JP2004165013A - 蛍光体検査方法及び装置 - Google Patents
蛍光体検査方法及び装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2004165013A JP2004165013A JP2002329734A JP2002329734A JP2004165013A JP 2004165013 A JP2004165013 A JP 2004165013A JP 2002329734 A JP2002329734 A JP 2002329734A JP 2002329734 A JP2002329734 A JP 2002329734A JP 2004165013 A JP2004165013 A JP 2004165013A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- phosphor
- inspection
- image
- inspecting
- ultraviolet light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
- Gas-Filled Discharge Tubes (AREA)
Abstract
【課題】蛍光体の混色や色抜けと共に、蛍光体下異物を検査できるようにする。
【解決手段】RGBの各色をそれぞれ発光する蛍光体が配列形成されている検査対象物であるワーク(PDP)10を検査する際、前記ワーク10における所定の検査位置に対して、UV光源36から供給される紫外光をライトガイド22により斜めに照射し、カメラ20により撮像して検査画像を入力する。
【選択図】 図3
【解決手段】RGBの各色をそれぞれ発光する蛍光体が配列形成されている検査対象物であるワーク(PDP)10を検査する際、前記ワーク10における所定の検査位置に対して、UV光源36から供給される紫外光をライトガイド22により斜めに照射し、カメラ20により撮像して検査画像を入力する。
【選択図】 図3
Description
【0001】
【発明が属する技術分野】
本発明は、蛍光体検査方法及び装置、特にプラズマディスプレイパネルに配列形成されている蛍光体を検査する際に適用して好適な、蛍光体検査方法及び装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
図7(A)は、いわゆるプラズマディスプレイパネル(以下、PDPとも言う)の背面板10のイメージを示す概略平面図であり、同図(B)は破線位置の断面を拡大したイメージを示す概略断面図である。このPDP背面板10は、その断面形状から分かるように一方向に平行に延びる多数の境界壁を構成するリブ12を有していると共に、隣接するリブ12とリブ12の間にはそれぞれR(赤)G(緑)B(青)の色を発光する異なる種類の蛍光体が交互に配列形成された構造を有している。
【0003】
PDPは、上記蛍光体の付着の良否によって発色精度が左右されることから、該蛍光体の欠陥を検査することが重要である。このような蛍光体の欠陥としては、図8に各色の蛍光体が発色した状態のイメージを示すように、Gの蛍光体上にBの蛍光体が部分的に付着しているような混色欠陥や、Bの蛍光体に一部付着欠けが生じている色抜け欠陥がある。
【0004】
このような蛍光体14の混色や色抜けの欠陥に対しては、図9に正面方向から見たイメージを示すように、検査対象物であるPDP背面板(図中、ワーク)10の上方に配置したカメラ20により、同じく上方に配置したUV光源22から該ワーク10の上面にUV(紫外)光を照射しながら撮像し、入力される画像に基づいて検査する方法がある。
【0005】
ところで、蛍光体14の欠陥としては、その他にも、図10(A)、(B)にそれぞれ前記図7(A)、(B)に相当する平面図と横断面図を示すと共に、縦断面図を同図(C)に示すように、蛍光体14の下に埋もれた蛍光体下異物がある。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前記図9に示したように、UV光を垂直に近い上方から照射する場合や、拡散光(図示せず)として照射する場合は、図11にPDP背面板10のイメージを示すように、蛍光体14が白で示すようにほぼ均一に発光するため、検査用カメラ20で撮像しても、図中破線で示すように前記蛍光体下異物は画像上に現われないことから検査できないという問題がある。
【0007】
本発明は、前記従来の問題点を解決するべくなされたもので、蛍光体の混色や色抜けと共に、蛍光体下異物も検査することができる蛍光体検査方法及び装置を提供することを課題とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】
本発明は、RGBの各色をそれぞれ発光する蛍光体が配列形成されている検査対象物を検査する蛍光体検査方法であって、前記検査対象物における蛍光体形成面に対して、紫外光を斜めに照射して撮像することにより、前記課題を解決したものである。
【0009】
本発明は、又、RGBの各色をそれぞれ発光する蛍光体が配列形成されている検査対象物を検査する蛍光体検査装置であって、前記検査対象物における蛍光体形成面に対して、紫外光を斜めに照射する紫外光照明手段と、同照明手段による光照射下で同検査位置を撮像して検査画像を入力する画像入力手段と、入力された検査画像を処理して前記蛍光体の欠陥を検査する画像処理手段と、を備えたことにより、同様に前記課題を解決したものである。
【0010】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して、本発明の実施の形態について詳細に説明する。
【0011】
図1は、本発明に係る第1実施形態の蛍光体検査装置全体を示す概略斜視図、図2は該検査装置の制御系の要部構成を示すブロック図である。
【0012】
本実施形態の検査装置は、検査対象物であるワーク(PDP背面板)10を載置するステージ30と、ラインセンサカメラ(画像入力手段)20と照明部22とを有する検査部と、該検査部をX方向とY方向にそれぞれ移動させる2軸の搬送部32と、上記カメラ20から入力される検査画像の画像データを処理する画像処理部と、装置全体を制御する制御部とを備えている。なお、画像処理部と制御部はコンピュータ34により実現されている。
【0013】
本実施形態の蛍光体検査装置の特徴を、検査部を拡大して模式的に示す図3を用いて説明する。
【0014】
この検査装置では、上記検査部が有するラインセンサカメラ20は、該ワーク10における検査位置を垂直上方から撮像可能な位置に配置されている。又、上記照明部であるライトガイド22が、UV光源36から供給されるUV光を、上記検査位置に斜め上方から照射可能な位置に配置されている。
【0015】
上記ライトガイド22によるUV光の蛍光体形成面(基板)に対する傾斜角度は、実験的に最適な角度に決定すればよいが、通常30°〜70°程度に設定することができる。又、その際、ワーク10が、一方向だけにストライプ状にリブ12が延びているPDPの場合には、照明光を照射する斜め方向を該リブ12に平行にすることが、該リブ12による影が生じないようにできるため、容易且つ確実に全面検査が可能となることから好ましい。
【0016】
以上のように、UV光を斜め方向から照射することにより、蛍光体下異物が存在する部分は、図4(A)に断面を拡大して示すように、他の蛍光体面より凸状態になっているため、同図(B)にイメージを示すように、UV光がよく当たる面は周囲と同じかそれ以上に明るくなるのに対し、反対側のUV光がよく当たらない面は暗くなる。
【0017】
従って、このような照明の下でカメラ20により撮像すると、図4(B)と同様の検査画像が得られ、画像上の(明)暗部の存在から、蛍光体下異物の欠陥を検出することができる。なお、このような効果を得るためには指向性の強い照明光を使用することが望ましいが、蛍光灯タイプのような拡散光であってもよく、効果は落ちるものの視野に対して斜めから照明することにより同様な画像が得られる。
【0018】
次に、本実施形態の作用を、図5のフローチャートに従って説明する。
【0019】
まず、前記搬送部32により検査部のカメラ20等を目標とする検査位置に移動し(ステップ1)、位置決めした後、ライトガイド22による斜め方向からのUV光照射下で該カメラ20により撮像して検査画像を入力し(ステップ2)、入力された画像データについて前記画像処理部で差分処理を行なう(ステップ3)。
【0020】
この差分処理は、図6(A)に前記図4(B)に相当する検査画像のイメージを示すと共に、ラインLにおけるラインセンサの出力のイメージを同図(B)に示すように、定ピッチ(ここでは1ピッチ)のパターン間について輝度値の差分をとることに当たる。同図(B)に矢印を付して示したように隣接するパターン間の差分処理の後、その処理結果について所定の閾値を超えている画素を2値化して2値画像(図示せず)とし(ステップ4)、その位置をラベリングした後(ステップ5)、そのラベリング領域の大小等により良否判定を行なう(ステップ6)。この図5の例では、全パターンが4つ表示されている中で左から2番目のパターンに蛍光体下異物があるため輝度が大きく減少していることから、この位置がラベリングされることになる。
【0021】
その後、対象とする全範囲の検査が終了するまで、同様にステップ1〜ステップ6の処理を繰り返す(ステップ7)。
【0022】
以上詳述した本実施形態によれば、蛍光体の混色や色抜けの検査精度を低下させることなく、蛍光体下異物をも確実に画像による検査を行なうことができる。
【0023】
以上、本発明について具体的に説明したが、本発明は、前記実施形態に示したものに限られるものでなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。
【0024】
【発明の効果】
以上説明したとおり、本発明によれば、蛍光体の混色や色抜けと共に、蛍光体下異物をも確実に検査することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る一実施形態の蛍光体検査装置の全体を示す概略斜視図
【図2】上記検査装置が備えている制御系の要部を示すブロック図
【図3】上記検査装置の検査部を抽出して示す説明図
【図4】実施形態の効果を示す説明図
【図5】実施形態の作用を示すフローチャート
【図6】上記検査装置により撮像した検査画像のイメージと、ラインセンサ出力のイメージを示す説明図
【図7】PDP背面板の特徴を示す平面図と横断面図
【図8】PDP背面板で発光する蛍光体の混色と色抜けの欠陥のイメージを示す説明図
【図9】PDP背面板の蛍光体を発光させて検査する様子を示す概略正面図
【図10】PDP背面板で発生する蛍光体下異物の特徴を示す平面図、横断面、縦断面図
【図11】従来の問題点を示す説明図
【符号の説明】
20…カメラ
22…ライトガイド
36…UV光源
【発明が属する技術分野】
本発明は、蛍光体検査方法及び装置、特にプラズマディスプレイパネルに配列形成されている蛍光体を検査する際に適用して好適な、蛍光体検査方法及び装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
図7(A)は、いわゆるプラズマディスプレイパネル(以下、PDPとも言う)の背面板10のイメージを示す概略平面図であり、同図(B)は破線位置の断面を拡大したイメージを示す概略断面図である。このPDP背面板10は、その断面形状から分かるように一方向に平行に延びる多数の境界壁を構成するリブ12を有していると共に、隣接するリブ12とリブ12の間にはそれぞれR(赤)G(緑)B(青)の色を発光する異なる種類の蛍光体が交互に配列形成された構造を有している。
【0003】
PDPは、上記蛍光体の付着の良否によって発色精度が左右されることから、該蛍光体の欠陥を検査することが重要である。このような蛍光体の欠陥としては、図8に各色の蛍光体が発色した状態のイメージを示すように、Gの蛍光体上にBの蛍光体が部分的に付着しているような混色欠陥や、Bの蛍光体に一部付着欠けが生じている色抜け欠陥がある。
【0004】
このような蛍光体14の混色や色抜けの欠陥に対しては、図9に正面方向から見たイメージを示すように、検査対象物であるPDP背面板(図中、ワーク)10の上方に配置したカメラ20により、同じく上方に配置したUV光源22から該ワーク10の上面にUV(紫外)光を照射しながら撮像し、入力される画像に基づいて検査する方法がある。
【0005】
ところで、蛍光体14の欠陥としては、その他にも、図10(A)、(B)にそれぞれ前記図7(A)、(B)に相当する平面図と横断面図を示すと共に、縦断面図を同図(C)に示すように、蛍光体14の下に埋もれた蛍光体下異物がある。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前記図9に示したように、UV光を垂直に近い上方から照射する場合や、拡散光(図示せず)として照射する場合は、図11にPDP背面板10のイメージを示すように、蛍光体14が白で示すようにほぼ均一に発光するため、検査用カメラ20で撮像しても、図中破線で示すように前記蛍光体下異物は画像上に現われないことから検査できないという問題がある。
【0007】
本発明は、前記従来の問題点を解決するべくなされたもので、蛍光体の混色や色抜けと共に、蛍光体下異物も検査することができる蛍光体検査方法及び装置を提供することを課題とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】
本発明は、RGBの各色をそれぞれ発光する蛍光体が配列形成されている検査対象物を検査する蛍光体検査方法であって、前記検査対象物における蛍光体形成面に対して、紫外光を斜めに照射して撮像することにより、前記課題を解決したものである。
【0009】
本発明は、又、RGBの各色をそれぞれ発光する蛍光体が配列形成されている検査対象物を検査する蛍光体検査装置であって、前記検査対象物における蛍光体形成面に対して、紫外光を斜めに照射する紫外光照明手段と、同照明手段による光照射下で同検査位置を撮像して検査画像を入力する画像入力手段と、入力された検査画像を処理して前記蛍光体の欠陥を検査する画像処理手段と、を備えたことにより、同様に前記課題を解決したものである。
【0010】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して、本発明の実施の形態について詳細に説明する。
【0011】
図1は、本発明に係る第1実施形態の蛍光体検査装置全体を示す概略斜視図、図2は該検査装置の制御系の要部構成を示すブロック図である。
【0012】
本実施形態の検査装置は、検査対象物であるワーク(PDP背面板)10を載置するステージ30と、ラインセンサカメラ(画像入力手段)20と照明部22とを有する検査部と、該検査部をX方向とY方向にそれぞれ移動させる2軸の搬送部32と、上記カメラ20から入力される検査画像の画像データを処理する画像処理部と、装置全体を制御する制御部とを備えている。なお、画像処理部と制御部はコンピュータ34により実現されている。
【0013】
本実施形態の蛍光体検査装置の特徴を、検査部を拡大して模式的に示す図3を用いて説明する。
【0014】
この検査装置では、上記検査部が有するラインセンサカメラ20は、該ワーク10における検査位置を垂直上方から撮像可能な位置に配置されている。又、上記照明部であるライトガイド22が、UV光源36から供給されるUV光を、上記検査位置に斜め上方から照射可能な位置に配置されている。
【0015】
上記ライトガイド22によるUV光の蛍光体形成面(基板)に対する傾斜角度は、実験的に最適な角度に決定すればよいが、通常30°〜70°程度に設定することができる。又、その際、ワーク10が、一方向だけにストライプ状にリブ12が延びているPDPの場合には、照明光を照射する斜め方向を該リブ12に平行にすることが、該リブ12による影が生じないようにできるため、容易且つ確実に全面検査が可能となることから好ましい。
【0016】
以上のように、UV光を斜め方向から照射することにより、蛍光体下異物が存在する部分は、図4(A)に断面を拡大して示すように、他の蛍光体面より凸状態になっているため、同図(B)にイメージを示すように、UV光がよく当たる面は周囲と同じかそれ以上に明るくなるのに対し、反対側のUV光がよく当たらない面は暗くなる。
【0017】
従って、このような照明の下でカメラ20により撮像すると、図4(B)と同様の検査画像が得られ、画像上の(明)暗部の存在から、蛍光体下異物の欠陥を検出することができる。なお、このような効果を得るためには指向性の強い照明光を使用することが望ましいが、蛍光灯タイプのような拡散光であってもよく、効果は落ちるものの視野に対して斜めから照明することにより同様な画像が得られる。
【0018】
次に、本実施形態の作用を、図5のフローチャートに従って説明する。
【0019】
まず、前記搬送部32により検査部のカメラ20等を目標とする検査位置に移動し(ステップ1)、位置決めした後、ライトガイド22による斜め方向からのUV光照射下で該カメラ20により撮像して検査画像を入力し(ステップ2)、入力された画像データについて前記画像処理部で差分処理を行なう(ステップ3)。
【0020】
この差分処理は、図6(A)に前記図4(B)に相当する検査画像のイメージを示すと共に、ラインLにおけるラインセンサの出力のイメージを同図(B)に示すように、定ピッチ(ここでは1ピッチ)のパターン間について輝度値の差分をとることに当たる。同図(B)に矢印を付して示したように隣接するパターン間の差分処理の後、その処理結果について所定の閾値を超えている画素を2値化して2値画像(図示せず)とし(ステップ4)、その位置をラベリングした後(ステップ5)、そのラベリング領域の大小等により良否判定を行なう(ステップ6)。この図5の例では、全パターンが4つ表示されている中で左から2番目のパターンに蛍光体下異物があるため輝度が大きく減少していることから、この位置がラベリングされることになる。
【0021】
その後、対象とする全範囲の検査が終了するまで、同様にステップ1〜ステップ6の処理を繰り返す(ステップ7)。
【0022】
以上詳述した本実施形態によれば、蛍光体の混色や色抜けの検査精度を低下させることなく、蛍光体下異物をも確実に画像による検査を行なうことができる。
【0023】
以上、本発明について具体的に説明したが、本発明は、前記実施形態に示したものに限られるものでなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。
【0024】
【発明の効果】
以上説明したとおり、本発明によれば、蛍光体の混色や色抜けと共に、蛍光体下異物をも確実に検査することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る一実施形態の蛍光体検査装置の全体を示す概略斜視図
【図2】上記検査装置が備えている制御系の要部を示すブロック図
【図3】上記検査装置の検査部を抽出して示す説明図
【図4】実施形態の効果を示す説明図
【図5】実施形態の作用を示すフローチャート
【図6】上記検査装置により撮像した検査画像のイメージと、ラインセンサ出力のイメージを示す説明図
【図7】PDP背面板の特徴を示す平面図と横断面図
【図8】PDP背面板で発光する蛍光体の混色と色抜けの欠陥のイメージを示す説明図
【図9】PDP背面板の蛍光体を発光させて検査する様子を示す概略正面図
【図10】PDP背面板で発生する蛍光体下異物の特徴を示す平面図、横断面、縦断面図
【図11】従来の問題点を示す説明図
【符号の説明】
20…カメラ
22…ライトガイド
36…UV光源
Claims (4)
- RGBの各色をそれぞれ発光する蛍光体が配列形成されている検査対象物を検査する蛍光体検査方法であって、
前記検査対象物における蛍光体形成面に対して、紫外光を斜めに照射して撮像することを特徴とする蛍光体検査方法。 - 前記紫外光を照射する斜め方向の角度を、30°〜70°にすることを特徴とする請求項1に記載の蛍光体検査方法。
- RGBの各色をそれぞれ発光する蛍光体が配列形成されている検査対象物を検査する蛍光体検査装置であって、
前記検査対象物における蛍光体形成面に対して、紫外光を斜めに照射する紫外光照明手段と、
同照明手段による光照射下で同検査位置を撮像して検査画像を入力する画像入力手段と、
入力された検査画像を処理して前記蛍光体の欠陥を検査する画像処理手段と、を備えたことを特徴とする蛍光体検査装置。 - 前記紫外光を照射する斜め方向の角度を30°〜70°に調整可能であることを特徴とする請求項3に記載の蛍光体検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002329734A JP2004165013A (ja) | 2002-11-13 | 2002-11-13 | 蛍光体検査方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002329734A JP2004165013A (ja) | 2002-11-13 | 2002-11-13 | 蛍光体検査方法及び装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004165013A true JP2004165013A (ja) | 2004-06-10 |
Family
ID=32807649
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002329734A Pending JP2004165013A (ja) | 2002-11-13 | 2002-11-13 | 蛍光体検査方法及び装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2004165013A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006049078A (ja) * | 2004-08-04 | 2006-02-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | プラズマディスプレイパネル用基板の検査方法 |
-
2002
- 2002-11-13 JP JP2002329734A patent/JP2004165013A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006049078A (ja) * | 2004-08-04 | 2006-02-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | プラズマディスプレイパネル用基板の検査方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7505149B2 (en) | Apparatus for surface inspection and method and apparatus for inspecting substrate | |
KR101444474B1 (ko) | 검사 장치 | |
US20090028419A1 (en) | Method for manufacturing plasma display panel, inspection method for inspecting phospor layer and inspection apparatus for inspecting phosphor layer | |
JP2019144209A (ja) | 外観検査装置、及び外観検査装置の照明条件設定方法 | |
JP2007303853A (ja) | 端部検査装置 | |
KR101969378B1 (ko) | 조명 유닛, 결함 검사 장치, 및 조명 방법 | |
JPWO2007126027A1 (ja) | カラーフィルタ検査方法およびカラーフィルタ製造方法並びにカラーフィルタ検査装置 | |
TW200408269A (en) | Apparatus and method for inspecting pattern defect | |
TWI495867B (zh) | Application of repeated exposure to multiple exposure image blending detection method | |
JP2007303854A (ja) | 端部検査装置 | |
JP5316198B2 (ja) | 外観検査装置 | |
JP5832167B2 (ja) | 部品有無判定装置及び部品有無判定方法 | |
JP2005037281A (ja) | 表示装置の製造方法、表示装置用基板の検査方法及び表示装置用基板の検査装置 | |
JP2004165013A (ja) | 蛍光体検査方法及び装置 | |
JP2007047062A (ja) | 表示パネルの検査方法および検査装置 | |
JP2017156659A (ja) | カラーフィルタの欠陥検査装置および欠陥検査方法 | |
JP4531186B2 (ja) | プラズマディスプレイパネル背面板の検査装置および製造方法 | |
JP2005265503A (ja) | ディスプレイの検査方法及びディスプレイの検査装置 | |
JP2004146108A (ja) | 蛍光体検査方法及び装置 | |
JPH02213711A (ja) | 部品検査装置 | |
JP4673151B2 (ja) | 蛍光体の印刷ずれ検査方法 | |
JP2004117150A (ja) | パターン欠陥検査装置およびパターン欠陥検査方法 | |
JP3236995U (ja) | 容器の表面検査装置 | |
JP2007085834A (ja) | 蛍光体パネルの検査装置 | |
JP2981578B2 (ja) | 平面体検査装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Effective date: 20051107 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 |
|
A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20071127 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20071204 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20080401 |