JP2009063592A - 表面検査装置及び方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ラインイメージセンサ(13)を有するカメラ(11)により検査対象物(10)上を走査して得た画像データを演算処理手段(16)に入力し、ラインメモリ(17)と加算器(18)を用いて隣接する2つの主走査ラインの画像データを加算して画像データ列を生成し、演算処理器(19)により主走査方向に連続する複数の画素からなるブロック内の画像データを加算してブロック内加算データを生成し、主走査方向で互いに隣接するブロック内加算データの相関値を算出し、判定手段(20)で相関値を閾値判定する。
【選択図】 図1
Description
検査対象物を主走査方向に走査するラインセンサを有し、画像データを得るカメラと、
前記主走査方向と直交する副走査方向に前記カメラと検査対象物とを相対的に移動させる副走査手段と、
前記カメラから出力される画像データに対し演算処理を施して前記検査対象物の表面状態を検査する演算処理手段とを備え、
前記演算処理手段は、各主走査ラインの画像データに対して前記副走査方向において隣接する1つの主走査ラインの画像データを加算して該各主走査ラインの画像データ列を生成する画像データ列生成手段と、該画像データ列を用いて前記検査対象物の表面状態を検査する判定手段とを具備し、
前記画像データ列生成手段は、前記副走査方向において隣接する2つの主走査ラインの画像データ中の前記主走査方向における同一位置の2画素の画像データを加算した画像データ列を生成し、
前記判定手段は、前記画像データ列のうち前記主走査方向において連続する複数の画素からなるブロック内の画像データを加算してブロック内加算データを算出する累積手段と、前記主走査方向において隣接するブロックのブロック内加算データの相関値を算出する相関手段と、前記相関値を閾値判定する手段とを具備するものである。
検査対象物を主走査方向に走査するラインセンサを有し、画像データを得るカメラと、
前記主走査方向と直交する副走査方向に前記カメラと検査対象物とを相対的に移動させる副走査手段と、
前記カメラから出力される画像データに対し演算処理を施して前記検査対象物の表面状態を検査する演算処理手段とを備え、
前記演算処理手段は、各主走査ラインの画像データに対して前記副走査方向において隣接する1つの主走査ラインの画像データを加算して該各主走査ラインの画像データ列を生成する画像データ列生成手段と、該画像データ列を用いて前記検査対象物の表面状態を検査する判定手段とを具備し、
前記画像データ列生成手段は、前記副走査方向において隣接する2つの主走査ラインの画像データ中の前記副走査方向に隣接し、かつ前記主走査方向に隣接する4画素の画像データを加算した画像データ列を生成し、
前記判定手段は、前記画像データ列のうち前記主走査方向において連続する複数の画素からなるブロック内の画像データを加算してブロック内加算データを算出する累積手段と、前記主走査方向において隣接するブロックのブロック内加算データの相関値を算出する相関手段と、前記相関値を閾値判定する手段とを具備するものである。
検査対象物を主走査方向に走査するラインセンサを有し、画像データを得るカメラと、
前記主走査方向と直交する副走査方向に前記カメラと検査対象物とを相対的に移動させる副走査手段と、
前記カメラから出力される画像データに対し演算処理を施して前記検査対象物の表面状態を検査する演算処理手段とを備え、
前記演算処理手段は、各主走査ラインの画像データに対して前記副走査方向において隣接する1つの主走査ラインの画像データを加算して該各主走査ラインの画像データ列を生成する画像データ列生成手段と、該画像データ列を用いて前記検査対象物の表面状態を検査する判定手段とを具備し、
前記画像データ列生成手段は、前記副走査方向において隣接する2つの主走査ラインの画像データ中の前記主走査方向における同一位置の2画素の画像データを加算する第1画像データ列、前記副走査方向に対して第1の斜めの方向で隣接する2画素の画像データを加算する第2画像データ列、前記副走査方向に対して第2の斜めの方向で隣接する2画素の画像データを加算する第3画像データ列の少なくともいずれかを生成し、
前記判定手段は、前記第1画像データ列、第2画像データ列、第3画像データ列の少なくともいずれかのデータ列のうち前記主走査方向において連続する複数の画素からなるブロック内の画像データを加算してブロック内加算データを算出する累積手段と、前記主走査方向において隣接するブロックのブロック内加算データの相関値を算出する相関手段と、前記相関値を閾値判定する手段とを具備するものである。
検査対象物を主走査方向に走査するラインセンサを有し、画像データを得るカメラを用いる表面検査方法において、
前記主走査方向と直交する副走査方向に前記カメラと検査対象物とを相対的に移動させるステップと、
前記カメラから出力される画像データに対し演算処理を施して前記検査対象物の表面状態を検査する演算処理ステップとを備え、
前記演算処理ステップは、各主走査ラインの画像データに対して前記副走査方向において隣接する1つの主走査ラインの画像データを加算して該各主走査ラインの画像データ列を生成する画像データ列生成ステップと、該画像データ列を用いて前記検査対象物の表面状態を検査する判定ステップとを具備し、
前記画像データ列生成ステップは、前記副走査方向において隣接する2つの主走査ラインの画像データ中の前記主走査方向における同一位置の2画素の画像データを加算した画像データ列を生成し、
前記判定ステップは、前記画像データ列のうち前記主走査方向において連続する複数の画素からなるブロック内の画像データを加算してブロック内加算データを算出するステップと、前記主走査方向において隣接するブロックのブロック内加算データの相関値を算出するステップと、前記相関値を閾値判定するステップとを具備するものである。
検査対象物を主走査方向に走査するラインセンサを有し、画像データを得るカメラを陥る表面検査方法において、
前記主走査方向と直交する副走査方向に前記カメラと検査対象物とを相対的に移動させるステップと、
前記カメラから出力される画像データに対し演算処理を施して前記検査対象物の表面状態を検査する演算処理ステップとを備え、
前記演算処理ステップは、各主走査ラインの画像データに対して前記副走査方向において隣接する1つの主走査ラインの画像データを加算して該各主走査ラインの画像データ列を生成する画像データ列生成ステップと、該画像データ列を用いて前記検査対象物の表面状態を検査する判定ステップとを具備し、
前記画像データ列生成ステップは、前記副走査方向において隣接する2つの主走査ラインの画像データ中の前記副走査方向に隣接し、かつ前記主走査方向に隣接する4画素の画像データを加算した画像データ列を生成し、
前記判定ステップは、前記画像データ列のうち前記主走査方向において連続する複数の画素からなるブロック内の画像データを加算してブロック内加算データを算出するステップと、前記主走査方向において隣接するブロックのブロック内加算データの相関値を算出するステップと、前記相関値を閾値判定するステップとを具備するものである。
検査対象物を主走査方向に走査するラインセンサを有し、画像データを得るカメラを用いる表面検査方法において、
前記主走査方向と直交する副走査方向に前記カメラと検査対象物とを相対的に移動させるステップと、
前記カメラから出力される画像データに対し演算処理を施して前記検査対象物の表面状態を検査する演算処理ステップとを備え、
前記演算処理ステップは、各主走査ラインの画像データに対して前記副走査方向において隣接する1つの主走査ラインの画像データを加算して該各主走査ラインの画像データ列を生成する画像データ列生成ステップと、該画像データ列を用いて前記検査対象物の表面状態を検査する判定ステップとを具備し、
前記画像データ列生成ステップは、前記副走査方向において隣接する2つの主走査ラインの画像データ中の前記主走査方向における同一位置の2画素の画像データを加算する第1画像データ列、前記副走査方向に対して第1の斜めの方向で隣接する2画素の画像データを加算する第2画像データ列、前記副走査方向に対して第2の斜めの方向で隣接する2画素の画像データを加算する第3画像データ列の少なくともいずれかを生成し、
前記判定ステップは、前記第1画像データ列、第2画像データ列、第3画像データ列の少なくともいずれかのデータ列のうち前記主走査方向において連続する複数の画素からなるブロック内の画像データを加算してブロック内加算データを算出する累積ステップと、前記主走査方向において隣接するブロックのブロック内加算データの相関値を算出するステップと、前記相関値を閾値判定するステップとを具備するものである。
図1は、本発明の第1の実施形態に係る表面検査装置の構成を示す図である。検査対象物10は例えば押し出し成形物、引き抜き成形物やロール成形物などであり、表面検査時には図示しない主走査装置によって矢印Yで示す方向(副走査方向)に移動する。なお、成形物を成形時に検査する場合は、成形機の搬送機構が副走査装置となるので、格別な副走査装置を設ける必要はない。この検査対象物10に対向して、ディジタルカメラ11が設置されている。
次に、図9を参照して本発明の第2の実施形態について説明する。第2実施形態に係る表面検査装置の構成は図1に示した第1実施形態のものと同一である。
第2実施形態に係る表面検査装置の全体構成も図1に示した第1実施形態のものと同一である。第2実施形態と同様、第3実施形態も画像データ列の生成方法の変形に関する。
Claims (13)
- 検査対象物を主走査方向に走査するラインセンサを有し、画像データを得るカメラと、
前記主走査方向と直交する副走査方向に前記カメラと検査対象物とを相対的に移動させる副走査手段と、
前記カメラから出力される画像データに対し演算処理を施して前記検査対象物の表面状態を検査する演算処理手段とを備え、
前記演算処理手段は、各主走査ラインの画像データに対して前記副走査方向において隣接する1つの主走査ラインの画像データを加算して該各主走査ラインの画像データ列を生成する画像データ列生成手段と、該画像データ列を用いて前記検査対象物の表面状態を検査する判定手段とを具備し、
前記画像データ列生成手段は、前記副走査方向において隣接する2つの主走査ラインの画像データ中の前記主走査方向における同一位置の2画素の画像データを加算した画像データ列を生成し、
前記判定手段は、前記画像データ列のうち前記主走査方向において連続する複数の画素からなるブロック内の画像データを加算してブロック内加算データを算出する累積手段と、前記主走査方向において隣接するブロックのブロック内加算データの相関値を算出する相関手段と、前記相関値を閾値判定する手段とを具備する表面検査装置。 - 検査対象物を主走査方向に走査するラインセンサを有し、画像データを得るカメラと、
前記主走査方向と直交する副走査方向に前記カメラと検査対象物とを相対的に移動させる副走査手段と、
前記カメラから出力される画像データに対し演算処理を施して前記検査対象物の表面状態を検査する演算処理手段とを備え、
前記演算処理手段は、各主走査ラインの画像データに対して前記副走査方向において隣接する1つの主走査ラインの画像データを加算して該各主走査ラインの画像データ列を生成する画像データ列生成手段と、該画像データ列を用いて前記検査対象物の表面状態を検査する判定手段とを具備し、
前記画像データ列生成手段は、前記副走査方向において隣接する2つの主走査ラインの画像データ中の前記副走査方向に隣接し、かつ前記主走査方向に隣接する4画素の画像データを加算した画像データ列を生成し、
前記判定手段は、前記画像データ列のうち前記主走査方向において連続する複数の画素からなるブロック内の画像データを加算してブロック内加算データを算出する累積手段と、前記主走査方向において隣接するブロックのブロック内加算データの相関値を算出する相関手段と、前記相関値を閾値判定する手段とを具備する表面検査装置。 - 検査対象物を主走査方向に走査するラインセンサを有し、画像データを得るカメラと、
前記主走査方向と直交する副走査方向に前記カメラと検査対象物とを相対的に移動させる副走査手段と、
前記カメラから出力される画像データに対し演算処理を施して前記検査対象物の表面状態を検査する演算処理手段とを備え、
前記演算処理手段は、各走査ラインの画像データに対して前記副走査方向において隣接する1つの主走査ラインの画像データを加算して該各主走査ラインの画像データ列を生成する画像データ列生成手段と、該画像データ列を用いて前記検査対象物の表面状態を検査する判定手段とを具備し、
前記画像データ列生成手段は、前記副走査方向において隣接する2つの主走査ラインの画像データ中の前記主走査方向における同一位置の2画素の画像データを加算する第1画像データ列、前記副走査方向に対して第1の斜めの方向で隣接する2画素の画像データを加算する第2画像データ列、前記副走査方向に対して第2の斜めの方向で隣接する2画素の画像データを加算する第3画像データ列の少なくともいずれかを生成し、
前記判定手段は、前記第1画像データ列、第2画像データ列、第3画像データ列の少なくともいずれかのデータ列のうち前記主走査方向において連続する複数の画素からなるブロック内の画像データを加算してブロック内加算データを算出する累積手段と、前記主走査方向において隣接するブロックのブロック内加算データの相関値を算出する相関手段と、前記相関値を閾値判定する手段とを具備する表面検査装置。 - 前記画像データ列生成手段は、前記カメラから出力される画像データを少なくとも1主走査ライン分記憶保持するラインメモリと、該ラインメモリの入出力の画像データを加算して前記画像データ列を得る加算器とを具備する請求項1または請求項2記載の表面検査装置。
- 前記画像データ列生成手段は、前記カメラから出力される画像データを少なくとも1主走査ライン分記憶保持するラインメモリと、該ラインメモリの入力の画像データと1主走査ライン前の画像データを加算して前記第1画像データ列を生成する第1の加算器と、該ラインメモリの入力の画像データと(1主走査ライン+1画素)前の画像データを加算して前記第2画像データ列を生成する第2の加算器と、該ラインメモリの入力の画像データと(1主走査ライン−1画素)前の画像データを加算して前記第3画像データ列を生成する第3の加算器とを具備する請求項3記載の表面検査装置。
- 前記判定手段は、前記ブロックを前記主走査方向に1画素づつシフトさせて前記ブロック内加算と相関演算を繰り返し行う請求項1乃至請求項3のいずれか一項記載の表面検査装置。
- 前記副走査手段は、前記検査対象物を前記カメラに対して前記副走査方向に移動させる請求項1乃至請求項3のいずれか一項記載の表面検査装置。
- 前記副走査手段は、前記カメラを前記検査対象物に対して副走査方向に移動させる請求項1乃至請求項3のいずれか一項記載の表面検査装置。
- 前記副走査手段は、前記カメラのレンズを前記ラインセンサに対して前記副走査方向に移動させる請求項1乃至請求項3のいずれか一項記載の表面検査装置。
- 前記副走査手段は、前記カメラのレンズ及びイメージセンサを前記検査対象物に対して前記副走査方向に移動させる請求項1乃至請求項3のいずれか一項に記載の表面検査装置。
- 検査対象物を主走査方向に走査するラインセンサを有し、画像データを得るカメラを用いる表面検査方法において、
前記主走査方向と直交する副走査方向に前記カメラと検査対象物とを相対的に移動させるステップと、
前記カメラから出力される画像データに対し演算処理を施して前記検査対象物の表面状態を検査する演算処理ステップとを備え、
前記演算処理ステップは、各主走査ラインの画像データに対して前記副走査方向において隣接する1つの主走査ラインの画像データを加算して該各主走査ラインの画像データ列を生成する画像データ列生成ステップと、該画像データ列を用いて前記検査対象物の表面状態を検査する判定ステップとを具備し、
前記画像データ列生成ステップは、前記副走査方向において隣接する2つの主走査ラインの画像データ中の前記主走査方向における同一位置の2画素の画像データを加算した画像データ列を生成し、
前記判定ステップは、前記画像データ列のうち前記主走査方向において連続する複数の画素からなるブロック内の画像データを加算してブロック内加算データを算出するステップと、前記主走査方向において隣接するブロックのブロック内加算データの相関値を算出するステップと、前記相関値を閾値判定するステップとを具備する表面検査方法。 - 検査対象物を主走査方向に走査するラインセンサを有し、画像データを得るカメラを陥る表面検査方法において、
前記主走査方向と直交する副走査方向に前記カメラと検査対象物とを相対的に移動させるステップと、
前記カメラから出力される画像データに対し演算処理を施して前記検査対象物の表面状態を検査する演算処理ステップとを備え、
前記演算処理ステップは、各主走査ラインの画像データに対して前記副走査方向において隣接する1つの主走査ラインの画像データを加算して該各主走査ラインの画像データ列を生成する画像データ列生成ステップと、該画像データ列を用いて前記検査対象物の表面状態を検査する判定ステップとを具備し、
前記画像データ列生成ステップは、前記副走査方向において隣接する2つの主走査ラインの画像データ中の前記副走査方向に隣接し、かつ前記主走査方向に隣接する4画素の画像データを加算した画像データ列を生成し、
前記判定ステップは、前記画像データ列のうち前記主走査方向において連続する複数の画素からなるブロック内の画像データを加算してブロック内加算データを算出するステップと、前記主走査方向において隣接するブロックのブロック内加算データの相関値を算出するステップと、前記相関値を閾値判定するステップとを具備する表面検査方法。 - 検査対象物を主走査方向に走査するラインセンサを有し、画像データを得るカメラを用いる表面検査方法において、
前記主走査方向と直交する副走査方向に前記カメラと検査対象物とを相対的に移動させるステップと、
前記カメラから出力される画像データに対し演算処理を施して前記検査対象物の表面状態を検査する演算処理ステップとを備え、
前記演算処理ステップは、各主走査ラインの画像データに対して前記副走査方向において隣接する1つの主走査ラインの画像データを加算して該各主走査ラインの画像データ列を生成する画像データ列生成ステップと、該画像データ列を用いて前記検査対象物の表面状態を検査する判定ステップとを具備し、
前記画像データ列生成ステップは、前記副走査方向において隣接する2つの主走査ラインの画像データ中の前記主走査方向における同一位置の2画素の画像データを加算する第1画像データ列、前記副走査方向に対して第1の斜めの方向で隣接する2画素の画像データを加算する第2画像データ列、前記副走査方向に対して第2の斜めの方向で隣接する2画素の画像データを加算する第3画像データ列の少なくともいずれかを生成し、
前記判定ステップは、前記第1画像データ列、第2画像データ列、第3画像データ列の少なくともいずれかのデータ列のうち前記主走査方向において連続する複数の画素からなるブロック内の画像データを加算してブロック内加算データを算出する累積ステップと、前記主走査方向において隣接するブロックのブロック内加算データの相関値を算出するステップと、前記相関値を閾値判定するステップとを具備する表面検査方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008312587A JP4932819B2 (ja) | 2001-07-09 | 2008-12-08 | 表面検査装置及び方法 |
Applications Claiming Priority (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001207321 | 2001-07-09 | ||
JP2001207321 | 2001-07-09 | ||
JP2001214340 | 2001-07-13 | ||
JP2001214340 | 2001-07-13 | ||
JP2008312587A JP4932819B2 (ja) | 2001-07-09 | 2008-12-08 | 表面検査装置及び方法 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003512687A Division JP4250076B2 (ja) | 2001-07-09 | 2002-07-05 | 表面検査装置及び方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009063592A true JP2009063592A (ja) | 2009-03-26 |
JP4932819B2 JP4932819B2 (ja) | 2012-05-16 |
Family
ID=26618333
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003512687A Expired - Lifetime JP4250076B2 (ja) | 2001-07-09 | 2002-07-05 | 表面検査装置及び方法 |
JP2008312587A Expired - Lifetime JP4932819B2 (ja) | 2001-07-09 | 2008-12-08 | 表面検査装置及び方法 |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003512687A Expired - Lifetime JP4250076B2 (ja) | 2001-07-09 | 2002-07-05 | 表面検査装置及び方法 |
Country Status (10)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6878956B2 (ja) |
EP (1) | EP1406083B1 (ja) |
JP (2) | JP4250076B2 (ja) |
KR (1) | KR100877449B1 (ja) |
CN (1) | CN1247987C (ja) |
AT (1) | ATE456792T1 (ja) |
DE (1) | DE60235236D1 (ja) |
ES (1) | ES2339338T3 (ja) |
TW (1) | TWI233988B (ja) |
WO (1) | WO2003006968A1 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104322046A (zh) * | 2012-03-29 | 2015-01-28 | 安特利昂成像有限责任公司 | 用于捕获移动对象的图像的成像设备 |
Families Citing this family (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7107158B2 (en) * | 2003-02-03 | 2006-09-12 | Qcept Technologies, Inc. | Inspection system and apparatus |
JP4165706B2 (ja) * | 2004-01-26 | 2008-10-15 | 株式会社リコー | 原稿読み取り装置および画像形成装置 |
JP4751704B2 (ja) * | 2005-11-17 | 2011-08-17 | 吉郎 山田 | 形態検査方法及びシステム |
JP5481012B2 (ja) * | 2006-06-05 | 2014-04-23 | 吉郎 山田 | 表面検査装置 |
EP1972930B1 (de) * | 2007-03-19 | 2019-11-13 | Concast Ag | Verfahren zur Erkennung von Oberflächenmerkmalen metallurgischer Erzeugnisse, insbesondere Strangguss- und Walzerzeugnisse, sowie eine Einrichtung zur Durchführung des Verfahrens |
EP2147296A1 (en) * | 2007-04-18 | 2010-01-27 | Micronic Laser Systems Ab | Method and apparatus for mura detection and metrology |
JP5557482B2 (ja) * | 2009-06-23 | 2014-07-23 | 株式会社日立製作所 | 検査性評価方法 |
JP6453780B2 (ja) | 2013-03-12 | 2019-01-16 | マイクロニック アーベーMycronic Ab | 機械的に形成されるアライメント基準体の方法及び装置 |
WO2014140047A2 (en) | 2013-03-12 | 2014-09-18 | Micronic Mydata AB | Method and device for writing photomasks with reduced mura errors |
CN104914133B (zh) * | 2015-06-19 | 2017-12-22 | 合肥京东方光电科技有限公司 | 摩擦缺陷检测装置 |
SG11201808609YA (en) * | 2016-03-30 | 2018-10-30 | Agency Science Tech & Res | System and method for imaging a surface defect on an object |
TWI778072B (zh) | 2017-06-22 | 2022-09-21 | 以色列商奧寶科技有限公司 | 用於在超高解析度面板中偵測缺陷之方法 |
Citations (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5068799A (en) * | 1985-04-24 | 1991-11-26 | Jarrett Jr Harold M | System and method for detecting flaws in continuous web materials |
JPH07122193A (ja) * | 1993-10-27 | 1995-05-12 | Toshiba Eng Co Ltd | 欠陥検出方法および装置 |
JPH07225196A (ja) * | 1994-02-10 | 1995-08-22 | Toshiba Eng Co Ltd | 欠陥検出方法および装置 |
JPH07229853A (ja) * | 1994-02-15 | 1995-08-29 | Toshiba Eng Co Ltd | 斑検出方法および装置 |
JPH09304286A (ja) * | 1996-05-21 | 1997-11-28 | Canon Inc | 欠陥検出処理装置及び方法 |
JPH10198798A (ja) * | 1997-01-10 | 1998-07-31 | Hitachi Ltd | 並列処理方法及びその装置 |
JPH112611A (ja) * | 1997-06-11 | 1999-01-06 | Hitachi Ltd | シート状部材の製造方法およびシート状部材の検査方法およびシート状部材の欠陥検査装置 |
JPH11242000A (ja) * | 1997-06-16 | 1999-09-07 | Hitachi Ltd | セラミックス管の検査方法,その装置及び検査システム |
US5990468A (en) * | 1994-11-02 | 1999-11-23 | Cornuejols; Georges | Device for the automatic detection and inspection of defects on a running web, such as a textile fabric |
JP2000020695A (ja) * | 1998-07-02 | 2000-01-21 | Asahi Optical Co Ltd | 画像処理方法 |
JP2000298101A (ja) * | 1999-04-15 | 2000-10-24 | Toshiba Corp | 紙葉類検査装置 |
JP2000315712A (ja) * | 1993-03-09 | 2000-11-14 | Hitachi Ltd | 半導体デバイスの生産方法 |
JP2001004552A (ja) * | 1999-06-25 | 2001-01-12 | Canon Inc | 物体表面の欠陥検査方法および装置 |
JP2001010024A (ja) * | 1999-07-01 | 2001-01-16 | Dainippon Printing Co Ltd | 検査装置 |
US6208417B1 (en) * | 1993-10-27 | 2001-03-27 | Toshiba Engineering Corporation | Method and apparatus for detecting minute irregularities on the surface of an object |
JP2001143079A (ja) * | 1999-11-12 | 2001-05-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 画像処理方法と装置 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
BE790686A (nl) * | 1971-10-27 | 1973-04-27 | Hoogovens Ijmuiden Bv | Inrichting voor het optisch waarnemen van oppervlaktefouten aaneen voortlopende metalen band |
US4707734A (en) * | 1985-06-17 | 1987-11-17 | The Perkin-Elmer Corporation | Coarse flaw detector for printed circuit board inspection |
JPH01216242A (ja) * | 1988-02-25 | 1989-08-30 | Hiyuutec:Kk | 欠陥検査方法 |
JP2591292B2 (ja) * | 1990-09-05 | 1997-03-19 | 日本電気株式会社 | 画像処理装置とそれを用いた自動光学検査装置 |
-
2002
- 2002-07-05 WO PCT/JP2002/006856 patent/WO2003006968A1/ja active Application Filing
- 2002-07-05 EP EP02743843A patent/EP1406083B1/en not_active Expired - Lifetime
- 2002-07-05 AT AT02743843T patent/ATE456792T1/de active
- 2002-07-05 ES ES02743843T patent/ES2339338T3/es not_active Expired - Lifetime
- 2002-07-05 KR KR1020037003404A patent/KR100877449B1/ko active IP Right Grant
- 2002-07-05 DE DE60235236T patent/DE60235236D1/de not_active Expired - Lifetime
- 2002-07-05 CN CNB028023382A patent/CN1247987C/zh not_active Expired - Lifetime
- 2002-07-05 JP JP2003512687A patent/JP4250076B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 2002-07-09 TW TW091115110A patent/TWI233988B/zh not_active IP Right Cessation
-
2003
- 2003-03-07 US US10/383,830 patent/US6878956B2/en not_active Expired - Lifetime
-
2008
- 2008-12-08 JP JP2008312587A patent/JP4932819B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5068799A (en) * | 1985-04-24 | 1991-11-26 | Jarrett Jr Harold M | System and method for detecting flaws in continuous web materials |
JP2000315712A (ja) * | 1993-03-09 | 2000-11-14 | Hitachi Ltd | 半導体デバイスの生産方法 |
JPH07122193A (ja) * | 1993-10-27 | 1995-05-12 | Toshiba Eng Co Ltd | 欠陥検出方法および装置 |
US6208417B1 (en) * | 1993-10-27 | 2001-03-27 | Toshiba Engineering Corporation | Method and apparatus for detecting minute irregularities on the surface of an object |
JPH07225196A (ja) * | 1994-02-10 | 1995-08-22 | Toshiba Eng Co Ltd | 欠陥検出方法および装置 |
JPH07229853A (ja) * | 1994-02-15 | 1995-08-29 | Toshiba Eng Co Ltd | 斑検出方法および装置 |
US5990468A (en) * | 1994-11-02 | 1999-11-23 | Cornuejols; Georges | Device for the automatic detection and inspection of defects on a running web, such as a textile fabric |
JPH09304286A (ja) * | 1996-05-21 | 1997-11-28 | Canon Inc | 欠陥検出処理装置及び方法 |
JPH10198798A (ja) * | 1997-01-10 | 1998-07-31 | Hitachi Ltd | 並列処理方法及びその装置 |
JPH112611A (ja) * | 1997-06-11 | 1999-01-06 | Hitachi Ltd | シート状部材の製造方法およびシート状部材の検査方法およびシート状部材の欠陥検査装置 |
JPH11242000A (ja) * | 1997-06-16 | 1999-09-07 | Hitachi Ltd | セラミックス管の検査方法,その装置及び検査システム |
JP2000020695A (ja) * | 1998-07-02 | 2000-01-21 | Asahi Optical Co Ltd | 画像処理方法 |
JP2000298101A (ja) * | 1999-04-15 | 2000-10-24 | Toshiba Corp | 紙葉類検査装置 |
JP2001004552A (ja) * | 1999-06-25 | 2001-01-12 | Canon Inc | 物体表面の欠陥検査方法および装置 |
JP2001010024A (ja) * | 1999-07-01 | 2001-01-16 | Dainippon Printing Co Ltd | 検査装置 |
JP2001143079A (ja) * | 1999-11-12 | 2001-05-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 画像処理方法と装置 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104322046A (zh) * | 2012-03-29 | 2015-01-28 | 安特利昂成像有限责任公司 | 用于捕获移动对象的图像的成像设备 |
CN104322046B (zh) * | 2012-03-29 | 2017-02-22 | 安特利昂成像有限责任公司 | 用于捕获移动对象的图像的成像设备 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN1464975A (zh) | 2003-12-31 |
KR100877449B1 (ko) | 2009-01-07 |
CN1247987C (zh) | 2006-03-29 |
KR20030027120A (ko) | 2003-04-03 |
JPWO2003006968A1 (ja) | 2004-11-04 |
US6878956B2 (en) | 2005-04-12 |
DE60235236D1 (de) | 2010-03-18 |
WO2003006968A1 (fr) | 2003-01-23 |
US20030151008A1 (en) | 2003-08-14 |
EP1406083A4 (en) | 2005-07-27 |
ATE456792T1 (de) | 2010-02-15 |
TWI233988B (en) | 2005-06-11 |
JP4250076B2 (ja) | 2009-04-08 |
ES2339338T3 (es) | 2010-05-19 |
JP4932819B2 (ja) | 2012-05-16 |
EP1406083B1 (en) | 2010-01-27 |
EP1406083A1 (en) | 2004-04-07 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A02 | Decision of refusal |
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|
A521 | Request for written amendment filed |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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