JP2007265679A - 蛍光体検査装置 - Google Patents
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- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 43
- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims abstract description 38
- 230000007547 defect Effects 0.000 claims abstract description 21
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 13
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 11
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 9
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims description 5
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 abstract description 11
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 6
- 230000002950 deficient Effects 0.000 abstract description 3
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 16
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 4
- 230000007723 transport mechanism Effects 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 3
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 2
- 238000012790 confirmation Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 1
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- Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
Abstract
【解決手段】従来の蛍光体検査装置と蛍光体印刷ずれ検査装置を一体化し、前段の蛍光体検査の検出結果を後段の蛍光体印刷ずれ検査において共有する。そして、検出された欠陥位置にカラーカメラを移動させ、自動的に欠陥位置の画像を撮像しモニタに表示する。このようにすることで、従来人手でガラス基板をラインから取り出し、欠陥を目視確認して最終判断を行っていた工程を省き、インラインでの最終判定を可能とする。
【選択図】 図1
Description
なお、紫外線照明の照明むらを軽減し、ストライプ状に塗布された蛍光体の塗布ムラの検出をインラインで高精度に行う蛍光体検査装置が提供されている(例えば、特許文献1を参照。)。
この発明は上記事情に着目してなされたもので、その目的とするところは、作業効率を向上し、検査の高速化を図ることができる蛍光体検査装置を提供することにある。
図1は、この発明に係わる蛍光体検査装置の一実施形態を示すブロック図である。
蛍光体検査装置100は、ガラス基板20を搬送する搬送機構21、照明22、干渉フィルタ23、ラインセンサカメラ24、搬送の駆動系を制御するインタフェース部25、ラインセンサカメラ24からデータを入力する画像処理部26、倍率可変の顕微鏡を通して撮影するカラーカメラ27、カラーカメラ27をガラス基板の全面を移動させるステージ28、カラーカメラ27からデータを入力する画像処理部29、画像処理部26からの欠陥データを画像処理部29に転送するインタフェースを有するハブ30、及びモニタ31を備える。また、画像処理部29は、蛍光体印刷ずれ検査機能を有する。
図2に先立ち、搬送機構21にガラス基板20が搬入されると、蛍光体検査装置100は、照明22を点灯し、ガラス基板20に塗布された蛍光体を発光させる。この発光を干渉フィルタ23に通してラインセンサカメラ24にて取り込む。この際、搬送機構21から搬送パルス信号をインタフェース部25に送り、インタフェース部25にて、搬送スピードに同期して、ラインセンサカメラ24の露光時間を制御する。
Claims (2)
- 基板上に形成された蛍光体に光を照射する照明手段と、
前記照明手段による前記蛍光体の発光状態を撮像する第1の撮像手段と、
前記第1の撮像手段により得られる第1の画像データから前記蛍光体の欠陥の位置を検出する第1の検出手段と、
前記第1の検出手段により検出された前記蛍光体の欠陥の位置を任意の倍率で撮像する第2の撮像手段と、
前記第2の撮像手段により得られる第2の画像データをもとに前記欠陥の画像を表示する表示手段と
を具備することを特徴とする蛍光体検査装置。 - 前記第2の画像データをもとに前記蛍光体の印刷ずれを検出する第2の検出手段をさらに具備することを特徴とする請求項1記載の蛍光体検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006086378A JP2007265679A (ja) | 2006-03-27 | 2006-03-27 | 蛍光体検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006086378A JP2007265679A (ja) | 2006-03-27 | 2006-03-27 | 蛍光体検査装置 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008070307A Division JP2008216260A (ja) | 2008-03-18 | 2008-03-18 | 蛍光体検査装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007265679A true JP2007265679A (ja) | 2007-10-11 |
Family
ID=38638476
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006086378A Pending JP2007265679A (ja) | 2006-03-27 | 2006-03-27 | 蛍光体検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2007265679A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN113390877A (zh) * | 2020-03-13 | 2021-09-14 | 由田新技股份有限公司 | 共生式复检系统及共生式复检方法 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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