JPH07122193A - 欠陥検出方法および装置 - Google Patents
欠陥検出方法および装置Info
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- JPH07122193A JPH07122193A JP5268992A JP26899293A JPH07122193A JP H07122193 A JPH07122193 A JP H07122193A JP 5268992 A JP5268992 A JP 5268992A JP 26899293 A JP26899293 A JP 26899293A JP H07122193 A JPH07122193 A JP H07122193A
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- Image Analysis (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 被検査物の欠陥を画像上で強調することによ
って精度の高い欠陥検出を行うことが可能な欠陥検出方
法および装置を提供する。 【構成】 検査対象を撮像して二次元に整列配置された
複数の画素毎の輝度情報を得るエリアセンサ３と、エリ
アセンサ３によって得られた画素毎の輝度情報を前記ピ
ッチに対応させて縦横それぞれ所定数の画素行列からな
る格子に切り分け、その各格子内の各画素の輝度情報を
加算して各格子毎の輝度加算値を求める輝度情報加算部
５と、各格子間での輝度加算値の変化量を水平方向およ
び垂直方向についてそれぞれ求める変化量算出部７と、
前記水平方向の変化量と垂直方向の変化量が所定より多
い場合、欠陥として検出する検出部９とから構成され
る。
って精度の高い欠陥検出を行うことが可能な欠陥検出方
法および装置を提供する。 【構成】 検査対象を撮像して二次元に整列配置された
複数の画素毎の輝度情報を得るエリアセンサ３と、エリ
アセンサ３によって得られた画素毎の輝度情報を前記ピ
ッチに対応させて縦横それぞれ所定数の画素行列からな
る格子に切り分け、その各格子内の各画素の輝度情報を
加算して各格子毎の輝度加算値を求める輝度情報加算部
５と、各格子間での輝度加算値の変化量を水平方向およ
び垂直方向についてそれぞれ求める変化量算出部７と、
前記水平方向の変化量と垂直方向の変化量が所定より多
い場合、欠陥として検出する検出部９とから構成され
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、所定のピッチで整列配
置された被検査物の欠陥を検出する欠陥検出方法および
装置に関する。
置された被検査物の欠陥を検出する欠陥検出方法および
装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、カラーＣＲＴのシャドウマス
クでは、蛍光面に対して電子ビームが通過する穴の形状
異常や、本来開けられているべき場所に穴が開けらてい
ない、または、本来開けてはいけない場所に穴が開けら
れている等の欠陥が発生する場合がある。
クでは、蛍光面に対して電子ビームが通過する穴の形状
異常や、本来開けられているべき場所に穴が開けらてい
ない、または、本来開けてはいけない場所に穴が開けら
れている等の欠陥が発生する場合がある。
【０００３】この欠陥は、ラインセンサまたはエリアセ
ンサと画像処理装置等を備える欠陥検出装置によって検
出されている。この欠陥検出装置では、検査対象を前記
ラインセンサまたはエリアセンサにより撮像することに
よって得られた画素毎の輝度情報が所定の範囲内にある
か否かを判定し、範囲外の場合は欠陥と判断している。
ンサと画像処理装置等を備える欠陥検出装置によって検
出されている。この欠陥検出装置では、検査対象を前記
ラインセンサまたはエリアセンサにより撮像することに
よって得られた画素毎の輝度情報が所定の範囲内にある
か否かを判定し、範囲外の場合は欠陥と判断している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
欠陥検出装置は、シャドウマスクの穴の径が小さい場合
や穴の形状異常部分が小さい場合、ラインセンサまたは
エリアセンサによって得られた輝度情報が所定の範囲内
にあるか否かのみでは欠陥は検出できないという問題が
ある。
欠陥検出装置は、シャドウマスクの穴の径が小さい場合
や穴の形状異常部分が小さい場合、ラインセンサまたは
エリアセンサによって得られた輝度情報が所定の範囲内
にあるか否かのみでは欠陥は検出できないという問題が
ある。
【０００５】本発明は上記事情に鑑みて成されたもので
あり、その目的は、シャドウマスクの穴等の被検査物の
欠陥を画像上で強調することによって精度の高い欠陥検
出を行うことが可能な欠陥検出方法および装置を提供す
ることにある。
あり、その目的は、シャドウマスクの穴等の被検査物の
欠陥を画像上で強調することによって精度の高い欠陥検
出を行うことが可能な欠陥検出方法および装置を提供す
ることにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに本発明は、所定のピッチで整列配置された複数の被
検査物から成る領域を検査対象とし、前記被検査物を含
む検査対象内の欠陥を検出する欠陥検出方法において、
前記被検査物を撮像して二次元に整列配置された複数の
画素毎の輝度情報をセンサで得る工程と、前記センサに
よって得られた画素毎の輝度情報を前記ピッチに対応さ
せて縦横それぞれ所定数の画素行列からなる格子に切り
分け、その各格子内の各画素の輝度情報を加算して各格
子毎の輝度加算値を求める輝度情報加算工程と、各格子
間での輝度加算値の変化量を水平方向および垂直方向の
それぞれについて求める変化量算出工程と、前記水平方
向の変化量と垂直方向の変化量が所定より多い場合、欠
陥として検出する検出工程と、から成ることを特徴とし
ている。
めに本発明は、所定のピッチで整列配置された複数の被
検査物から成る領域を検査対象とし、前記被検査物を含
む検査対象内の欠陥を検出する欠陥検出方法において、
前記被検査物を撮像して二次元に整列配置された複数の
画素毎の輝度情報をセンサで得る工程と、前記センサに
よって得られた画素毎の輝度情報を前記ピッチに対応さ
せて縦横それぞれ所定数の画素行列からなる格子に切り
分け、その各格子内の各画素の輝度情報を加算して各格
子毎の輝度加算値を求める輝度情報加算工程と、各格子
間での輝度加算値の変化量を水平方向および垂直方向の
それぞれについて求める変化量算出工程と、前記水平方
向の変化量と垂直方向の変化量が所定より多い場合、欠
陥として検出する検出工程と、から成ることを特徴とし
ている。
【０００７】また、前記センサが、ラインセンサ若しく
はエリアセンサであることを特徴としている。
はエリアセンサであることを特徴としている。
【０００８】さらに、前記変化量算出工程は、任意の格
子の輝度加算値を中心とした周囲のｍ行ｎ列のＮ個（ｍ
×ｎ個）の輝度加算値を基に、予め設定される水平方向
の第１の係数テーブルと垂直方向の第２の係数テーブル
を用いて、水平方向の変化量と垂直方向の変化量を求め
る変化量算出工程であることを特徴としている。
子の輝度加算値を中心とした周囲のｍ行ｎ列のＮ個（ｍ
×ｎ個）の輝度加算値を基に、予め設定される水平方向
の第１の係数テーブルと垂直方向の第２の係数テーブル
を用いて、水平方向の変化量と垂直方向の変化量を求め
る変化量算出工程であることを特徴としている。
【０００９】さらに、所定のピッチで整列配置された複
数の被検査物から成る領域を検査対象とし、前記被検査
物を含む検査対象内の欠陥を検出する装置であって、前
記検査対象を撮像して二次元に整列配置された複数の画
素毎の輝度情報を得るセンサと、前記センサによって得
られた画素毎の輝度情報を前記ピッチに対応させて縦横
それぞれ所定数の画素行列からなる格子に切り分け、そ
の各格子内の各画素の輝度情報を加算して各格子毎の輝
度加算値を求める輝度情報加算部と、各格子間での輝度
加算値の変化量を水平方向および垂直方向のそれぞれに
ついて求める変化量算出部と、前記水平方向の変化量と
垂直方向の変化量が所定より多い場合、欠陥として検出
する検出部と、を具備することを特徴としている。
数の被検査物から成る領域を検査対象とし、前記被検査
物を含む検査対象内の欠陥を検出する装置であって、前
記検査対象を撮像して二次元に整列配置された複数の画
素毎の輝度情報を得るセンサと、前記センサによって得
られた画素毎の輝度情報を前記ピッチに対応させて縦横
それぞれ所定数の画素行列からなる格子に切り分け、そ
の各格子内の各画素の輝度情報を加算して各格子毎の輝
度加算値を求める輝度情報加算部と、各格子間での輝度
加算値の変化量を水平方向および垂直方向のそれぞれに
ついて求める変化量算出部と、前記水平方向の変化量と
垂直方向の変化量が所定より多い場合、欠陥として検出
する検出部と、を具備することを特徴としている。
【００１０】さらに、前記センサが、ラインセンサ若し
くはエリアセンサであることを特徴としている。
くはエリアセンサであることを特徴としている。
【００１１】さらに、前記変化量算出部は、任意の格子
の輝度加算値を中心とした周囲のｍ行ｎ列のＮ個（ｍ×
ｎ個）の輝度加算値を基に、予め設定される水平方向の
第１の係数テーブルと垂直方向の第２の係数テーブルを
用いて、水平方向の変化量と垂直方向の変化量を求める
変化量算出部であることを特徴としている。
の輝度加算値を中心とした周囲のｍ行ｎ列のＮ個（ｍ×
ｎ個）の輝度加算値を基に、予め設定される水平方向の
第１の係数テーブルと垂直方向の第２の係数テーブルを
用いて、水平方向の変化量と垂直方向の変化量を求める
変化量算出部であることを特徴としている。
【００１２】
【作用】上記構成によれば、輝度情報加算部は、センサ
によって得られた画素毎の輝度情報を被検査物のピッチ
に対応した縦横それぞれ所定数の画素行列からなる格子
に切り分け、その各格子内の各画素の輝度情報を加算す
る（輝度情報加算工程）。そして変化量算出部は、各格
子間での輝度加算値の変化量を水平方向および垂直方向
のそれぞれについて求める（変化量算出工程）。その
後、検出部は、この求められた水平方向の変化量と垂直
方向の変化量が所定量より多い場合、欠陥として検出す
る（検出工程）。
によって得られた画素毎の輝度情報を被検査物のピッチ
に対応した縦横それぞれ所定数の画素行列からなる格子
に切り分け、その各格子内の各画素の輝度情報を加算す
る（輝度情報加算工程）。そして変化量算出部は、各格
子間での輝度加算値の変化量を水平方向および垂直方向
のそれぞれについて求める（変化量算出工程）。その
後、検出部は、この求められた水平方向の変化量と垂直
方向の変化量が所定量より多い場合、欠陥として検出す
る（検出工程）。
【００１３】
【実施例】図１は、本発明の欠陥検出装置の一実施例を
示すブロック図であり、センサにエリアセンサを用いた
実施例である。本実施例では、図２に示すようなＣＲＴ
用のシャドウマスクの穴の欠陥を検出する場合を例に説
明する。なお、ここでは、説明および図面の便宜上、穴
の部分を黒、その他の部分を白に反転させている。
示すブロック図であり、センサにエリアセンサを用いた
実施例である。本実施例では、図２に示すようなＣＲＴ
用のシャドウマスクの穴の欠陥を検出する場合を例に説
明する。なお、ここでは、説明および図面の便宜上、穴
の部分を黒、その他の部分を白に反転させている。
【００１４】図１に示すように、欠陥検出装置１は、エ
リアセンサ３と、輝度情報加算部５と、変化量算出部７
と、検出部９と、表示部１１とから構成されている。
リアセンサ３と、輝度情報加算部５と、変化量算出部７
と、検出部９と、表示部１１とから構成されている。
【００１５】エリアセンサ３は、図２に示す所定のピッ
チで整列配置された複数の穴（以下被検査物という）か
ら成るシャドウマスク（以下検査対象という）を撮像し
て二次元に整列配置された複数の画素毎の輝度情報を得
る。
チで整列配置された複数の穴（以下被検査物という）か
ら成るシャドウマスク（以下検査対象という）を撮像し
て二次元に整列配置された複数の画素毎の輝度情報を得
る。
【００１６】輝度情報加算部５は、エリアセンサ３によ
って得られた画素毎の輝度情報を被検査物のピッチに対
応させた所定の画素行列からなる図３に示すような格子
に切り分け、その各格子内の各画素の輝度情報を加算し
て格子毎の輝度加算値を求める。
って得られた画素毎の輝度情報を被検査物のピッチに対
応させた所定の画素行列からなる図３に示すような格子
に切り分け、その各格子内の各画素の輝度情報を加算し
て格子毎の輝度加算値を求める。
【００１７】変化量算出部７は、各格子間での輝度加算
値の水平方向の変化量および垂直方向の変化量を３行３
列の行列内で求める。
値の水平方向の変化量および垂直方向の変化量を３行３
列の行列内で求める。
【００１８】検出部９は、変化量算出部７によって求め
られた垂直方向の変化量と、水平方向の変化量を基に被
検査物の欠陥を検出する。
られた垂直方向の変化量と、水平方向の変化量を基に被
検査物の欠陥を検出する。
【００１９】表示部１１は、変化量算出部７によって求
められた垂直方向の変化量と、水平方向の変化量を表示
する。また、エリアセンサ３により得られた画素毎の輝
度情報や輝度情報加算部５によって加算された格子毎の
輝度加算値を表示する。
められた垂直方向の変化量と、水平方向の変化量を表示
する。また、エリアセンサ３により得られた画素毎の輝
度情報や輝度情報加算部５によって加算された格子毎の
輝度加算値を表示する。
【００２０】次に、本実施例の作用を図４のフローチャ
ートを用いて説明する。なお、ここでは図２に示すよう
に中央部に欠陥のあるシャドウマスクを検査対象とす
る。
ートを用いて説明する。なお、ここでは図２に示すよう
に中央部に欠陥のあるシャドウマスクを検査対象とす
る。
【００２１】まず、検査対象をエリアセンサ３により撮
像し、輝度を０〜２５５の２５６階調で表した画素毎の
輝度情報を得る（ステップＳＴ１）。図２に示された線
上の輝度情報を画面表示させると図５に示すようにな
る。
像し、輝度を０〜２５５の２５６階調で表した画素毎の
輝度情報を得る（ステップＳＴ１）。図２に示された線
上の輝度情報を画面表示させると図５に示すようにな
る。
【００２２】画素毎の輝度情報が得られると輝度情報加
算部５では、その輝度情報を被検査物のピッチに対応さ
せた所定の画素行列からなる図３に示すような格子に切
り分け、その各格子内の各画素の輝度情報を加算して格
子毎の輝度加算値を求める。（ステップＳＴ３，ＳＴ
５）。なおここでは、穴２つを囲む縦２７画素、横４４
画素の格子に区切っているがこれに限らず、区切り方は
任意に変更可能である。例えば、前記格子を縦に３つま
とめた縦８１画素、横４４画素の格子に区切るようにし
ても良い。
算部５では、その輝度情報を被検査物のピッチに対応さ
せた所定の画素行列からなる図３に示すような格子に切
り分け、その各格子内の各画素の輝度情報を加算して格
子毎の輝度加算値を求める。（ステップＳＴ３，ＳＴ
５）。なおここでは、穴２つを囲む縦２７画素、横４４
画素の格子に区切っているがこれに限らず、区切り方は
任意に変更可能である。例えば、前記格子を縦に３つま
とめた縦８１画素、横４４画素の格子に区切るようにし
ても良い。
【００２３】また、図２に示された線上の格子の輝度加
算値を求められた輝度加算値の最大値で正規化して画面
表示させると図６に示すようになる。
算値を求められた輝度加算値の最大値で正規化して画面
表示させると図６に示すようになる。
【００２４】そして、変化量算出部７では、各格子間で
の水平方向の輝度加算値の変化量Ｈijおよび垂直方向の
輝度加算値の変化量Ｖijを３行３列の行列内で求める
（ステップＳＴ７）。
の水平方向の輝度加算値の変化量Ｈijおよび垂直方向の
輝度加算値の変化量Ｖijを３行３列の行列内で求める
（ステップＳＴ７）。
【００２５】例えば、任意の格子の輝度加算値Σijの水
平方向の変化量Ｈijと垂直方向の変化量Ｖijは、図７に
示すようにΣijを中心とした３行３列の９つの格子の輝
度加算値を基に、図８に示す水平方向のＳｏｂｅｌフィ
ルター（第１の係数テーブル）と図９に示す垂直方向の
Ｓｏｂｅｌフィルター（第２の係数テーブル）を用いて
以下に示す式（１）と式（２）によって求める。
平方向の変化量Ｈijと垂直方向の変化量Ｖijは、図７に
示すようにΣijを中心とした３行３列の９つの格子の輝
度加算値を基に、図８に示す水平方向のＳｏｂｅｌフィ
ルター（第１の係数テーブル）と図９に示す垂直方向の
Ｓｏｂｅｌフィルター（第２の係数テーブル）を用いて
以下に示す式（１）と式（２）によって求める。
【００２６】 Ｈij＝｜−Σi-1,j-1 −２Σi,j-1 −Σi+1,j-1 ＋Σi-1,j+1 ＋２Σi,j+1 ＋Σi+1,j+1 ｜…式（１） Ｖij＝｜−Σi-1,j-1 ＋Σi+1,j-1 −２Σi-1,j ＋２Σi+1,j −Σi-1,j+1 ＋Σi+1,j+1 ｜…式（２） そして、求められた水平方向の変化量Ｈijと垂直方向の
変化量Ｖijを加算したものをその格子の変化量Ｃijとす
る。そしてこの変化量Ｃijを各格子について求める。
変化量Ｖijを加算したものをその格子の変化量Ｃijとす
る。そしてこの変化量Ｃijを各格子について求める。
【００２７】なお、変化量ＣijはＳｏｂｅｌフィルター
を用いて求めているがこれに限らず、他の係数のフィル
ターや他のマトリクス（２行２列、３行１列等）のフィ
ルターを用いても良い。
を用いて求めているがこれに限らず、他の係数のフィル
ターや他のマトリクス（２行２列、３行１列等）のフィ
ルターを用いても良い。
【００２８】そして検出部９では、求められた変化量Ｃ
ijと予め設定されている欠陥判定しきい値とを比較し、
求められた変化量Ｃijが予め設定されている欠陥判定し
きい値より大きい場合、欠陥と判定する。
ijと予め設定されている欠陥判定しきい値とを比較し、
求められた変化量Ｃijが予め設定されている欠陥判定し
きい値より大きい場合、欠陥と判定する。
【００２９】一方、表示部１１では求められた格子毎の
変化量Ｃijを以下の式（３）を用いて正規化して図１０
のように表示する（ステップＳＴ９）。
変化量Ｃijを以下の式（３）を用いて正規化して図１０
のように表示する（ステップＳＴ９）。
【００３０】Ｓij＝Ｃij×２５５／ＣMax …式（３） ここで、Ｓijは正規化された変化量、ＣMax は求められ
た変化量Ｃijの最大値を示す。このとき図１０に示され
た線上の格子の正規化された変化量Ｓijを表示すると図
１１に示すようになり、図４に示された欠陥が強調され
ていることが分かる。
た変化量Ｃijの最大値を示す。このとき図１０に示され
た線上の格子の正規化された変化量Ｓijを表示すると図
１１に示すようになり、図４に示された欠陥が強調され
ていることが分かる。
【００３１】このように、エリアセンサ３によって得ら
れた画素毎の輝度情報を被検査物のピッチに対応させた
格子に切り分け、その各格子内の各画素の輝度情報を加
算して格子毎の輝度加算値を求めることにより欠陥を強
調し、各格子間での水平方向の輝度加算値の変化量Ｈij
および垂直方向の輝度加算値の変化量Ｖijを３行３列の
行列内で求めることによってさらに欠陥を強調している
ので、被検査物（穴）が一つのみ開けられていない図２
に示すような欠陥でも検出することが可能となる。
れた画素毎の輝度情報を被検査物のピッチに対応させた
格子に切り分け、その各格子内の各画素の輝度情報を加
算して格子毎の輝度加算値を求めることにより欠陥を強
調し、各格子間での水平方向の輝度加算値の変化量Ｈij
および垂直方向の輝度加算値の変化量Ｖijを３行３列の
行列内で求めることによってさらに欠陥を強調している
ので、被検査物（穴）が一つのみ開けられていない図２
に示すような欠陥でも検出することが可能となる。
【００３２】また、検査対象に対し、格子が上下、左右
にずれて設定された場合であっても格子内の輝度加算値
は、被検査物が正常である場合、どの格子も同一とな
る。そのため、検査対象と格子の位置とを正確に合わせ
る例えばパターンマッチングのような処理は必要とせ
ず、特に手間を掛けずに高い精度で欠陥を検出すること
が可能となる。
にずれて設定された場合であっても格子内の輝度加算値
は、被検査物が正常である場合、どの格子も同一とな
る。そのため、検査対象と格子の位置とを正確に合わせ
る例えばパターンマッチングのような処理は必要とせ
ず、特に手間を掛けずに高い精度で欠陥を検出すること
が可能となる。
【００３３】なお、本実施例では、ＣＲＴ用のシャドウ
マスクの穴の欠陥を検出する場合を説明しているが、こ
れに限らず、図１２に示すように所定の間隔でスリット
（白で示した部分）の入った検査対象に対しても欠陥を
検出することができる。
マスクの穴の欠陥を検出する場合を説明しているが、こ
れに限らず、図１２に示すように所定の間隔でスリット
（白で示した部分）の入った検査対象に対しても欠陥を
検出することができる。
【００３４】この場合、エリアセンサー３によって得ら
れた輝度情報を点線で示した格子に切り分け、以後前述
と同様に作用させることにより、図１２に示すような中
央のスリットの面積が所定面積より広い欠陥が検出でき
る。またこの場合、スリットの面積が所定面積より狭い
欠陥やスリット生じたカケ、さらに、スリット以外の領
域に生じた欠陥も検出できる。
れた輝度情報を点線で示した格子に切り分け、以後前述
と同様に作用させることにより、図１２に示すような中
央のスリットの面積が所定面積より広い欠陥が検出でき
る。またこの場合、スリットの面積が所定面積より狭い
欠陥やスリット生じたカケ、さらに、スリット以外の領
域に生じた欠陥も検出できる。
【００３５】また、図１３に示すように、被検査物が複
数種類ある場合であっても規則的に整列配置されている
ものであれば、その欠陥を検出することができる。図１
３の場合では、エリアセンサー３によって得られた輝度
情報を点線に示した格子に切り分けることによって欠陥
を検出する。
数種類ある場合であっても規則的に整列配置されている
ものであれば、その欠陥を検出することができる。図１
３の場合では、エリアセンサー３によって得られた輝度
情報を点線に示した格子に切り分けることによって欠陥
を検出する。
【００３６】さらに、ＬＣＤ用のカラーフィルターのよ
うにＲＧＢの各色の領域が整列配置されている場合に
も、前記領域の色の抜け、染色異常、面積異常等の欠陥
を検出することができる。
うにＲＧＢの各色の領域が整列配置されている場合に
も、前記領域の色の抜け、染色異常、面積異常等の欠陥
を検出することができる。
【００３７】さらに、本実施例では、被検査物（穴）の
欠陥を検出しているが、これに限らず、検査対象（シャ
ドウマスク）内の被検査物（穴）以外の領域の欠陥も検
出することができる。
欠陥を検出しているが、これに限らず、検査対象（シャ
ドウマスク）内の被検査物（穴）以外の領域の欠陥も検
出することができる。
【００３８】さらに、本実施例では、水平方向の変化量
Ｈijと垂直方向の変化量Ｖijを加算したものをその格子
の変化量Ｃijとし、その変化量Ｃijと予め設定してある
欠陥判定しきい値を比較して欠陥を判定しているが、水
平方向の変化量Ｈijと垂直方向の変化量Ｖijを加算せず
に独立に判定するようにしても良い。
Ｈijと垂直方向の変化量Ｖijを加算したものをその格子
の変化量Ｃijとし、その変化量Ｃijと予め設定してある
欠陥判定しきい値を比較して欠陥を判定しているが、水
平方向の変化量Ｈijと垂直方向の変化量Ｖijを加算せず
に独立に判定するようにしても良い。
【００３９】さらに、本実施例では、センサにエリアセ
ンサ３を用いているがこれに限らず、ラインセンサを用
いることも可能である。
ンサ３を用いているがこれに限らず、ラインセンサを用
いることも可能である。
【００４０】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、検
査対象をセンサで撮像することによって得られた画素毎
の輝度情報を縦横複数の画素行列からなる格子に切り分
け、その各格子内の各画素の輝度情報を加算して格子毎
の輝度加算値を求めることにより検査対象に生じる欠陥
を強調し、各格子間での輝度加算値の変化量を水平方向
および垂直方向のそれぞれについて求めることによって
さらに欠陥を強調しているので、検査対象に生じる欠陥
を高い精度で検出することができる。
査対象をセンサで撮像することによって得られた画素毎
の輝度情報を縦横複数の画素行列からなる格子に切り分
け、その各格子内の各画素の輝度情報を加算して格子毎
の輝度加算値を求めることにより検査対象に生じる欠陥
を強調し、各格子間での輝度加算値の変化量を水平方向
および垂直方向のそれぞれについて求めることによって
さらに欠陥を強調しているので、検査対象に生じる欠陥
を高い精度で検出することができる。
【図１】本発明に係る欠陥検出装置の一実施例を示すブ
ロック図である。
ロック図である。
【図２】画素毎の輝度情報を縦横複数の画素行列からな
る格子に切り分けた例を示す説明図である。
る格子に切り分けた例を示す説明図である。
【図３】図１に示した実施例の作用を示すフローチャー
トである。
トである。
【図４】中央部に欠陥のあるシャドウマスクを示す図で
ある。
ある。
【図５】図２に示す線上の輝度情報を表示した図であ
る。
る。
【図６】図２に示す線上の各格子の輝度加算値を最大値
で正規化して表示した図である。
で正規化して表示した図である。
【図７】任意の格子の輝度加算値の水平方向の変化量と
垂直方向の変化量を求める場合の説明図である。
垂直方向の変化量を求める場合の説明図である。
【図８】水平方向のＳｏｂｅｌフィルターを示す説明図
である。
である。
【図９】垂直方向のＳｏｂｅｌフィルターを示す説明図
である。
である。
【図１０】格子毎の変化量を正規化して表示した図であ
る。
る。
【図１１】図２に示す線上の各格子の変化量を正規化し
て表示した図である。
て表示した図である。
【図１２】所定の間隔でスリットの入った検査対象を示
す説明図である。
す説明図である。
【図１３】被検査物が複数種類ある場合の検査対象を示
す説明図である。
す説明図である。
１ 欠陥検出装置 ３ エリアセンサ ５ 輝度情報加算部 ７ 変化量算出部 ９ 検出部 １１ 表示部
Claims (6)
- 【請求項１】 所定のピッチで整列配置された複数の被
検査物から成る領域を検査対象とし、前記被検査物を含
む検査対象内の欠陥を検出する欠陥検出方法において、 前記被検査物を撮像して二次元に整列配置された複数の
画素毎の輝度情報をセンサで得る工程と、 前記センサによって得られた画素毎の輝度情報を前記ピ
ッチに対応させて縦横それぞれ所定数の画素行列からな
る格子に切り分け、その各格子内の各画素の輝度情報を
加算して各格子毎の輝度加算値を求める輝度情報加算工
程と、 各格子間での輝度加算値の変化量を水平方向および垂直
方向のそれぞれについて求める変化量算出工程と、 前記水平方向の変化量と垂直方向の変化量が所定より多
い場合、欠陥として検出する検出工程と、 から成ることを特徴とする欠陥検出方法。 - 【請求項２】 前記センサが、ラインセンサ若しくはエ
リアセンサであることを特徴とする請求項１記載の欠陥
検出方法。 - 【請求項３】 前記変化量算出工程は、任意の格子の輝
度加算値を中心とした周囲のｍ行ｎ列のＮ個（ｍ×ｎ
個）の輝度加算値を基に、予め設定される水平方向の第
１の係数テーブルと垂直方向の第２の係数テーブルを用
いて、水平方向の変化量と垂直方向の変化量を求める変
化量算出工程であることを特徴とする請求項１乃至２記
載の欠陥検出方法。 - 【請求項４】 所定のピッチで整列配置された複数の被
検査物から成る領域を検査対象とし、前記被検査物を含
む検査対象内の欠陥を検出する装置であって、 前記検査対象を撮像して二次元に整列配置された複数の
画素毎の輝度情報を得るセンサと、 前記センサによって得られた画素毎の輝度情報を前記ピ
ッチに対応させて縦横それぞれ所定数の画素行列からな
る格子に切り分け、その各格子内の各画素の輝度情報を
加算して各格子毎の輝度加算値を求める輝度情報加算部
と、 各格子間での輝度加算値の変化量を水平方向および垂直
方向のそれぞれについて求める変化量算出部と、 前記水平方向の変化量と垂直方向の変化量が所定より多
い場合、欠陥として検出する検出部と、 を具備することを特徴とする欠陥検出装置。 - 【請求項５】 前記センサが、ラインセンサ若しくはエ
リアセンサであることを特徴とする請求項４記載の欠陥
検出装置。 - 【請求項６】 前記変化量算出部は、任意の格子の輝度
加算値を中心とした周囲のｍ行ｎ列のＮ個（ｍ×ｎ個）
の輝度加算値を基に、予め設定される水平方向の第１の
係数テーブルと垂直方向の第２の係数テーブルを用い
て、水平方向の変化量と垂直方向の変化量を求める変化
量算出部であることを特徴とする請求項４乃至５記載の
欠陥検出装置。
Priority Applications (7)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26899293A JP3274255B2 (ja) | 1993-10-27 | 1993-10-27 | 欠陥検出方法および装置 |
| EP94307920A EP0651352A1 (en) | 1993-10-27 | 1994-10-27 | Method and apparatus of inspecting surface irregularity of an object article |
| KR1019940027545A KR100235476B1 (ko) | 1993-10-27 | 1994-10-27 | 피검사체의 표면검사방법 및 장치 |
| EP03023001A EP1383084A3 (en) | 1993-10-27 | 1994-10-27 | Method and apparatus of inspecting surface irregularity of an object article |
| US08/743,799 US5929996A (en) | 1993-10-27 | 1996-11-05 | Method and apparatus for detecting minute irregularities on the surface of an object |
| US09/299,762 US6023334A (en) | 1993-10-27 | 1999-04-27 | Method and apparatus for detecting minute irregularities on the surface of an object |
| US09/450,949 US6208417B1 (en) | 1993-10-27 | 1999-11-29 | Method and apparatus for detecting minute irregularities on the surface of an object |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26899293A JP3274255B2 (ja) | 1993-10-27 | 1993-10-27 | 欠陥検出方法および装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07122193A true JPH07122193A (ja) | 1995-05-12 |
| JP3274255B2 JP3274255B2 (ja) | 2002-04-15 |
Family
ID=17466162
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26899293A Expired - Lifetime JP3274255B2 (ja) | 1993-10-27 | 1993-10-27 | 欠陥検出方法および装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3274255B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100378057B1 (ko) * | 1998-10-26 | 2003-03-29 | 가부시끼가이샤 도시바 | 음극선관의 제조방법 및 그 장치 |
| KR100416775B1 (ko) * | 2001-07-19 | 2004-01-31 | 엘지전자 주식회사 | 디스플레이 장치 휘도 검사방법 |
| JPWO2003006968A1 (ja) * | 2001-07-09 | 2004-11-04 | 吉郎 山田 | 表面検査装置及び方法 |
| CN114519714A (zh) * | 2022-04-20 | 2022-05-20 | 中导光电设备股份有限公司 | 一种显示屏脏污缺陷判定的方法和系统 |
-
1993
- 1993-10-27 JP JP26899293A patent/JP3274255B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100378057B1 (ko) * | 1998-10-26 | 2003-03-29 | 가부시끼가이샤 도시바 | 음극선관의 제조방법 및 그 장치 |
| JPWO2003006968A1 (ja) * | 2001-07-09 | 2004-11-04 | 吉郎 山田 | 表面検査装置及び方法 |
| JP2009063592A (ja) * | 2001-07-09 | 2009-03-26 | Yoshiro Yamada | 表面検査装置及び方法 |
| KR100416775B1 (ko) * | 2001-07-19 | 2004-01-31 | 엘지전자 주식회사 | 디스플레이 장치 휘도 검사방법 |
| CN114519714A (zh) * | 2022-04-20 | 2022-05-20 | 中导光电设备股份有限公司 | 一种显示屏脏污缺陷判定的方法和系统 |
| CN114519714B (zh) * | 2022-04-20 | 2022-07-26 | 中导光电设备股份有限公司 | 一种显示屏脏污缺陷判定的方法和系统 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3274255B2 (ja) | 2002-04-15 |
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