TWI233988B - Surface inspection device and method - Google Patents

Description

1233988 五、發明說明（l) 本發明係關於一種矣A k 士 用具有影像感測器之照相撼=二裝置及其檢查方法，係使 象物之傷痕及污垢等之缺二=成形物及其他各種檢查對 卞<缺陷之表面檢杳者。 以往，於檢查例如樁懕 - 形物等之檢查對象物之身而i t!拉拔成形物及輥壓成 變換元件排列成一次元所構、，=時，/係使用具有將光電 相機等之照相機。該昭相撫# 1性影像感測器的CCD照 描而將所付之晝像資料作演算處理而實行檢杳。 使用於錄像照相機等之—一 π Μ灯衔笪 拍攝畫素係於視野寬度方向：n J測器#，通常其 性影像感測器可於視野寬产^ 旦素，相對於此，線 素，因此藉由使用線2體化數千晝素之拍攝畫 測器所不能達到之寬測；係二次元影像感 之表面檢查。 鋼鐵、紙、軟片等之檢查對象物 於此種照相機上， 係依光電變換元件之狀 齊之情形係由構成影像 之差等之原因所產生， 採用3%左右之值。上述 關於影像感測器之亮度之讀取精度 況而有參差不齊之情形。此參差不 感測器之各個光電變換元件之感度 係被稱為"元件參差不齊，，，通常係 之習知之表面檢查裝置者，於無有 超過前述元件參差不齊之範圍的亮度變化時，則無法實行

微細缺陷等之檢測。而利用目視之明暗檢測精度據稱為 1 / 1 50 0〜1 /20 0 0，因此使用線性影像感測器之表面檢查裝 置僅有目視之1/60之精度，而無法替代目視檢查。 因此’被設想有各種可補償影像感測器之元件參差不

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五、發明說明（2) 齊之方法。其一 測器所取得之晝 晝素所組成之方 之方塊之加算資 惟’此方法 接之像素缺陷， 缺陷，及跨設於 掃描線上之缺陷 本發明之目 法，其可檢測出 線上之缺陷與在 鄰接之主掃描線 本發明之表 主知描方向掃描 料；一副掃描裝 動於和前述主掃 理裝備，係對前 理’而檢查前述 處理裝備更具備 掃描方向上相鄰 生成畫像資料列 檢查前述檢查對 以下茲參昭 第一實施型 例’為公知 像資料列中 塊之圖像資 料之相關演 雖可檢測出 但無法檢測 在主掃描線 。因此，檢 的在於提供 鄰接檢查對 主掃描線上 上之缺陷， 面檢查裝置 檢查對象物 備’係使前 知方向垂直 述照相機所 檢查對象物 # : 一晝像 接之兩個主 I ; 一判定 象物之表面 圖示說明本 態 之技術 將連續 料作相 算。 在一條 出跨設 上之鄰 查精度 一種表 象物上 跨設於 可高精 係具有 之線性 述照相 相交之 輸出之 之表面 資料列 掃描線 裝備， 狀態者 發明之 ，係於利 於主掃描 加處理， 主掃描線 於鄰接之 接之晝素 之提高係 面檢查裝 之缺陷的 鄰接之晝 度地檢查 :一照相 感測器， 機與檢查 副掃描方 畫像資料 狀態者； 生成裝備 之畫像資 係使用前 〇 實施型態 周線性影像感 方向之多數個 且實行將鄰接 上跨設 主掃描 上且跨 有其限 置及其 跨設於 素上且 表面狀 機，其 可取得 對象物 向；一 實行演 其中前 ，係將 料予以 述畫像 於相鄰 線上之 設於主 度。 檢查方 主知描 跨設於 態者。 具有於 晝像資 相對移 演算處 算處 述演算 前述副 相加而 資料列

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五 '發明說明（3) 第-圖為本發明之第一實施型態有關之表面檢 之構成不意圖。檢查對象物1〇例如為擠出成形物拔 形物或輥壓成形㈣，於表面檢查時藉由圖 裝置移動於箭頭γ所示之方向（副掃描方向）。又，Y田 :檢查成形物之場合’因成形機之搬送機構係成為副掃； f:置，故不必另外設置副掃描裝置。以與前述檢 10相對向之方式设置有數位照相機丨i。 數位照相機11係由結像透鏡丨2、CCD線性影像感 之類之線性影像感測器丨3、放大器丨4及人/1}轉換器丨5所才^ f，檢查對象物10之表面之晝像係介以結像透鏡12結像於 各性影像感測器1 3上。令線性影像感測器丨3之於檢查對象 =10上之讀取寬度為W，於結像透鏡12為標準透鏡之場 σ ，則照相機11至檢查對象物10之距離（對物距離）係設 於約1. 5W。 線性影像感測器1 3係於箭頭X所示之方向（主掃描方 上排列多數個（例如51 2 0個）光電變換元件所構成，係 藉^由圖未示之副掃描裝置在與主掃描方向垂直相交之方向 (田彳掃描方向）γ作相對性移動之檢查對象物丨〇上於主掃描 方向上作掃描而讀取檢查對象物丨〇之表面狀態而輸出畫 訊號。 一 副掃描裝置係使影像感測器1 3與結像於影像感測器1 3 ^之檢查對象物1 〇之像相對地移動於與主掃描方向垂直相 父之副掃描方向上之裝置，除如上述般（a)將檢查對象物 1 0於線性影像感測器1 3上相對移動於副掃描方向上之外，

1233988 五、發明說明（4) 亦可為（b)將線性影像感測器丨3 地移動於副掃描方向，(c)將=查對象物10相對 寸、、、。像透鏡;[2相董+於竣姓寻〈禮 感測器13相對地移動於副掃描方向，（3 = f = = 3 器1 3及結像透鏡1 2相對於檢杳對象 、、，泉性衫像感測 描方向。 饱笪對象物1M目對地移動於副掃 在此，特別是（b)、（c)、（d)之場合，將線性影像感 ::J13與結像透鏡12例如使用積層型之壓電作動 〜 :動器般之可實行微小驅動之微作動器作移動(振動)即 自線性影像感測器13輸出之晝像訊號於以放大哭14放 大後，復以A/D轉換器15變換成例如8位元平行之數二 料，而自數位照相機11當作畫像資料輸 、 自數位照像機1丨輸出之畫像資料係被輸入晝像處理裝 置1 6。畫像處理裝置丨6係對輸入之畫像資料實施一定之佥 像處理，藉此輸出檢查對象物1〇之表面狀態之檢查社果1 於本例中係以線性記憶體17、加法器18、演算 判定器2。所構成。 慝理器19及 線性記憶體1 7係記憶自數位照相機丨丨輸入之至少一主 掃描線份之晝像資料用之記憶體，係由與線性影像感測器 13上之光電變換元件之元件數（例如512〇個元件）為相同段 數之移位暫存器（shift register)或FIFO(先入先出）記情 體所構成。 ^ 自數位照相機11輸出之晝像資料係供給至加法器18之 弟輸入&且供給至線性記憶體1 7。線性記憶體1 γ之輸出

第7頁 1233988 五、發明說明（5) 係被供給至加法器1 8之第二輸入端。加法器丨7係將線性記 憶體1 7之輸出入晝像資料A，B相加。 一在此，分別輸入至加法器丨8之第一及第二入A，B之晝 像貪料係對應於自線性影像感測器1 3之同一元件所得之晝 像訊號。亦即，相對於加法器丨8之輸入A，輸入B藉由線性 記憶體1 7延遲一主掃描線份之時間。例如於輸入a輸入有 對應於線性影像感應器1 3之第i個（丨=1，2…）之元件的畫 像貧料時，對輸入B自線性記憶體丨7輸入同樣對應於第土個 元，之一主掃描線前之畫像資料。因此，在加法器丨8中， 如第二圖所示般，分別輸入至A，B之副掃描方向之鄰接之 兩個主掃描線（第N條線與第N + 1條線、第N+1條線與第n + 2 條線·）之晝像資料2 1係被相加，而生成畫像資料列 如此，由以線性記憶體1 7與加法器1 8所構成之晝像資 料列生成器所產生之晝像資料列22係被輸入至演算處理器 Η。演算處理器Η係對加法器18所輸出之晝像資料列加二 (積算以）=主掃描方向χ上連續之多數之晝素所構成之方 鬼5耳像：ί而產生方塊内加法資料，而將其作為方塊内 之最初之旦素之晝素資料，且將方塊之位置移位至主掃插 ::而重複實行演算於主掃描方向相互鄰接之方塊内之加 异貨料之相關值的處理。 、具體上，演算處理器19如第三圖所示係由以使出自加 法器1 8之晝像資料列22 (參照第二圖）被輸入至初 作接續之Μ段之移位暫存器31及㈣段之移位暫存器^，與^

第8頁 1233988 五、發明說明（6) :字移位暫存器31之各段之輸出相 暫存器32之後段之]^段之鈐屮 法1533與將移位 、、共哭q q 〇, 之輸出相加之加法器34，與接收加 / - 、34之輸出之相關器3 5所構成。在此，於胳 描線之書傻眘祖夕查主\ 在此，於將一主掃 數之金；Ϊ 割成連續於主掃描方向上之由多 旦素所構成之方塊時，Μ成為構 之值；為可任意變更者則甚佳，例如成為二數。此Μ 弟四圖為說明演算處理哭丨9 上，於自加法器18輸：：；：資;It之圖。在加法器33 描方向之由Μ畫素所盖Λ旦像貝科列22中係將連續於主掃 在加法哭34 於I冓成個方塊之畫像資料相加。而 牡刀口法為中，於畫像資料 像資料相加之方塊，係將對於以加法器33將畫 佥於：欠、M L ’乎、將鄰接於主掃描方向之次一方抬夕 一係作Λ相關 器31、32時钭第畫素資料於每次被輸入移位暫存 像資料之方塊之主：法一相加之晝 的動作。藉由此種動作自知描方向移開而實行同樣 加資料cl，c2;dl d2.ei /法器3 3、34順序輸出方塊内相 36順序求Acl—c2;(U_d2e。，而自相關器35作為相關值 在此，相關器2 5係以舶=a 士上 為相關值36而求取，惟，之方塊内之加算資料之差作 ⑴㈤、...）作為相關值36 Λ之Λ塊内之加算資料之比 之相關值36係被輪入= 亦可。自相關器25輸出 矛一圖中之判定器2 〇。判定器2 〇例 1233988

如為由轉換器所構成，藉由將自相關器26輸出之相關值36 與適當之基值作比較，係可判定檢查對象物丨〇之表面缺陷 之有無’其判定結果係被當作表面狀態之檢查結果輸出。 亦即，當檢查對象物1〇上具有缺陷時，於其缺陷之附 近，對應於線性影像感測器1 3之同一元件之晝像資料之大 小係隨著副掃描亦即隨著檢查對象物10之相對性移動而有 %間性之變化，藉此，以相關器Μ所得之相關值％將變 大，於判定器20上係超越基值之故，可藉由判定器2〇辨識 此缺陷。判定器2 〇之判定結果係被例如個人電腦所處理而 顯示於圖未示之顯示裝置上。 依上述構成之本實施型態之表面檢查裝置時，首先於 演算處理器1 9上藉由實行方塊内相加之累積功能與截取主 掃描方向上之鄰接之方塊内加算資料之關係所產生之自 相關功能，係可除去線性影像感測器13之元件參差不 衫響，同時可使相關器3 5所得之相關值3 6變大， 古 缺陷之檢知感度。 促冋 又’依本實施型態’特別是藉由使用線性 加法器㈣，接於副掃描方向之兩個主掃描線之^詞 相加而將所传之畫像資料列輪入演算處理器19則如 Α所示，除檢查對象物1〇上之缺 上(在圖中為第n條線)之場：-條掃描線 52或者如第五圖c所示般/主之條之線）上之缺陷 牡王部描線上跨設於鄰蚩 上且跨設於相鄰之兩條主掃描線之缺陷Μ等皆可檢測旦出、，

1233988 五、發明說明（8) 因此可實現更高精度之檢查。 以下詳細說明此原理。 首先，如第五圖A所示般，檢查對象物1〇上之缺陷51 為僅存在於一條主掃描線内之場合，如第六圖A所示，與 對應於存在於一個晝素内之缺陷5 0之晝像資料（照相機1! 之輸出）比較，跨設於兩個晝素而存在之缺陷5 1所對應之 畫像資料之輸出變小。因一晝素之資料係分配成兩晝素， 故輸出水平變成一半。因在下一條線上無缺陷，故輸出為 0，於副掃描方向上相鄰之兩條線之晝像資料之相加用之 加法器18之輸出（畫像資料列22)係與n線之晝像訊號為相 同。此晝像資料列22以演算處理器丨9之累積功能係累積主 掃描=向之方塊内之畫素資料，而設為該方塊内之既定之 2: : ί之一畫素之畫素資料。在此，為方便說明，方塊 m!素所構成則加法器33如第六則所示係 兩畫素資料列作相加，因&，固晝素資料 相加’因對應於缺陷51之畫素心之書 ΐ(水平:大!係=於缺陷5〇之畫素。2,之畫素綱 出。 响缺陷5°，就連缺陷51亦可容易地檢測 接者如第五圖Β所示，於在a 士# 線之缺陷52之場合，如第七、^跨設於相鄰兩主掃描 主掃描線内之一：*Ϊ 所不，對應於存在於-條 缺陷52之畫像資料之輸出為 像：料係較對應於 線皆相同。惟，藉由將鄰接 線或(ΝΗ) 卸描方向之兩條線之晝像 1233988 ------- 五、發明說明（9) 資料作相加之加法器18，對應於缺陷52之畫像資料列22之 輪出係變成與對應於缺陷51之晝像資料列22之輸出為相 同。因此，跨設於兩條主掃描線而存在之缺陷52係可 地檢測出。 又，第七圖B係揭示方塊内加算資料，而於此例中因 不存在有跨設於主掃描方向之兩個畫素之缺陷，故不須要 方塊内加算。又，第五圖C般於存在有在主掃描線上^設 於相鄰晝素上且跨設於相鄰之兩條主掃描線之缺陷53之場 合，如第八圖A所示對應於存在於一條主掃描線内之一個 晝素内之缺陷5 0的畫像資料係變成較對應於缺陷5 3之苎像 資料之輸出為小。因一畫素之資料係被分配於四畫素里故 對應於N線與（Ν + ι)線之缺陷53之畫像資料之輸出水平係變 成1/4。惟，藉由將鄰接於副掃描方向之兩條線之晝像資 作相加之加法器1 8，對應於缺陷53之畫像資料列22之輸 出水平係放大至1/2。此畫像資料列22藉由演算處理器^ ίίΐίί方向上之累積功能所產生之效果，係變成該方 鬼内之疋之例如最初一畫素之晝素資料。在此，為

為由兩畫素構成，則加法器33如第二圖β .旦素之兩個晝素資料列相加。因此，變成對 加算以次一晝素資料，對應於缺陷53之G t ^ ； ί ΐ if m ^ ^n^50 ^1 ^c2> ^ 易地檢測出。千交大），故非只缺陷50’缺陷53亦可容 第二實施型態

1233988 五、發明說明（10) 接著參照第九圖說明本發明之第 施型態有關之表面檢查裝置之槿#伤& #也！弟一貫 實施型態之物品相同。構成係與第-圖所示之第- 於弟一實施型悲中’關於白赵办ΗΤ7 4 資料2W“吏用線性記憶機11輸出之晝像 方向γ之兩條主掃描線之書體^資料加相去；^將鄰接於副掃描 ㈣之時，此等兩條主掃-Λ?二力= 兩晝素（主掃描線方向之位 °上之相鄰之 相加。 1馮相冋之晝素）之晝像資料係

惟，將鄰接於副掃描方A 相加而生成晝像資料列=之主掃描線之晝像資料 第九圖所示之方法生成畫像 ς限定於此，例如以 接於副掃描方向γ之兩條主、'’、ϋ 。此方法者關於鄰 鄰接於副掃插方向且鄰接於田掃之晝像資料21，藉由將 資料作加算之處理以將該四個向之四個晝素之晝像 移位於主掃描方向之方式加以；ί 5位置以-畫素單位之 依此方法時，畫像ί料歹生晝像資料列22。 此可更提高檢查精度，又j ^各貝料之大小將變大，因 於主掃描線上跨設於鄰接之c及第八圖所說明般之 線上而存在之姑 旦素上且跨設於鄰接之主掃描 ;三實；ΞΓ檢測亦特別有效。

Μ =實施型態有關> I 一圖所示之第一眚表面檢查裝置之全體構成係與第 J '種晝像資料列之產生方法之

Hi 第13頁

1233988 五、發明說明（11) 變形例。 於第三實施型態中，於將鄰接於副掃打 掃描線之畫像資料予以相加而產生書二1之兩條主 實施型態相同，如第十圖A所示，除兩與第一 掃描：：上之鄰接，兩個畫素(主掃描線方向副 同之直素）之畫像資料相加而產生書像 為相 更併用第十圖B第十圖C之處理。第-十像圖貝二】=外， 向上之斜右上方(第一方向)之鄰接之= 係金將？描方 而產生晝像資料列的一種處理。第c者旦貝料相加 向上之斜左上方(第二方向)之鄰接之匕者之為/:·掃描方 而產生畫像資料列的一種處理。 ’、旦像貝料相加 第十一圖為第三實施型態中之畫像處 成示意圖，線性記憶體丨7A係由一主掃 、之構 例中為_晝素）小5121段之移位暫\%線所伤構之/素卜數（此 Z段分別藉由加法器= ^ ^ ^ ^ ^ J ^ ^ ^ ^ ± ^ 生之晝像資粗扪 旦素之旦像資料相加而產 副掃i方向上之在=加法1118 β係可輸出第1 G圖β所示之 而成之畫像資料列：“力方：鄰接之畫素之畫像資料相加 加= t於斜左方鄰接之晝素之畫像資料相 此等畫像資料列分別經由第一實施型態所說明之相同 第14頁 1233988

(12) 21(^算處理器19Α、19Β、19C被輸入至判定器20Α、20Β、 C而判定其基值。此等判定器20Α、2〇Β、20C之判定結果 ㈢ 例如個人電腦等加以處理，而顯示於圖未示之顯示 ^夏上。此場合，將判定器2〇A、20B、20C之判定結果藉 改變其顏色而顯示之方式將其加以區別者亦可。 狀依本實施型態，對於例如存在於檢查對象物1 0上之線 、之非常微細之缺陷而在線性影像感測器丨3上斜斜地橫切 1½亦可容易地檢測出。亦即，此種缺陷為在兩條主婦 田線上如第十圖B及第十圖C所示般於副掃描線方向上為在 j斜方向上以跨設於相鄰之畫素之方式呈現，故於將此等 里素之畫像資料相加後藉由以演算處理器實行處理即可 易地檢測出。 本發明係可作其他 型悲中係說明使用線性 元件排列成矩陣狀之二 器）之場合亦為有效。 於線性影像感测器 無間隙排列之場合，在 素與晝素間作縱橫配線 由副掃描方向上鄰接之 能與於主掃描方向上之 造成之檢知感度之變劣 又，實施型態中係 描方向上鄰接之兩條主 各種變形實施，例如於上述之實施 影像感測器之場合’但將光電變換 次元影像感測器（亦稱為區塊感剛、 上，相對於畫素（光電變換元件）以 二次元影像感測器上係存在有於書 用之不感領域。惟，依本發明，$ 兩個主掃描線之畫像資料之加瞀4 累積功能係可補償此種不感領域所 現象。

使用線性記憶體與加法器將於副掃 掃描線之畫像資料相加而將所得Z

第15頁 1233988 五、發明說明（13) 晝像資料列介 疋器，惟不經 種構成中亦可 人類之眼 即，與眼球上 動使網膜不習 運動成分係上 本發明中 理係相當於此 中’藉由電子 動（微動），同 得之晝像資料 度。 以演算處理器 由演算處理器 達成本發明所 球係實行稱為 下左右觀看時 十貝於刺激係可 下方向。 之相鄰之兩條 種人類之眼球 性處理乃至機 時並處理兩條 列，而實行表 實行方塊相加動作後輸入至判 而輸入至判定器者亦可。於該 期之目的。 固視微動之微小之震動。亦 之運動不同，藉由實行固視微 提高其精度。固視微動之主要 主掃描線之畫像資料之相加處 之固視微動。亦即，於本發明 械性處理實行副掃描方向之移 主掃描線之畫像資料之相加所 面檢查時，係可提高檢查精 產業上之利用可能性 如以上所說明者，依本發明，可檢知跨設於檢查對象 上之主掃描線上的缺陷以及在主掃描線上跨設於鄰接之 思素上且跨設於鄰接之主掃描線上之缺陷，因此可高精度 地檢查表面狀態。 1233988 圖式簡單說明 第一圖為本發明之第一實施型 之構成之方塊圖。 ^有關之表面檢查裝置 第二圖為第一實施型態中之副 掃描線之晝像資料相加而生成書像次二向上之相鄰兩主 圖。 一 1豕貝料列之動作之說明 第三圖為第一實施型態中之演 圖。 、斤處理器之構成之方塊 第四圖為第三圖所示之演算處 第五队第五圖Β，第五圖C分別為圖。 種缺陷之說明圖。 檢查對象物上之各 第六圖A，第六圖b為僅在一個主篇 與和其對應之晝I資料及方&内加算田m在之缺陷 圖。 ^貝枓之關係之示意 第七圖A，第七圖B為跨設於相鄰 在之=和：對應之方塊内相加資料之關 第八圖Α，第八圖β為在主掃描線上跨設於 ：圖。 士且跨設於相鄰之兩主掃描線上之缺陷與和其對應 貝料及方塊内相加資料之關係之示意圖。、、^之息像 第九圖為本發明之第二實施型態之鄰接於篇心 之兩主掃描線之晝像資料相加而生成料二插方向 說明圖。 乂一像貝枓列之動作之 第十圖Α，第十圖Β，第十圖c分別為第二给 於副掃描方向上之相鄰兩主掃描線之畫像—只e 1態中之 畫像資料列之變形例之說明圖。 、埒相加而生成 第17頁 1233988 圖式簡單說明 第十一圖為第三實施型態中之晝像處理裝置之構成之 方塊圖。 【圖式標號說明】 ίο------檢查對象物 · 11 ------數位照相機 12 ------結像透鏡 13 ------線性影像感測器 14 ------放大器 15 ------A/D轉換器 φ 16 ------晝像處理裝置 16A-----晝像處理裝置 17 ------線性記憶體 1 7A-----線性記憶體 18 ------加法器 18A-----加法器 18B-----加法器 18C-----加法器 19 ------演算處理器 19A-----演算處理器 1 9B-----演算處理器 ' 19C-----演算處理器 / 20 ------判定器 20A-----判定器

第18頁 1233988 圖式簡單說明 20B-----判定器 20C-----判定器 21 ------晝像資料 22 ------晝像資料列 25 ------相關器 擔 26 ------才目關器 , 31 ------移位暫存器 32 ------移位暫存器 33 ------接收加法器 34 ------接收加法器 φ 35 ------相關器 36 ------相關值 50------畫素内之缺陷 5 1------檢查對象物上之缺陷 52 ------兩條主掃描線上之缺陷 53 ------兩條主掃描線之缺陷

第19頁

Claims (1)

1233988 六、申請專利範圍 1· 一種表面檢查聿置 檢查對象物掃描：主掃其: -照相機，係具有對 資料；-副掃福裝·，性感測器，可取得畫像 方向將前述照相機與檢杳對象=^主掃描方向垂直相交之 理裝備，係對前述照相機目對性移動；—演算處 而檢查前述檢查對象物之:畫像資料實施演算處理 裝備係具備有：—畫像f 其中前述演算處理 方向上鄰接之兩條主掃描=裝備，係將前述副掃插 資料列者；-判定裝備，係使η資料作相加而產生晝像 檢查對象物之表面狀態。 引述畫像資料列檢查前述 2 ·如申清專利範圍第1項之表 資料列生成裝備係將前述副双查裝置，其中前述晝像 中之相同位置之畫素之畫像=向上之前述主掃描方向 一貝科予以相加者。 3·如申請專利範圍第2項之表面 資料列生成裝備係於前述副掃一裝置，其中前述晝像 描線之晝像資料中之鄰接於前=^上將相鄰之兩條主掃 主掃描方向之四晝素之晝像資^柞*描方向且鄰接於前述 料者。 、科作相加而取得前述畫像資 ’其中前述晝像 係將前述照相_ ;一加法器，係 4·如申請專利範圍第1項之表面檢查裝置 資料生成裝備係具備有：~線性記~憶體， 所輸出之畫像資料至少記憶一主掃線份

1233988 六、申請專利範圍 將前述線性記憶體之輸出入之晝像資料作相加，而取得前 述畫像資料列。 5.如申請專利範圍第1項之表面檢查裝置，其中前述晝像 資料列生成裝備係於前述副掃描方向上於相鄰之兩條主掃 描線之畫像資料中將鄰接於前述副掃描方向且鄰接於前述 主掃描方向之四晝素之畫像資料予以相加而產生第一晝像 資料列，而於前述副掃描方向上於相鄰之兩條主掃描線之 畫像資料中將相對於前述副掃描方向為傾斜狀之第一方向 上所鄰接之兩晝素之晝像資料相加而產生第二晝像資料 列，復於前述副掃描方向上於相鄰兩條主掃描線之畫像資 料中相對於前述副掃描方向為傾斜狀之第二方向上之相鄰 兩晝素之晝像資料相加而產生第三晝像資料列者。 6 ·如申請專利範圍第5項之表面檢查裝置，其中前述晝像 資料列生成裝備係具備有：一線性記憶體，係將前述照相 機所輸出之晝像資料記憶保持至少一主掃描線份；一第一 加法器，係將前述線性記憶體之輸入之晝像資料與一主掃 描線前之晝像資料相加；一第二加法器，係將前述線性記 憶體之輸入之晝像資料與（一主掃描線+ —畫素）之前之晝 像資料相加；一第三加法器，係將前述線性記憶體之輸入 之晝像資料與（一主掃描線--晝素）之前之晝像資料相加 者0

第21頁 I233988 ^ '申請專利範圍 ---— 7·如申請專利範圍第1項至第6項之任一去之矣 置，其中前述判定裝備係具備有··一累積裝備面檢查裝 晝像資料列中之於前述主掃描方向上“ ^二係將前述 :構成之方媿内之晝像資料相加而算出方塊内加^固畫素 者，·一相關裝備，係算出前述主掃描方向上之 了貧料 之方塊内加算資料之相關值·一裝備目鄰之方塊 基值判定者。 ^ #“述相關值作 其中前述判定 多位一晝素而重 8·如申請專利範圍第7項之表面檢查農置 裝傷係將前述方塊於前述主掃描方向上名 複剷述方塊内加异與相關演算者。 9 ·+如申凊專利範圍第J項之表面檢查裝置，其中 馬裝備係將前述檢杳針參 、 迷副掃 副掃描方向者。f象物相對於前述照相機移動於前述 f梦#申專利範圍第1項之表面檢查裝置，豆中前if -I 描方向者。 ‘、、、相機相對於前述檢查對象物移動於副掃 11 ·如申請專利範 描裝備係將前述昭士弟1項之表面檢查裴置，其中前述副掃 於前述副掃描方白，目機之透鏡相對於如述線性感測器移動

第22頁 I233988 、'申請專利範 ^ j 2 插裝^備申〃請專利範圍第1項之表面檢查裝置，其中前述副掃 杳對係將前述照相機之透鏡與影像感測器相對於前述 一對象物移動於前述副掃描方向者。 13 — 主掃#種表面檢查方法，係使用具有將檢查對象物掃插於 τ :方向上之線性感測器而可得到畫像資料之照相機 著’其特徵在於具有： 一 將別述照相機與檢查對象物相對地移動於與前述主掃 田向$垂直相交之副掃描方向之步驟； 上 ^則述照相機所輸出之晝像資料中將前述副掃描方向 淨之兩條主掃描線之畫像資加而生成畫像資 之步驟； 使用別述晝像資料列檢查前述檢查對象物之表面狀態 =·如申/請專利範圍第1 3項之表面檢查方法，其中前述檢 查步驟係包括有： 夕將前述晝像資料列中之於前述主掃描方向上為連續之 由夕ί ί"晝素所構成之方塊内之晝像資料相加而算出方塊 内加异資料的累積步驟； 於如述主掃描方向上將相鄰之方塊之方塊内加算資料 之相關值算出之相關步驟； 將前述相關值作基值判定之步驟。

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