JP2005106725A - 被検査物の外観検査方法及び外観検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 本発明は、被検査物1の外観検査装置2において、被検査物1の画像データA〜Cを複数取得する画像データ取得手段3と、この画像データ取得手段3により取得された画像データA〜Cを比較して複数の符号付差画像データD,Eを作成する画像比較手段14,22と、この差画像比較手段14,22により作成された符号付差画像データD,Eの差を求める差画像比較手段15,24と、この差画像比較手段15,24で得られた差画像の差のデータFを閾値処理する判別手段16を設けたのである。
【選択図】 図1
Description
Claims (10)
- 撮像した被検査物の画像を比較し、その画像の差から被検査物の外観を検査する被検査物の外観検査方法において、被検査物の画像データを複数取得する第1の工程と、異なる画像データを比較して符号付差画像データを取得する第2の工程と、異なる符号付差画像データを比較する第3の工程と、第3の工程で得られたデータを閾値処理する第4の工程とを有する被検査物の外観検査方法。
- 撮像した被検査物の画像を比較し、その画像の差から被検査物の外観を検査する被検査物の外観検査方法において、被検査物の画像データを少なくとも3つ取得する第1の工程と、異なる画像データを比較して少なくとも2つの符号付差画像データを作成する第2の工程と、異なる符号付差画像データを比較する第3の工程と、第3の工程で得られたデータを閾値処理する第4の工程とを有する被検査物の外観検査方法。
- 撮像した被検査物の画像を比較し、その画像の差から被検査物の外観を検査する被検査物の外観検査方法において、被検査物の画像データを少なくとも3つ取得する第1の工程と、第1の画像データと第2の画像データ及び第2の画像データと第3の画像データを比較して第1の符号付差画像データ及び第2の符号付差画像データを作成する第2の工程と、第1の符号付差画像データと第2の符号付差画像データを比較する第3の工程と、第3の工程で得られたデータを閾値処理する第4の工程を有する被検査物の外観検査方法。
- 前記第1の工程で取得される画像データは、それぞれ別の被検査物より得られたデータである請求項3記載の被検査物の外観検査方法。
- 前記第1の工程で取得される画像データは、一つの被検査物より得られたデータである請求項3記載の被検査物の外観検査方法。
- 撮像した被検査物の画像を比較し、その画像の差から被検査物の外観を検査する被検査物の外観検査装置において、被検査物の画像データを複数取得する画像データ取得手段と、この画像データ取得手段により取得された画像データを比較して複数の符号付差画像データを作成する画像比較手段と、この差画像比較手段により作成された符号付差画像データを比較する差画像比較手段と、この差画像比較手段で得られたデータを閾値処理する判別手段を備えてなる被検査物の外観検査装置。
- 撮像した被検査物の画像を比較し、その画像の差から被検査物の外観を検査する被検査物の外観検査装置において、被検査物の画像データを第1〜第3の少なくとも3つ取得する画像データ取得手段と、画像データ取得手段により取得された第1の画像データと第2の画像データ及び第2の画像データと第3の画像データを比較して第1の符号付差画像データ及び第2の符号付差画像データを作成する画像比較手段と、画像比較手段により作成された第1の符号付差画像データと第2の符号付差画像データを比較する差画像比較手段と、差画像比較手段により作成された比較データを閾値処理する判別手段を備えたことを特徴とする被検査物の外観検査装置。
- 撮像した被検査物の画像を比較し、その画像の差から被検査物の外観を検査する被検査物の外観検査装置において、少なくとも3つの被検査物から取得した第1の画像データ〜第3の画像データ或いは1つの被検査物から取得した3つの画像データを取得する第1の工程と、第1の画像データと第2の画像データを比較して第1の差画像データを符号付で保持すると共に、第2の画像データと第3の画像データを比較して第2の差画像データを符号付きで作成する第2の工程と、第1及び第2の符号付差画像データを比較する第3の工程と、第3の工程で得られたデータを閾値処理する第4の工程とを有する被検査物の外観検査方法。
- 第1の符号付差画像データ及び第2の符号付差画像データを取得するに際し、第1の画像データと第2の画像データのパターン及び第2の画像データと第3の画像データのパターンの位置ずれを補正してから差を算出し、また、第1の符号付差画像データと第2の符号付差画像データの差を算出するに際し、第1の差画像データ算出に用いた位置ずれ情報と第2の差画像データ算出に用いた位置ずれ情報とを用い、第1の符号付差画像データと第2の符号付差画像データの位置ずれを補正してから差を計算するようにしたことを特徴とする被検査物の外観検査方法。
- 撮像素子によって時系列で取得された画像データを2系統に分配し、分配した一方を第1の遅延回路を経て画像比較部に入力すると共に、分配した他方を直接画像比較部に入力させ、かつ画像比較部で得た符号付差画像データを2系統に分配し、分配した一方を第2の遅延回路を経て差画像比較部に入力すると共に、分配した他方を直接差画像比較部に入力させ、差画像比較部で得られたデータを閾値処理するようにしたことを特徴とする被検査物の外観検査方法。
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