JPS61178648A - 液晶表示素子検査装置 - Google Patents

液晶表示素子検査装置

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Publication number
JPS61178648A
JPS61178648A JP1949285A JP1949285A JPS61178648A JP S61178648 A JPS61178648 A JP S61178648A JP 1949285 A JP1949285 A JP 1949285A JP 1949285 A JP1949285 A JP 1949285A JP S61178648 A JPS61178648 A JP S61178648A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
polarizing
liquid crystal
crystal display
inspected
display element
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP1949285A
Other languages
English (en)
Inventor
Yoshito Kawaguchi
河口　善人
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Seiko Epson Corp filed Critical Seiko Epson Corp
Priority to JP1949285A priority Critical patent/JPS61178648A/ja
Publication of JPS61178648A publication Critical patent/JPS61178648A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/21—Polarisation-affecting properties
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1306—Details
    • G02F1/1309—Repairing; Testing

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  • Pathology (AREA)
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は液晶表示素子検査装置に関する。
〔従来の技術〕
従来の液晶表示素子検査装置は、液晶表示素子かその印
加電圧によりて透過光の偏光軸が入射光の偏光軸に対し
て平行か垂直か決まる性質を利用して、液晶表示素子の
入射光側と透過光側とに偏光＃ｉが互いに垂直となるよ
うに偏光フィルタを配し、透過光の偏光軸が入射光の偏
光軸に対して平行となる印加電圧のときに電極間のリー
ク等により、印加電圧が保持されない時に透過光の偏光
軸が入射光の偏光軸に対して垂直となり入射光が透過す
る欠陥（以下白欠陥という）と、透過光の偏光軸が入射
光の偏光軸に対して垂直となる印加電圧のときに電極間
のリーク等により、印加電圧が保持されない時に透過光
の偏光軸か入射光の偏光軸に対して平行となり入射光が
透過しない欠陥（以下黒欠陥という）とを検査するもの
であった。
〔発明が解決しようとする問題点〕
しかし、前述の液晶表示素子検査装置では、黒欠陥を検
査する時、周囲の透過光のまわりこみによるコントラス
トの低下によって検査しにくいという問題を有する。そ
こで、本発明はこのような問題点を解決するもので、そ
の目的は、黒欠陥を白欠陥と同様に検査できる液晶表示
素子検査装置を提供するところにある。
〔問題点を解決するための手段〕
本発明の液晶表示素子検査装置は、液晶表示素子の入射
光側の偏光軸と透過光側の偏光軸が、互いに垂直に配さ
れた偏光フィルタの組と、互いに平行に配された偏光フ
ィルタの組との切替機構を有し、黒欠陥を白欠陥と同様
に検査することをもたらすことを特徴とする。
〔作用〕
本発明の上記の機構によれば、液晶表示素子の印加電圧
が、透過光の偏光軸が入射光の偏光軸に対して垂直とな
る電圧のとき、入射光側の偏光軸と透過光側の偏光軸が
互いに平行に配された偏光フィルタの組に切替えること
により、入射光が透過するかしないかが逆になり、黒欠
陥は白欠陥となり、白欠陥と同様に検査できる。
〔実施例〕
第１図は、本発明の１実施例の構成図でありて、１は検
査する液晶表示−子、２はランプ、３は撮像素子、４．
５’、６は偏光フィルタ、７はエアシリンダである。検
査する液晶表示素子１は、ランプ２で照明され、その透
過光を撮像素子５で撮像する。偏光フィルタ４．５は、
その偏光軸が互いに垂直になるように配されていて、こ
の構成で白欠陥を検査する。第２ＦｉＡは、黒欠陥を検
査するときの構成図であって、偏光フィルタ４，６は、
Ａその偏光軸が互いに平行になるように配されていて、
黒欠陥は白欠陥として検査する。エアシリンダ７は、偏
光フィルタ５，６をいりしよにスライドさせ、光軸上に
偏光フィルタ５または偏光フィルタ６を位置させること
により、第１図と第２図の構成を切替え、白欠陥と黒欠
陥を検査する。
〔発明の効果〕
本発明によれば、液晶表示素子の入射光側の偏光軸と透
過光側の偏光軸が、互いに垂直に配された偏光フィルタ
の組と、互いに平行に配された偏光フィルタの組との切
替機構を有することにより、黒欠陥を白欠陥と同様に検
査できる液晶表示素子検査装置を提供することができ、
検査ミスの激減により、検査の信頼性を向上させるとい
う効果を有する。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の液晶表示素子検査装置の白欠陥検出の
構成図。第２図は黒欠陥検出の構成図。 １・・・・・・液晶表示素子 ２…・・・ランプ ３・・・・・・撮像素子 ４・・・・・・偏光フィルタ ５・・・・・・偏光軸が４と垂直な偏光フィルタ６・・
・・・・偏光軸が４と平行な偏光フィルタ７・・・・・
・エアシリンダ 以上

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 液晶表示素子の入射光側の偏光軸と透過光側の偏光軸が
    、互いに垂直に配された偏光フィルタの組と、互いに平
    行に配された偏光フィルタの組との切替機構を有する液
    晶表示素子検査装置。
JP1949285A 1985-02-04 1985-02-04 液晶表示素子検査装置 Pending JPS61178648A (ja)

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JP1949285A JPS61178648A (ja) 1985-02-04 1985-02-04 液晶表示素子検査装置

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JP1949285A JPS61178648A (ja) 1985-02-04 1985-02-04 液晶表示素子検査装置

Publications (1)

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JPS61178648A true JPS61178648A (ja) 1986-08-11

Family

ID=12000858

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JP1949285A Pending JPS61178648A (ja) 1985-02-04 1985-02-04 液晶表示素子検査装置

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0382424A2 (en) * 1989-02-04 1990-08-16 Mitsubishi Chemical Corporation Image pickup head for image pickup device
WO1999018472A1 (en) * 1997-10-06 1999-04-15 Orbotech Ltd. Optical inspection method and system
KR20040044071A (ko) * 2002-11-18 2004-05-27 가부시키가이샤 니혼 마이크로닉스 표시용 기판의 검사방법 및 장치
JP2009271497A (ja) * 2008-04-10 2009-11-19 Toppan Printing Co Ltd カラーフィルタ基板の欠陥検査装置および欠陥検査方法

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0382424A2 (en) * 1989-02-04 1990-08-16 Mitsubishi Chemical Corporation Image pickup head for image pickup device
WO1999018472A1 (en) * 1997-10-06 1999-04-15 Orbotech Ltd. Optical inspection method and system
KR20040044071A (ko) * 2002-11-18 2004-05-27 가부시키가이샤 니혼 마이크로닉스 표시용 기판의 검사방법 및 장치
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