JP2009271497A - カラーフィルタ基板の欠陥検査装置および欠陥検査方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】位相差膜を有するカラーフィルタ基板において位相差中の欠陥、位相差上の異物を検出する検査装置であって、前記カラーフィルタ基板の両側に、前記カラーフィルタ基板と平行かつ互いに対向する位置に配置された第1の偏光フィルタおよび第2の偏光フィルタと、
前記第1の偏光フィルタの外側に配置された透過照明光源と、前記第2の偏光フィルタの外側に配置された撮像手段と、前記撮像手段が取得した画像データに対して画像処理部で所定の画像処理を行い、欠陥を検出する画像処理手段と、を有することを特徴とする位相差膜を有するカラーフィルタ基板の検査装置。
【選択図】図1
Description
前記カラーフィルタ基板の両側に、前記カラーフィルタ基板と平行かつ互いに対向する位置に配置された第1の偏光フィルタおよび第2の偏光フィルタと、
前記第1の偏光フィルタの外側に配置された透過照明光源と、
前記第2の偏光フィルタの外側に配置された撮像手段と、
前記撮像手段が取得した画像データに対して所定の画像処理を行い、欠陥と異物を検出する画像処理手段と、
を有することを特徴とする、位相差膜を有するカラーフィルタ基板の検査装置としたものである。
前記カラーフィルタ基板の両側に、前記カラーフィルタ基板と平行かつ互いに対向する位置に配置された第1の偏光フィルタおよび第2の偏光フィルタと、
前記第1の偏光フィルタの外側に配置された第1の透過照明光源と、
前記第2の偏光フィルタの外側に配置された第1の撮像手段と、
前記カラーフィルタ基板の両側に、前記カラーフィルタ基板と平行かつ互いに対向する位置に配置された第3の偏光フィルタおよび第4の偏光フィルタと、
前記第3の偏光フィルタの外側に配置された第2の透過照明光源と、
前記第4の偏光フィルタの外側に配置された第2の撮像手段と、
前記第1の撮像手段および第2の撮像手段がそれぞれ取得した画像データに対して所定の画像処理を行い、欠陥と異物を検出する画像処理手段とを有し、
前記第1の偏光フィルタと第2の偏光フィルタはその偏光光軸方向が互いに平行に配置され、前記第3の偏光フィルタと第4の偏光フィルタはその偏光光軸方向が互いに垂直に配置されていることを特徴とする、位相差膜を有するカラーフィルタ基板の検査装置としたものである。
前記カラーフィルタ基板の両側に、前記カラーフィルタ基板と平行かつ互いに対向する位置に第1の偏光フィルタおよび第2の偏光フィルタを配置し、
前記第1の偏光フィルタの外側に配置された透過照明光源から前記カラーフィルタ基板に照明光を照射する照明光照射段階と、
前記第2の偏光フィルタの外側に配置された撮像手段により前記カラーフィルタ基板の画像データを取得する撮像段階と、
前記撮像段階で取得した画像データに対して所定の画像処理を行い、欠陥と異物を検出する画像処理段階と、
を有することを特徴とする、位相差膜を有するカラーフィルタ基板の検査方法としたものである。
前記第1および第2の偏光フィルタの偏光光軸方向が互いに平行な状態で、前記カラーフィルタ基板の画像データを取得する第1の撮像段階と、
前記第1および第2の偏光フィルタの偏光光軸方向が互いに垂直な状態で、前記カラーフィルタ基板の画像データを取得する第2の撮像段階と、
前記第1および第2の撮像段階で取得した画像データそれぞれに対して所定の画像処理を行い、欠陥と異物を検出する画像処理段階と、
を有することを特徴とする、位相差膜を有するカラーフィルタ基板の検査方法としたものである。
前記第1および第2の偏光フィルタの偏光光軸方向が互いに平行な状態で得た前記カラーフィルタ基板の画像データに対しては、前記位相差膜の位相差領域中のピンホール欠陥および無位相差領域上の異物を検出し、
前記第1および第2の偏光フィルタの偏光光軸方向が互いに垂直な状態で得た前記カラーフィルタ基板の画像データに対しては、前記位相差膜の位相差領域中のピンホール欠陥および位相差膜上の異物を検出することを特徴とする、位相差膜を有するカラーフィルタ基板の検査方法としたものである。
前記カラーフィルタ基板の両側に、前記カラーフィルタ基板と平行かつ互いに対向する位置に配置された第1の偏光フィルタおよび第2の偏光フィルタを配置し、
前記第1の偏光フィルタの外側に配置された第1の透過照明光源から、前記カラーフィルタ基板に照明光を照射する照明光照射段階と、
前記第2の偏光フィルタの外側に配置された第1の撮像手段により、前記カラーフィルタ基板の画像データを取得する撮像段階と、
前記カラーフィルタ基板の両側に、前記カラーフィルタ基板と平行かつ互いに対向する位置に配置された第3の偏光フィルタおよび第4の偏光フィルタを配置し、
前記第3の偏光フィルタの外側に配置された第2の透過照明光源から、前記カラーフィルタ基板に照明光を照射する照明光照射段階と、
前記第4の偏光フィルタの外側に配置された第2の撮像手段により、前記カラーフィルタ基板の画像データを取得する撮像段階と、
前記第1の撮像手段および第2の撮像手段がそれぞれ取得した画像データに対して所定の画像処理を行い、欠陥と異物を検出する画像処理段階とを有し、
前記第1の偏光フィルタと第2の偏光フィルタはその偏光光軸方向が互いに平行に配置され、前記第3の偏光フィルタと第4の偏光フィルタはその偏光光軸方向が互いに垂直に配置されていることを特徴とする、位相差膜を有するカラーフィルタ基板の検査方法としたものである。
偏光光軸方向が互いに平行な状態である前記第1および第2の偏光フィルタを使用して得た前記カラーフィルタ基板の画像データに対しては、前記位相差膜の位相差領域中のピンホール欠陥および無位相差領域上の異物を検出し、
偏光光軸方向が互いに垂直な状態である前記第3および第4の偏光フィルタを使用して得た前記カラーフィルタ基板の画像データに対しては、前記位相差膜の位相差領域中のピンホール欠陥および位相差膜上の異物を検出することを特徴とする、位相差膜を有するカラーフィルタ基盤の検査方法としたものである。
前記第1および第2の偏光フィルタの偏光光軸方向が互いに35°〜55°の角度をなす状態で、前記カラーフィルタ基板の画像データを取得する撮像段階と、
前記撮像段階で取得した画像データに対して所定の画像処理を行い、欠陥と異物を検出する画像処理段階と、
を有することを特徴とする、位相差膜を有するカラーフィルタ基板の検査方法としたものである。
2、2’…イメージセンサ側の直線偏光フィルタ
3…位相差膜を有するカラーフィルタ
4、4’…透過照明側の直線偏光フィルタ
5、5’…透過照明
6…画像処理部
7…位相差領域304上のピンホール
8…位相差領域304上の異物
9…領域305上の異物
301…ブラックマトリクス
302…配向膜
303…位相差膜
304…直線偏光を、楕円偏光に変換する位相差領域
305…直線偏光の偏光状態を変えない無位相差領域
306…ガラス基板
Claims (9)
- 位相差膜を有するカラーフィルタ基板において位相差膜中の欠陥と位相差上の異物を検出する検査装置であって、
前記カラーフィルタ基板の両側に、前記カラーフィルタ基板と平行かつ互いに対向する位置に配置された第1の偏光フィルタおよび第2の偏光フィルタと、
前記第1の偏光フィルタの外側に配置された透過照明光源と、
前記第2の偏光フィルタの外側に配置された撮像手段と、
前記撮像手段が取得した画像データに対して所定の画像処理を行い、欠陥と異物を検出する画像処理手段と、
を有することを特徴とする、位相差膜を有するカラーフィルタ基板の検査装置。 - 前記第1および第2の偏光フィルタのうち、片方は固定し、もう片方に面内回転機構を取り付けることにより、前記第1の偏光フィルタと第2の偏光フィルタの間の偏光光軸方向の調節を可能としたことを特徴とする請求項1記載の位相差膜を有するカラーフィルタ基板の検査装置。
- 位相差膜を有するカラーフィルタ基板において位相差膜中の欠陥と位相差膜上の異物を検出する検査装置であって、
前記カラーフィルタ基板の両側に、前記カラーフィルタ基板と平行かつ互いに対向する位置に配置された第1の偏光フィルタおよび第2の偏光フィルタと、
前記第1の偏光フィルタの外側に配置された第1の透過照明光源と、
前記第2の偏光フィルタの外側に配置された第1の撮像手段と、
前記カラーフィルタ基板の両側に、前記カラーフィルタ基板と平行かつ互いに対向する位置に配置された第3の偏光フィルタおよび第4の偏光フィルタと、
前記第3の偏光フィルタの外側に配置された第2の透過照明光源と、
前記第4の偏光フィルタの外側に配置された第2の撮像手段と、
前記第1の撮像手段および第2の撮像手段がそれぞれ取得した画像データに対して所定の画像処理を行い、欠陥と異物を検出する画像処理手段とを有し、
前記第1の偏光フィルタと第2の偏光フィルタはその偏光光軸方向が互いに平行に配置され、前記第3の偏光フィルタと第4の偏光フィルタはその偏光光軸方向が互いに垂直に配置されていることを特徴とする、位相差膜を有するカラーフィルタ基板の検査装置。 - 位相差膜を有するカラーフィルタ基板において位相差膜中の欠陥と位相差膜上の異物を検出する検査方法であって、
前記カラーフィルタ基板の両側に、前記カラーフィルタ基板と平行かつ互いに対向する位置に第1の偏光フィルタおよび第2の偏光フィルタを配置し、
前記第1の偏光フィルタの外側に配置された透過照明光源から前記カラーフィルタ基板に照明光を照射する照明光照射段階と、
前記第2の偏光フィルタの外側に配置された撮像手段により前記カラーフィルタ基板の画像データを取得する撮像段階と、
前記撮像段階で取得した画像データに対して所定の画像処理を行い、欠陥と異物を検出する画像処理段階と、
を有することを特徴とする、位相差膜を有するカラーフィルタ基板の検査方法。 - 請求項4記載の、位相差膜を有するカラーフィルタ基板の検査方法において、
前記第1および第2の偏光フィルタの偏光光軸方向が互いに平行な状態で、前記カラーフィルタ基板の画像データを取得する第1の撮像段階と、
前記第1および第2の偏光フィルタの偏光光軸方向が互いに垂直な状態で、前記カラーフィルタ基板の画像データを取得する第2の撮像段階と、
前記第1および第2の撮像段階で取得した画像データそれぞれに対して所定の画像処理を行い、欠陥と異物を検出する画像処理段階と、
を有することを特徴とする、位相差膜を有するカラーフィルタ基板の検査方法。 - 請求項5記載の、位相差膜を有するカラーフィルタ基板の検査方法の前記画像処理段階において、
前記第1および第2の偏光フィルタの偏光光軸方向が互いに平行な状態で得た前記カラーフィルタ基板の画像データに対しては、前記位相差膜の位相差領域上のピンホール欠陥および無位相差領域上の異物を検出し、
前記第1および第2の偏光フィルタの偏光光軸方向が互いに垂直な状態で得た前記カラーフィルタ基板の画像データに対しては、前記位相差膜の位相差領域中のピンホール欠陥および位相差膜上の異物を検出することを特徴とする、位相差膜を有するカラーフィルタ基板の検査方法。 - 位相差膜を有するカラーフィルタ基板において位相差膜中の欠陥と位相差膜上の異物を検出する検査方法であって、
前記カラーフィルタ基板の両側に、前記カラーフィルタ基板と平行かつ互いに対向する位置に配置された第1の偏光フィルタおよび第2の偏光フィルタを配置し、
前記第1の偏光フィルタの外側に配置された第1の透過照明光源から、前記カラーフィルタ基板に照明光を照射する照明光照射段階と、
前記第2の偏光フィルタの外側に配置された第1の撮像手段により、前記カラーフィルタ基板の画像データを取得する撮像段階と、
前記カラーフィルタ基板の両側に、前記カラーフィルタ基板と平行かつ互いに対向する位置に配置された第3の偏光フィルタおよび第4の偏光フィルタを配置し、
前記第3の偏光フィルタの外側に配置された第2の透過照明光源から、前記カラーフィルタ基板に照明光を照射する照明光照射段階と、
前記第4の偏光フィルタの外側に配置された第2の撮像手段により、前記カラーフィルタ基板の画像データを取得する撮像段階と、
前記第1の撮像手段および第2の撮像手段がそれぞれ取得した画像データに対して所定の画像処理を行い、欠陥と異物を検出する画像処理段階とを有し、
前記第1の偏光フィルタと第2の偏光フィルタはその偏光光軸方向が互いに平行に配置され、前記第3の偏光フィルタと第4の偏光フィルタはその偏光光軸方向が互いに垂直に配置されていることを特徴とする、位相差膜を有するカラーフィルタ基板の検査方法。 - 請求項7記載の、位相差膜を有するカラーフィルタ基板の検査方法の前記画像処理段階において、
偏光光軸方向が互いに平行な状態である前記第1および第2の偏光フィルタを使用して得た前記カラーフィルタ基板の画像データに対しては、前記位相差膜の位相差領域中のピンホール欠陥および無位相差領域上の異物を検出し、
偏光光軸方向が互いに垂直な状態である前記第3および第4の偏光フィルタを使用して得た前記カラーフィルタ基板の画像データに対しては、前記位相差膜の位相差領域中のピンホール欠陥および位相差膜上の異物を検出することを特徴とする、位相差膜を有するカラーフィルタ基盤の検査方法。 - 請求項4記載の、位相差膜を有するカラーフィルタ基板の検査方法において、
前記第1および第2の偏光フィルタの偏光光軸方向が互いに35°〜55°の角度をなす状態で、前記カラーフィルタ基板の画像データを取得する撮像段階と、
前記撮像段階で取得した画像データに対して所定の画像処理を行い、欠陥と異物を検出する画像処理段階と、
を有することを特徴とする、位相差膜を有するカラーフィルタ基板の検査方法。
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