CN111721776A - 检查方法及检查装置 - Google Patents
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- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims abstract description 95
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 30
- 230000007547 defect Effects 0.000 claims abstract description 61
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 claims abstract description 25
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 claims abstract description 25
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims abstract description 23
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims abstract description 23
- 230000002950 deficient Effects 0.000 claims abstract description 11
- -1 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 claims abstract description 7
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 6
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 claims abstract description 3
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 claims description 36
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 29
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 9
- 238000012360 testing method Methods 0.000 abstract description 12
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 24
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 12
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 11
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 10
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 10
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 10
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 9
- 206010027146 Melanoderma Diseases 0.000 description 8
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 8
- 239000000463 material Substances 0.000 description 8
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 7
- 239000004820 Pressure-sensitive adhesive Substances 0.000 description 5
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 5
- 229920002284 Cellulose triacetate Polymers 0.000 description 4
- SECXISVLQFMRJM-UHFFFAOYSA-N N-Methylpyrrolidone Chemical compound CN1CCCC1=O SECXISVLQFMRJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000004372 Polyvinyl alcohol Substances 0.000 description 4
- NNLVGZFZQQXQNW-ADJNRHBOSA-N [(2r,3r,4s,5r,6s)-4,5-diacetyloxy-3-[(2s,3r,4s,5r,6r)-3,4,5-triacetyloxy-6-(acetyloxymethyl)oxan-2-yl]oxy-6-[(2r,3r,4s,5r,6s)-4,5,6-triacetyloxy-2-(acetyloxymethyl)oxan-3-yl]oxyoxan-2-yl]methyl acetate Chemical compound O([C@@H]1O[C@@H]([C@H]([C@H](OC(C)=O)[C@H]1OC(C)=O)O[C@H]1[C@@H]([C@@H](OC(C)=O)[C@H](OC(C)=O)[C@@H](COC(C)=O)O1)OC(C)=O)COC(=O)C)[C@@H]1[C@@H](COC(C)=O)O[C@@H](OC(C)=O)[C@H](OC(C)=O)[C@H]1OC(C)=O NNLVGZFZQQXQNW-ADJNRHBOSA-N 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 229920002451 polyvinyl alcohol Polymers 0.000 description 4
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 4
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 3
- NLKNQRATVPKPDG-UHFFFAOYSA-M potassium iodide Chemical compound [K+].[I-] NLKNQRATVPKPDG-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 3
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 3
- UHFFVFAKEGKNAQ-UHFFFAOYSA-N 2-benzyl-2-(dimethylamino)-1-(4-morpholin-4-ylphenyl)butan-1-one Chemical compound C=1C=C(N2CCOCC2)C=CC=1C(=O)C(CC)(N(C)C)CC1=CC=CC=C1 UHFFVFAKEGKNAQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ZCYVEMRRCGMTRW-UHFFFAOYSA-N 7553-56-2 Chemical compound [I] ZCYVEMRRCGMTRW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 230000001186 cumulative effect Effects 0.000 description 2
- 150000001925 cycloalkenes Chemical class 0.000 description 2
- BGTOWKSIORTVQH-UHFFFAOYSA-N cyclopentanone Chemical compound O=C1CCCC1 BGTOWKSIORTVQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 229910052740 iodine Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011630 iodine Substances 0.000 description 2
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 2
- 239000000178 monomer Substances 0.000 description 2
- 229920003229 poly(methyl methacrylate) Polymers 0.000 description 2
- 239000004926 polymethyl methacrylate Substances 0.000 description 2
- PQMFVUNERGGBPG-UHFFFAOYSA-N (6-bromopyridin-2-yl)hydrazine Chemical compound NNC1=CC=CC(Br)=N1 PQMFVUNERGGBPG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920002799 BoPET Polymers 0.000 description 1
- 229940126062 Compound A Drugs 0.000 description 1
- NLDMNSXOCDLTTB-UHFFFAOYSA-N Heterophylliin A Natural products O1C2COC(=O)C3=CC(O)=C(O)C(O)=C3C3=C(O)C(O)=C(O)C=C3C(=O)OC2C(OC(=O)C=2C=C(O)C(O)=C(O)C=2)C(O)C1OC(=O)C1=CC(O)=C(O)C(O)=C1 NLDMNSXOCDLTTB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 239000004327 boric acid Substances 0.000 description 1
- 229920002678 cellulose Polymers 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 238000003851 corona treatment Methods 0.000 description 1
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 1
- 239000012769 display material Substances 0.000 description 1
- 238000004043 dyeing Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 1
- ZZUFCTLCJUWOSV-UHFFFAOYSA-N furosemide Chemical compound C1=C(Cl)C(S(=O)(=O)N)=CC(C(O)=O)=C1NCC1=CC=CO1 ZZUFCTLCJUWOSV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000010191 image analysis Methods 0.000 description 1
- 229940077844 iodine / potassium iodide Drugs 0.000 description 1
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 1
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 description 1
- JRZJOMJEPLMPRA-UHFFFAOYSA-N olefin Natural products CCCCCCCC=C JRZJOMJEPLMPRA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 1
- 239000003505 polymerization initiator Substances 0.000 description 1
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000379 polymerizing effect Effects 0.000 description 1
- 238000007127 saponification reaction Methods 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 1
- 238000009281 ultraviolet germicidal irradiation Methods 0.000 description 1
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M11/00—Testing of optical apparatus; Testing structures by optical methods not otherwise provided for
- G01M11/02—Testing optical properties
- G01M11/0242—Testing optical properties by measuring geometrical properties or aberrations
- G01M11/0278—Detecting defects of the object to be tested, e.g. scratches or dust
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N21/958—Inspecting transparent materials or objects, e.g. windscreens
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- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N2021/9513—Liquid crystal panels
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- Physics & Mathematics (AREA)
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- Immunology (AREA)
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- Geometry (AREA)
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Abstract
本发明提供可容易地判断圆偏振板有无缺陷的检查方法及检查装置。依次排列地配置具备圆偏振板(1)及由聚对苯二甲酸乙二醇酯系树脂形成的剥离膜(16a)的膜状的被检查物(10)、相位差板(4)、以及与圆偏振板(1)构成正交尼克尔棱镜的相位差滤光片(3)，从被检查物(10)侧或相位差滤光片(3)侧中的任一侧使光入射，从另一侧进行观察来判断圆偏振板(1)有无缺陷。在该检查中，作为相位差板(4)而依次使用第一相位差板以及具有与第一相位差板不同的面内相位差的第二相位差板。
Description
技术领域
本发明涉及检查方法及检查装置。
背景技术
液晶显示装置或有机EL显示装置等所使用的偏振板通常以将偏振片被两片保护膜夹持的方式来构成。为了将偏振板粘贴于显示装置，在一侧的保护膜上层叠粘合剂层，进而在粘合剂层上层叠剥离膜。另外，多数情况下，在另一侧的保护膜上也贴合保护其表面的剥离膜。偏振板在如此层叠有剥离膜的状态下进行流通搬运，在显示装置的制造工序中贴合于显示装置时，将剥离膜剥离。
但是，偏振板在其制造阶段中有时在偏振片与保护膜之间混入异物或残留气泡，或者，在保护膜具有相位差膜的功能的情况下内部存在有取向缺陷(以下有时将这些异物、气泡及取向缺陷总称为“缺陷”)。在将存在缺陷的偏振板贴合于显示装置的情况下，有时该缺陷的部位被视觉辨认为亮点，或者，在缺陷的部位观察到图像扭曲。特别是，被视觉辨认为亮点的缺陷在该显示装置显示黑色时容易被视觉辨认到。
因此，在将偏振板贴合于显示装置的前阶段(具备剥离膜的状态的偏振板)，进行用于检测该偏振板缺陷的检查。该缺陷的检查通常为利用偏振板的偏振轴进行的光检查。具体而言，如专利文献1所示，在作为被检查物的偏振板与光源之间设置偏振滤光片，并且使该偏振板或偏振滤光片在平面方向上旋转，使它们各自的偏振轴方向满足规定的关系。在偏振轴方向彼此相互正交的情况下(即，构成正交尼克尔棱镜的配置的情况下)，通过偏振滤光片后的直线偏振光无法通过偏振板。然而，若偏振板存在缺陷，则在该部位直线偏振光发生透过，因此，通过检测该光来判明缺陷的存在。另一方面，在偏振板与偏振滤光片的偏振轴方向彼此平行的情况下，通过偏振滤光片后的直线偏振光会透过偏振板。然而，若偏振板存在缺陷，则在该部位直线偏振光被阻断，因此，通过检测不到该光而判明缺陷的存在。透过偏振板来的光由检查者通过目视来检测，或者，通过组合CCD照相机和图像处理装置而得的图像分析处理值来自动地检测，由此能够进行偏振板有无缺陷的检查。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开平9－229817号公报
发明内容
发明要解决的课题
然而，如上所述，在偏振板具备剥离膜的情况下，由于该剥离膜所具有的双折射而使偏振板的偏振特性受到阻碍，所以无法利用现有的检查装置来高精度地检测偏振板中存在的亮点等缺陷。
在偏振板为圆偏振板且剥离膜由聚对苯二甲酸乙二醇酯系树脂(PET系树脂)形成的情况下，使用与该PET系树脂的波长色散的程度相符的相位差滤光片(相当于上述偏振滤光片)。在此，在将圆偏振板与相位差滤光片以构成正交尼克尔棱镜的方式进行配置的情况下，根据上述原理，缺陷被视觉辨认为亮点，但对于圆偏振板所具有的相位差膜的取向缺陷或针孔等相位差值低的区域而言，亮点缺陷会被视觉辨认为黑点，这种情况下，与作为亮点而检出相比更难以检测判断。特别是在圆偏振板具有包含聚合性液晶化合物的固化物的相位差膜的情况下，这种倾向较为显著。
本发明的目的在于，提供能够容易地判断圆偏振板有无缺陷的检查方法及检查装置。
用于解决课题的手段
本发明提供一种检查方法，其为判断膜状的被检查物有无缺陷的检查方法，所述膜状的被检查物具备圆偏振板和由PET系树脂形成的剥离膜，在所述检查方法中，依次排列地配置：被检查物；第一相位差板，其波长550nm时的面内相位差值与剥离膜的波长550nm时的面内相位差值大致相同，并且，对剥离膜所具有的双折射进行补偿；以及相位差滤光片，其与圆偏振板构成正交尼克尔棱镜，其中，从被检查物侧或相位差滤光片侧中的任一侧入射光，并从另一侧观察相位差滤光片或被检查物来判断圆偏振板有无缺陷，将第一相位差板替换成第二相位差板，从被检查物侧或相位差滤光片侧中的任一侧入射光，从另一侧观察相位差滤光片或被检查物来判断圆偏振板有无缺陷，其中，所述第二相位差板的波长550nm时的面内相位差值(以下有时将该波长550nm时的面内相位差值称为“Re(550)”)比剥离膜的Re(550)大50～100nm，并且，对剥离膜所具有的双折射进行补偿。
在该检查方法中，对于通过使用了第一相位差板的检查而观察到黑色缺陷的部位，使用第二相位差板进行检查，由此，能够将其作为亮点缺陷进行观察。据此，能够容易地判断圆偏振板有无缺陷。
圆偏振板可以具有包含聚合性液晶化合物的固化物的相位差膜。在相位差膜包含聚合性液晶化合物的固化物的情况下，由其通常的薄厚而作为黑点缺陷被观察的可能性提高。因此，适合作为应用本发明的对象。
在本发明的检查方法中，可以使被检查物、第一相位差板、第二相位差板及相位差滤光片中的至少一者以彼此相向的角度不同的方式倾斜，或在与光的光轴垂直的方向上旋转。通过将它们倾斜，从而可以对剥离膜、相位差板的相位差进行微调，因此能够实现更广范围的检查。另外，通过使它们旋转，从而剥离膜与相位差板的轴校正变得容易。
第一相位差板及第二相位差板被彼此配置在同一构件内而构成。
本发明提供一种检查装置，其为使光入射至膜状的被检查物来判断圆偏振板有无缺陷的检查装置，所述膜状的被检查物具备圆偏振板和由PET系树脂形成的剥离膜，所述检查装置具备：光源；相位差滤光片，其使从光源发出且被被检查物转换成圆偏振光的光入射；相位差板，其配置在与配置被检查物的位置相比更远离光源的一侧，且与配置相位差滤光片的位置相比更靠近光源的一侧，并且使圆偏振光通过，其中，相位差板包含其Re(550)与剥离膜的Re(550)大致相同的第一相位差板和Re(550)比剥离膜的Re(550)大50～100nm的第二相位差板，第一相位差板及第二相位差板对剥离膜所具有的双折射进行补偿。
另外，本发明提供一种检查装置，其为使圆偏振光入射至膜状的被检查物来判断圆偏振板有无缺陷的检查装置，所述膜状的被检查物具备圆偏振板和由PET系树脂形成的剥离膜，所述检查装置具备：光源；相位差滤光片，其将光源发出的光转换成圆偏振光；相位差板，其配置在与配置被检查物的位置相比更靠近光源的一侧，且与配置相位差滤光片的位置相比更远离光源的一侧，并且使圆偏振光通过，其中，相位差板包含Re(550)与剥离膜的Re(550)大致相同的第一相位差板和Re(550)比剥离膜的Re(550)大50～100nm的第二相位差板，第一相位差板及第二相位差板对剥离膜所具有的双折射进行补偿。
这些检查装置中的相位差板中，在同一构件内配置第一相位差板及第二相位差板而构成。
发明的效果
根据本发明，可以提供能够容易地判断圆偏振板有无缺陷的检查方法及检查装置。
附图说明
图1为表示第一实施方式的检查装置的图。
图2为被检查物的剖视图。
图3为表示相位差板的一例的图。
图4为表示相位差板的另一例的图。
图5为表示第二实施方式的检查装置的图。
附图标记说明
1…圆偏振板；2…光源；3…相位差滤光片；4(4A、4B)…相位差板；5…检测单元；9…光轴；10…被检查物；11…偏振膜；12a、12b…保护膜；13…粘合剂层；14…相位差膜；15…粘合剂层；16a、16b…剥离膜；100A、100B…检查装置；a1、b1…第一区域(第一相位差板)；a2、b2…第二区域(第二相位差板)；an…第n区域(第n相位差板)。
具体实施方式
以下，在本发明的优选实施方式中，一边参照附图一边详细地进行说明。需要说明的是，在各附图中，对同一部分或相应部分标注相同的符号，并省略重复说明。
＜第一实施方式＞
对第一实施方式的检查装置及检查方法进行说明。
(检查装置和被检查物)
本实施方式的检查装置为对圆偏振板有无表面缺陷进行检查的装置。如图1所示，检查装置100A通过将光源2、相位差板4及相位差滤光片3依次配置而成。
如图2所示，作为检查对象的膜状的被检查物10具备：作为检查对象主体的圆偏振板1；以及隔着粘合剂层15而层叠于圆偏振板1的剥离膜16a。圆偏振板1为，在偏振膜11的两面贴合有保护膜12a、12b，并在具备剥离膜16a的一侧的保护膜12a上隔着粘合剂层13而形成有相位差膜14。而且，在圆偏振板1中的不具备剥离膜16a的一侧的面上层叠有另外的剥离膜16b。圆偏振板1通常用于显示装置、例如液晶显示装置或有机EL显示装置，在使用时将剥离膜16a剥离，隔着粘合剂层15而粘贴于显示装置。
需要说明的是，在本说明书中，“圆偏振板”包括圆偏振板及椭圆偏振板。另外，“圆偏振光”包括圆偏振光和椭圆偏振光。
偏振膜11为在检查装置100A中将由光源2入射的光转换成直线偏振光的膜。作为偏振膜11，例如可举出：在聚乙烯醇膜中吸附、取向有碘或二色性色素的偏振膜；在将聚合性液晶化合物取向、聚合而得的物质中吸附、取向有二色性色素的偏振膜。
保护膜12a、12b用于保护偏振膜11。作为保护膜12a、12b，出于得到具有适度的机械强度的偏振板的目的，可以使用在偏振板的技术领域中广泛使用的保护膜。典型地有：三乙酰纤维素(TAC)膜等纤维素酯系膜；环状烯烃系膜；聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)膜等聚酯系膜：聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)膜等(甲基)丙烯酸系膜等。另外，保护膜中可以包含在偏振板的技术领域中广泛使用的添加剂。
保护膜12a、12b作为圆偏振板1的构成要素而与偏振膜11一起贴合于显示装置，因此，要求相位差值的严格管理等。作为保护膜12a、12b，典型地优选使用相位差值极小的保护膜。保护膜12a、12b隔着粘接剂贴合于偏振膜11。
相位差膜14为在检查装置100A中将被偏振膜11直线偏振的光转换成圆偏振光的膜。相位差膜14只要是具有相位差的膜则没有特别限制，优选包含聚合性液晶化合物的固化物。就包含聚合性液晶化合物的固化物的相位差膜14而言，通常其厚度薄至0.2μm～10μm左右，在包含异物等的情况下，在该部分相位差值容易降低。在这样的部位中，如后所述，当利用相位差板4对剥离膜16a的双折射进行补偿后，无论是否原本应该是作为亮点缺陷而被观察到的缺陷，会成为黑点而被观察到。
能够形成相位差膜14的聚合性液晶化合物例如可举出日本特开2009－173893号公报、日本特开2010－31223号公报、WO2012/147904号公报、WO2014/10325号公报及WO2017－43438号公报中公开的化合物。这些公报中记载的聚合性液晶化合物能够形成在宽的波长区域内可实现同样的偏振转换的、具有所谓逆波长色散性的相位差膜。例如，通过将包含该聚合性液晶化合物的溶液(聚合性液晶化合物溶液)涂布在恰当的基材上并使其光聚合，从而如上所述，可以形成极薄的相位差膜，因此，具有这样的相位差膜的圆偏振板可以形成厚度极薄的圆偏振板。这种厚度极薄的圆偏振板作为近年来受到关注的挠性显示材料用的圆偏振板是有利的。
作为涂布聚合性液晶化合物溶液的基材，可举出上述公报中记载的基材。在上述基材上，为了使聚合性液晶化合物发生取向而可以设置取向膜。取向膜可以是通过偏振光照射而发生光取向的取向膜、通过摩擦处理而机械取向的取向膜中的任意者。需要说明的是，关于该取向膜，也记载于上述公报中。
然而，在涂布聚合性液晶化合物溶液的基材中存在异物等或者基材自身带伤等的情况下，在涂布聚合性液晶化合物溶液而得到的涂布膜自身会产生缺陷。另外，在对取向膜进行了摩擦处理的情况下，摩擦布的碎屑残留在取向膜上，这也会使聚合性液晶化合物溶液(液晶固化膜形成用组合物)的涂布膜产生缺陷。如此，由聚合性液晶化合物形成的相位差膜虽然能够形成厚度极薄的相位差膜，但存在产生缺陷的因素。而且，就相位差膜的缺陷而言，如上所述，会产生成为黑点而被观察到的缺陷。在对具有圆偏振板(其具备具有这种缺陷的相位差膜)及剥离膜的被检查物有无缺陷进行判定的检测中，本实施方式的检查装置、检查方法特别有用。
相位差膜14可以通过在基材上涂布取向膜形成用组合物，进而在其上涂布包含聚合性液晶化合物的液晶固化膜形成用组合物来制作。将如此制成的相位差膜14连着基材一起贴合于形成在保护膜12a上的粘合剂层13，之后将基材剥离，从而能够将相位差膜14转印至保护膜12a上。
剥离膜16a是在贴合于显示装置时从圆偏振板1剥离的膜，通常，被剥离掉的剥离膜16a被废弃。因此，与保护膜12a、12b不同，并不要求相位差值的严格管理。因此，在采用市售的膜作为剥离膜16a的情况下，如果不对其相位差值进行补偿，则在使用相位差滤光片3的缺陷检查中，可能导致误动作。即，在如此贴合有相位差值未被严格管理的剥离膜16a、16b的圆偏振板1的缺陷检查中，该剥离膜16a的相位差可能成为使检查装置100A的检查精度降低的原因。
需要说明的是，如上述背景技术所记载的那样，在圆偏振板1中，大多在剥离膜16a的相反面设置有另外的剥离膜16b。在图2所示的圆偏振板1中，在保护膜12b侧贴合有剥离膜16b。该剥离膜16b通常也是在贴合于显示装置时从圆偏振板1剥离的膜，与保护膜12a、12b不同，并不要求相位差值的严格管理。在对剥离膜16b的相位差值进行补偿的情况下，在检查装置100A中，将剥离膜16a替换成剥离膜16b，即预先求出剥离膜16b的Re(550)，然后颠倒被检查物10的朝向(设置为剥离膜16b与相位差板4相向的形式)，使用检查装置100A实施本实施方式的检查方法即可。需要说明的是，在图2中，保护膜12b与剥离膜16b可以隔着恰当的粘接剂层或粘合剂层进行贴合(在图2中，该粘接剂层或粘合剂层没有图示)。
在本实施方式中，剥离膜16a由PET系树脂形成。在对剥离膜16b的相位差值进行补偿来实施本实施方式的检查方法的情况下，剥离膜16b也使用由PET系树脂形成的膜。由PET系树脂形成的膜(PET系树脂膜)广泛用作剥离膜，且具有廉价的优点。另一方面，廉价的PET系树脂膜如上所述，并不要求相位差值的严格管理。因此，例如在每个制品批次间相位差值存在偏差。另外，即便是同一PET树脂系膜，也会在面内存在相位差值的偏差。即便是将这种廉价的PET树脂系膜作为剥离膜来贴合的圆偏振板，也可以通过本实施方式的检查方法而精度良好地检测其有无缺陷。
在此，预先示出剥离膜16a的Re(550)的求得方法。如上所述，这些剥离膜为由PET系树脂形成的膜，这样的膜能够容易从市场获得。从该膜中分割取得(使用恰当的切断工具从长条膜进行分割取得等)例如40mm×40mm左右大小的片。将该片的Re(550)测定3次，求出Re(550)的平均值。片的Re(550)可以使用相位差测定装置KOBRA－WPR(王子计测机器株式会社制)在测定温度为室温(25℃左右)的条件下进行测定。需要说明的是，在求取剥离膜16b的Re(550)时，也只要进行同样的试验即可。
光源2可以使用各种市售品，但例如激光等直线光(也包括与直线光近似的光)是有利的。光源2发出的光是未偏振光，从偏振膜11通过而成为规定方向的偏振光，进而从相位差膜14通过而成为圆偏振光。即，未偏振的光从圆偏振板1通过而成为圆偏振光。
相位差滤光片3为圆偏振板，使具有相位差的层朝向光源2侧进行配置。关于相位差滤光片3，在对被检查物10进行检查的情况下，通常以与被检查物10中的圆偏振板1构成正交尼克尔棱镜的方式来调整相位差滤光片3的朝向。而且，构成该相位差滤光片3的偏振板及相位差板(构成具有相位差的层)采用所谓的无缺陷物。
相位差板4对被检查物10所具备的剥离膜16a所致的光的双折射进行补偿。作为构成相位差板4的材料，只要是对由PET系树脂形成的剥离膜16a所致的光的双折射进行补偿的材料则没有特别限定。也可以准备市售的具有100～200nm的相位差板，将它们层叠多片以达到期望的相位差值来形成相位差板4。Re(550)通常具有加和性，因此可以由层叠而得的相位差板的Re(550)得到期望的Re(550)的相位差板4。由PET系树脂形成的剥离膜16a通常面内方向的相位差值、慢轴的偏差较大，因此，优选事先准备多种相位差板，以使得能够在检查时选择多种相位差值。在本实施方式中，使用具有与剥离膜16a的Re(550)大致相同的相位差值的第一相位差板、以及比剥离膜16a的Re(550)大50～100nm的Re(550)的第二相位差板这至少两种相位差板。需要说明的是，与剥离膜16a的Re(550)大致相同的相位差值是指剥离膜16a的Re(550)与相位差板的Re(550)之间的差值的绝对值为20nm以下。
此外，若考虑到剥离膜的相位差值的偏差，则优选上述相位差板显示出与剥离膜的Re(550)相比为±300nm左右的范围的相位差。在该相位差的范围内，进一步优选在剥离膜的面内方向上以50nm～100nm刻度发生变化。优选事先准备各种显示这些相位差的相位差板。即，优选在第一相位差板、第二相位差板之外，还事先准备相位差不同的第三相位差板、第四相位差板。
将相位差板4的典型例的概略情况示于图3及图4。如图3及图4所示那样，也可以是在一片相位差板构件之中连续配置相位差值不同的区域而构成的相位差板。即，至少第一相位差板及第二相位差板可以构成在同一构件中。
如图3所示，相位差板4A可以按照面内方向的相位差值不同的区域沿着一个方向相连而构成。即，位于端部的区域(第一区域a1；相当于第一相位差板)是Re(550)例如为1720nm的区域；与其邻接的区域(第二区域a2；相当于第二相位差板)是Re(550)为1790nm的区域，进而与其相邻的区域(第三区域a3；相当于第三相位差板)是Re(550)为1860nm的区域。在相位差板4A中，该区域的数量是任意的，在图3中表示至第n个区域an为止。需要说明的是，在各个区域中，厚度方向的相位差值可以通过想要以一个区域观察到的视野区域的宽度来进行调节。
另外，如图4所示，相位差板4B可以将Re(550)不同的区域环状排列而构成。即，圆盘状的相位差板4B以从中心部起呈放射状延伸的假想线为边界而划分为相位差值不同的多个区域，某一区域(第一区域b1；相当于第一相位差板)是Re(550)例如为1720nm的区域，与其相邻的区域(第二区域b2；相当于第二相位差板)是Re(550)为1790nm的区域，进而与其相邻的区域(第三区域b3；相当于第三相位差板)是Re(550)为1860nm的区域。在相位差板4B中，该区域的数量是任意的，在图4中示出了存在至第六区域b6为止的圆盘状的相位差板。
为了对通过被检查物10、相位差板4及相位差滤光片3后的光进行观察，可以在光轴9上且相位差滤光片3的两侧之中与光源2的一侧相反侧的位置配置包含CCD照相机等的检测单元5。例如，能够利用组合了CCD照相机和图像处理装置的图像处理分析来自动地检测，由此进行被检查物的检查。或者，检测单元5也可以不是构件，而是人对相位差滤光片3进行目视观察。
另外，检查装置100A优选具备可移动装置(未图示)，该可移动装置能够将被检查物10、相位差板4及相位差滤光片3中的至少一者以彼此相向的角度不同的方式倾斜，或在与光的光轴9垂直的方向上旋转。通过将它们倾斜，从而可以对由PET系树脂形成的剥离膜16a、相位差板4的相位差进行微调，因此能够实现更广范围的检查。另外，通过使它们旋转，从而由PET系树脂形成的剥离膜16a与相位差板4的轴校正变得容易。
(检查方法)
使用了检查装置100A的检查方法如下所述。首先，在检查装置100A的内部中，在光源2与相位差板4之间插入被检查物10。此时，被检查物10、相位差板4和相位差滤光片3按照以下方式进行配置：其面均平行，并且，被检查物10中的具备剥离膜16a的一侧朝向与光源2相反侧，且圆偏振板1与相位差滤光片3构成正交尼克尔棱镜。在检查装置100A具备上述可移动装置的情况下，也可以在将被检查物10以任意的方向插入后，利用可移动装置使被检查物10与相位差滤光片3的相对位置关系发生变化来形成正交尼克尔棱镜。
光源2发出的光入射至被检查物10，从被检查物10通过而成为圆偏振光。通过使被检查物10与相位差滤光片3呈现正交尼克尔棱镜的配置，从而因从被检查物10通过而生成的圆偏振光被相位差滤光片3阻断。此时，如果被检查物10中的圆偏振板1中存在缺陷，则该缺陷部分无法进行正常的阻断，通过检测单元5中的检查作业者的眼睛或CCD照相机等缺陷部分作为亮点被观察。
然而，在剥离膜16a具有相位差的情况下，因从被检查物10通过而生成的圆偏振光受到影响，透过相位差滤光片3的光量变多(例如超过光源光量的10％或15％)，圆偏振板1中存在的亮点等缺陷的检测精度降低。在此，通过在被检查物10与相位差滤光片3之间配置有相位差板4，从而被检查物10中的剥离膜16a的相位差值被消除，对剥离膜16a所致的光的双折射进行补偿。
另外，为了有效地对剥离膜16a所致的光的双折射进行补偿，相位差板4以剥离膜16a所具有的相位差值和波长色散特性尽可能一致的方式进行设计，但是，由于剥离膜16a的相位差值的面内偏差而难以在整个检查视野中将光充分地阻断来进行检查。在这种情况下，在圆偏振板1中，在相位差膜14的相位差值降低的部分处光学补偿进行匹配，会发生原本应作为亮点而被观察到的缺陷作为黑点而被观察到的情况。通常，黑点缺陷与亮点缺陷相比较对视觉辨认性造成的影响小，因此，对于缺陷尺寸而言，大多允许比亮点缺陷更大，因此结果被判断为没有问题。
但是，该黑点缺陷原本应当作为由相位差膜14的相位差值降低部位引起的亮点缺陷而被观察到的情况下，对视觉辨认性造成的影响较大，成为了问题。
因此，在本实施方式中，针对被视觉辨认为黑点的缺陷部位，使用第二相位差板(例如，图3及图4所例示的相位差板4A、4B中的第二区域a2、b2)。例如，在使用相位差板4A的第一区域a1(第一相位差板)进行的初次检查中，针对被视觉辨认为黑点的缺陷部位，使用第二区域a2(第二相位差板)进行第二次检查。如此，在通过使用面内方向的相位差值不同的相位差板经多次进行检查而该缺陷作为亮点缺陷被观察到的情况下，容易正确识别缺陷。需要说明的是，在使用第二区域a2(第二相位差板)的检查中仍视觉辨认为黑点的情况下，继续以第三区域a3(第三の相位差板)进行检查。
在检查中，可以将被检查物10、相位差板4及相位差滤光片3中的至少一者以彼此相向的角度不同的方式倾斜，也可以在与光的光轴9垂直的方向上旋转。通过进行倾斜，从而可以对剥离膜16a、相位差板4的相位差进行微调，因此能够实现更广范围的检查。另外，通过使它们旋转，从而由PET系树脂形成的剥离膜16a与相位差板4的轴校正变得容易。这些操作在检查装置100A具备可移动装置的情况下能够特别容易地进行。
＜第二实施方式＞
对第二实施方式的检查装置及检查方法进行说明。如图5所示，第二实施方式的检查装置100B与第一实施方式的检查装置100A的不同之处在于，配置被检查物10的位置与配置相位差滤光片3的位置是相反的。即，检查装置100B是通过依次配置光源2、相位差滤光片3及相位差板4而成的，被检查物10按照在检查时使剥离膜16a朝向光源2侧的方式配置在与相位差板4相比更远离光源的位置处。需要说明的是，与上述第一实施方式同样，当在圆偏振板1上贴合剥离膜16b并对该剥离膜16b的相位差值进行补偿的情况下，只要在检查装置100B中以剥离膜16b与相位差板4相向的方式设置被检查物10即可。
在使用了检查装置100B的被检查物10的检查中，也可以通过与第一实施方式同样的原理而容易地检查圆偏振板1有无缺陷。
以上，对本发明的优选实施方式进行了说明，但本发明不受上述实施方式的任何限定。
实施例
以下，列举实验例对本发明的内容更具体地进行说明。需要说明的是，本发明不限定于下述实施例。以下的记载中，表示含量或用量的“份”及“％”只要没有特别记载则为重量基准。
各物性的测定通过以下的方法来进行。
(1)膜厚度的测定方法
使用尼康株式会社制的数字千分尺MH－15M进行了测定。
(2)相位差值的测定方法
使用相位差测定装置KOBRA－WPR(王子计测机器株式会社制)进行了测定。需要说明的是，以下的记载中，与上述Re(550)同样，将相对于波长450nm及波长650nm的光的面内相位差分别称为“Re(450)”、“Re(650)”。
(3)透过相位差滤光片后的光的透射率的测定
将分光放射计(TOPCON TECHNOHOUSE株式会社制、SR－UL1)设置为距离测定面为1m，以测定角设定为2°视野的状态测定亮度。计算相对于光源的亮度而有多少百分比的光透过了相位差滤光片。
(4)圆偏振板的偏振度及单体透射率的测定：
使用带积分球的分光光度计〔日本分光株式会社制的“V7100”、2度视野；C光源〕进行了测定。
[直线偏振板的制作]
将厚度30μm的聚乙烯醇膜(平均聚合度约为2400、皂化度为99.9摩尔％以上)通过干式拉伸而单轴拉伸至约4倍，进而在保持张紧状态的情况下，在40℃的纯水中浸渍40秒后，在碘/碘化钾/水的重量比为0.052/5.7/100的水溶液中以28℃浸渍30秒来进行染色处理。之后，在碘化钾/硼酸/水的重量比为11.0/6.2/100的水溶液中以70℃浸渍120秒。接着，在8℃的纯水中清洗15秒后，在以300N的张力进行保持的状态下，在60℃下干燥50秒，然后在75℃下干燥20秒，得到在聚乙烯醇膜中吸附取向有碘的厚度12μm的吸收型偏振片。
在所得到的偏振膜的两面，一边以使粘接剂层的厚度达到0.1μm的方式涂布聚乙烯醇系粘接剂，一边贴合保护膜(三乙酰纤维素(TAC)膜，商品名：KC2UAW、厚度：25μm、柯尼卡美能达株式会社制)，然后在80℃下进行2分钟的干燥，制作出直线偏振板。所得到的直线偏振板的偏振度为99.995％、单体透射率为42.5％。
[包含聚合性液晶化合物的固化物的相位差膜的制作]
将具有下述化学结构的光取向性材料5份(重均分子量：30000)和环戊酮(溶剂)95份作为成分而混合，将所得到的混合物在80℃下搅拌1小时，由此得到取向膜形成用组合物。
[化1]
相对于将以下所示的聚合性液晶化合物A及聚合性液晶化合物B以90:10的质量比混合而得的混合物，添加流平剂(F－556；DIC株式会社制)1.0份及作为聚合引发剂的2－二甲基氨基－2－苄基－1－(4－吗啉代苯基)丁烷－1－酮(“Irgacure369(Irg369)”、BASFJapan株式会社制)6份。进一步地，以使固体成分浓度达到13％的方式添加N－甲基－2－吡咯烷酮(NMP)，在80℃下搅拌1小时，由此得到液晶固化膜形成用组合物。在此，聚合性液晶化合物A通过日本特开2010－31223号公报中记载的方法来制造。另外，聚合性液晶化合物B按照日本特开2009－173893号公报中记载的方法来制造。以下示出各自的分子结构。
(聚合性液晶化合物A)
[化2]
(聚合性液晶化合物B)
[化3]
[由基材、取向膜、聚合性液晶化合物固化而成的层构成的层叠体的制造]
在作为基材的厚度50μm的环烯烃系膜〔日本ZEON株式会社制的商品名“ZF－14－50”〕上实施电晕处理后，用棒涂机涂布上述取向膜形成用组合物，在80℃下干燥1分钟，使用偏振UV照射装置〔Ushio电机株式会社的商品名“SPOT CURE SP－9”〕，通过波长313nm下的累计光量：100mJ/cm2以45°的轴角度实施偏振UV曝光。接着，使用棒涂机在取向膜上涂布上述液晶固化膜形成用组合物，在120℃下干燥1分钟后，使用高压汞灯〔Ushio电机株式会社的商品名：“Unicure VB－15201BY－A”〕，通过照射紫外线(氮气气氛下，波长365nm下的累积光量：500mJ/cm2)，形成聚合性液晶化合物固化而成的层。由此，得到由基材、取向膜及聚合性液晶化合物固化而成的层构成的层叠体。
关于通过上述方法而制造的聚合性液晶化合物固化而成的层的面内的相位差值Re(λ)，在隔着粘合剂而贴合于玻璃后，将作为基材的环烯烃系膜剥离，然后进行测定。各波长下的相位差值Re(λ)的测定结果为：Re(450)＝121nm、Re(550)＝142nm、Re(650)＝146nm、Re(450)/Re(550)＝0.85、Re(650)/Re(550)＝1.03。
[圆偏振板及被检查物的制作]
在上述直线偏振板的单面形成粘合剂层，贴合包含聚合性液晶化合物的固化物的层即相位差膜。此时，按照相位差膜的慢轴与直线偏振板的吸收轴所成的角度成为45°(从直线偏振板侧观察时为顺时针45°)的方式进行贴合。然后，在相位差膜上再形成粘合剂层，贴合相位差值为2000nm的PET膜作为剥离膜，制作出被检查物。
[相位差滤光片的制作]
另外准备上述直线偏振板，在其单面上形成粘合剂层，按照上述相位差膜的慢轴与直线偏振板的吸收轴所成的角度成为－45°(从直线偏振板侧观察时为逆时针45°)的方式贴合相位差膜，制作出相位差滤光片。
[相位差板的制作]
作为相位差板，使用4Z－Y004(东丽株式会社制、Re(550)为150nm～180nm)。所制作的相位差值在1720nm～2350nm之间以70nm为刻度。将所制作的相位差板的一览示于表1。该表的看法为：最左边的栏表示各相位差区域的相位差值(面内相位差值)。例如，相位差值1720nm的区域表示：通过将相位差值155nm的相位差板10片和相位差值170nm的相位差板1片层叠来制备(155nm×10+170nm＝1720nm)。需要说明的是，各区域的厚度方向的相位差值为面内相位差值的4.8倍左右。
[表1]
[被检查物的检查]
利用上述制作的检查装置，检查被检查物有无缺陷。按照背光源(光源)/被检查物(以剥离膜侧朝向与光源相反侧的方式配置)/相位差板/相位差滤光片的顺序构成光学体系。相位差板使用面内相位差值为2000nm及2070nm的相位差区域。如此而测定最暗状态下的亮度，结果为没有问题地检测出亮点缺陷，也能够确认到以亮度为入射光量的11.5％左右的黑点的形式观察到的缺陷。
接下来，将相位差板的面内方向的相位差值变更为2070nm并检查其黑点部分，结果是，上述以黑点的形式观察到的缺陷可以作为亮点缺陷而正确地检测出来。
在该例中，如图1所示，示出了按照来自背光源的光依次透过被检查物10、相位差板4及相位差滤光片3的方式组装而得的检查装置100A的实验例，但如图5所示，按照来自背光源的光依次透过相位差滤光片3、相位差板4及被检查物10的方式组装而得的检查装置100B同样地能够将以黑点的形式观察到的缺陷作为亮点缺陷而正确地检测出来。
产业上的可利用性
本发明能够在圆偏振板的品质检查中加以利用。
Claims (7)
1.一种检查方法，其为判断膜状的被检查物有无缺陷的检查方法，所述膜状的被检查物具备圆偏振板和由聚对苯二甲酸乙二醇酯系树脂形成的剥离膜，在该检查方法中，依次排列地配置：
所述被检查物；
第一相位差板，其波长550nm时的面内相位差值与所述剥离膜的波长550nm时的面内相位差值大致相同，并且，对所述剥离膜所具有的双折射进行补偿；以及
相位差滤光片，其与所述圆偏振板构成正交尼克尔棱镜，
从所述被检查物侧或所述相位差滤光片侧中的任一侧入射光，从另一侧观察所述相位差滤光片或所述被检查物来判断所述圆偏振板有无缺陷，
将所述第一相位差板替换成第二相位差板，其中，所述第二相位差板的波长550nm时的面内相位差值比所述剥离膜的波长550nm时的面内相位差值大50nm～100nm，并且，对所述剥离膜所具有的双折射进行补偿，
从所述被检查物侧或所述相位差滤光片侧中的任一侧入射光，从另一侧观察所述相位差滤光片或所述被检查物。
2.根据权利要求1所述的检查方法，其中，所述圆偏振板具有包含聚合性液晶化合物的固化物的相位差膜。
3.根据权利要求1或2所述的检查方法，其中，将所述被检查物、所述第一相位差板、所述第二相位差板及所述相位差滤光片中的至少一者以彼此相向的角度不同的方式倾斜，或在与所述光的光轴垂直的方向上旋转。
4.根据权利要求1～3中任一项所述的检查方法，其中，所述第一相位差板及所述第二相位差板彼此配置在同一构件内而构成。
5.一种检查装置，其为使光入射至膜状的被检查物来判断所述圆偏振板有无缺陷的检查装置，所述膜状的被检查物具备圆偏振板和由聚对苯二甲酸乙二醇酯系树脂形成的剥离膜，所述检查装置具备：
光源；
相位差滤光片，其使从所述光源发出且被所述被检查物转换成圆偏振光的光入射；
相位差板，其配置在与配置所述被检查物的位置相比更远离所述光源一侧，且与配置所述相位差滤光片的位置相比更靠近所述光源的一侧，并且使所述圆偏振光通过，
所述相位差板包含第一相位差板和第二相位差板，其中，所述第一相位差板的波长550nm时的面内相位差值与所述剥离膜的波长550nm时的面内相位差值大致相同，所述第二相位差板的波长550nm时的面内相位差值比所述剥离膜的波长550nm时的面内相位差值大50nm～100nm，所述第一相位差板及所述第二相位差板对所述剥离膜所具有的双折射进行补偿。
6.一种检查装置，其为使圆偏振光入射至膜状的被检查物来判断所述圆偏振板有无缺陷的检查装置，所述膜状的被检查物具备圆偏振板和由聚对苯二甲酸乙二醇酯系树脂形成的剥离膜，所述检查装置具备：
光源；
相位差滤光片，其将所述光源发出的光转换成所述圆偏振光；
相位差板，其配置在与配置所述被检查物的位置相比更靠近所述光源的一侧，且与配置所述相位差滤光片的位置相比更远离所述光源的一侧，并且使所述圆偏振光通过，
所述相位差板包含第一相位差板和第二相位差板，其中，所述第一相位差板的波长550nm时的面内相位差值与所述剥离膜的波长550nm时的面内相位差值大致相同，所述第二相位差板的波长550nm时的面内相位差值比所述剥离膜的波长550nm时的面内相位差值大50nm～100nm，所述第一相位差板及所述第二相位差板对所述剥离膜所具有的双折射进行补偿。
7.根据权利要求5或6所述的检查装置，其中，所述相位差板中，在同一构件内配置所述第一相位差板及所述第二相位差板而构成。
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2019054721 | 2019-03-22 | ||
| JP2019-054721 | 2019-03-22 | ||
| JP2019-132175 | 2019-07-17 | ||
| JP2019132175A JP7455527B2 (ja) | 2019-03-22 | 2019-07-17 | 検査方法及び検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN111721776A true CN111721776A (zh) | 2020-09-29 |
| CN111721776B CN111721776B (zh) | 2024-02-20 |
Family
ID=72564060
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202010186941.4A Active CN111721776B (zh) | 2019-03-22 | 2020-03-17 | 检查方法及检查装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN111721776B (zh) |
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|---|---|
| CN111721776B (zh) | 2024-02-20 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |