JP2006049078A - プラズマディスプレイパネル用基板の検査方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】プラズマディスプレイパネル用の基板に同軸落射照明を用いて光を照射し、そのときの反射光を光学センサーで検出するステップ1と、ステップ1で得られたデータを解析することにより、欠陥部を抽出し欠陥部の特性データを求めるステップ2と、前記基板に斜方照明を用いて光を照射し、そのときの反射光を光学センサーで検出するステップ3と、ステップ3で得られたデータを解析することにより、欠陥部を抽出し欠陥部の特性データを求めるステップ4と、ステップ2およびステップ4でそれぞれ抽出した欠陥部の位置を同定し、同じ位置の欠陥部の特性データを用いて誘電体層を評価するステップ5とを有する。
【選択図】図2
Description
図1は、本発明の第1の実施形態で用いる検査装置の概略構成図である。図1に示すように検査装置13は、検査対象の基板14を載せるためのステージ15と、基板14を照明するための同軸落射照明系16および斜方照明系17と、10μmの画素分解能に設定し得る対物レンズ18と、4096画素のラインセンサー19と、画像処理用PC(パーソナルコンピュータ)20と、記憶装置21とを有している。同軸落射照明系16を用いて行う同軸落射照明は、ラインセンサー19と同じ方向から光を照射するものであり、光源22からの光をハーフミラー23で反射して基板14に光を当て、その反射光を、対物レンズ18を介してハーフミラー23を通過させてラインセンサー19で検出する。斜方照明系17を用いて行う斜方照明は斜め方向から光を照射するものであり、光源24a、24bを用いて、基板14に垂直な方向に対して角度(照射角度)45°の方向から基板14に光を当て、その反射光を、対物レンズ18を介してラインセンサー19で検出する。この検査装置13を用いれば、基板14の表面に存在する突起部分の反射光量とその他の部分の反射光量との差が生じることを利用して、ラインセンサー19により基板14の外観を光学的に検査することができる。
このQの値は、気泡30が誘電体層5の表面に近いほど大きい値を示す。そして、気泡30が誘電体層5の表面に近いほど、後工程において突起31が破壊される確率が大きくなることがわかった。よって、判定指標Qに対して閾値を設定し、判定指標Qの値が閾値以上の場合を不適合判定とし、判定指標Qの値が閾値未満の場合を適合判定とする。こうして誘電体層5の評価を行うことができる。
図7は、本発明の第2の実施形態で用いる検査装置の概略構成図である。図7に示すように、第1の検査装置38と第2の検査装置39とから構成されている。
2 透明電極
3 バス電極
4 表示電極
5 誘電体層
13 検査装置
14 基板
16 同軸落射照明系
17 斜方照明系
19 ラインセンサー
20 画像処理用PC
21 記憶装置
30 気泡
31 突起
38 第1の検査装置
39 第2の検査装置
40 CCDカメラ
Claims (4)
- ガラス基板上に複数の電極が形成され、この複数の電極を覆うように誘電体層が形成されたプラズマディスプレイパネル用の基板の検査方法において、プラズマディスプレイパネル用の基板に同軸落射照明を用いて光を照射し、そのときの反射光を光学センサーで検出するステップ1と、ステップ1で得られたデータを解析することにより、欠陥部を抽出し欠陥部の特性データを求めるステップ2と、前記基板に斜方照明を用いて光を照射し、そのときの反射光を光学センサーで検出するステップ3と、ステップ3で得られたデータを解析することにより、欠陥部を抽出し欠陥部の特性データを求めるステップ4と、前記ステップ2および前記ステップ4でそれぞれ抽出した欠陥部の位置を同定し、同じ位置の欠陥部の前記特性データを用いて前記誘電体層を評価するステップ5とを有することを特徴とするプラズマディスプレイパネル用基板の検査方法。
- ガラス基板上に複数の電極が形成され、この複数の電極を覆うように誘電体層が形成されたプラズマディスプレイパネル用の基板の検査方法において、プラズマディスプレイパネル用の基板に同軸落射照明を用いて光を照射し、そのときの反射光を光学センサーで検出するステップ1と、ステップ1で得られたデータを解析することにより、欠陥部を抽出し欠陥部の特性データを求めるステップ2と、ステップ2において抽出された欠陥部が存在する領域に斜方照明を用いて光を照射し、そのときの反射光を光学センサーで検出するステップ3と、ステップ3で得られたデータを解析することにより、欠陥部を抽出し欠陥部の特性データを求めるステップ4と、前記ステップ2および前記ステップ4でそれぞれ求めた特性データを用いて前記誘電体層を評価するステップ5とを有することを特徴とするプラズマディスプレイパネル用基板の検査方法。
- ステップ2およびステップ4で求める特性データは欠陥部の面積であることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のプラズマディスプレイパネル用基板の検査方法。
- ステップ2およびステップ4で求める特性データは欠陥部の面積であり、ステップ2で求めた欠陥部の面積とステップ4で求めた欠陥部の面積との差を用いて誘電体層の評価を行うことを特徴とする請求項1または請求項2に記載のプラズマディスプレイパネル用基板の検査方法。
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