JP2018179789A - 検査装置、検査方法、および物品製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】サイズおよび被検物の形状の自由度の点で有利な検査装置を提供する。
【解決手段】互いに隣接する第1組の側面と、第1組の側面に隣接し且つ互いに隣接する第2組の側面とを含む被検物Wの第1組の側面の特性と第2組の側面の特性とを検査する検査装置1であって、検査位置にある被検物の第1組の側面および第2組の側面のうちいずれかの照明を行う照明部11と、照明を行われた第1組の側面および第2組の側面のうちいずれかの撮像を行って画像を得る撮像部12と、を有し、照明部および撮像部は、第1姿勢をとる被検物の第1組の側面に対して照明および撮像を行い、第1姿勢とは異なる第2姿勢をとる被検物の第2組の側面に対して照明および撮像を行い、被検物は、第1姿勢および第2姿勢を特定する被検物の回転の自由度に関して第1姿勢および第2姿勢とは異なる第3姿勢をとって、検査位置を介して、搬送をされる。
【選択図】図1
【解決手段】互いに隣接する第1組の側面と、第1組の側面に隣接し且つ互いに隣接する第2組の側面とを含む被検物Wの第1組の側面の特性と第2組の側面の特性とを検査する検査装置1であって、検査位置にある被検物の第1組の側面および第2組の側面のうちいずれかの照明を行う照明部11と、照明を行われた第1組の側面および第2組の側面のうちいずれかの撮像を行って画像を得る撮像部12と、を有し、照明部および撮像部は、第1姿勢をとる被検物の第1組の側面に対して照明および撮像を行い、第1姿勢とは異なる第2姿勢をとる被検物の第2組の側面に対して照明および撮像を行い、被検物は、第1姿勢および第2姿勢を特定する被検物の回転の自由度に関して第1姿勢および第2姿勢とは異なる第3姿勢をとって、検査位置を介して、搬送をされる。
【選択図】図1
Description
本発明は、検査装置、検査方法、および物品製造方法に関する。
被検物(物体)の外観検査では、目視による検査に変わって、照明された被検物を撮像して得られた画像に基づいて、外観の良否を判定する検査装置の導入が進みつつある。複数の面を有する被検物を検査する装置として、被検物を中心にドーム状に配置された照射部と、撮像部とを含む外観検査装置(特許文献1)、被検物の回転を介して平板の4側面を対向する2側面ずつ検査する側面外観検査装置(特許文献2)がある。
曲率のある側面の外観は、例えば、側面を取り囲むように照明装置および撮像装置を配置して、複数の入射角度で照明光がそれぞれ入射した側面をそれぞれ撮像して得られた複数の画像に基づいて検査されうる。特許文献1の外観検査装置は、被検物を取り囲むようにドーム状に照射部および撮像部が配置されているため、そのサイズの点で不利となりうる。また、特許文献2の外観検査装置は、対向する側面の組ごとに検査するため、そのサイズの点では有利となりうる。ところが、特許文献2の装置は、1つの組の側面のサイズと他の組の側面のサイズとが異なる場合、それを考慮した照射部および撮像部の配置や構成が必要となるから、その被検物の形状の自由度の点では不利となりうる。
本発明は、例えば、そのサイズおよびその被検物の形状の自由度の点で有利な検査装置を提供することを目的とする。
上記課題を解決するために、本発明は、互いに隣接する第1組の側面と、第1組の側面に隣接し且つ互いに隣接する第2組の側面とを含む被検物の第1組の側面の特性と第2組の側面の特性とを検査する検査装置であって、検査位置にある被検物の第1組の側面および第2組の側面のうちいずれかの照明を行う照明部と、照明を行われた第1組の側面および第2組の側面のうちいずれかの撮像を行って画像を得る撮像部と、を有し、照明部および撮像部は、第1姿勢をとる被検物の第1組の側面に対して照明および撮像を行い、第1姿勢とは異なる第2姿勢をとる被検物の第2組の側面に対して照明および撮像を行い、被検物は、第1姿勢および第2姿勢を特定する被検物の回転の自由度に関して第1姿勢および第2姿勢とは異なる第3姿勢をとって、検査位置を介して、搬送をされる、ことを特徴とする。
本発明によれば、例えば、そのサイズおよび被検物の形状の自由度の点で有利な検査装置を提供することができる。
以下、本発明を実施するための形態について図面などを参照して説明する。なお、各図面において、同一の部材ないし要素については同一の参照番号を付し、重複する説明は省略する。
(第1実施形態)
図1の(A)〜(C)は、本実施形態に係る検査装置1の構成を示す概略図である。図1の(A)〜(C)は、被検物Wが検査位置に搬入された場合を示している。図2の(A)〜(C)は、検査装置1が側面の特性を検査する被検物Wの形状を示す図である。まず、図2の(A)〜(C)により被検物Wの形状について説明する。被検物Wは、例えば、携帯用電子機器等(たとえば、スマートフォン)の筐体である。被検物Wは互いに平行に対向する同サイズの矩形の上面および下面と、上面および下面の各辺を接続する側面S1〜側面S4を有する。以下の図面において、上面および下面が対向する対向方向をZ軸、これに垂直な平面をXY平面とする。本実施形態では、上面および下面が平行に対向するため、XY平面は、上面および下面に平行な平面でもある。
図1の(A)〜(C)は、本実施形態に係る検査装置1の構成を示す概略図である。図1の(A)〜(C)は、被検物Wが検査位置に搬入された場合を示している。図2の(A)〜(C)は、検査装置1が側面の特性を検査する被検物Wの形状を示す図である。まず、図2の(A)〜(C)により被検物Wの形状について説明する。被検物Wは、例えば、携帯用電子機器等(たとえば、スマートフォン)の筐体である。被検物Wは互いに平行に対向する同サイズの矩形の上面および下面と、上面および下面の各辺を接続する側面S1〜側面S4を有する。以下の図面において、上面および下面が対向する対向方向をZ軸、これに垂直な平面をXY平面とする。本実施形態では、上面および下面が平行に対向するため、XY平面は、上面および下面に平行な平面でもある。
図2の(A)は、被検物Wを+Z方向(以下、上面側ともいう。)から見た図である。図2の(A)に示す通り、被検物Wの輪郭は略矩形である。本実施形態では、輪郭の4つの角を曲面加工している。曲面加工せずに角のままとした場合は、輪郭は矩形となる。側面S1〜側面S4は、互いに隣接する側面S1と側面S2とを1組(第1組の側面)、第1組の側面に隣接し、かつ互いに隣接する側面S3と側面S4とを1組(第2組の側面)とする、2組の側面で構成される。
被検物Wの上面と各側面との境界は、それぞれ境界線b1〜b4で示される。本実施形態では、上面および下面が平行に対向し、かつ同形状であるため、上面側から見て、境界線b1〜b4は、被検物Wの下面と各側面との境界線と重なる。ここで、境界線は、図2の(C)により後述する。また、Z方向から見て矩形の長手方向の側面を側面S1および側面S3、短手方向の側面を側面S2および側面S4とする。
図2の(B)は、被検物Wを−Y方向から見た図である。図2の(B)に示す通り、側面S2および側面S4は、曲率を有する曲面である。図示は省略するが、側面S1および側面S3も同様の曲率を有する曲面である。
図2の(C)は、図2の(B)に示す側面S4を含む部分において、XZ平面に平行な面を切断面とした断面図を拡大した図である。図2の(C)に示すとおり、側面S4の断面は、円弧状となっており、側面S4上の任意の位置sにおける、X方向からの開角を角度αとする。角度αが+90度または−90度となる位置sを、側面S4と上面および下面との境界位置とする。境界位置を結んだ線が境界線である。下面の境界線は境界線c4で示す。なお、上面および下面が平行でない場合など、境界位置となる開角は+90度または−90度に限られない。
側面S1〜側面S4には、擦り傷、打痕のような凹凸などの欠陥が生じている場合がある。図1の(A)〜(C)に示す検査装置1は、明視野法および暗視野法を併用して、側面S1〜側面S4に生じうる欠陥を検出し、良品と不良品とに分別する。
検査装置1は、照明部11と、撮像部12と、駆動部13と、制御部14と、を有する。照明部11は、複数の光源L1〜L18を含む。照明部11は、側面S1〜側面S4を個別に照明してもよく、複数の側面を同時に照明してもよい。光源L1〜18は、それぞれ砲弾型あるいは表面実装型のLED素子がリジッド基板上に複数配置された面光源である。ただし、リジッド基板ではなくフレキシブル基板を用いて曲面状にLED素子を配置してもよい。発光部は調光の自由度や制御の高速性からLEDであることが望ましいが、本発明は光源の種類によって限定されるものではなく、光源は蛍光灯や水銀アーク灯などであってもよい。
撮像部12は、被検物Wの互いに隣接する側面のセットを組ごとに撮像する。撮像部12は、長手方向の側面(側面S1および側面S3)を撮像する第1撮像部121と短手方向の側面(側面S2および側面S4)を撮像する第2撮像部122とを含む。第1撮像部121が有する撮像素子の画素数は、第2撮像部122が有する撮像素子の画素数よりも多い。第1撮像部121および第2撮像部122は、例えば、エリアセンサカメラであり、撮像素子としては、CCDやCMOSなどを用いうる。
図1の(B)および図1の(C)により駆動部13の構成を説明する。駆動部13は、可動部131と、Y方向駆動部132と、Z方向駆動部133と、保持部134と、を有する。可動部131は、Y方向可動部131yと、第1アーム部131aと、第2アーム部131bと、支持部131cと、を有する。図1の(C)に示すとおり、本実施形態では、第1アーム部131aおよび、第2アーム部131bは、Y方向可動部131yに接続されたZ方向駆動部133に固定される。第1アーム部131aおよび、第2アーム部131bの先端には、被検物Wを支持する支持部131cが設けられる。本実施形態では、支持部131cは、吸着力により被検物Wを支持する(吸着保持)が、これに限られない。
被検物Wは所定の方向に伸びる直線の搬送の軌道に沿って搬送される。図1の(A)および図1の(B)に示す通り、本実施形態では、被検物Wを搬送する軌道は、+Y方向に伸びる直線軌道pにとする。被検物Wを搬送する場合、支持部131cに被検物Wを吸着保持させるため、Z方向駆動部133は、支持部131cが先端に設けられた第1アーム部131aまたは第2アーム部131bを−Z方向に移動させる。
被検物Wが支持部131cにより吸着保持された後、Y方向駆動部132は、被検物Wを吸着保持している支持部131cが設けられた第1アーム部131aまたは第2アーム部131bを直線軌道pに沿って移動させて被検物Wを検査位置まで運ぶ。
検査位置において、被検物Wは保持部134の保持部端134aに渡される。保持部端134aは、被検物Wを吸着保持などにより保持する。被検物Wの保持は、保持部端134aおよび支持部131cを併用して行ってもよい。保持部134は、被検物Wの姿勢を調整する。本実施形態では、保持部端134aに連結された回転部134bにより、Z軸に対して被検物Wを回転させることで姿勢を調整する。すなわち、保持部134は、Z軸に対する回転の自由度に関して可動である。
被検物Wの検査が終わった後、Y方向駆動部132は、被検物Wを吸着保持している支持部131cが設けられた第1アーム部131aまたは第2アーム部131bを直線軌道pに沿って移動させて被検物Wを検査位置から搬出する。
被検物Wを検査する時の姿勢は、Z方向からみて、被検物Wの輪郭の各辺が伸びる方向と直線軌道pとが斜めに交わるように調整される。第1組の側面を検査する場合の姿勢を第1姿勢、第2組の側面を検査する場合を第2姿勢とする。第1姿勢および第2姿勢は、保持部134の回転により特定される。
第1姿勢および第2姿勢を上記のように調整することで、隣接する2つの側面を第1撮像部121および第2撮像部122により同時に撮影することができる。さらに、残りの隣接する2つの側面は、保持部134により被検物WをZ軸に対して回転させることで、同様に同時に撮影をすることができる。つまり、保持部134により被検物WをZ軸に対して回転させることで、被検物Wの全側面を検査することができ、側面ごとに照明部11および撮像部12を配置する必要が無くなる。その結果、照明部11および撮像部12に掛かるコストの低減、および照明部11および撮像部12の配置による装置サイズの大形化の抑制が実現される。
第1撮像部121は、長手方向の側面を撮像し、第2撮像部122は、短手方向の側面を撮像するように配置されているため、フォーカスの調整が不要となり、本実施形態の検査装置1は、計測時間の点でも有利である。
また、被検物Wの検査位置までに搬入と検査位置からの搬出を一直線かつ一方向に沿って行うことができ、被検物Wを含む携帯用電子機器の生産ラインへ、本実施形態に係る検査装置1を組み込みやすくなる。
図1の(B)および図1の(C)に示す通り、Z方向からみて、駆動部13は、直線軌道p(搬送の軌道)に関して照明部11および撮像部12とは反対側に配置される。これにより、駆動部13が使用できる空間Sが広くなり、例えば、より高速な被検物Wの搬送が実現される。高速搬送のために、Y方向駆動部132またはZ方向駆動部133として用いるアクチュエータ等の駆動機構のサイズを大きくすることができるからである。
制御部14は、例えば、CPU、メモリなどを含む制御回路であり、撮像部12が取得した撮像画像を処理して欠陥を抽出し、被検物Wを良品と不良品に分類する。制御部14は、照明部11と、撮像部12と、駆動部13を制御して、被検物Wの側面の検査のための撮像画像を得る。制御部14は、光源L1〜18の光量および発光タイミングをそれぞれ制御し、側面S1〜側面S4を照明する照明条件を変更することか可能である。照明条件は、明視野条件と暗視野条件に大別され、明視野条件では打痕など緩やかな形状変化を伴う欠陥が高いコントラストで可視化される一方、暗視野の条件ではキズや異物など散乱性の強い欠陥が高いコントラストで可視化される。
図3の(A)および図3の(B)は、本実施形態に係る照明部11および撮像部12からなる光学系の配置を説明する図である。図3の(A)および図3の(B)において、上記説明における座標軸とは異なる座標軸を用いる。被検物Wの上面および下面が対向する対向方向をw軸、これに平行な平面をuv平面とする。図3の(A)は被検物Wを−v方向から見た図であり、図3の(B)は+w方向から見た図である。
第1撮像部121は側面S1に対して仰角0度の方向に設置されている。携帯用電子機器の筐体等の側面部には、ボタン等を組み込むための水平方向を向いた穴等の構造を持つことが多いため、第1撮像部121の仰角は0度が有利だが、その他の仰角を有してもよい。また、側面を照明する光源2〜6は、側面の曲率方向に仰角+80から−80度までの範囲に40度間隔で取り囲むように配置され、側面に対して複数の入射角度で照明光を入射することができる。
図3の(B)に示すとおり、光源4は、第1撮像部121の光軸に対してv方向に対称に配置された2つの光源を有する。光源2〜6も同様の光源を有する。光源2〜光源6をこのように配置するのは、側面のv方向の輝度分布を均一にすること、第1撮像部121の配置空間を確保すること、および撮影時の側面からの反射光の光路を光源2〜光源6が遮らないようにすること、を目的とする。
図4は、光源2〜6をそれぞれ点灯させて側面S1を照明した時の、第1撮像部121で撮影された画像中の被検物Wの中心(v=0)における側面S1の輝度分布P2〜P6を示している。図4のグラフの縦軸は輝度で、横軸はwであり側面S1の鉛直方向の位置を示している。被検物Wの側面S1は曲率を有するため、鉛直方向の位置により開角が異なり、位置w1、位置w2、位置w3における開角は、それぞれ、−45度、0度、45度である。
被検物Wの表面は粗面であり欠陥がない表面からも光が散乱され、散乱光は正反射の方向で強くなり、正反射の角度から離れるほど弱くなる。したがって、図4に示すとおり、輝度分布は光源の仰角によってピーク位置が異なる。例えば、仰角40度の光源3で照明した場合には開角20度に相当する位置に輝度ピークを持ち、ピーク付近の範囲31では明視野条件が、ピークから離れた範囲32および範囲33では暗視野条件が得られる。
したがって、検査対象範囲を開角±45度に相当する側面部した場合、光源2〜6を順に照明し、それぞれの照明で照明された被検物Wを第1撮像部121で撮影して、複数の撮像画像を得て、側面全面において明視野条件と暗視野条件を含む画像が得られる。また、光源2〜6を同時に点灯することで、輝度の均一な明視野条件の画像を得ることもできる。ここで、暗視野の照明条件は、検査面上の1点に対して入射する照明光と面法線とがなす平面がそれぞれ異なる、2つ以上の照明方向であることが好ましい。これは、暗視野条件で線状のキズのような欠陥を検出する場合、キズの方向と直交する方向が最も散乱光が多く得られるためである。
光源2〜6では側面部に対して曲率方向の暗視野照明が得られるため、水平方向からの照明による暗視野条件が得られるよう光源7を配置している。また、光源7で照明した場合は、被検物Wの角部の明視野条件の画像を、光源2〜6で照明した場合は角部の暗視野条件画像を得ることが可能である。
図3の(A)、図3の(B)および図4を用いて説明したとおり、側面を取り囲むように光学系を配置することで、1つの側面について全面の明視野画像と暗視野画像を得ることができる。以上の説明では、開角45度および開角−45度の範囲を検査対象の側面部の範囲として説明を行ったが、例えば開角−45度から90度までの範囲を検査する場合は、図3の(A)に示す位置に第3撮像部123を追加することが好ましい。
図1の(A)、図1の(B)および図1の(C)に示す光学系の配置は、図3の(A)、図3の(B)を用いて説明した1つの側面を撮影するための光学系を、互いに隣接した2つの側面を撮影するために、それぞれ90度異ならせて配置した構成としている。ただし、仰角−80と+80の光源L2と光源L17は2つの側面を同時に照明する光源として共通化し光源の数を削減している。
また、光源L9は、長手方向の側面を仰角0度から照明する光源と、短手方向の側面を水平方向から暗視野条件となるよう照明する光源として2つの機能を持たせている。光源L10は、短手方向の側面を仰角0度から照明する光源と、長手方向の側面を水平方向から暗視野条件となるよう照明する光源として2つの機能を持たせている。
また、長手方向の側面の撮影画像と短手方向の側面の撮影画像における、欠陥の可視化に必要な解像度は同程度である場合がほとんどである。したがって、長手方向の側面を撮影する第1撮像部121が有する撮像素子の画素数は、第2撮像部122が有する撮像素子の画素数よりも多くすることが好ましい。また、水平方向の暗視野照明と被検物Wの角を照明するための光源をさらに空間Sに設置してもよい。
図5は、本実施形態に係る検査方法のうち被検物Wの搬送、撮影および搬出までのフローチャートを示す。工程F1で、制御部14は、駆動部13を制御して、第1アーム部131aの先端に設けられた支持部131cに被検物Wを保持させる。ここで、撮影が終了した被検物Wが保持部端134aにある場合は、制御部14は、駆動部13を制御して、保持部端134aから第2アーム部131bの先端に設けられた支持部131cに撮影終了済みの被検物Wを移動させて保持させる。
工程F2で、制御部14が駆動部13を制御して、第1アーム部131aの先端の支持部131cに保持された未撮影の被検物Wを検査位置に搬入し、第2アーム部131bの先端の支持部131cに保持された撮影済みの被検物Wを検査位置から搬出する。未撮影の被検物Wは、検査位置に搬入された後、第1アーム部131aの先端の支持部131cから保持部134の保持部端134aに移動される。
工程F3で、制御部14は、保持部134を制御して被検物Wの姿勢を第1姿勢に調整し、調整後、照明部11および撮像部12を制御して被検物Wの互いに隣接する長手方向の側面および短手方向の側面の撮影をする(第1組の撮影)。撮影時は前述のとおり複数の照明条件における、複数の画像が撮影される。第1姿勢は、第1撮像部121の光軸が側面S1の中心を通り、第2撮像部122の光軸が側面S2の中心を通り、Z方向からみた被検物Wの輪郭の各辺が伸びる方向と直線軌道pとが斜めに交わるように保持部134を回転させることで特定される。
工程F4で、制御部14は、保持部134を制御して被検物WをZ軸に対して180度回転させ、側面S3および側面S4を撮影するように工程F3と同様に被検物Wの姿勢調整をする(第2姿勢)。
工程F5で、制御部14は、姿勢調整後の被検物Wの側面S3および側面S4の撮影を行って(第2組の撮影)、すべての側面の撮影を完了する。最後に、工程F6で、制御部14は、第1アーム部131aおよび第2アーム部131bの先端の支持部131cのそれぞれに被検物Wが保持されていない状態で、第1アーム部131aおよび第2アーム部131bを−Y方向に移動させる。第1アーム部131aおよび第2アーム部131bが被検物Wを保持する前の初期位置に戻る。工程F1〜F6を繰り返すことで、本実施形態の検査装置1は被検物Wを1つずつ連続して撮影することができる。
工程F2における、未検査の被検物Wの検査位置への搬入時、および検査済みの被検物Wの検査位置からの搬出時の被検物Wの姿勢は、保持部134の回転の自由度に関して第1姿勢および前記第2姿勢とは異なる第3姿勢としてもよい。すなわち、Z方向からみて、被検物Wの輪郭の互いに隣接する辺のうち、一方の辺が伸びる方向を直線軌道pと平行な方向とし、他方の辺が伸びる方向を直線軌道pと直交する方向とするように調整してもよい。一方の辺の伸びる方向が被検物Wの長手方向、他方の辺の伸びる方向が被検物Wの短手方向の場合は、第3姿勢を、長手方向の一方の辺を搬送の軌道の方向に沿うような姿勢とする。
搬入時の姿勢調整は、別途、姿勢を調整する機構を設けることで実施しうる。搬出時の姿勢調整は、保持部134により実施しうる。この場合、工程F1とF2との間に姿勢調整の工程を設ける。
被検物Wの検査位置への搬入出時に上記のような姿勢調整をする場合、直線軌道pと平行な辺を直線軌道pと直交する辺よりも長くすると、搬送時に被検物Wが干渉する空間が小さくなるため、光学系配置の自由度を高くすることができる。
また、工程F6を工程F2の後に実施してもよい。すなわち、被検物Wを保持部134へ渡したら、次に検査される被検物Wの搬入を開始してもよい。工程F3〜工程F5と工程F6とが並行に行われることになる。この場合、照明光や反射散乱光を遮らないように第1アーム部131aおよび第2アーム部131bを移動させる。これにより、スループットが向上する効果が得られる。
なお、被検物Wの各側面の曲率によっては、Z方向からみて輪郭が矩形にならない場合もありうる。この場合は、側面と上面または下面との境界線が伸びる方向と直線軌道pとの関係で姿勢を調整する。
上記説明では、被検物Wの姿勢調整はZ軸に対する回転により実施していたが、これに限られない。例えば、被検物Wを下面から複数の保持部で保持し、複数の保持部のうち、一部をX方向に移動させることでも姿勢を調整しうる。
被検物Wの搬送経路は、少なくとも検査装置1内における検査位置前、検査位置、検査位置後を結ぶラインを直線とすればよい。
なお、被検物Wの形状は、互いに対向する上面および下面のうち、片方もしくは両方が実際には存在する必要は必ずしもなく、片方もしくは両方が仮想的な面であることもあり得る。これは、被検物Wを携帯用電子機器等(たとえば、スマートフォン)の組立て前の筐体とする場合もあり得るからである。
(第2実施形態)
図6は、検査装置1000の構成例を示す図である。検査装置1000は、ここでは、物体としてのワーク1011の外観を検査するものであるが、物体に関する検査の対象は外観には限定されず、人間には不可視または認識困難な物体の特性(例えば表面粗さ等)であってもよい。検査装置1000は、搬送部(搬送装置)としてのコンベア1012により搬送されたワーク1011を検査するものとしうる。ワーク1011は、例えば、工業製品に利用される金属部品や樹脂部品等としうる。ワーク1011の表面には、線状の傷や、むら(表面の表面粗さや構成成分、膜厚等に依存する光反射特性の2次元的な不均一性や、非線状もしくは等方的な傷、打痕等)、吸光性の異物等の欠陥を有する場合がある。検査装置1000は、そのような欠陥を認識(検出)してワーク1011を処理する(例えば、良品と不良品とに分別する)。
図6は、検査装置1000の構成例を示す図である。検査装置1000は、ここでは、物体としてのワーク1011の外観を検査するものであるが、物体に関する検査の対象は外観には限定されず、人間には不可視または認識困難な物体の特性(例えば表面粗さ等)であってもよい。検査装置1000は、搬送部(搬送装置)としてのコンベア1012により搬送されたワーク1011を検査するものとしうる。ワーク1011は、例えば、工業製品に利用される金属部品や樹脂部品等としうる。ワーク1011の表面には、線状の傷や、むら(表面の表面粗さや構成成分、膜厚等に依存する光反射特性の2次元的な不均一性や、非線状もしくは等方的な傷、打痕等)、吸光性の異物等の欠陥を有する場合がある。検査装置1000は、そのような欠陥を認識(検出)してワーク1011を処理する(例えば、良品と不良品とに分別する)。
なお、搬送部としてのコンベア1012は、ロボットや手動等により代替されうる。また、搬送部に加えて又は替えて、ワーク1011に対して検査装置1000を移動させる駆動部(例えばロボット)を構成してもよい。ここで、搬送部および駆動部のうちの少なくとも一方は、検査装置1000とワーク1011との間の相対的移動を行う駆動部(駆動装置)を構成する。そして、検査装置1000と当該駆動装置とは、検査システムを構成する。
検査装置1000は、照明部1001、撮像部1002、処理部1003(PCで構成されうる)、制御部1004、表示部1005、および入力部(不図示)等を含みうる。ここで、照明部1001、撮像部1002、および処理部1003は、上述した第1実施形態におけるものとしうる。
制御部1004は、例えば、処理部1003により予め設定された照明および撮像パターンに基づいて、照明部1001と撮像部1002とを同期させて制御する。照明部1001の頂部には、撮像部1002によるワーク1011の撮像が可能となるように、開口部1010が形成されている。撮像部1002は、カメラ本体と、カメラ本体内の撮像素子にワーク1011を結像するための光学系等とから構成され、撮像により得られた画像は処理部1003に転送(送信)される。
なお、処理部は、汎用のPCに限らず、専用のデバイスであってもよい。また、処理部1003と制御部1004とは、一体として構成されていてもよい。処理部1003は、撮像部1002から転送された画像(データ)に基づいて、ワーク1011の検査のための処理を行う(例えば、ワーク1011の表面(外観)の欠陥を検出する)。なお、処理部1003(処理装置)は、例えば、撮像部1002からの画像データに対して処理を行って得られた(画像)データの(画素)値に対する許容条件に基づいて当該処理を行いうる。
表示部1005は、処理部1003から送信された画像や処理結果などの情報を表示する。入力部は、キーボードやマウス等から構成され、ユーザーによる入力情報等を処理部1003に送信する。
照明部1001は、複数のLED(発光部または光源)を含む。なお、発光部は、LEDに限定されるものではない。複数のLEDは、制御部1004により独立に光量と発光タイミングとを制御できる。LEDは、例えば、3つの異なる仰角に配置され、低い仰角(ローアングル)・中程度の仰角(ミドルアングル)・高い仰角(ハイアングル)からワーク1011を照明しうる。LEDは、例えば、周方向に沿って複数配置されている。このような構成により、照明部1001は、物体の明視野照明および物体の暗視野照明を含む複数の種類の照明を行う機能を有する。ここで、明視野照明の場合と暗視野照明の場合とでは、撮像に寄与する光量が互いに異なりうるため、照明の光量が互いに異なりうる。予め設定されたLEDを順次点灯させ、当該点灯に同期して撮像部1002による撮像を行わせることにより、様々な照明条件(仰角および方位角の組合せを含む)でワーク1011を照明した場合の画像を取得することができる。これにより、多様な種類の欠陥の認識に有利となりうる。
(物品製造方法に係る実施形態)
上述した第2実施形態における検査装置1000は、物品の製造方法に使用しうる。かかる物品の製造方法は、上述の検査装置1000または検査システムを用いて物体の検査を行う工程と、当該検査の結果に基づいて、当該工程で検査を行われた物体を処理する工程と、を含みうる。当該処理は、例えば、加工、切断、搬送、組立(組付)、検査、および選別のうちの少なくともいずれか一つを含みうる。本実施形態の物品製造方法は、従来の方法に比べて、物品の性能・品質・生産性・生産コストのうちの少なくとも1つにおいて有利である。
上述した第2実施形態における検査装置1000は、物品の製造方法に使用しうる。かかる物品の製造方法は、上述の検査装置1000または検査システムを用いて物体の検査を行う工程と、当該検査の結果に基づいて、当該工程で検査を行われた物体を処理する工程と、を含みうる。当該処理は、例えば、加工、切断、搬送、組立(組付)、検査、および選別のうちの少なくともいずれか一つを含みうる。本実施形態の物品製造方法は、従来の方法に比べて、物品の性能・品質・生産性・生産コストのうちの少なくとも1つにおいて有利である。
(その他の実施形態)
以上、本発明の実施の形態を説明してきたが、本発明はこれらの実施の形態に限定されず、その要旨の範囲内において様々な変更が可能である。
以上、本発明の実施の形態を説明してきたが、本発明はこれらの実施の形態に限定されず、その要旨の範囲内において様々な変更が可能である。
1 検査装置
11 照明部
L1〜L8 光源
12 撮像部
13 駆動部
14 制御部
W 被検物
S1〜S4 側面
p 直線軌道(搬送の軌道)
11 照明部
L1〜L8 光源
12 撮像部
13 駆動部
14 制御部
W 被検物
S1〜S4 側面
p 直線軌道(搬送の軌道)
Claims (11)
- 互いに隣接する第1組の側面と、前記第1組の側面に隣接し且つ互いに隣接する第2組の側面とを含む被検物の前記第1組の側面の特性と前記第2組の側面の特性とを検査する検査装置であって、
検査位置にある前記被検物の前記第1組の側面および前記第2組の側面のうちいずれかの照明を行う照明部と、
前記照明を行われた前記第1組の側面および前記第2組の側面のうちいずれかの撮像を行って画像を得る撮像部と、を有し、
前記照明部および前記撮像部は、第1姿勢をとる前記被検物の前記第1組の側面に対して前記照明および前記撮像を行い、前記第1姿勢とは異なる第2姿勢をとる前記被検物の前記第2組の側面に対して前記照明および前記撮像を行い、
前記被検物は、前記第1姿勢および前記第2姿勢を特定する前記被検物の回転の自由度に関して前記第1姿勢および前記第2姿勢とは異なる第3姿勢をとって、前記検査位置を介して、搬送をされることを特徴とする検査装置。 - 前記搬送を行うための駆動部を有し、前記駆動部は、前記搬送の軌道に関して、前記照明部および前記撮像部とは反対側に配置されていることを特徴とする請求項1に記載の検査装置。
- 前記駆動部により前記搬送を行われた前記被検物を前記検査位置で保持する保持部を有することを特徴とする請求項2に記載の検査装置。
- 前記第3姿勢は、前記搬送の軌道の方向に前記被検物の長手方向が沿う姿勢であることを特徴とする請求項1乃至3のうちいずれか1項に記載の検査装置。
- 前記保持部は、前記自由度に関して可動であることを特徴とする請求項3に記載の検査装置。
- 前記照明部は、前記第1組の側面における2つの側面のうちいずれかを照明するための光源と、前記2つの側面のうち両方を照明するための光源とを含むことを特徴とする請求項1乃至5のうちいずれか1項に記載の検査装置。
- 前記撮像部は、前記第1組の側面における第1側面および第2側面をそれぞれ撮像する第1撮像部および第2撮像部を含むことを特徴とする請求項1乃至6のうちいずれか1項に記載の検査装置。
- 前記第1側面と前記第2側面とは、その大きさが異なり、前記第1撮像部と第2撮像部とは、その画素数が異なることを特徴とする請求項7に記載の検査装置。
- 互いに隣接する第1組の側面と、前記第1組の側面に隣接し且つ互いに隣接する第2組の側面とを含む被検物の前記第1組の側面の特性と前記第2組の側面の特性とを検査する検査方法であって、
検査位置にある前記被検物の前記第1組の側面および前記第2組の側面のうちいずれかの照明を行い、
前記照明を行われた前記第1組の側面および前記第2組の側面のうちいずれかの撮像を行って画像を得、
前記照明および前記撮像は、第1姿勢をとる前記被検物の前記第1組の側面に対して行った後に、前記第1姿勢とは異なる第2姿勢をとる前記被検物の前記第2組の側面に対して行い、
前記被検物は、前記第1姿勢および前記第2姿勢を特定する前記被検物の回転の自由度に関して前記第1姿勢および前記第2姿勢とは異なる第3姿勢をとって、前記検査位置を介して、搬送をされることを特徴とする検査方法。 - 前記第3姿勢は、前記搬送の軌道の方向に前記被検物の長手方向が沿う姿勢であることを特徴とする請求項9に記載の検査方法。
- 物品の製造方法であって、
請求項1乃至8のうちいずれか1項に記載の検査装置を用いて物体の検査を行い、
前記検査を行われた前記物体の処理を行って物品を製造する、
ことを特徴とする物品の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017080364A JP2018179789A (ja) | 2017-04-14 | 2017-04-14 | 検査装置、検査方法、および物品製造方法 |
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JP2018179789A true JP2018179789A (ja) | 2018-11-15 |
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ID=64275142
Family Applications (1)
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JP2017080364A Pending JP2018179789A (ja) | 2017-04-14 | 2017-04-14 | 検査装置、検査方法、および物品製造方法 |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6887637B1 (ja) * | 2020-08-24 | 2021-06-16 | S.S.I.株式会社 | 画像検査装置 |
WO2021187003A1 (ja) * | 2020-03-19 | 2021-09-23 | 株式会社Screenホールディングス | 検査システム、検査結果の表示方法および表示プログラム |
-
2017
- 2017-04-14 JP JP2017080364A patent/JP2018179789A/ja active Pending
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JP2022036832A (ja) * | 2020-08-24 | 2022-03-08 | S.S.I.株式会社 | 画像検査装置 |
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