JP2005037281A - 表示装置の製造方法、表示装置用基板の検査方法及び表示装置用基板の検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 基板1をコンベア6により一定速度で移動させ、照明装置7a及び7bにより基板1の検査対象部分1aに光を照射すると共に、CCDカメラ8aによりパターンを撮像する。撮像された画像データを画像記憶装置10に保存し、画像処理装置11によりパターンエッジ、横方向及び縦方向のセル境界を識別して、1個ずつのセルに切り分ける。セル毎に状態判定を行い、データに変換する。このデータをデータ処理装置12により、ミクロ欠陥及びマクロ欠陥の良否判定を行い、基板良否判定を行う。この判定結果をモニタ13に転送し、ミクロ欠陥及びマクロ欠陥共に検査結果として表示すると共に、データ保存装置14に保存する。
【選択図】 図1
Description
1a;検査対象部分
1b;光照射部分
2;パターン
2b;セル
3;ブラックストライプ
4;走査電極又は維持電極
5a、5b;パターンエッジ
5c、5d;パターンエッジ認識点
6;コンベア
7a、7b、7c;照明装置
7d;電源
8a、8b;CCDカメラ
9;搬送制御装置
10;画像記憶装置
11,59;画像処理装置
12;データ処理装置
13;モニタ
14;データ保存装置
15a、15b;水平方向輝度加算ライン
16a、16b;水平方向輝度加算ライン幅
17a、17b、17c;水平方向輝度波形
18;エッジ検出幅
19;輝度しきい値
20、48乃至53;サーチ方向
21;水平方向セル・エッジ間寸法
22;水平方向セルピッチ寸法
23、30;サーチ範囲
24;垂直方向境界線
25;垂直方向輝度加算ライン
26;垂直方向輝度加算ライン幅
27、27a、27b;垂直方向輝度波形
28;垂直方向セル・エッジ間寸法
29;垂直方向セルピッチ寸法
33;水平方向境界線
34;適正状態
35;色過多状態
36;色不足状態
37;色抜け状態
38;異物付着状態
39;未処理状態
40;混色状態大
41;混色状態小
42;異物付着状態空
43乃至47;撮像位置
54a、54b;処理前の黒欠陥
55a、55b;処理前の白欠陥
56a、56b;被検査パターン
57a、57b;比較パターン
58;処理プラグラム
Claims (12)
- 絶縁性基板の一方の面にセルを区画する境界を形成する工程と、前記セル毎に着色材料又は発色材料を被着させる工程と、前記基板の一方の面又は他方の面に光を照射し、その反射光又は透過光のパターンから個々のセルにおける前記着色材料又は発色材料の被着状態を判別することにより欠陥を検出して前記基板を検査する工程と、を有することを特徴とする表示装置の製造方法。
- 前記検査工程は、前記着色材料又は発色材料を被着させた前記基板の一方の面又は他方の面に光を照射しながら、前記被着した被着材料を撮像して画像データを得る工程と、この画像データを個々のセルに分割する工程と、前記セル毎の反射光又は透過光のパターンから個々のセルにおける前記着色材料又は発色材料の被着状態を判別する工程と、この判別結果に基づいて前記セルの欠陥を検出する工程と、欠陥であるセルの個数、隣接するセルが共に欠陥である箇所の数及び特定の被着状態であるセルが一定割合以上であるか否かにより前記基板の良否を判定する工程と、を有することを特徴とする請求項1に記載の表示装置の製造方法。
- 前記画像データを個々のセルに分割する工程は、セル形成領域と非形成領域との境界を識別する工程と、前記セル形成領域において各セルの垂直方向の境界を識別する工程と、前記セル形成領域において各セルの水平方向の境界を識別する工程と、を有することを特徴とする請求項2に記載の表示装置の製造方法。
- 前記セル形成領域と非形成領域との境界を識別する工程は、前記セル形成領域を複数個の輝度加算領域に分割し、1つの輝度加算領域内のセルについて横又は垂直方向に輝度階調を加算した値から輝度加算波形を作成することを特徴とする請求項3に記載の表示装置の製造方法。
- 前記セル形成領域において各セルの垂直方向の境界を識別する工程は、前記セル形成領域と非形成領域との境界からの距離の設計値及び各セルの垂直方向における間隔の設計値と、前記輝度加算波形とから識別することを特徴とする請求項4に記載の表示装置の製造方法。
- 前記セル形成領域において各セルの水平方向の境界を識別する工程は、前記セル形成領域と非形成領域との境界からの距離の設計値及び各セルの垂直方向における間隔の設計値と、前記輝度加算波形とから識別することを特徴とする請求項4又は5に記載の表示装置の製造方法。
- 前記着色材料又は発色材料を被着させた前記基板の一方の面又は他方の面に光を照射しながら、前記被着した被着材料を撮像して画像データを得る工程と、この画像データを個々のセルに分割する工程と、前記セル毎の反射光又は透過光のパターンから個々のセルにおける前記着色材料又は発色材料の被着状態を判別する工程と、この判別結果に基づいて前記セルの欠陥を検出する工程と、欠陥であるセルの個数、隣接するセルが共に欠陥である箇所の数及び特定の被着状態であるセルが一定割合以上であるか否かにより前記基板の良否を判定する工程と、を有することを特徴とする表示装置用基板の検査方法。
- 前記画像データを個々のセルに分割する工程は、セル形成領域と非形成領域との境界を識別する工程と、前記セル形成領域において各セルの垂直方向の境界を識別する工程と、前記セル形成領域において各セルの水平方向の境界を識別する工程と、を有することを特徴とする請求項7に記載の表示装置用基板の検査方法。
- 前記セル形成領域と非形成領域との境界を識別する工程は、前記セル形成領域を複数個の輝度加算領域に分割し、1つの輝度加算領域内のセルについて横又は垂直方向に輝度階調を加算した値から輝度加算波形を作成することを特徴とする請求項8に記載の表示装置用基板の検査方法。
- 前記セル形成領域において各セルの垂直方向の境界を識別する工程は、前記セル形成領域と非形成領域との境界からの距離の設計値及び各セルの垂直方向における間隔の設計値と、前記輝度加算波形とから識別することを特徴とする請求項9に記載の表示装置用基板の検査方法。
- 前記セル形成領域において各セルの水平方向の境界を識別する工程は、前記セル形成領域と非形成領域との境界からの距離の設計値及び各セルの垂直方向における間隔の設計値と、前記輝度加算波形とから識別することを特徴とする請求項9又は10に記載の表示装置用基板の検査方法。
- 基板に光を照射しながら、前記基板に被着された着色材料又は発色材料を撮像して画像データを得る撮像装置と、この画像データを一時保存する画像保存装置と、前記画像データを個々のセルに切り分け、前記着色材料又は発色材料の反射光又は透過光パターンを観察して前記着色材料又は発色材料の被着状態を判別する画像処理装置と、前記画像データにおける各セルの被着状態を設計上の配列と異なる場合を欠陥として判定し、前記画像データ中のセルについて欠陥の数、隣接するセルが共に欠陥である数、及び基板上に形成されたセルを一定数毎のブロックで区画した範囲内に、特定の被着状態が一定割合以上であるか否かにより前記基板の良否判定を行うデータ処理装置と、この良否判定結果を表示する表示装置と、前記良否判定結果を保存するデータ保存装置と、を有することを特徴とする表示装置用基板の検査装置。
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JP2003275696A JP2005037281A (ja) | 2003-07-16 | 2003-07-16 | 表示装置の製造方法、表示装置用基板の検査方法及び表示装置用基板の検査装置 |
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Cited By (10)
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---|---|---|---|---|
JP2007205800A (ja) * | 2006-01-31 | 2007-08-16 | Dainippon Printing Co Ltd | 検査装置及び検査方法 |
JP2007265679A (ja) * | 2006-03-27 | 2007-10-11 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 蛍光体検査装置 |
JP2008216260A (ja) * | 2008-03-18 | 2008-09-18 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 蛍光体検査装置 |
JP2012159399A (ja) * | 2011-02-01 | 2012-08-23 | Toray Ind Inc | 多面取り基板の欠陥検査方法 |
JP2012189418A (ja) * | 2011-03-10 | 2012-10-04 | Seiko Epson Corp | 欠陥検出方法及び欠陥検出装置 |
KR101401146B1 (ko) | 2006-01-26 | 2014-05-29 | 오르보테크 엘티디. | 미세 전도체를 가지는 패터닝된 장치를 검사하는 시스템 및방법 |
US8818073B2 (en) | 2010-07-29 | 2014-08-26 | Samsung Display Co., Ltd. | Display panel test apparatus and method of testing a display panel using the same |
CN103389312B (zh) * | 2012-05-08 | 2015-10-14 | 珠海格力电器股份有限公司 | 铜管检测系统 |
JP2017211259A (ja) * | 2016-05-25 | 2017-11-30 | 株式会社シーイーシー | 検査装置、検査方法、及びプログラム |
JP2019190820A (ja) * | 2019-05-31 | 2019-10-31 | ダイキン工業株式会社 | 液面状態判別装置及びこれを備えた冷凍装置並びに液面状態判別プログラム |
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2003
- 2003-07-16 JP JP2003275696A patent/JP2005037281A/ja active Pending
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101401146B1 (ko) | 2006-01-26 | 2014-05-29 | 오르보테크 엘티디. | 미세 전도체를 가지는 패터닝된 장치를 검사하는 시스템 및방법 |
JP2007205800A (ja) * | 2006-01-31 | 2007-08-16 | Dainippon Printing Co Ltd | 検査装置及び検査方法 |
JP2007265679A (ja) * | 2006-03-27 | 2007-10-11 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 蛍光体検査装置 |
JP2008216260A (ja) * | 2008-03-18 | 2008-09-18 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 蛍光体検査装置 |
US8818073B2 (en) | 2010-07-29 | 2014-08-26 | Samsung Display Co., Ltd. | Display panel test apparatus and method of testing a display panel using the same |
JP2012159399A (ja) * | 2011-02-01 | 2012-08-23 | Toray Ind Inc | 多面取り基板の欠陥検査方法 |
JP2012189418A (ja) * | 2011-03-10 | 2012-10-04 | Seiko Epson Corp | 欠陥検出方法及び欠陥検出装置 |
CN103389312B (zh) * | 2012-05-08 | 2015-10-14 | 珠海格力电器股份有限公司 | 铜管检测系统 |
JP2017211259A (ja) * | 2016-05-25 | 2017-11-30 | 株式会社シーイーシー | 検査装置、検査方法、及びプログラム |
JP2019190820A (ja) * | 2019-05-31 | 2019-10-31 | ダイキン工業株式会社 | 液面状態判別装置及びこれを備えた冷凍装置並びに液面状態判別プログラム |
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