Ａは照明光、１２０
Ｂは反射光、１２５は第二照明手段、１２５Ａは照明
光、１２５Ｂは反射光、１３０は移送部、１４０は画像
処理部、１５０はモニター、１６０は制御部、１７０は
背面板、１７１〜１７３、１７５は障壁、１７７は側
面、１７８は頂部、１８０はエンコーダ、１８１は信号
検出用ヘッド、１８５は信号検出箇所、１９１は凹欠
陥、１９３は凸欠陥である。図１に示す装置は、障壁１
７５形成面側を上にして、移送部１３０により、一定速
度で一方向に移動されるプラズマディスプレイ用背面板
１７０に対し、その障壁１７５形成面側を照明光１２０
Ａ、１２５Ａにて照明し、その反射光を線状領域撮影手
段１１０により撮影して得られた画像データを基に、画
像データ処理部１４０により障壁部の欠陥を検出するプ
ラズマディスプレイパネル用背面板の障壁の欠陥検査装
置である。背面板１７０は移動方向（太線矢印の方向）
に略直交する方向に障壁の配列方向長手方向を置いて欠
陥検出を行うものである。そして、障壁１７５の両側面
１７７から、それぞれ、所定の角度θにてプラズマディ
スプレイパネル用背面板の障壁１７５形成面側を照明す
る第一照明手段１２０、第二照明手段１２５と、障壁１
７５形成面からの反射光を撮影するための、障壁１７５
の配列方向、即ち長手方向（図１（ｂ）のＢ１−Ｂ２方
向）に沿い、且つ障壁１７５の検査領域を跨ぐように、
背面板に略直交する方向に設けられた、該検査領域の線
状領域を撮影する線状領域撮影手段１１０を備えてい
る。制御部１６０は各部を制御するもので、画像処理の
結果や、欠陥部を表示するモニター１５０を備えてい
る。
ネル用背面板の障壁検査装置の実施の形態の１例を挙げ
て、本発明を説明する。図１（ａ）は実施の形態の１例
の概略構成図で、図１（ｂ）は図１（ａ）のＡ１側から
みた撮影部の平面図で、図２（ａ）は図１のＡ０部を拡
大して示した図で、図２（ｂ）は欠陥箇所抽出データの
図、図３は画像処理の１例を示した図である。図１、図
２中、１００は障壁検査装置、１１０は線状領域撮影手
段、１２０は第一照明手段、１２０Ａは照明光、１２０
Ｂは反射光、１２５は第二照明手段、１２５Ａは照明
光、１２５Ｂは反射光、１３０は移送部、１４０は画像
処理部、１５０はモニター、１６０は制御部、１７０は
背面板、１７１〜１７３、１７５は障壁、１７７は側
面、１７８は頂部、１８０はエンコーダ、１８１は信号
検出用ヘッド、１８５は信号検出箇所、１９１は凹欠
陥、１９３は凸欠陥である。図１に示す装置は、障壁１
７５形成面側を上にして、移送部１３０により、一定速
度で一方向に移動されるプラズマディスプレイ用背面板
１７０に対し、その障壁１７５形成面側を照明光１２０
Ａ、１２５Ａにて照明し、その反射光を線状領域撮影手
段１１０により撮影して得られた画像データを基に、画
像データ処理部１４０により障壁部の欠陥を検出するプ
ラズマディスプレイパネル用背面板の障壁の欠陥検査装
置である。背面板１７０は移動方向（太線矢印の方向）
に略直交する方向に障壁の配列方向長手方向を置いて欠
陥検出を行うものである。そして、障壁１７５の両側面
１７７から、それぞれ、所定の角度θにてプラズマディ
スプレイパネル用背面板の障壁１７５形成面側を照明す
る第一照明手段１２０、第二照明手段１２５と、障壁１
７５形成面からの反射光を撮影するための、障壁１７５
の配列方向、即ち長手方向（図１（ｂ）のＢ１−Ｂ２方
向）に沿い、且つ障壁１７５の検査領域を跨ぐように、
背面板に略直交する方向に設けられた、該検査領域の線
状領域を撮影する線状領域撮影手段１１０を備えてい
る。制御部１６０は各部を制御するもので、画像処理の
結果や、欠陥部を表示するモニター１５０を備えてい
る。
【００１２】図２（ａ）に示すように、第一の照明手段
１２０から、所定の角θで凹部欠陥１９１に入射される
と、その反射光１２０Ｂの一部が線状領域撮影手段１１
０へ入射される。また、第一の照明手段１２０から、所
定の角θで凸部欠陥１９１に入射されると、その反射光
１２０Ｂの一部が線状領域撮影手段１１０へ入射され
る。図２（ａ）の凹欠陥１９１と凸欠陥１９３とは反対
側に凹欠陥、凸欠陥がある場合は、同様に第二の照明手
段１２５から、所定の角θで入射される光の反射光１２
５Ｂの一部が線状領域撮影手段１１０に入射される。即
ち、障壁の両側面にある凹欠陥、凸欠陥が全て線状領域
撮影手段１１０により撮影される。特に、所定の角度θ
が、障壁間の距離をＬ０、障壁の高さをＨ０とし、ｔａ
ｎ-1（Ｌ０／Ｈ０）以下である場合には、確実に障壁の
頂部と両側面部の欠陥検出ができ好ましい。凹欠陥１９
１や凸欠陥１９３がある場合、この位置に欠陥がない場
合に比べ撮影手段に入射する光の量が増えることとな
る。これより、後述するように、隣接する障壁に対応す
る画像データ同志を、対応する画素毎に差分をとると、
欠陥部のある箇所のみが、図２（ｂ）に示すように値が
大となり、所定のスライスレベルＳＬ１で比較して、欠
陥箇所を特定することができる。
１２０から、所定の角θで凹部欠陥１９１に入射される
と、その反射光１２０Ｂの一部が線状領域撮影手段１１
０へ入射される。また、第一の照明手段１２０から、所
定の角θで凸部欠陥１９１に入射されると、その反射光
１２０Ｂの一部が線状領域撮影手段１１０へ入射され
る。図２（ａ）の凹欠陥１９１と凸欠陥１９３とは反対
側に凹欠陥、凸欠陥がある場合は、同様に第二の照明手
段１２５から、所定の角θで入射される光の反射光１２
５Ｂの一部が線状領域撮影手段１１０に入射される。即
ち、障壁の両側面にある凹欠陥、凸欠陥が全て線状領域
撮影手段１１０により撮影される。特に、所定の角度θ
が、障壁間の距離をＬ０、障壁の高さをＨ０とし、ｔａ
ｎ-1（Ｌ０／Ｈ０）以下である場合には、確実に障壁の
頂部と両側面部の欠陥検出ができ好ましい。凹欠陥１９
１や凸欠陥１９３がある場合、この位置に欠陥がない場
合に比べ撮影手段に入射する光の量が増えることとな
る。これより、後述するように、隣接する障壁に対応す
る画像データ同志を、対応する画素毎に差分をとると、
欠陥部のある箇所のみが、図２（ｂ）に示すように値が
大となり、所定のスライスレベルＳＬ１で比較して、欠
陥箇所を特定することができる。
【００１３】図３に基づいて、図１に示す検査装置１０
０の動作を簡単に説明し、本発明のプラズマディスプレ
イパネル用背面板の障壁検査方法の説明に代える。図１
に示すように、背面板１７０は障壁１７５形成面側を上
にして、移送部１３０により移動され搬送されるが、そ
の移動位置の管理はエンコーダ１８０によりなされ、エ
ンコーダ１８０により得られる移動位置に基づき、同期
して線状領域撮影手段（ラインセンサカメラ）１１０
は、背面板１７０の所定領域を撮影する。（Ｓ３１０）
尚、図１に示す検査装置１００においては、エンコーダ
１８０の信号検出用ヘッド１８１が、所定の間隔に設け
られた信号検出箇所１８３をパルスとして認識するた
め、パルスの数によりその位置を特定できる。線状領域
撮影手段（ラインセンサカメラ）１１０により得られた
画像データ信号は、Ａ／Ｄ変換（Ｓ３２０）され、画像
処理部１４０にて送られる。画像処理部１４０では、得
られた画像データ信号のシェーディング補正、ノイズの
除去を行い、障壁の欠陥を抽出するが、簡単には、隣接
する障壁に対応するそれぞれの画像データ間で、対応す
る画素毎に差分をとり、更に必要に応じ欠陥部を強調す
る強調処理を行った後、不良判定レベルと比較して、不
良箇所を抽出する。（Ｓ３３０）具体的には、試料の同
一箇所において複数回（Ｎ回とする）、撮影手段により
撮影し、画像信号を得て、得られたＮ回分の画像信号を
積算、平均処理ことにより、ビデオ信号等で発生するラ
ンダムノイズは１／Ｎ1/2 となりランダムノイズは除去
できる。そして、ランダムノイズを除去した隣接する障
壁に対応する画像データ間で、対応する画素毎に差分を
とることにより、照明ムラ、撮像面の感度ムラ等による
緩やかな信号変化（シェーディング）や撮像する位置の
移動により変化しない信号分（例えば、光学系に付着し
たゴミによる信号の局部的変化）も除去される。更に、
シェーディングやランダムノイズを除去した画像データ
に対し、空間フィルター等を用いて微分処理（差分をと
る処理）を行い、欠陥部を強調する処理が強調処理であ
る。この後、不良箇所位置を演算し（Ｓ３３５）、その
位置をモニターへ表示する。（Ｓ３４０） エンコーダ１８０からの同期信号に対応して撮影が行わ
れ、各画像データについては、対応する背面基板の位置
が特定できるため、不良箇所の位置は特定できる。
０の動作を簡単に説明し、本発明のプラズマディスプレ
イパネル用背面板の障壁検査方法の説明に代える。図１
に示すように、背面板１７０は障壁１７５形成面側を上
にして、移送部１３０により移動され搬送されるが、そ
の移動位置の管理はエンコーダ１８０によりなされ、エ
ンコーダ１８０により得られる移動位置に基づき、同期
して線状領域撮影手段（ラインセンサカメラ）１１０
は、背面板１７０の所定領域を撮影する。（Ｓ３１０）
尚、図１に示す検査装置１００においては、エンコーダ
１８０の信号検出用ヘッド１８１が、所定の間隔に設け
られた信号検出箇所１８３をパルスとして認識するた
め、パルスの数によりその位置を特定できる。線状領域
撮影手段（ラインセンサカメラ）１１０により得られた
画像データ信号は、Ａ／Ｄ変換（Ｓ３２０）され、画像
処理部１４０にて送られる。画像処理部１４０では、得
られた画像データ信号のシェーディング補正、ノイズの
除去を行い、障壁の欠陥を抽出するが、簡単には、隣接
する障壁に対応するそれぞれの画像データ間で、対応す
る画素毎に差分をとり、更に必要に応じ欠陥部を強調す
る強調処理を行った後、不良判定レベルと比較して、不
良箇所を抽出する。（Ｓ３３０）具体的には、試料の同
一箇所において複数回（Ｎ回とする）、撮影手段により
撮影し、画像信号を得て、得られたＮ回分の画像信号を
積算、平均処理ことにより、ビデオ信号等で発生するラ
ンダムノイズは１／Ｎ1/2 となりランダムノイズは除去
できる。そして、ランダムノイズを除去した隣接する障
壁に対応する画像データ間で、対応する画素毎に差分を
とることにより、照明ムラ、撮像面の感度ムラ等による
緩やかな信号変化（シェーディング）や撮像する位置の
移動により変化しない信号分（例えば、光学系に付着し
たゴミによる信号の局部的変化）も除去される。更に、
シェーディングやランダムノイズを除去した画像データ
に対し、空間フィルター等を用いて微分処理（差分をと
る処理）を行い、欠陥部を強調する処理が強調処理であ
る。この後、不良箇所位置を演算し（Ｓ３３５）、その
位置をモニターへ表示する。（Ｓ３４０） エンコーダ１８０からの同期信号に対応して撮影が行わ
れ、各画像データについては、対応する背面基板の位置
が特定できるため、不良箇所の位置は特定できる。
【００１４】図１の検査装置１００では、撮影手段とし
て、ＣＣＤ素子からなるラインセンサカメラ等の線状領
域撮影手段１１０を用いたが、エリアセンサでも良い。
また、背面板のパターンが単純なストライプでなく、格
子状のものでも検査対象として適用できる。
て、ＣＣＤ素子からなるラインセンサカメラ等の線状領
域撮影手段１１０を用いたが、エリアセンサでも良い。
また、背面板のパターンが単純なストライプでなく、格
子状のものでも検査対象として適用できる。
【００１５】
【発明の効果】本発明は、上記のように、ＰＤＰ用の背
面板の障壁の凹欠陥、凸欠陥等の形状欠陥を障壁の頂点
だけでなく、障壁の両側面部にわたり、効率的に検出で
きる、検査装置、検査方法の提供を可能としている。特
に、ますますの大型化とセルの微細化が進み、形状も多
種となるＰＤＰ用の検査において有効で、結果、ＰＤＰ
用の基板の量産に対応できるものとしている。
面板の障壁の凹欠陥、凸欠陥等の形状欠陥を障壁の頂点
だけでなく、障壁の両側面部にわたり、効率的に検出で
きる、検査装置、検査方法の提供を可能としている。特
に、ますますの大型化とセルの微細化が進み、形状も多
種となるＰＤＰ用の検査において有効で、結果、ＰＤＰ
用の基板の量産に対応できるものとしている。
【図１】本発明のプラズマディスプレイパネル用背面板
の障壁検査装置の実施の形態の１例を示した概略図
の障壁検査装置の実施の形態の１例を示した概略図
【図２】図２（ａ）は実施の形態の一部拡大断面図で、
図２（ｂ）は欠陥箇所抽出データの図
図２（ｂ）は欠陥箇所抽出データの図
【図３】欠陥検出の動作を説明するためのフロー図
【図４】従来の形状欠陥検出方法を説明するための図
【図５】ＰＤＰを説明するための斜視図
１００ 障壁検査装置 １１０ 線状領域撮影手段（ライン
センサカメラ） １２０ 第一照明手段 １２０Ａ （第一照明手段の）照明光 １２０Ｂ （第一照明手段の）反射光 １２５ 第二照明手段 １２５Ａ （第二照明手段の）照明光 １２５Ｂ （第二照明手段の）反射光 １３０ 移送部 １４０ 画像処理部 １５０ モニター １６０ 制御部 １７０ 背面板 １７１〜１７３、１７５ 障壁 １７７ 側面 １７８ 頂部 １８０ エンコーダ １９１ 凹欠陥 １９３ 凸欠陥 ４１０ 線状領域撮影手段 ４２０ 照明手段 ４２０Ａ 照明光 ４２０Ｂ 反射光 ４３０ 試料移送部 ４６０ 試料 ４７０ 背面板 ４７１〜４７３ 障壁 ４９１ 凹欠陥 ４９３ 凸欠陥
センサカメラ） １２０ 第一照明手段 １２０Ａ （第一照明手段の）照明光 １２０Ｂ （第一照明手段の）反射光 １２５ 第二照明手段 １２５Ａ （第二照明手段の）照明光 １２５Ｂ （第二照明手段の）反射光 １３０ 移送部 １４０ 画像処理部 １５０ モニター １６０ 制御部 １７０ 背面板 １７１〜１７３、１７５ 障壁 １７７ 側面 １７８ 頂部 １８０ エンコーダ １９１ 凹欠陥 １９３ 凸欠陥 ４１０ 線状領域撮影手段 ４２０ 照明手段 ４２０Ａ 照明光 ４２０Ｂ 反射光 ４３０ 試料移送部 ４６０ 試料 ４７０ 背面板 ４７１〜４７３ 障壁 ４９１ 凹欠陥 ４９３ 凸欠陥
Claims (5)
- 【請求項１】 障壁形成面側を上にして、試料移送部に
より、一定速度で一方向に移動されるプラズマディスプ
レイ用背面板に対し、その障壁形成面側を照明光にて照
明し、その反射光を撮影手段により撮影して得られた画
像データを基に、画像データ処理部により障壁部の欠陥
を検出するプラズマディスプレイパネル用背面板の障壁
の欠陥検査装置であって、障壁の両側面から、それぞ
れ、所定の角度θにてプラズマディスプレイパネル用背
面板の障壁形成面側を照明する第一照明手段、第二照明
手段と、前記障壁形成面からの反射光を撮影するため
の、障壁部の配列方向に沿い、且つ障壁部の検査領域を
跨ぐように設けられ、背面板に略直交する方向から撮影
する撮影手段とを有することを特徴とするプラズマディ
スプレイパネル用背面板の障壁検査装置。 - 【請求項２】 請求項１における所定の角度θが、障壁
間の距離をＬ０、障壁の高さをＨ０とし、ｔａｎ-1（Ｌ
０／Ｈ０）以下であることを特徴とするプラズマディス
プレイパネル用背面板の障壁検査装置。 - 【請求項３】 相対的に、一定速度で一方向に移動され
るプラズマディスプレイ用背面板に対し、その障壁形成
面側を照明光にて照明し、その反射光を撮影手段により
撮影して得られた画像データを基に、画像データ処理部
により障壁部の欠陥を検出するプラズマディスプレイパ
ネル用背面板の障壁の欠陥検査方法であって、障壁の両
側面から、それぞれ、所定の角度θにてプラズマディス
プレイパネル用背面板の障壁形成面側を照明し、障壁部
の配列方向に沿い、且つ障壁部の検査領域を跨ぐように
設けられ、背面板に略直交する方向から撮影する撮影手
段により、反射光を撮影することを特徴とするプラズマ
ディスプレイパネル用背面板の障壁検査方法。 - 【請求項４】 請求項３における所定の角度θが、障壁
間の距離をＬ０、障壁の高さをＨ０とし、ｔａｎ-1（Ｌ
０／Ｈ０）以下であることを特徴とするプラズマディス
プレイパネル用背面板の障壁検査方法。 - 【請求項５】 請求項３ないし４において、障壁間に螢
光面がある場合には、螢光面部の状態を併せて欠陥検出
を行うものであることを特徴とするプラズマディスプレ
イパネル用背面板の障壁検査方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4300698A JP3998799B2 (ja) | 1998-02-10 | 1998-02-10 | プラズマディスプレイパネル用背面板の障壁検査装置および検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4300698A JP3998799B2 (ja) | 1998-02-10 | 1998-02-10 | プラズマディスプレイパネル用背面板の障壁検査装置および検査方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11230863A true JPH11230863A (ja) | 1999-08-27 |
| JP3998799B2 JP3998799B2 (ja) | 2007-10-31 |
Family
ID=12651915
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4300698A Expired - Fee Related JP3998799B2 (ja) | 1998-02-10 | 1998-02-10 | プラズマディスプレイパネル用背面板の障壁検査装置および検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3998799B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006049078A (ja) * | 2004-08-04 | 2006-02-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | プラズマディスプレイパネル用基板の検査方法 |
| WO2017135772A1 (ko) * | 2016-02-04 | 2017-08-10 | 주식회사 고영테크놀러지 | 검사부의 이상 여부를 검증하는 방법, 검사대 및 검사 시스템 |
| CN109816867A (zh) * | 2019-04-04 | 2019-05-28 | 苏州中科先进技术研究院有限公司 | 悬挂式出货机构和售货机 |
-
1998
- 1998-02-10 JP JP4300698A patent/JP3998799B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006049078A (ja) * | 2004-08-04 | 2006-02-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | プラズマディスプレイパネル用基板の検査方法 |
| WO2017135772A1 (ko) * | 2016-02-04 | 2017-08-10 | 주식회사 고영테크놀러지 | 검사부의 이상 여부를 검증하는 방법, 검사대 및 검사 시스템 |
| US11410297B2 (en) | 2016-02-04 | 2022-08-09 | Koh Young Technology Inc. | Method of verifying fault of inspection unit, inspection apparatus and inspection system |
| CN109816867A (zh) * | 2019-04-04 | 2019-05-28 | 苏州中科先进技术研究院有限公司 | 悬挂式出货机构和售货机 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3998799B2 (ja) | 2007-10-31 |
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